JP2017035832A - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに成形型 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下型11を、周面部材9と底面部材10とによって構成する。周面部材9の外周に沿って環状の外周吸着溝16を設ける。外周吸着溝16の内側に複数の主凹部18を形成する。複数の主凹部18に主吸着溝20を有する組み込み用の主部材21をはめ込んで装着する。主吸着溝20の断面は、開口部が幅広でV字形になるように形成される。外周吸着溝16の内面に離型フィルム15が吸着された状態において、離型フィルム15を主吸着溝20に吸着する。このことによって、離型フィルム15に均一な張力を加える。複数の主吸着溝20の内面に離型フィルム15が吸着された状態において、キャビティ13の型面に沿って離型フィルム15を吸着する。したがって、離型フィルム15にしわやたるみなどが発生することを防止できる。
【選択図】図2
Description
・複数の主吸着溝は、複数の主貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
・複数の副吸着溝は、複数の副貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
・複数の主吸着溝は、キャビティに近い側の内側面とキャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
・複数の副吸着溝は、キャビティに近い側の内側面とキャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
・キャビティの外側の部分からなる外周部の頂面に設けられた環状の外周吸着溝と、外周吸着溝につながり1つの型を貫通する複数の外周貫通路とを準備する工程。
・外周部の頂面においてキャビティを取り囲むようにして外周吸着溝の内側に設けられた複数の主凹部と、複数の主凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の主部材とを準備する工程。
・複数の主部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の主吸着溝を準備する工程。
・複数の主吸着溝にそれぞれ連通し1つの型をそれぞれ貫通する複数の主貫通路を準備する工程。
・キャビティの型面に形成された開口と、開口につながり1つの型を貫通するキャビティ用貫通路とを準備する工程。
・1つの型の頂面に供給された機能性フィルムを加熱することによって機能性フィルムを軟らかくする工程。
・環状の外周吸着溝と複数の外周貫通路とを使用して、外周吸着溝の内面に機能性フィルムを吸着する工程。
・複数の主吸着溝と複数の主貫通路とを使用して、複数の主吸着溝の内面に機能性フィルムを吸着する工程。
・開口とキャビティ用貫通路とを使用して、キャビティの型面に機能性フィルムを吸着する工程。
・成形型を型締めする工程。
・外周部の頂面において複数の主凹部同士の間に設けられた複数の副凹部と、複数の副凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の副部材とを準備する工程。
・複数の副部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の副吸着溝を準備する工程。
・複数の副吸着溝にそれぞれ連通し1つの型をそれぞれ貫通する複数の副貫通路を準備する工程。
・複数の副吸着溝と複数の副貫通路とを使用して、複数の副吸着溝の内面に機能性フィルムを吸着する工程。
・複数の主吸着溝は、複数の主貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
・複数の副吸着溝は、複数の副貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
・複数の主吸着溝は、キャビティに近い側の内側面とキャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
・複数の副吸着溝は、キャビティに近い側の内側面とキャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
2 成形モジュール
3 下型基台
4 タイバー
5 上型基台
6 昇降盤
7 型締め機構
8 上型(第1の型、第2の型)
9 周面部材
10 底面部材
11 下型(第2の型、第1の型、1つの型)
12 成形型
13 キャビティ
14 弾性体
15 離型フィルム(機能性フィルム)
16 外周吸着溝
17 外周貫通路
18 主凹部
19 主貫通路
20 主吸着溝
21 主部材
22 主吸着路
23 貫通穴
24 キャビティ用貫通路
25 副凹部
26、29、31、32 コーナー溝(副吸着溝)
27 副部材
28、30、33 吸着孔(副貫通路)
34 基板装着部
35 半導体チップ
36 基板
37、37a、37b、38c 吸引用配管
38 真空ポンプ
39 樹脂材料
40 流動性樹脂
41 硬化樹脂
42 成形品
43 基板供給・収納モジュール
44A、44B、44C 成形モジュール
45 材料供給モジュール
46 封止前基板
47 封止前基板供給部
48 封止済基板
49 封止済基板収納部
50 基板載置部
51 基板搬送機構
52 X−Yテーブル
53 離型フィルム供給機構
54 樹脂材料収容機構
55 樹脂材料投入機構
56 材料搬送機構
A 開口
C1、M1、P1、S1、T1 所定位置
FS 機能面
Claims (22)
- 第1の型と前記第1の型に相対向する第2の型とを少なくとも有する成形型と、前記第1の型と前記第2の型とのうち少なくとも1つの型の頂面に設けられたキャビティと、樹脂材料を前記キャビティに供給する材料供給機構と、前記成形型を型開きし型締めする型締め機構とを備え、前記キャビティの型面に沿って機能性フィルムが吸着され、前記樹脂材料から生成され前記キャビティの内部に存在する流動性樹脂が前記成形型が型締めされた状態において硬化することによって形成された硬化樹脂を含む成形品を製造する際に使用される樹脂成形装置であって、
前記キャビティの外側の部分からなる外周部の頂面に設けられた環状の外周吸着溝と、
前記外周吸着溝につながり前記1つの型を貫通する複数の外周貫通路と、
前記外周部の頂面において、前記キャビティを取り囲むようにして前記外周吸着溝の内側に設けられた複数の主凹部と、
前記複数の主凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の主部材と、
前記複数の主部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の主吸着溝と、
前記複数の主吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の主貫通路と、
前記キャビティの型面に形成された開口と、
前記開口につながり前記1つの型を貫通するキャビティ用貫通路とを備え、
前記外周吸着溝と前記複数の外周貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記外周吸着溝の内面に吸着され、
前記複数の主吸着溝と前記複数の主貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記複数の主吸着溝の内面に吸着され、
前記開口と前記キャビティ用貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記キャビティの型面に沿って吸着されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1に記載された樹脂成形装置において、
前記外周部の頂面において前記複数の主凹部同士の間に設けられた複数の副凹部と、
前記複数の副凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の副部材と、
前記複数の副部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の副吸着溝と、
前記複数の副吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の副貫通路とを備え、
前記複数の副吸着溝と前記複数の副貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記複数の副吸着溝の内面に吸着されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項2に記載された樹脂成形装置において、
前記複数の副吸着溝は平面視して線分状の形状又は曲線状の形状を有することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
前記キャビティの平面形状は矩形であり、
前記複数の主吸着溝は、前記キャビティの第1の辺と前記第1の辺に隣り合う第2の辺とにそれぞれ平行に設けられることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
前記機能性フィルムにおいて前記流動性樹脂に接触する機能面が有する要素が前記硬化樹脂の表面に転写されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
次の発明特定事項のうち少なくとも一方を有することを特徴とする樹脂成形装置。
(6-1)前記複数の主吸着溝は、前記複数の主貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
(6-2)前記複数の副吸着溝は、前記複数の副貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
次の発明特定事項のうち少なくとも一方を有することを特徴とする樹脂成形装置。
(7-1)前記複数の主吸着溝は、前記キャビティに近い側の内側面と前記キャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
(7-2)前記複数の副吸着溝は、前記キャビティに近い側の内側面と前記キャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
少なくとも前記複数の主凹部において、穴を有する板状部材を前記複数の主部材における頂面の反対面と前記複数の主凹部との間にそれぞれ配置して前記主吸着溝と前記穴とを連通させることによって、前記複数の主部材の頂面の高さ方向における位置が調整されることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
前記機能性フィルムは短冊状若しくは円状の形状又は長尺状の形状を有することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1又は2に記載された樹脂成形装置において、
前記キャビティに少なくとも前記機能性フィルムを供給する材料供給モジュールと、
前記成形型と前記型締め機構とを少なくとも有する少なくとも1つの成形モジュールとを備え、
前記材料供給モジュールに対して前記1つの成形モジュールが着脱されることができ、
他の成形モジュールに対して前記1つの成形モジュールが着脱されることができることを特徴とする樹脂成形装置。 - 第1の型と前記第1の型に相対向する第2の型とを少なくとも有する成形型のうち少なくとも1つの型の頂面に設けられたキャビティに機能性フィルムを供給する工程と、前記1つの型の頂面に前記機能性フィルムを吸着する工程と、前記キャビティに樹脂材料を供給する工程と、前記樹脂材料から生成され前記キャビティの内部に存在する流動性樹脂を前記成形型が型締めされた状態において硬化させて硬化樹脂を形成する工程と、前記成形型を型開きする工程と、前記硬化樹脂を含む成形品を取り出す工程とを備えた樹脂成形方法であって、
前記機能性フィルムを吸着する工程は、次の工程を有することを特徴とする樹脂成形方法。
(11-1)前記キャビティの外側の部分からなる外周部の頂面に設けられた環状の外周吸着溝と、前記外周吸着溝につながり前記1つの型を貫通する複数の外周貫通路とを準備する工程。
(11-2)前記外周部の頂面において前記キャビティを取り囲むようにして前記外周吸着溝の内側に設けられた複数の主凹部と、前記複数の主凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の主部材とを準備する工程。
(11-3)前記複数の主部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の主吸着溝を準備する工程。
(11-4)前記複数の主吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の主貫通路を準備する工程。
(11-5)前記キャビティの型面に形成された開口と、前記開口につながり前記1つの型を貫通するキャビティ用貫通路とを準備する工程。
(11-6)前記1つの型の頂面に供給された前記機能性フィルムを加熱することによって前記機能性フィルムを軟らかくする工程。
(11-7)前記環状の外周吸着溝と前記複数の外周貫通路とを使用して、前記外周吸着溝の内面に前記機能性フィルムを吸着する工程。
(11-8)前記複数の主吸着溝と前記複数の主貫通路とを使用して、前記複数の主吸着溝の内面に前記機能性フィルムを吸着する工程。
(11-9)前記開口と前記キャビティ用貫通路とを使用して、前記キャビティの型面に前記機能性フィルムを吸着する工程。
(11-10) 前記成形型を型締めする工程。 - 請求項11に記載された樹脂成形方法において、
前記機能性フィルムを吸着する工程は、次の工程を更に有することを特徴とする樹脂成形方法。
(12-1)前記外周部の頂面において前記複数の主凹部同士の間に設けられた複数の副凹部と、前記複数の副凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の副部材とを準備する工程。
(12-2)前記複数の副部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の副吸着溝を準備する工程。
(12-3)前記複数の副吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の副貫通路を準備する工程。
(12-4)前記複数の副吸着溝と前記複数の副貫通路とを使用して、前記複数の副吸着溝の内面に前記機能性フィルムを吸着する工程。 - 請求項12に記載された樹脂成形方法において、
前記複数の副吸着溝は平面視して線分状の形状又は曲線状の形状を有することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
前記キャビティの平面形状は矩形であり、
前記複数の主吸着溝は、前記キャビティの第1の辺と前記第1の辺に隣り合う第2の辺とにそれぞれ平行に設けられることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
前記硬化樹脂を形成する工程において、前記機能性フィルムにおいて前記流動性樹脂に接触する機能面が有する要素を前記硬化樹脂の表面に転写させることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
次の発明特定事項のうち少なくとも一方を有することを特徴とする樹脂成形方法。
(16-1)前記複数の主吸着溝は、前記複数の主貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。
(16-2)前記複数の副吸着溝は、前記複数の副貫通路の側が狭まる断面形状を有すること。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
次の発明特定事項のうち少なくとも一方を有することを特徴とする樹脂成形方法。
(17-1)前記複数の主吸着溝は、前記キャビティに近い側の内側面と前記キャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
(17-2)前記複数の副吸着溝は、前記キャビティに近い側の内側面と前記キャビティから遠い側の内側面とが異なる傾きを有すること。
- 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
少なくとも前記複数の主凹部において、穴を有する板状部材を前記複数の主部材における頂面の反対面と前記複数の主凹部との間にそれぞれ配置して前記主吸着溝と前記穴とを連通させることによって、前記複数の主部材の頂面の高さ方向における位置を調整する工程を備えることを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
前記機能性フィルムは短冊状若しくは円状の形状又は長尺状の形状を有することを特徴とする樹脂成形方法。 - 請求項11又は12に記載された樹脂成形方法において、
前記キャビティに少なくとも前記機能性フィルムを供給する材料供給モジュールを準備する工程と、
前記成形型と前記型締め機構とを少なくとも有する少なくとも1つの成形モジュールを準備する工程とを備え、
前記材料供給モジュールに対して前記1つの成形モジュールを着脱することができ、
他の成形モジュールに対して前記1つの成形モジュールを着脱することができることを特徴とする樹脂成形方法。 - 外周吸着溝と主吸着溝とを使用して機能性フィルムを吸着 第1の型と、前記第1の型に相対向する第2の型とを少なくとも備え、前記第1の型と前記第2の型とのうち少なくとも1つの型の頂面に設けられ樹脂材料が供給されるキャビティを更に備え、前記キャビティの型面に沿って機能性フィルムが吸着され、前記樹脂材料から生成され前記キャビティの内部に存在する流動性樹脂が前記成形型が型締めされた状態において硬化することによって形成された硬化樹脂を含む成形品を製造する際に使用される成形型であって、
前記キャビティの外側の部分からなる外周部の頂面に設けられた環状の外周吸着溝と、
前記外周吸着溝につながり前記1つの型を貫通する複数の外周貫通路と、
前記外周部の頂面において、前記キャビティを取り囲むようにして前記外周吸着溝の内側に設けられた複数の主凹部と、
前記複数の主凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の主部材と、
前記複数の主部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の主吸着溝と、
前記複数の主吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の主貫通路と、
前記キャビティの型面に形成された開口と、
前記開口につながり前記1つの型を貫通するキャビティ用貫通路とを備え、
前記外周吸着溝と前記複数の外周貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記外周吸着溝の内面に吸着され、
前記複数の主吸着溝と前記複数の主貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記複数の主吸着溝の内面に吸着され、
前記開口と前記キャビティ用貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記キャビティの型面に沿って吸着されることを特徴とする成形型。 - 請求項21に記載された成形型において、
前記外周部の頂面において前記複数の主凹部同士の間に設けられた複数の副凹部と、
前記複数の副凹部のそれぞれに対して着脱できるようにしてはめ込まれた複数の副部材と、
前記複数の副部材の頂面においてそれぞれ設けられた複数の副吸着溝と、
前記複数の副吸着溝にそれぞれ連通し前記1つの型をそれぞれ貫通する複数の副貫通路とを備え、
前記複数の副吸着溝と前記複数の副貫通路とを介して、前記機能性フィルムが前記複数の副吸着溝の内面に吸着されることを特徴とする成形型。
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