CN213583735U - 一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机械技术领域，尤其为一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，包括碳纤维手指主体、第一真空吸盘、第二真空吸盘、真空吸附/释放总管、真空压力传感器和旋转联轴器以及旋转轴，所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿前后两端安装有第一真空吸盘，所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿中心处安装有第二真空吸盘，所述碳纤维手指主体的内部设有安装腔，整体装置结构简单，具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，具有实时监测真空压力便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时具有旋转连接结构，便于外部驱动水平旋转调节使用且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体为一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指。
背景技术
半导体晶元在搬运中需要分层放置，层数密集，距离小，目前真空吸盘不能满足需求，需要做出一种质量轻，强度大，薄，制震性好的吸盘，陶瓷材质存在着脆性大，耐冲击能力低、易碎、后加工的能力低，不具有实时监测真空压力，不便于控制调节真空压力使用，无法避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，不具有旋转连接结构，不便于外部驱动水平旋转调节使用，碳因此需要一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指对上述问题做出改善。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，包括碳纤维手指主体、第一真空吸盘、第二真空吸盘、真空吸附/释放总管、真空压力传感器和旋转联轴器以及旋转轴，所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿前后两端安装有第一真空吸盘，所述碳纤维手指主体的底部左侧外沿中心处安装有第二真空吸盘，所述碳纤维手指主体的内部设有安装腔，所述安装腔的内部设置有真空吸附/释放分支管，所述真空吸附/释放分支管的底部连接第一真空吸盘与第二真空吸盘的顶端，所述碳纤维手指主体的底部右侧四角开设有安装孔，所述安装孔的顶部通过安装螺栓固定安装有安装板，所述安装板的顶部安装有连接柱，所述连接柱的右侧嵌入安装有真空吸附/释放总管，所述真空吸附/释放总管的一端延伸至安装腔的内部连接于真空吸附/释放分支管的一端，所述真空吸附/释放总管上贴近真空吸附/释放分支管的一侧套设安装有真空压力传感器，所述连接柱的顶部安装有旋转联轴器，所述旋转联轴器的顶部设置有旋转轴。
优选的，所述碳纤维手指主体采用碳纤维复合板材质，且所述碳纤维手指主体呈Y型平板结构。
优选的，所述安装孔与安装螺栓均设有四组，且所述安装孔与安装螺栓之间采用螺纹连接结构。
优选的，所述真空吸附/释放总管远离真空吸附/释放分支管的一端连接外部真空机构。
优选的，所述真空压力传感器与外部控制机构电性连接。
优选的，所述旋转轴连接外部旋转机构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过设置的碳纤维手指主体采用碳纤维复合板材质具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，同时碳纤维手指主体呈Y型平板结构，并配合底部组合安装的第一真空吸盘与第二真空吸盘顶端通过真空吸附/释放分支管连接真空吸附/释放总管，同时通过真空吸附/释放总管远离真空吸附/释放分支管的一端连接外部真空机构进行控制实现真空吸附半导体晶元或释放真空放下半导体晶元使用，并在真空吸附/释放总管贴近真空吸附/释放分支管的一侧安装有真空压力传感器，真空压力传感器与外部控制机构电性连接，便于实时监测真空压力使用，便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时连接柱的旋转联轴器配合旋转轴连接外部旋转机构，便于实现碳纤维手指主体的水平旋转调节使用，结构简单且具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，具有实时监测真空压力便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时具有旋转连接结构，便于外部驱动水平旋转调节使用。
附图说明
图1是本实用新型整体主视图；
图2是本实用新型整体俯视图；
图3是本实用新型碳纤维手指主体俯视内部结构示意图。
图中：1、碳纤维手指主体；101、安装腔；102、安装孔；2、第一真空吸盘；3、第二真空吸盘；4、安装螺栓；5、安装板；501、连接柱；6、真空吸附/释放总管；7、真空压力传感器；8、真空吸附/释放分支管；9、旋转联轴器；10、旋转轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，包括碳纤维手指主体1、第一真空吸盘2、第二真空吸盘3、真空吸附/释放总管6、真空压力传感器7和旋转联轴器9以及旋转轴10，碳纤维手指主体1采用碳纤维复合板材质，且碳纤维手指主体1呈Y型平板结构，碳纤维手指主体1的底部左侧外沿前后两端安装有第一真空吸盘2，碳纤维手指主体1的底部左侧外沿中心处安装有第二真空吸盘3，碳纤维手指主体1的内部设有安装腔101，安装腔101的内部设置有真空吸附/释放分支管8，真空吸附/释放分支管8的底部连接第一真空吸盘2与第二真空吸盘3的顶端，碳纤维手指主体1的底部右侧四角开设有安装孔102，安装孔102的顶部通过安装螺栓4固定安装有安装板5，安装孔102与安装螺栓4均设有四组，且安装孔102与安装螺栓4之间采用螺纹连接结构，安装板5的顶部安装有连接柱501，连接柱501的右侧嵌入安装有真空吸附/释放总管6，真空吸附/释放总管6的一端延伸至安装腔101的内部连接于真空吸附/释放分支管8的一端，真空吸附/释放总管6远离真空吸附/释放分支管8的一端连接外部真空机构，真空吸附/释放总管6上贴近真空吸附/释放分支管8的一侧套设安装有真空压力传感器7，真空压力传感器7与外部控制机构电性连接，连接柱501的顶部安装有旋转联轴器9，旋转联轴器9的顶部设置有旋转轴10，旋转轴10连接外部旋转机构，通过设置的碳纤维手指主体1采用碳纤维复合板材质具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，同时碳纤维手指主体1呈Y型平板结构，并配合底部组合安装的第一真空吸盘2与第二真空吸盘3顶端通过真空吸附/释放分支管8连接真空吸附/释放总管6，同时通过真空吸附/释放总管6远离真空吸附/释放分支管8的一端连接外部真空机构进行控制实现真空吸附半导体晶元或释放真空放下半导体晶元使用，并在真空吸附/释放总管8贴近真空吸附/释放分支管6的一侧安装有真空压力传感器7，真空压力传感器7与外部控制机构电性连接，便于实时监测真空压力使用，便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时连接柱501的旋转联轴器9配合旋转轴10连接外部旋转机构，便于实现碳纤维手指主体的水平旋转调节使用，整体装置结构简单，具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，具有实时监测真空压力便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时具有旋转连接结构，便于外部驱动水平旋转调节使用且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
本实用新型工作流程：使用时，通过碳纤维手指主体1采用碳纤维复合板材质具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，同时碳纤维手指主体1呈Y型平板结构，并配合底部组合安装的第一真空吸盘2与第二真空吸盘3顶端通过真空吸附/释放分支管8连接真空吸附/释放总管6，同时通过真空吸附/释放总管6远离真空吸附/释放分支管8的一端连接外部真空机构进行控制实现真空吸附半导体晶元或释放真空放下半导体晶元使用，并在真空吸附/释放总管8贴近真空吸附/释放分支管6的一侧安装有真空压力传感器7，真空压力传感器7与外部控制机构电性连接，便于实时监测真空压力使用，便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时连接柱501的旋转联轴器9配合旋转轴10连接外部旋转机构，便于实现碳纤维手指主体的水平旋转调节使用，整体装置结构简单，具有质量轻和提高产品的制振性、强度与刚性效果，具有实时监测真空压力便于控制调节真空压力使用避免压力过大造成半导体晶元吸附破碎使用，同时具有旋转连接结构，便于外部驱动水平旋转调节使用且稳定性和实用性较高，具有一定的推广价值。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，包括碳纤维手指主体(1)、第一真空吸盘(2)、第二真空吸盘(3)、真空吸附/释放总管(6)、真空压力传感器(7)和旋转联轴器(9)以及旋转轴(10)，其特征在于：所述碳纤维手指主体(1)的底部左侧外沿前后两端安装有第一真空吸盘(2)，所述碳纤维手指主体(1)的底部左侧外沿中心处安装有第二真空吸盘(3)，所述碳纤维手指主体(1)的内部设有安装腔(101)，所述安装腔(101)的内部设置有真空吸附/释放分支管(8)，所述真空吸附/释放分支管(8)的底部连接第一真空吸盘(2)与第二真空吸盘(3)的顶端，所述碳纤维手指主体(1)的底部右侧四角开设有安装孔(102)，所述安装孔(102)的顶部通过安装螺栓(4)固定安装有安装板(5)，所述安装板(5)的顶部安装有连接柱(501)，所述连接柱(501)的右侧嵌入安装有真空吸附/释放总管(6)，所述真空吸附/释放总管(6)的一端延伸至安装腔(101)的内部连接于真空吸附/释放分支管(8)的一端，所述真空吸附/释放总管(6)上贴近真空吸附/释放分支管(8)的一侧套设安装有真空压力传感器(7)，所述连接柱(501)的顶部安装有旋转联轴器(9)，所述旋转联轴器(9)的顶部设置有旋转轴(10)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，其特征在于：所述碳纤维手指主体(1)采用碳纤维复合板材质，且所述碳纤维手指主体(1)呈Y型平板结构。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，其特征在于：所述安装孔(102)与安装螺栓(4)均设有四组，且所述安装孔(102)与安装螺栓(4)之间采用螺纹连接结构。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，其特征在于：所述真空吸附/释放总管(6)远离真空吸附/释放分支管(8)的一端连接外部真空机构。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，其特征在于：所述真空压力传感器(7)与外部控制机构电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指，其特征在于：所述旋转轴(10)连接外部旋转机构。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023013349.9U CN213583735U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202023013349.9U CN213583735U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213583735U true CN213583735U (zh) | 2021-06-29 |
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ID=76549416
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| CN202023013349.9U Active CN213583735U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种半导体晶元真空吸附搬运碳纤维手指 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN213583735U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113707593A (zh) * | 2021-07-13 | 2021-11-26 | 宁波复升新材料科技有限公司 | 一种碳纤维晶圆搬运手指及其制作方法 |
| CN115123794A (zh) * | 2022-03-18 | 2022-09-30 | 上海广川科技有限公司 | 真空吸附及翻转装置 |
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2020
- 2020-12-15 CN CN202023013349.9U patent/CN213583735U/zh active Active
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