KR20180103884A - 액체 재료 토출 장치 - Google Patents

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무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
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Abstract

과제 : 플런저를 효율적으로 가속할 수 있고, 장치의 무게중심을 낮게 할 수 있고, 유지보수성이 양호한 액체 재료 토출 장치 및 상기 장치를 탑재한 도포 장치의 제공하는 것이다.
해결 수단 : 토출구와 연통하고, 액체 재료가 공급되는 액실과, 액실보다 소경의 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 플런저와, 플런저를 상방으로 가압하는 탄성체와, 실질적으로 수평 방향으로 연장되도록 배치된 암과, 암을 동작시키는 구동원으로 되는 암 구동 장치와, 암 구동 장치가 설치되는 베이스체를 포함하는 액체 재료 토출 장치로서, 암 구동 장치와 접속되고, 암 구동 장치 및 암을 요동 가능에 지지하는 요동 기구부를 포함하고, 암 구동 장치가 암의 길이 방향으로 설치된 복수 개의 액추에이터를 구비하고, 암이 플런저를 하방으로 압압하는 압압부를 구비하고, 플런저가 압압부에 압압되는 맞닿음부를 구비하고, 암의 요동 운동에 의해 플런저가 직선 왕복 이동하는 액체 재료 토출 장치 및 그 도포 장치이다.

Description

액체 재료 토출 장치
본 발명은, 노즐과 연통하는 액실(液室) 내를 왕복 동작하는 플런저와, 액추에이터와 변위 확대 기구를 포함하는 액체 재료 토출 장치 및 이 액체 재료 토출 장치가 탑재된 도포 장치에 관한 것이다. 여기에서, 본 명세서에 말하는 「플런저」에는 예를 들면, 니들, 로드, 피스톤으로 호칭되는 봉형(棒形) 부재가 포함된다.
종래, 노즐과 연통하는 액실 내를 왕복 이동하는 플런저를 이용하여 소량의 액체 재료를 액적형으로 토출시키는 각종 기술이 제안되어 있다. 플런저를 이동시키기 위한 구동원에는 모터, 에어, 압전 소자 등을 이용한 액추에이터가 사용되는 경우가 많다. 구동원으로서 에어 압력을 이용한 토출 장치로서는, 예를 들면 출원인에 관련된 특허문헌 1에, 에어 압력에 의한 플런저 로드의 퇴행 동작에 의해 토출구가 열리고, 스프링의 탄성력에 의한 상기 플런저 로드의 진출 동작에 의해 액적을 상기 토출구로부터 토출하는 토출 장치가 개시되어 있다.
스프링과 에어 압력으로 플런저를 왕복 동작시키는 토출 장치에 있어서는, 플런저의 이동 거리를 확보하는 것은 용이하지만, 공기가 압축성을 가지므로, 플런저의 왕복 이동 속도를 일정 이상의 빠르기로 하는 것은 곤란하다. 이러한 점에서, 압전 액추에이터를 구비하는 구성에 있어서는, 전기적 펄스 신호에 의해 압전 소자의 동작을 제어할 수 있으므로 스트로크의 재현성이 우수하고, 압전 소자의 동작 제어도 용이하다.
구동원으로서 압전 액추에이터로 니들을 왕복 이동시키는 토출 장치로서는, 예를 들면 특허문헌 2에 토출구와 연통하고, 액체 재료가 공급되는 액실과, 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 니들과, 니들을 진퇴 동작시키는 구동 장치와, 변위 확대 기구를 포함하고, 토출구로부터 액적을 비상 토출하는 액체 재료 토출 장치에 있어서, 구동 장치가 좌우 대상에 배치된 짝수대의 구동 장치로 이루어지고, 변위 확대 기구가 하부에 니들이 연결되는 탄성 변형 가능한 U자형 부재를 구비하고, 각 구동 장치가, U자형 부재의 양단부(兩端部)를 이간시키는 힘을 작용시키는 것에 의해 니들을 후퇴 이동시키는 것, 및 U자형 부재의 양단부를 근접시키는 힘을 작용시키는 것에 의해 니들을 진출 이동시키는 것을 특징으로 하는 액체 재료 토출 장치가 개시되어 있다.
니들(플런저)을 이용한 액체 재료 토출 장치는, 고속 전진하는 플런저에 의해 큰 사출력을 부여할 수 있으므로, 압전 소자(피에조 소자)에 의해 잉크 실내의 잉크를 압출하여 토출하는 잉크젯 장치로는 토출할 수 없는, 고점도의 액체 재료를 액적으로서 토출하는 것이 가능하다.
특허문헌 3에는, 선단에 형성된 사출 구멍 및 실린더 구멍을 가지는 케이싱과, 케이싱 내에 배치된 적층형 압전 소자와, 압전 소자를 구동원으로 하고, 실린더 구멍 내에 미세 신축 동작 가능하게 수납된 플런저를 구비하고, 압전 소자가 소자 홀더에 끼워맞춰져 일체적으로 장착된 직육면체이고, 소자 홀더에는, 일부에 얇은 탄성부를 형성하여 압전 소자에 수축 측의 복원력을 부여하도록 하고, 그 소자 홀더의 상단부를 상기 케이싱에 고정하고, 또한 소자 홀더의 하단에 플런저를 형성한 액적 사출 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 3에 개시되는 장치는, 실린더 구멍과 동일한 직경의 플런저를 구비하고 있고, 플런저의 전진 이동에 의해 감소한 용적과 동일한 양의 액체 재료를 토출하는 토출 원리의 장치이다. 이러한 토출 원리의 장치는, 플런저의 측주면(側周面)과 실린더 구멍의 내주면(內周面)의 슬라이딩 마찰이 생기므로, 초당 몇백 숏(shot) 이상의 고속 연속 토출에는 적합하지 않다.
일본공개특허 제2002-282740호 공보 일본공개특허 제2015-51399호 공보 일본특허 제4786326호 공보
최근, 플런저를 왕복 동작시키는 토출 장치(디스펜서)에 있어서, 종래보다도 미소한 액적을 비상 토출하는 것이 요구되고 있다. 예를 들면, 특허문헌 2에 개시되는 장치는, 대경(大徑)의 액실 내를 소경(小徑)의 니들이 왕복 동작하는 구성을 구비하는 바, 니들의 전진 이동에 의해 감소한 액실 내의 용적분보다 소량의 액체 재료를 토출하는 것이 가능하다. 이와 같은 토출 방식에 의해 미소한 액적을 비상 토출하기 위해서는, 플런저를 일정 이상의 속도로 가속화시키는 것이 필요하다.
압전 액추에이터로 플런저를 왕복 동작시키는 토출 장치에 있어서, 플런저를 가속화시키기 위한 이동 거리를 확보하기 위해서는, 압전 액추에이터의 변위량을 확대하는 변위 확대 기구를 설치하는 것이 필요하다. 그러나, 변위 기구를 설치함으로써 토출 장치의 무게중심이 높아지면, 토출 장치를 탑재하는 도포 헤드를 이동 개시, 이동 정지, 이동 속도 변경 및 방향 전환할 때 생기게 하는 요동이나 진동이 커진다는 과제가 있다.
한편, 변위량을 크게 하기 위해, 압전 소자 자체의 변위를 크게 하는 것도 고려되지만, 압전 소자를 다층화하거나 다수개 이용하거나 하는 것은, 토출 장치의 대형화를 초래하고, 제조 비용도 증대한다는 과제가 있다.
나아가, 토출부의 유지보수성이 양호한 토출 장치가 요구되고 있다. 예를 들면, 응고된 액체 재료에 의해 막힌 토출구의 세정이나 마모된 플런저의 교환이 용이한 구조의 토출부를 가지는 토출 장치가 요구되고 있다.
이에, 본 발명은 플런저를 효율적으로 가속할 수 있고, 장치의 무게중심을 낮게 할 수 있고, 게다가 유지보수성이 양호한 액체 재료 토출 장치 및 이 액체 재료 토출 장치가 탑재된 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 액체 재료 토출 장치는, 토출구와 연통하고, 액체 재료가 공급되는 액실과, 액실보다 소경의 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 플런저와, 플런저를 상방으로 가압하는 탄성체와, 실질적으로 수평 방향으로 연장되도록 배치된 암과, 암을 동작시키는 구동원으로 되는 암 구동 장치와, 암 구동 장치가 배치되는 베이스체를 포함하는 액체 재료 토출 장치로서, 상기 암 구동 장치와 접속되고, 상기 암을 요동 가능하게 지지하는 요동 기구부를 포함하고, 상기 암 구동 장치가 상기 암의 길이 방향으로 설치된 복수 개의 액추에이터를 구비하고, 상기 암이 플런저를 하방으로 압압(押壓)하는 압압부를 구비하고, 상기 플런저가 상기 압압부에 압압되는 맞닿음부를 구비하고, 상기 암의 요동 운동에 의해 상기 플런저가 직선 왕복 이동하는 것을 특징으로 한다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 복수 개의 액추에이터가 적층형 압전 소자에 의해 구성되고, 상기 압압부에 가까운 쪽에 배치된 액추에이터가 신장 상태로 되고, 상기 압압부로부터 먼 쪽에 배치된 액추에이터가 비신장 상태 또는 수축 상태로 되므로, 암이 상방 이동하고, 상기 압압부에 가까운 쪽에 배치된 액추에이터가 비신장 상태 또는 수축 상태로 되고, 상기 압압부로부터 먼 쪽에 배치된 액추에이터가 신장 상태로 되므로, 암이 하방 이동하는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 복수 개의 액추에이터가 짝수 개의 액추에이터에 의해 구성되는 것을 특징으로 해도 되고, 바람직하게는, 상기 짝수 개의 액추에이터가 제1 압전 액추에이터 및 제2 압전 액추에이터에 의해 구성되는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 압압부 또는 상기 맞닿음부가, 상기 암의 요동 운동에 추종하여 상기 압압부와 상기 맞닿음부의 맞닿음 상태를 확보하는 곡면을 구비하는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 암을 상기 베이스체에 착탈(着脫) 가능하게 고정하는 체결구를 구비한 것을 특징으로 해도 되고, 바람직하게는, 상기 체결구가 상기 복수 개의 액추에이터 사이에 배치되고, 상기 체결구에 의해 상기 복수 개의 액추에이터가 상기 암 및 상기 베이스체에 끼어서 장착되는 것을 특징으로 한다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 플런저를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드를 더 포함하고, 상기 탄성체가, 상기 플런저를 상시 상방으로 가압하는 코일형의 압축 스프링으로 이루어지고, 상기 플런저가 상기 탄성체 및 상기 가이드에 착탈 가능하게 삽통(揷通)되는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 요동 기구부가 상기 암 구동 장치의 하단부와 접속되는 것, 또는, 상기 암 구동 장치의 상단부와 접속되는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 요동 기구부가, 상기 암 구동 장치의 하단부와 접속되는 제1 요동 기구부와, 상기 암 구동 장치의 상단부와 접속되는 제2 요동 기구부를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 해도 된다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 요동 기구부가, 상기 암 구동 장치의 한쪽의 단부와 접속되는 접속부와, 상기 접속부를 요동 가능하게 지지하는 지지부를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 해도 되고, 바람직하게는, 상기 지지부가 매끄러운 곡면으로 이루어지는 볼록형 또는 오목형의 지지면을 구비하고, 상기 접속부가 상기 지지부의 상기 지지면 상을 슬라이딩하는 오목형 또는 볼록형의 슬라이딩면을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액체 재료 토출 장치에 있어서, 상기 압압부가 상기 암에 착탈 가능하게 장착된 압압 부재에 의해 구성되는 것을 특징으로 해도 된다.
본 발명의 도포 장치는, 상기 액체 재료 토출 장치와, 피(被)도포물을 탑재하는 워크 테이블과, 액체 재료 토출 장치와 피도포물을 상대 이동시키는 상대 이동 장치와, 액체 재료 토출 장치에 액체 재료를 공급하는 액체 재료 공급원을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 도포 장치에 있어서, 상기 액체 재료 토출 장치가 복수 대의 액체 재료 토출 장치로 이루어지는 것을 특징으로 해도 된다.
본 발명에 의하면, 플런저를 효율적으로 가속할 수 있고, 장치의 무게중심을 낮게 할 수 있고, 게다가 유지보수성이 양호한 액체 재료 토출 장치 및 이 액체 재료 토출 장치가 탑재된 도포 장치를 제공하는 것이 가능해진다.
[도 1] 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치의 측면 단면도(斷面圖)이다.
[도 2] 실시형태예 1에 관한 요동 기구부의 개략 사시도이다.
[도 3] 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치(상승 포지션)의 측면 단면도이다.
[도 4] 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치(하강 포지션)의 측면 단면도이다.
[도 5] 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치를 탑재한 도포 장치의 사시도이다.
[도 6] 실시형태예 2에 관한 액체 재료 토출 장치의 측면 단면도이다.
[도 7] 실시형태예 3에 관한 액체 재료 토출 장치의 측면 단면도이다.
[도 8] 실시형태예 4에 관한 액체 재료 토출 장치의 측면 단면도이다.
[도 9] 실시형태예 5에 관한 요동 기구부의 개략 사시도이다.
본 발명은 물, 용제, 시약 등의 점성이 낮은 액체 재료로부터, 납땜 페이스트, 은 페이스트, 접착제 등의 점성이 비교적 높은 액체 재료까지를, 미량으로 양호한 정밀도로 토출하는 액체 재료 토출 장치에 관한 것이다. 이하에, 본 발명을 실시하기 위한 형태예를 설명한다.
《실시형태예 1》
<구성>
도 1은, 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치(1)의 측면 단면도이다.
실시형태예 1의 액체 재료 토출 장치(1)는 베이스체(10)와, 암 구동 장치(20)와, 암(30)과, 플런저(50)와, 액체 공급 부재(60)와, 노즐 유닛(70)을 주요한 구성 요소로 하고, 액체 재료를 액적으로서 비상 토출하는 제트식 토출 장치에 관한 것이다.
그리고, 설명의 형편상, 노즐 유닛(70) 측을 「아래」, 암(30) 측을 「위」, 노즐 유닛(70) 측(도 1의 우측)을 「전방」, 암 구동 장치(20) 측(도 1의 좌측)을 「후방」이라고 칭하는 경우가 있다.
베이스체(10)는 블록형 부재이고, 요동 기구부(25)가 설치되는 상면(11)과, 노즐 유닛(70)이 장착되는 바닥면(12)을 구비하고 있다.
상면(11)은 대부분이 수평한 평면으로 이루어지고, 요동 기구부(25)가 설치되는 오목부(13)와 플런저 삽통공(14)의 상부 개구를 가지고 있다. 오목부(13)에는, 요동 기구부(25)를 구성하는 한 쌍의 지지부(27)가 설치되어 있다. 요동 기구부(25)의 상세에 대해서는 후술한다.
그리고, 오목부(13)와 플런저 삽통공(14)을 동일 부재에 형성할 필요는 없고, 따라서 베이스체(10)를 복수의 부재에 의해 구성해도 된다.
암 구동 장치(20)는 암(30)의 길이 방향을 따라 배치된 제1 액추에이터(21) 및 제2 액추에이터(22)에 의해 구성된다. 제1 액추에이터(21) 및 제2 액추에이터(22)는, 전압을 거는 것에 의해 적층 방향(도 1 상하 방향)으로 신축하는 동일 사양의 2개의 압전 소자(피에조 소자)에 의해 구성된다. 본 실시형태예의 액추에이터(21, 22)는, 예를 들면 고왜율(高歪率) 압전 세라믹 재료, 내부 전극, 외부 전극 및 절연물을 겹쳐 쌓아 구성된 봉형의 적층형 소자이고, 두께는 예를 들면 5∼100㎜, 두께 방향의 변위량은 예를 들면 5∼100㎛ 정도이다. 본 실시형태예에서는 2개의 액추에이터를 사용하고 있지만, 액추에이터의 수는 이것에 한정되지 않고, 3개 이상(바람직하게는 짝수 개)의 액추에이터를 대향 배치하여 구성할 수 있다. 액추에이터(21, 22)의 변위는, 암(30)에 의해 예를 들면 3∼100배(바람직하게는 5∼50배)로 확대되어 플런저(50)에 전달된다.
도 2는, 실시형태예 1에 관한 요동 기구부(25)의 개략 사시도이다.
요동 기구부(25)는 액추에이터(21, 22)의 하단의 각각에 연결된 접속부(26, 26)와, 베이스체(10)의 오목부(13)에 배치된 지지부(27, 27)를 구비하여 구성된다.
2개의 접속부(26)는, 하면에 매끄러운 곡면으로 이루어지는 오목부(반구형의 오목부)를 가지는 부재이고, 베이스체(10)의 길이 방향으로 나란히 배치되어 있다.
본 실시형태예의 지지 부재(27)는, 베이스체(10)의 측면에 설치된 관통공에 기둥형 부재를 삽입하여 고정하는 태양(態樣)이다. 지지부(27)의 상면은, 접속부(26)의 오목부와 동일하거나 또는 작은 곡률을 가지는 매끈한 곡면(반구형의 돌기)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태예와는 상이하게, 접속부(26) 측에 볼록부를 형성하고, 지지부(27) 측에 오목부를 형성하는 구성으로 해도 된다.
요동 기구부(25)는, 접속부(26)가 암(30)의 길이 방향을 따라 슬라이딩하면서 이동하는 것에 의해, 암 구동 장치(20) 및 암(30)을 베이스체(10)에 대하여 경사지게 하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 요동 기구부(25)에 의해 액추에이터(21, 22)의 전단 변형을 흡수할 수 있으므로, 암(30)의 요동 동작을 안정시킬 수 있고, 나아가서는 토출 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.
암(30)은 실질적으로 수평 방향[수평면과 30도 이하의 각도가 있는 경우도 포함함]으로 신장되는 장척(長尺) 부재이고, 평면으로 이루어지는 바닥면(32)이 상면(11)과 평행하게 되도록 도시하지 않은 고정구에 의해 베이스체(10)에 대하여 직접 또는 간접적으로 고정되어 있다. 암(30)은 휨이 적은 금속 등의 경질 재료에 의해 구성되고, 암 구동 장치(20)의 구동력을 플런저(50)에 직접적으로 전달한다. 암(30)은 암 구동 장치(20)의 높이 분량만큼 밖에, 베이스체(10)로부터 떨어져 있지 않으므로, 토출 장치(1)의 무게중심을 낮게 할 수 있다.
암(30)은 적어도 암 구동 장치(20)의 신장보다 큰 길이를 가지고 있고, 액추에이터(21, 22)의 변위량을 확대하는 변위 확대 기구로서 기능한다. 액추에이터(21, 22)의 변위량을 조절하여 베이스체(10)에 대하여 암(30)을 원하는 경사 각도로 함으로써, 스트로크를 동적으로 조절할 수도 있다.
암(30)의 전방부에는, 압압 부재를 구성하는 암 로드(33)가 삽통하여 고정되는 관통공이 형성되어 있다. 암 로드(33)의 하단에는, 볼록형의 압압부(34)가 설치되어 있다. 암 로드(33)는 암(30)에 착탈 가능하게 고정되어 있고, 교환 작업은 간단하다. 압압부(34)는 그 상하 위치에 의해, 플런저의 후단부(53)와의 접촉 위치 및 접촉 각도가 변화되므로, 후단부(53)와의 대향면이 곡면을 가지는 형상(예를 들면, 반구 또는 반타원구)으로 구성하는 것이 바람직하다. 그리고, 압압 부재는 로드형일 필요는 없고, 예를 들면 하단에 볼록부를 가지고, 암에 착탈 가능하게 고정되는 블록형의 부재에 의해 구성해도 된다.
암(30)은, 암 구동 장치(20) 부근을 지점(支點)으로 한 요동 운동을 하고, 압압부(34)가 플런저의 후단부(53)에 맞닿는 것에 의해 플런저(50)가 고속으로 진출 이동한다. 이와 같이 암 로드(33)를 플런저(50)와 이간 가능한 별도의 부재에 의해 구성하는 것에 의해, 변위 확대 기구의 부품수를 삭감하고, 또한 토출 장치(1)의 무게중심을 낮게 하는 것을 가능하게 하고 있다.
플런저(50)는 연직 방향으로 똑바로 연장되는 로드형의 부재로 이루어지는 로드부(51)와, 반타원구형의 선단부(52)와, 로드부(51)보다 대경의 원반형 부재로 이루어지는 후단부(53)를 구비하여 구성된다. 플런저(50)는 예를 들면 부식성이 우수한 금속 재료, 세라믹 재료, 수지 재료로 구성된다.
플런저의 로드부(51)는 코일형의 압축 스프링으로 이루어지는 탄성체(54), 플런저 삽통공(14)에 배치된 환형의 가이드(41) 및 환형의 밀봉 부재(42)에 삽통되어 있다. 암(30)은, 원호형의 궤적에서 플런저의 후단부(53)에 맞닿지만, 플런저(50)의 동작 방향은 가이드(41)에 의해 직선적으로 규정된다. 그리고, 가이드(41)는 환형으로 배치된 복수의 부재에 의해 구성해도 된다.
플런저의 선단부(52)는 로드부(51)보다 대경의 액실(74) 내에 배치되고, 액실(74)의 내주면에 맞닿지 않게 왕복 이동된다. 즉, 플런저의 선단부(52)는 슬라이딩 마찰없이 왕복 이동할 수 있으므로, 고속 이동할 수 있다. 플런저의 선단부(52)의 형상은 임의의 형상으로 할 수 있고, 예를 들면 평면, 구형 또는 선단에 돌기가 형성된 형상으로 하는 것이 개시된다.
플런저의 후단부(53)는 탄성체(54)보다 대경으로 구성되어 있고, 탄성체(54)에 의해 상시 상방으로 가압되고 있다. 플런저의 후단부(53)는, 암의 압압부(34)와 대향하는 위치에 있고, 압압부(34)에 맞닿아지는 맞닿음부를 구성한다. 탄성체(54)의 가압력을 초월하는 힘으로 암의 압압부(34)가 후단부(53)를 눌러내리면, 플런저의 선단부(52)의 전방에 위치하는 액체 재료에 관성력을 인가하여, 밀어낸 부피량보다 소량의 액체 재료를 액적의 상태로 토출한다. 암의 압압부(34)가 상승하면, 탄성체(54)의 가압력에 의해 플런저(50)도 상승하고, 암의 압압부(34)에 의해 최고 상승 위치(즉, 스트로크)가 규정된다.
플런저의 후단부(53)는 압압부(34)와 연결되어 있지 않으므로, 플런저(50)의 플런저 삽통공(14)으로부터의 분리는 용이하다. 즉, 소모품인 플런저(50)의 교환 작업은 간단하다.
그리고, 본 실시형태예에서는, 플런저의 선단부(52)를 액실(74)의 내측 바닥면이 구성하는 밸브 시트(72)에 착석시켜 플런저(50)의 전진 이동을 정지시키고 있지만, 밸브 시트에 착석시키지 않는 태양도 본 발명의 기술 사상에는 포함된다.
액체 공급 부재(60)는 베이스체(10)를 따라 수평 방향으로 연장되는 부재이고, 베이스체의 하면(12)에 착탈 가능하게 장착되어 있다. 액체 공급 부재(60)의 내부에는 공급 유로(61)가 형성되어 있고, 공급 유로(61)의 한쪽의 단부는 액실(74)과 연통하고, 다른 쪽의 단부는 공급구(62)와 연통하고 있다. 액실(74)은 토출 장치(1)의 전방 단부의 가까이에 배치되어 있으므로, 공급 유로(61)의 길이는 다른 토출 장치와 비교하여 상대적으로 짧고, 따라서 허비되는 액체 재료의 양도 상대적으로 적다.
공급구(62)에는, 액체 공급관(튜브형의 것을 포함함)을 통하여 저류(貯留) 용기가 접속된다. 저류 용기 내의 액체 재료는 압축 기체(氣體)에 의해 가압되고 있고, 공급 유로(61)를 통하여 액실(74)에 액체 재료가 공급된다. 그리고, 액체 재료가 유동성이 높은 것인 경우에는, 저류 용기를 가압하지 않아도 된다.
노즐 유닛(70)은 노즐 부재(71)와, 밸브 시트(72)와, 캡(73)을 구비하여 구성된다.
노즐 부재(71)는 액실(74)이 형성된 원통형의 부재이고, 선단부에 밸브 시트(72) 및 캡(73)이 설치되어 있다.
밸브 시트(72)는, 중심에 하방으로 개구되는 토출구(75)가 형성된 원반형의 부재이고, 노즐 부재(71)의 선단에 캡(73)을 나사결합하는 것에 의해 고정되어 있다. 액실(74), 토출구(75) 및 플런저(50)의 각 중심선은, 동일 직선 상에 배치되어 있다. 플런저(50)가 밸브 시트(72)에 착좌하거나 떨어지거나 하는 것에 의해 토출구(75)가 개폐되어, 액체 재료가 토출된다. 액실(74)은 밀봉 부재(42)의 근처까지 액체 재료로 채워져 있고, 밀봉 부재(42)가 가이드(41)로의 액체 재료의 침입을 방지하고 있다.
노즐 유닛(70)에는, 액실(74) 내의 액체 재료를 소정의 온도로 가온하기 위한 온도 조절 기구를 설치해도 된다.
<동작>
(1) 뉴트럴 포지션
도 1은, 액추에이터(21, 22)가 비동작 상태에 있고, 암(30)이 뉴트럴 포지션에 있는 모양을 나타내고 있다. 이 때, 플런저 로드의 선단부(52)는 밸브 시트(72)와 비접촉 상태에 있고, 토출구(75)는 개구되어 있다. 플런저 로드의 후단부(53)는 탄성체(54)의 가압 작용에 의해, 암 로드의 압압부(34)와 맞닿음 상태에 있다.
뉴트럴 포지션에서는, 도 1과는 상이하게 선단부(52)와 밸브 시트(72)를 접촉 상태로 해도 된다. 접촉 상태로 한 경우, 액체 재료의 토출구로부터의 누출을 방지할 수 있다.
(2) 상승 포지션
도 3은, 제1 액추에이터(21)를 작동시키고, 암(30)이 상승 포지션에 있는 모양을 나타내고 있다.
제1 액추에이터(21)에 전류가 통전하여 진출 변위시키면(전체 길이를 연장시킴), 지레의 원리에 의해 암 로드(33)가 상방으로 이동한다. 제2 액추에이터(22)에는 전류가 통전되지 않고, 뉴트럴 포지션과 동일한 위치를 유지하고 있다. 이 때, 각 액추에이터의 접속부(26, 26)가 각 지지부(27, 27) 상을 이동하고, 제1 액추에이터(21) 및 제2 액추에이터(22)도 후방(도 3의 좌측)으로 경사진다. 상기와는 상이하게, 제2 액추에이터(22)에 수축 신호를 인가하여 수축 변위시키고, 보다 큰 변위를 압압부(34) 및 플런저(50)에 초래하도록 해도 된다.
암 로드(33)가 상방으로 이동하면 탄성체(54)의 가압 작용에 의해, 플런저(50)도 상방으로 이동하므로, 암 로드의 압압부(34)와 플런저의 후단부(53)는 맞닿음 상태로 된다. 여기에서, 암 로드(33)가 상방으로 이동하고 있는 동안, 압압부(34)와 플런저의 후단부(53)의 맞닿음 상태가 유지되고 있을 필요는 없고, 일시적으로 비접촉 상태로 된 후에 맞닿음 상태로 되어도 된다.
암 로드(33)의 상방 이동 시, 압압부(34)는 액추에이터(21, 22) 측에 중심을 취하는 원호형의 궤적으로서 상승 이동한다. 한편, 플런저(50)는 가이드(41)의 작용에 의해 직선적으로 상승 이동한다. 즉, 암 로드(33)의 상방 이동 시, 압압부(34)와 플런저의 후단부(53)의 위치 관계에 편차가 생긴다. 이 때문에, 본 실시형태예에서는, 압압부(34)의 하면을 구면 등의 곡면으로 구성하여 적절한 맞닿음 상태를 확보하도록 하고 있다. 여기에서, 도시한 구성과는 상이하게, 플런저의 후단부(53)의 상면을 구면 등의 곡면으로 구성하고, 압압부(34)의 하면을 평면(또는 곡면)으로 구성해도 된다.
그리고, 플런저의 후단부(53)를, 압압부(34)의 궤적에 추종할 수 있는 크기로 구성하는 것도 중요하다.
(3) 하강 포지션
도 4는, 제1 액추에이터(21)를 뉴트럴 포지션으로 되돌리고, 제2 액추에이터(22)를 작동시키고, 암(30)이 하강 포지션에게 있는 모양을 나타내고 있다.
제1 액추에이터(21)로의 통전을 정지시키고, 제2 액추에이터(22)에 통전하여 진출 변위시키면(전체 길이를 연장시킴), 지레의 원리에 의해 암 로드(33)가 하방으로 이동한다. 이 때, 각 액추에이터의 접속부(26, 26)가 각 지지부(27, 27) 상을 이동하고, 제1 액추에이터(21) 및 제2 액추에이터(22)도 전방(도 4의 우측)으로 경사진다. 상기와는 상이하게, 제1 액추에이터(21)에 수축 신호를 인가하여 수축 변위시키고, 보다 큰 변위를 압압부(34) 및 플런저(50)에 초래하도록 해도 된다.
암 로드(33)가 하방으로 이동하면, 암 압압부(34)가, 탄성체(54)의 가압력을 상회하는 힘으로 플런저의 후단부(53)를 압압한다. 이에 의해, 플런저(50)가 하방으로 이동하고, 선단부(52)가 밸브 시트(72)에 착좌하여, 액체 재료를 토출구(75)로부터 액적의 상태로 토출시킨다. 여기에서, 암 로드(33)가 하방으로 이동하고 있는 동안, 압압부(34)와 플런저의 후단부(53)의 맞닿음 상태가 유지되고 있을 필요는 없고, 일시적으로 비접촉 상태로 된 후에 맞닿음 상태로 되어도 된다.
암 로드(33)가 원호형의 궤적으로서 하강 이동하고, 플런저(50)가 가이드(41)의 작용에 의해 직선적으로 하강 이동하는 점은, 상기 (2)의 경우와 동일하다.
이상의 동작을 반복하면, 액추에이터(21, 22)는 좌우로 연속적으로 요동하고, 예를 들면, 1초간 100∼500회 또는 그 이상의 주파수로 플런저(50)를 왕복 이동시킨다. 토출 정밀도 향상의 관점에서는, 액추에이터(21, 22)에 인가하는 펄스 신호의 발진 주파수를 일정하게 하는 것이 바람직하다.
<도포 장치>
하우징에 수납되고, 저류 용기(시린지)와 접속된 액체 재료 토출 장치(1)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 도포 장치(100)의 도포 헤드에 탑재되고, 도포 헤드[토출 장치(1)]와 워크 테이블(103)을 XYZ축 구동 장치(111, 112, 113)에 의해 상대 이동시키고, 공작물 상에 액체 재료를 도포하는 작업에 이용된다. 예시하는 도포 장치(100)는 가대(101)와, 도포 대상물인 공작물(102)을 탑재하는 워크 테이블(103)과, 액체 재료 토출 장치(1)와 워크 테이블(103)을 X 방향(121)으로 상대 이동시키는 X 구동 장치(111)와, 액체 재료 토출 장치(1)와 워크 테이블(103)을 Y 방향(122)으로 상대 이동시키는 Y 구동 장치(112)와, 액체 재료 토출 장치(1)와 워크 테이블(103)을 Z 방향(123)으로 상대 이동시키는 Z 구동 장치(113)와, 도시하지 않은 압축 기체원으로부터의 압축 기체를 원하는 조건으로 저류 용기에 공급하는 도시하지 않은 디스펜스 컨트롤러(토출 제어부), 및 XYZ 구동 장치(111, 112, 113)의 동작을 제어하는 도포 동작 제어부(104)를 구비하여 구성된다. 도포 장치(100)는 점선으로 도시한 바와 같이, 가대 상부를 커버로 덮고, 파티클이나 먼지 배출물이, 공작물(102)에 도달하는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
XYZ 구동 장치(111, 112, 113)는, 예를 들면 공지의 XYZ축 서보 모터와 볼 나사를 구비하여 구성되고, 액체 재료 토출 장치(1)의 토출구를 공작물의 임의의 위치에, 임의의 속도로 이동시키는 것이 가능하다. 도 5에서는, 도포 장치에는 3대의 액체 재료 토출 장치(1)가 탑재되어 있지만, 탑재 대수는 예시의 수에 한정되지 않고, 1대라도 되고, 2대, 4대 등의 복수 대라도 된다. 또한, 도 5에서는, 1대의 Z 구동 장치(113)에 3대의 액체 재료 토출 장치(1)를 탑재하고 있지만, 액체 재료 토출 장치(1)와 같은 수(도 5의 예에서는 3대)의 Z 구동 장치를 설치하고, 각 액체 재료 토출 장치(1)가 독립적으로 Z 방향(및 X 방향)으로 이동 가능하도록 구성해도 된다.
이상에 설명한 실시형태예 1에 관한 액체 재료 토출 장치(1)에 의하면, 토출 장치(1)의 무게중심을 낮게 함으로써, 도포 헤드의 요동이나 진동을 억제할 수 있으므로, 도포 헤드를 보다 고속으로 이동시키는 것이 가능해진다. 또한, 암 구동 장치(20)로부터의 구동력이, 경질 재료로 이루어지는 암(30)을 통하여 직접적으로 플런저(50)에 전달되므로, 스트로크의 재현성이 높고, 또한 고점도의 액체 재료를 토출할 수 있다.
《실시형태예 2》
실시형태예 2의 액체 재료 토출 장치(1)는, 실시형태예 1과 마찬가지로 액체 재료를 액적으로서 비상 토출하는 제트식 토출 장치이다. 이하에서는 실시형태예 1과의 상위점에 관한 구성을 중심으로 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 6은, 실시형태예 2에 관한 액체 재료 토출 장치(1)의 측면 단면도이다.
본 실시형태예에서는, 암(30)의 후방부에 형성된 관통공(도시하지 않음)에 후단부에 원반형 부재를 가지는 체결구(35)를 삽통하여, 베이스체(10)에 암(30)을 고정하고 있다. 체결구(35)는 암 구동 장치(20)를 적절하게 압압한 상태에서 암(30)을 고정시키는 길이로 구성되어 있다. 즉, 제1 액추에이터(21) 및 제2 액추에이터(22)는, 암(30)과 베이스체(10)에 의해 끼어서 장착되어 있다.
베이스체의 오목부(13)의 상면에는, 한 쌍의 지지부(27)가 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태예에서는, 한 쌍의 지지부(27)가 베이스체(10)와 일체적으로 형성되어 있다. 한 쌍의 지지부(27) 사이에는, 체결구(35)를 고정하기 위한 나사구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 로드형의 체결구(35)는, 선단부에 나사 홈이 형성되어 있고, 오목부(13)의 나사구멍에 나사결합되어 고정된다. 체결구(35)는 착탈 가능하게 오목부(13)의 나사구멍에 고정되어 있고, 암 구동 장치(20)가 수명에 달했을 때 용이하게 교환하는 것을 가능하게 하고 있다.
액체 공급 부재(60)는 측면으로부터 볼 때 대략 L자형 부재이고, 상단부에 공급구(62)를 가지는 조인트(65)가 설치되어 있다. 조인트(65)에는, 액체 재료가 저류된 저류 용기(시린지)가 직접 접속되거나, 액체 공급관(튜브형의 것을 포함함)을 통하여 저류 용기가 접속된다.
액체 공급 부재(60)의 내부에는 공급 유로(61), 유입 유로(63) 및 공기 제거 유로(64)가 형성되어 있다. 조인트(65)로부터 액체 재료가 처음으로 공급될 때는, 각 유로에 잔류하는 공기가 공기 제거 유로(64)의 단부에 형성된 개구로부터 배출된다. 잔류 공기가 배출된 후에는, 폐지 마개(66)에 의해 공기 제거 유로(64)를 막아서 사용된다. 액체 공급 부재(60)는, 동일 직선 상에 각 구성 요소(61∼65)가 배치되기 때문에, 토출 장치(1)의 폭(도 6의 지면 수직 방향의 폭)을 얇게 구성할 수 있다.
본 실시형태예의 액체 재료 토출 장치(1)의 동작은 실시형태예 1과 동일하다.
이상에 설명한 실시형태예 2에 관한 액체 재료 토출 장치(1)에 의해서도, 실시형태예 1과 동일한 작용 효과를 실현하는 것이 가능하다.
《실시형태예 3》
실시형태예 3의 액체 재료 토출 장치(1)는, 실시형태예 1과 마찬가지로 액체 재료를 액적으로서 비상 토출하는 제트식 토출 장치이다. 이하에서는 실시형태예 1과의 상위점에 관한 구성을 중심으로 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 7은, 실시형태예 3에 관한 액체 재료 토출 장치(1)의 측면 단면도이다.
실시형태예 3에 관한 액체 재료 토출 장치(1)는, 요동 기구부(125)가 액추에이터(21, 22)의 상단에 배치되어 있는 점에서 실시형태예 1과 상이하다. 즉, 요동 기구부(125)가 액추에이터(21, 22)와 암(30) 사이에 배치되어 있다.
요동 기구부(125)를 구성하는 접속부(126, 126) 및 지지부(127, 127)의 구성은 배치 장소를 제외하고, 실시형태예 1의 접속부(26) 및 지지부(27)와 동일하다. 실시형태예 1과 마찬가지로, 접속부(126)는 상면에 곡면으로 이루어지는 오목부를 가지는 부재이고, 대향하는 지지부(127)의 하면을 슬라이딩하면서 왕복 동작한다.
본 실시형태예에서는, 액추에이터(21, 22)의 상단에만 요동 기구부(125)를 설치하고 있지만, 이것에 더하여 액추에이터(21, 22)의 하단에 실시형태예 1의 요동 기구부(25)를 설치해도 된다. 즉, 액추에이터(21, 22)의 상단 및 하단에, 각각 요동 기구부를 설치하는 구성으로 해도 된다. 이와 같은 구성에 의하면, 2개의 요동 기구부에 의해 액추에이터(21, 22)의 전단 변형을 보다 고도로 흡수하는 것이 가능해진다.
본 실시형태예의 액체 재료 토출 장치(1)의 동작은 실시형태예 1과 동일하다.
이상에 설명한 실시형태예 3에 관한 액체 재료 토출 장치(1)에 의해서도, 실시형태예 1과 동일한 작용 효과를 실현하는 것이 가능하다.
《실시형태예 4》
실시형태예 4의 액체 재료 토출 장치(1)는, 실시형태예 2(도 6)와 마찬가지로 액체 재료를 액적으로서 비상 토출하는 제트식 토출 장치이다. 이하에서는 실시형태예 2와의 상위점에 관한 구성을 중심으로 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 8은, 실시형태예 4에 관한 액체 재료 토출 장치(1)의 측면 단면도이다.
실시형태예 4에 관한 액체 재료 토출 장치(1)는, 암 로드(33)를 가지는 점에서 실시형태예 2와 상이하다. 그 외의 구성에 대해서는 실시형태예 2와 동일하다.
이상에 설명한 실시형태예 4에 관한 액체 재료 토출 장치(1)에 의해서도, 실시형태예 2와 동일한 작용 효과를 실현할 수 있다.
《실시형태예 5》
실시형태예 5의 액체 재료 토출 장치(1)는, 실시형태예 1과 마찬가지로 액체 재료를 액적으로서 비상 토출하는 제트식 토출 장치이다. 이하에서는 실시형태예 1과의 상위점에 관한 구성을 중심으로 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.
도 9는, 실시형태예 5에 관한 요동 기구부(225)의 개략 사시도이다.
실시형태예 5에 관한 액체 재료 토출 장치(1)는, 요동 기구부(225)가 4개의 접속부(226) 및 4개의 지지부(227)에 의해 구성되어 있는 점에서 실시형태예 1과 상이하다. 그 외의 구성에 대해서는 실시형태예 1과 동일하다.
4개의 접속부(226)는, 모두 하면에 매끄러운 곡면으로 이루어지는 오목부(반구형의 오목부)를 가지는 부재이고, 2×2의 매트릭스형으로 배치되어 있다. 각 액추에이터(21, 22)는, 암(30)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 나란히 배치되는 2개의 접속부(226)에 걸치도록 배치된다. 이것과는 상이하게, 4개의 액추에이터를 4개의 접속부(226)에 각각 배치해도 되고, 3개의 액추에이터 중 하나를 2개의 접속부(226)에 걸치도록 배치하고, 2개를 2개의 접속부(226)에 각각 배치해도 된다.
지지 부재(227)의 상면은, 접속부(226)의 오목부와 같은 곡률을 가지는 매끈한 곡면(반구형의 돌기)에 의해 구성되어 있다.
요동 기구부(225)는, 접속부(226)가 암(30)의 길이 방향을 따라 슬라이딩하면서 이동하는 것에 의해, 암 구동 장치(20) 및 암(30)을 베이스체(10)에 대하여 경사지게 하는 것(도 9 중의 양 화살표의 방향으로 이동시키는 것)을 가능하게 하고 있다. 또한, 접속부(226)의 상면 면적이 넓기 때문에, 실시형태예 1보다 대형의 액추에이터를 탑재할 수 있다.
이상에 설명한 실시형태예 5에 관한 액체 재료 토출 장치(1)에 의해서도, 실시형태예 1과 동일한 작용 효과를 실현할 수 있다.
1 : 액체 재료 토출 장치
10 : 베이스체
11 : (베이스체의)상면
12 : (베이스체의)바닥면
13 : 오목부
14 : 플런저 삽통공
20 : 암 구동 장치
21 : 제1 액추에이터
22 : 제2 액추에이터
25 : 요동 기구부
26 : 접속부
27 : 지지부
30 : 암
31 : (암의)상면
32 : (암의)바닥면
33 : 암 로드(압압 부재)
34 : 압압부
35 : 체결구
41 : 가이드
42 : 밀봉 부재
50 : 플런저
51 : (플런저의)로드부
52 : (플런저의) 선단부
53 : (플런저의)후단부(맞닿음부)
54 : 탄성체
60 : 액체 공급 부재
61 : 공급 유로
62 : 공급구
63 : 유입 유로
64 : 공기 제거 유로
65 : 조인트
66 : 폐지 마개
70 : 노즐 유닛
71 : 노즐 부재
72 : 밸브 시트
73 : 캡
74 : 액실
75 : 토출구
100 : 도포 장치
101 : 가대
102 : 공작물
103 : 워크 테이블
104 : 도포 동작 제어부
111 : X축 구동 장치
112 : Y축 구동 장치
113 : Z축 구동 장치
121 : X 방향
122 : Y 방향
123 : Z 방향
125 : 요동 기구부
126 : 접속부
127 : 지지부
225 : 요동 기구부
226 : 접속부
227 : 지지부

Claims (15)

  1. 토출구와 연통하고, 액체 재료가 공급되는 액실(液室);
    상기 액실보다 소경(小徑)의 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 플런저;
    상기 플런저를 상방으로 가압하는 탄성체;
    실질적으로 수평 방향으로 연장되도록 배치된 암;
    상기 암을 동작시키는 구동원으로 되는 암 구동 장치; 및
    상기 암 구동 장치가 배치되는 베이스체
    를 포함하는 액체 재료 토출 장치로서,
    상기 암 구동 장치와 접속되고, 상기 암을 요동 가능하게 지지하는 요동 기구부를 포함하고,
    상기 암 구동 장치가, 상기 암의 길이 방향으로 설치된 복수 개의 액추에이터를 구비하고,
    상기 암이, 상기 플런저를 하방으로 압압(押壓)하는 압압부를 구비하고,
    상기 플런저가, 상기 압압부에 압압되는 맞닿음부를 구비하고,
    상기 암의 요동 운동에 의해 상기 플런저가 직선 왕복 이동하는,
    액체 재료 토출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 액추에이터가, 적층형 압전 소자에 의해 구성되고,
    상기 압압부에 가까운 쪽에 배치된 액추에이터가 신장 상태로 되고, 상기 압압부로부터 먼 쪽에 배치된 액추에이터가 비신장 상태 또는 수축 상태로 됨으로써 암이 상방 이동하고,
    상기 압압부에 가까운 쪽에 배치된 액추에이터가 비신장 상태 또는 수축 상태로 되고, 상기 압압부로부터 먼 쪽에 배치된 액추에이터가 신장 상태로 됨으로써 암이 하방 이동하는, 액체 재료 토출 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수 개의 액추에이터가 짝수 개의 액추에이터에 의해 구성되는, 액체 재료 토출 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 짝수 개의 액추에이터가 제1 압전 액추에이터 및 제2 압전 액추에이터에 의해 구성되는, 액체 재료 토출 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압압부 또는 상기 맞닿음부가, 상기 암의 요동 운동에 추종하여 상기 압압부와 상기 맞닿음부의 맞닿음 상태를 확보하는 곡면을 구비하는, 액체 재료 토출 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 암을 상기 베이스체에 착탈(着脫) 가능하게 고정하는 체결구를 구비하는, 액체 재료 토출 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 체결구가 상기 복수 개의 액추에이터 사이에 배치되고, 상기 체결구에 의해 상기 복수 개의 액추에이터가 상기 암 및 상기 베이스체에 끼어서 장착되는, 액체 재료 토출 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플런저를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드를 더 포함하고,
    상기 탄성체가, 상기 플런저를 상시 상방으로 가압하는 코일형의 압축 스프링으로 이루어지고,
    상기 플런저가, 상기 탄성체 및 상기 가이드에 착탈 가능하게 삽통(揷通)되는, 액체 재료 토출 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 요동 기구부가, 상기 암 구동 장치의 하단부와 접속되거나, 또는, 상기 암 구동 장치의 상단부와 접속되는, 액체 재료 토출 장치.
  10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 요동 기구부가, 상기 암 구동 장치의 하단부와 접속되는 제1 요동 기구부, 및 상기 암 구동 장치의 상단부와 접속되는 제2 요동 기구부를 구비하여 구성되는, 액체 재료 토출 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 요동 기구부가, 상기 암 구동 장치의 한쪽의 단부(端部)와 접속되는 접속부, 및 상기 접속부를 요동 가능하게 지지하는 지지부를 구비하여 구성되는, 액체 재료 토출 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지부가, 매끄러운 곡면으로 이루어지는 볼록형 또는 오목형의 지지면을 구비하고,
    상기 접속부가, 상기 지지부의 상기 지지면상을 슬라이딩하는 오목형 또는 볼록형의 슬라이딩면을 구비하는, 액체 재료 토출 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압압부가 상기 암에 착탈 가능하게 장착된 압압 부재에 의해 구성되는, 액체 재료 토출 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 액체 재료 토출 장치;
    피(被)도포물을 탑재하는 워크 테이블;
    상기 액체 재료 토출 장치와 상기 피도포물을 상대 이동시키는 상대 이동 장치; 및
    상기 액체 재료 토출 장치에 액체 재료를 공급하는 액체 재료 공급원을 포함하는 도포 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 액체 재료 토출 장치가 복수 대의 액체 재료 토출 장치로 이루어지는, 도포 장치.
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