CN112234122B - 一种硅基太阳能电池的制造设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅基太阳能电池的制造设备，通过利用柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以使柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，可保证电池芯与柔性衬底之间的连接可靠性，凹凸不平的结构可以便于粘结胶的粘结，保证粘结效果，防止开裂问题；本发明对柔性衬底采用气动方式进行处理，先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构，可保证处理性能，防止对柔性衬底产生损坏，保证柔性衬底性能。
Description
技术领域
本发明具体是一种硅基太阳能电池的制造设备，涉及太阳能电池制造相关领域。
背景技术
目前，对于硅基太阳能电池的制造来说，在对太阳能电池芯进行封装时，一般是将太阳能电池芯置于柔性衬底上，并利用封装膜将太阳能电池芯进行封装。这种封装方式一般是利用粘结剂或者粘结胶将封装膜与太阳能电池芯、柔性衬底与太阳能电池芯进行粘结固定，这种固定方式虽然简单，但是，随着太阳能电池的使用，这种粘结处往往容易出现开裂等问题，尤其是柔性衬底与电池芯之间，由于柔性衬底一般比封装膜后，这就导致柔性衬底与电池芯之间的粘结容易出现开裂，而且，柔性衬底与电池芯之间在粘结时容易出现气泡而导致无法全面可靠连接。
发明内容
因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种硅基太阳能电池的制造设备。
本发明是这样实现的，构造一种硅基太阳能电池的制造设备，其包括柔性衬底供给机械手、柔性衬底定位与处理机构、转移机械手、硅基太阳能电池芯上料机械手、封装膜输送机构、喷胶机构和按压机头，其中，所述柔性衬底供给机械手设置在所述柔性衬底定位与处理机构的一侧以便为所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，所述柔性衬底定位与处理机构另一侧设置有制造组装机座，所述制造组装机座上远离所述柔性衬底定位与处理机构的一侧设置有所述封装膜输送机构，所述制造组装机座的另一侧设置有组装机台，所述组装机台的上方设置有所述按压机头，所述组装机台的一侧还设置有所述转移机械手，所述转移机械手用于将所述柔性衬底定位与处理机构处理后的柔性衬底转移至所述组装机台上，所述组装机台的一侧还设置有所述硅基太阳能电池芯上料机械手，其特征在于，所述柔性衬底定位与处理机构能够对硅基太阳能电池的硅基太阳能电池芯底部的柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，且所述柔性衬底定位与处理机构以气动的方式对柔性衬底进行处理，所述硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯自动上料并定位于所述组装机台上的柔性衬底上，喷胶机构能够向所述组装机台上的处理后的柔性衬底的处理面上喷涂粘结胶，所述封装膜输送机构将封装膜输送至所述组装机台上的太阳能电池芯上，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理。
进一步，作为优选，所述柔性衬底定位与处理机构包括控制器、机座、分度旋转驱动机构、定位旋转台、处理平台和气动处理机构，所述机座的底部设置有所述控制器，所述机座上通过所述分度旋转驱动机构驱动旋转的设置有所述定位旋转台，所述定位旋转台可绕竖直轴线转动的设置，所述定位旋转台上圆周阵列设置有至少两个所述处理平台，所述处理平台内设置有所述气动处理机构，所述气动处理机构与所述控制器控制连接，通过所述动处理机构能够对柔性衬底的表面进行处理。
进一步，作为优选，所述分度旋转驱动机构为分度驱动电机、传动齿带和驱动齿盘，所述定位旋转台的底部的旋转轴上固定设置有所述驱动齿盘，所述分度驱动电机的输出端设置有电机齿盘，所述电机齿盘与所述驱动齿盘之间采用所述传动齿带传动连接，以便驱动所述旋转轴转动，所述旋转轴的顶部固定设置有连接座，所述连接座与所述定位旋转台的底部中心固定连接。
进一步，作为优选，所述处理平台上密集的设置有定位吸附与处理孔组，所述定位吸附与处理孔组与负压吸附与处理机组连通，以便通过所述负压吸附与处理机组和定位吸附与处理孔组来对柔性衬底的表面进行处理。
进一步，作为优选，所述定位吸附与处理孔组至少包括吸附固定孔和处理孔，其中，所述处理平台包括密封连接在一起的上台体和下台体，所述上台体和下台体之间构设有的相互独立且不连通的吸附腔体和处理腔体，所述上台体上阵列设置有多个处理孔，所述上台体上还阵列设置有多个吸附固定孔，各个所述吸附固定孔与所述吸附腔体连通，各个所述处理孔与所述处理腔体连通，所述旋转轴内设置有气道，所述吸附腔体和处理腔体通过各自的气道与所述负压吸附与处理机组连通，所述负压吸附与处理机组构设为使得所述处理腔体内的压力大于所述吸附腔体内的压力。
进一步，作为优选，所述处理孔的内径小于所述吸附固定孔的内径的三分之一，所述负压吸附与处理机组至少包括吸附固定负压泵和处理负压泵，所述吸附固定负压泵与所述吸附腔体连通，所述处理负压泵与所述处理腔体连通。
进一步，作为优选，所述吸附固定孔的顶部连通设有吸附槽，所述吸附槽内设置有多孔吸附定位垫，所述处理孔的顶部连通设置有处理槽，所述处理槽内设置有多孔硬质处理垫，所述多孔硬质处理垫的上表面设置有凹凸粗糙结构。
进一步，作为优选，所述封装膜输送机构包括封膜卷盘、张紧输送轮轴组、离型纸收卷盘和输送控制压紧机构，其中，所述制造组装机座的底部设置有底板，所述制造组装机座上固定设置有上下布置的所述离型纸收卷盘和封膜卷盘，所述封膜卷盘上的封装膜经过绕设所述张紧输送轮轴组后的离型纸收卷连接至所述离型纸收卷盘，所述底板上还设置有所述输送控制压紧机构，所述封装膜绕设于所述输送控制压紧机构，且所述输送控制压紧机构能够对封装膜进行压紧与松开控制，所述组装机台处的封装膜能够从离型纸上分离下以便将封装膜铺设封装于太阳能电池芯上。
进一步，作为优选，所述组装机台上设置有吸附定位孔，所述吸附定位孔通过气管与定位负压气泵连通，所述定位负压气泵固定在所述制造组装机座的一侧；所述输送控制压紧机构包括压紧气缸、压紧滑座和压紧轮轴，其中，所述压紧气缸的输出端连接在所述压紧滑座上，所述压紧滑座与所述底板上的滑轨滑动连接，所述压紧滑座的端部设置有压紧轮轴，所述压紧轮轴的端部与所述张紧输送轮轴组的其中一个张紧输送轮轴相对设置，以便实现对封装膜的压紧与松开设置。
此外，本发明还提供了一种硅基太阳能电池的制造设备的制造方法，其特征在于：其包括以下步骤：
(1)利用柔性衬底供给机械手向所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，使得柔性衬底定位在处理平台上；
(2)利用所述柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，具体处理方式为：先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构；
(3)利用分度旋转驱动机构驱动定位旋转台旋转，使得处理后的柔性衬底旋转至制造组装机座的一侧，然后利用转移机械手将处理后的衬底转移至组装机台，并使得处理后的衬底的处理面朝上；
(4)组装机台利用负压吸附作用将处理后的衬底吸附固定，在柔性衬底的表面喷涂一层粘结胶，然后利用硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯上料并定位至柔性衬底上；
(5)封装膜输送机构将封装膜覆盖封装于太阳能电池芯上；
(6)按压机头启动，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理，然后将封装膜裁切下即可。
本发明具有如下优点：本发明提供的一种硅基太阳能电池的制造设备，与同类型设备相比，具有如下优点：
(1)本发明所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其通过利用所述柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，可以有效的保证电池芯与柔性衬底之间的连接可靠性，防止粘结处产生气泡，同时凹凸不平的结构可以便于粘结胶的粘结，保证粘结效果，防止开裂问题；
(2)本发明对柔性衬底采用气动的方式进行处理，先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构，可以保证处理的性能，防止对柔性衬底产生损坏，保证柔性衬底的性能，本发明可以实现自动的对太阳能电池芯的组装与制造，提高制造效率。
附图说明
图1是本发明的整体主视结构示意图；
图2是本发明封装膜输送机构的主视结构示意图；
图3是本发明处理平台的结构示意图；
图4是本发明柔性衬底定位与处理机构结构示意图；
图5是本发明封装膜输送机构的三维俯视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图1-5对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过改进在此提供一种硅基太阳能电池的制造设备，其包括柔性衬底供给机械手、柔性衬底定位与处理机构、转移机械手、硅基太阳能电池芯上料机械手、封装膜输送机构、喷胶机构和按压机头，其中，所述柔性衬底供给机械手设置在所述柔性衬底定位与处理机构的一侧以便为所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，所述柔性衬底定位与处理机构另一侧设置有制造组装机座3，所述制造组装机座3上远离所述柔性衬底定位与处理机构的一侧设置有所述封装膜输送机构，所述制造组装机座3的另一侧设置有组装机台7，所述组装机台7的上方设置有所述按压机头，所述组装机台7的一侧还设置有所述转移机械手，所述转移机械手用于将所述柔性衬底定位与处理机构处理后的柔性衬底转移至所述组装机台7上，所述组装机台的一侧还设置有所述硅基太阳能电池芯上料机械手，其特征在于，所述柔性衬底定位与处理机构能够对硅基太阳能电池的硅基太阳能电池芯底部的柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，且所述柔性衬底定位与处理机构以气动的方式对柔性衬底进行处理，所述硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯自动上料并定位于所述组装机台上的柔性衬底上，喷胶机构能够向所述组装机台上的处理后的柔性衬底的处理面上喷涂粘结胶，所述封装膜输送机构将封装膜输送至所述组装机台上的太阳能电池芯上，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理。
在本实施例中，所述柔性衬底定位与处理机构包括控制器10、机座9、分度旋转驱动机构11、定位旋转台8、处理平台12和气动处理机构，所述机座的底部设置有所述控制器，所述机座上通过所述分度旋转驱动机构11驱动旋转的设置有所述定位旋转台8，所述定位旋转台可绕竖直轴线转动的设置，所述定位旋转台上圆周阵列设置有至少两个所述处理平台，所述处理平台内设置有所述气动处理机构，所述气动处理机构与所述控制器控制连接，通过所述动处理机构能够对柔性衬底的表面进行处理。
所述分度旋转驱动机构11为分度驱动电机、传动齿带18和驱动齿盘19，所述定位旋转台的底部的旋转轴20上固定设置有所述驱动齿盘，所述分度驱动电机的输出端设置有电机齿盘，所述电机齿盘与所述驱动齿盘之间采用所述传动齿带传动连接，以便驱动所述旋转轴转动，所述旋转轴的顶部固定设置有连接座21，所述连接座与所述定位旋转台的底部中心固定连接。
所述处理平台12上密集的设置有定位吸附与处理孔组22，所述定位吸附与处理孔组22与负压吸附与处理机组连通，以便通过所述负压吸附与处理机组和定位吸附与处理孔组22来对柔性衬底的表面进行处理。
所述定位吸附与处理孔组22至少包括吸附固定孔26和处理孔25，其中，所述处理平台包括密封连接在一起的上台体24和下台体29，所述上台体和下台体之间构设有的相互独立且不连通的吸附腔体和处理腔体，所述上台体上阵列设置有多个处理孔，所述上台体上还阵列设置有多个吸附固定孔，各个所述吸附固定孔与所述吸附腔体连通，各个所述处理孔与所述处理腔体连通，所述旋转轴内设置有气道，所述吸附腔体和处理腔体通过各自的气道与所述负压吸附与处理机组连通，所述负压吸附与处理机组构设为使得所述处理腔体内的压力大于所述吸附腔体内的压力。
所述处理孔25的内径小于所述吸附固定孔的内径的三分之一，所述负压吸附与处理机组至少包括吸附固定负压泵和处理负压泵，所述吸附固定负压泵与所述吸附腔体连通，所述处理负压泵与所述处理腔体连通。
所述吸附固定孔26的顶部连通设有吸附槽，所述吸附槽内设置有多孔吸附定位垫27，所述处理孔的顶部连通设置有处理槽，所述处理槽内设置有多孔硬质处理垫30，所述多孔硬质处理垫的上表面设置有凹凸粗糙结构。
所述封装膜输送机构包括封膜卷盘1、张紧输送轮轴组4、离型纸收卷盘2和输送控制压紧机构5，其中，所述制造组装机座3的底部设置有底板13，所述制造组装机座上固定设置有上下布置的所述离型纸收卷盘2和封膜卷盘1，所述封膜卷盘1上的封装膜6经过绕设所述张紧输送轮轴组4后的离型纸收卷连接至所述离型纸收卷盘2，所述底板上还设置有所述输送控制压紧机构5，所述封装膜绕设于所述输送控制压紧机构5，且所述输送控制压紧机构5能够对封装膜进行压紧与松开控制，所述组装机台7处的封装膜能够从离型纸上分离下以便将封装膜铺设封装于太阳能电池芯上。
所述组装机台上设置有吸附定位孔，所述吸附定位孔通过气管与定位负压气泵14连通，所述定位负压气泵14固定在所述制造组装机座3的一侧；所述输送控制压紧机构5包括压紧气缸17、压紧滑座16和压紧轮轴15，其中，所述压紧气缸的输出端连接在所述压紧滑座上，所述压紧滑座与所述底板13上的滑轨滑动连接，所述压紧滑座的端部设置有压紧轮轴，所述压紧轮轴的端部与所述张紧输送轮轴组4的其中一个张紧输送轮轴相对设置，以便实现对封装膜的压紧与松开设置。
此外，本发明还提供了一种硅基太阳能电池的制造设备的制造方法，其特征在于：其包括以下步骤：
(1)利用柔性衬底供给机械手向所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，使得柔性衬底定位在处理平台12上；
(2)利用所述柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，具体处理方式为：先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔26将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫30的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构；
(3)利用分度旋转驱动机构11驱动定位旋转台8旋转，使得处理后的柔性衬底旋转至制造组装机座3的一侧，然后利用转移机械手将处理后的衬底转移至组装机台7，并使得处理后的衬底的处理面朝上；
(4)组装机台利用负压吸附作用将处理后的衬底吸附固定，在柔性衬底的表面喷涂一层粘结胶，然后利用硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯上料并定位至柔性衬底上；
(5)封装膜输送机构将封装膜覆盖封装于太阳能电池芯上；
(6)按压机头气动，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理，然后将封装膜裁切下即可。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种硅基太阳能电池的制造设备，其包括柔性衬底供给机械手、柔性衬底定位与处理机构、转移机械手、硅基太阳能电池芯上料机械手、封装膜输送机构、喷胶机构和按压机头，其中，所述柔性衬底供给机械手设置在所述柔性衬底定位与处理机构的一侧以便为所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，所述柔性衬底定位与处理机构另一侧设置有制造组装机座(3)，所述制造组装机座(3)上远离所述柔性衬底定位与处理机构的一侧设置有所述封装膜输送机构，所述制造组装机座(3)的另一侧设置有组装机台(7)，所述组装机台(7)的上方设置有所述按压机头，所述组装机台(7)的一侧还设置有所述转移机械手，所述转移机械手用于将所述柔性衬底定位与处理机构处理后的柔性衬底转移至所述组装机台(7)上，所述组装机台的一侧还设置有所述硅基太阳能电池芯上料机械手，其特征在于，所述柔性衬底定位与处理机构能够对硅基太阳能电池的硅基太阳能电池芯底部的柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，且所述柔性衬底定位与处理机构以气动的方式对柔性衬底进行处理，所述硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯自动上料并定位于所述组装机台上的柔性衬底上，喷胶机构能够向所述组装机台上的处理后的柔性衬底的处理面上喷涂粘结胶，所述封装膜输送机构将封装膜输送至所述组装机台上的太阳能电池芯上，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理。
2.根据权利要求1所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述柔性衬底定位与处理机构包括控制器(10)、机座(9)、分度旋转驱动机构(11)、定位旋转台(8)、处理平台(12)和气动处理机构，所述机座的底部设置有所述控制器，所述机座上通过所述分度旋转驱动机构(11)驱动旋转的设置有所述定位旋转台(8)，所述定位旋转台可绕竖直轴线转动的设置，所述定位旋转台上圆周阵列设置有至少两个所述处理平台，所述处理平台内设置有所述气动处理机构，所述气动处理机构与所述控制器控制连接，通过所述动处理机构能够对柔性衬底的表面进行处理。
3.根据权利要求2所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述分度旋转驱动机构(11)为分度驱动电机、传动齿带(18)和驱动齿盘(19)，所述定位旋转台的底部的旋转轴(20)上固定设置有所述驱动齿盘，所述分度驱动电机的输出端设置有电机齿盘，所述电机齿盘与所述驱动齿盘之间采用所述传动齿带传动连接，以便驱动所述旋转轴转动，所述旋转轴的顶部固定设置有连接座(21)，所述连接座与所述定位旋转台的底部中心固定连接。
4.根据权利要求3所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述处理平台(12)上密集的设置有定位吸附与处理孔组(22)，所述定位吸附与处理孔组(22)与负压吸附与处理机组连通，以便通过所述负压吸附与处理机组和定位吸附与处理孔组(22)来对柔性衬底的表面进行处理。
5.根据权利要求4所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述定位吸附与处理孔组(22)至少包括吸附固定孔(26)和处理孔(25)，其中，所述处理平台包括密封连接在一起的上台体(24)和下台体(29)，所述上台体和下台体之间构设有的相互独立且不连通的吸附腔体和处理腔体，所述上台体上阵列设置有多个处理孔，所述上台体上还阵列设置有多个吸附固定孔，各个所述吸附固定孔与所述吸附腔体连通，各个所述处理孔与所述处理腔体连通，所述旋转轴内设置有气道，所述吸附腔体和处理腔体通过各自的气道与所述负压吸附与处理机组连通，所述负压吸附与处理机组构设为使得所述处理腔体内的压力大于所述吸附腔体内的压力。
6.根据权利要求5所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述处理孔(25)的内径小于所述吸附固定孔的内径的三分之一，所述负压吸附与处理机组至少包括吸附固定负压泵和处理负压泵，所述吸附固定负压泵与所述吸附腔体连通，所述处理负压泵与所述处理腔体连通。
7.根据权利要求6所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述吸附固定孔(26)的顶部连通设有吸附槽，所述吸附槽内设置有多孔吸附定位垫(27)，所述处理孔的顶部连通设置有处理槽，所述处理槽内设置有多孔硬质处理垫(30)，所述多孔硬质处理垫的上表面设置有凹凸粗糙结构。
8.根据权利要求7所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述封装膜输送机构包括封膜卷盘(1)、张紧输送轮轴组(4)、离型纸收卷盘(2)和输送控制压紧机构(5)，其中，所述制造组装机座(3)的底部设置有底板(13)，所述制造组装机座上固定设置有上下布置的所述离型纸收卷盘(2)和封膜卷盘(1)，所述封膜卷盘(1)上的封装膜(6)经过绕设所述张紧输送轮轴组(4)后的离型纸收卷连接至所述离型纸收卷盘(2)，所述底板上还设置有所述输送控制压紧机构(5)，所述封装膜绕设于所述输送控制压紧机构(5)，且所述输送控制压紧机构(5)能够对封装膜进行压紧与松开控制，所述组装机台(7)处的封装膜能够从离型纸上分离下以便将封装膜铺设封装于太阳能电池芯上。
9.根据权利要求8所述一种硅基太阳能电池的制造设备，其特征在于：所述组装机台上设置有吸附定位孔，所述吸附定位孔通过气管与定位负压气泵(14)连通，所述定位负压气泵(14)固定在所述制造组装机座(3)的一侧；所述输送控制压紧机构(5)包括压紧气缸(17)、压紧滑座(16)和压紧轮轴(15)，其中，所述压紧气缸的输出端连接在所述压紧滑座上，所述压紧滑座与所述底板(13)上的滑轨滑动连接，所述压紧滑座的端部设置有压紧轮轴，所述压紧轮轴的端部与所述张紧输送轮轴组(4)的其中一个张紧输送轮轴相对设置，以便实现对封装膜的压紧与松开设置。
10.根据权利要求1-9任意一项所述一种硅基太阳能电池的制造设备的制造方法，其特征在于：其包括以下步骤：
(1)利用柔性衬底供给机械手向所述柔性衬底定位与处理机构供应柔性衬底，使得柔性衬底定位在处理平台(12)上；
(2)利用所述柔性衬底定位与处理机构对柔性衬底进行处理以便使得柔性衬底的处理面上产生凹凸不平的凹凸结构，具体处理方式为：先利用吸附固定负压泵使得处理平台上的吸附固定孔(26)将柔性衬底进行负压吸附固定，然后，启动处理负压泵，利用处理孔以及吸附固定孔更大的负压吸附力对柔性衬底进行吸附，并吸附过程中，处理槽内的多孔硬质处理垫(30)的凹凸粗糙结构会使得柔性衬底的表面产生相应的凹凸不平的凹凸结构；
(3)利用分度旋转驱动机构(11)驱动定位旋转台(8)旋转，使得处理后的柔性衬底旋转至制造组装机座(3)的一侧，然后利用转移机械手将处理后的衬底转移至组装机台(7)，并使得处理后的衬底的处理面朝上；
(4)组装机台利用负压吸附作用将处理后的衬底吸附固定，在柔性衬底的表面喷涂一层粘结胶，然后利用硅基太阳能电池芯上料机械手将太阳能电池芯上料并定位至柔性衬底上；
(5)封装膜输送机构将封装膜覆盖封装于太阳能电池芯上；
(6)按压机头启动，所述按压机头用于从下往下对封装膜、太阳能电池芯和柔性衬底进行按压处理，然后将封装膜裁切下即可。
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