JP2017034015A - 剥離方法および剥離装置 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体ウエーハ10の外周端部の僅かに外側部分が剥離起点部生成手段6の先端針状部材65の直下に位置づけられた後、第4エアーシリンダー61を作動し先端針状部材65の先端部を半導体ウエーハ10の保護テープ11の外周端部に近接する位置まで降下させる(図8を参照)。
該保護テープ11の該一部が剥離された後、図10に示すように、該先端部分64が上昇させられるとともに、エアーノズル66から高圧エアーを噴射することにより、該先端針状部材65の先端部から該保護テープ11の外周部分が離反し、該保護テープ11の外周部分において先に剥離した該一部を含む剥離領域が拡大し、後述する挟持手段48にて挟持するのに適する剥離起点部12が生成される。なお、剥離起点部生成工程における該保持ベース43の高さは、当該剥離起点部12がエアーノズル66からの高圧エアーにより剥離されたときに、該剥離起点部12が該保持ベース43に設けられた挟持手段48の挟持片48a、48b間に収まるように調整される。なお、前記エアーノズル66により高圧エアーを噴射して剥離領域を拡大する際に、上記した第1の剥離工程により使用した先端針状部材64をさらに突き当ててもよい。このようにして剥離起点部が好適に生成される。
前記保護テープ11の外周端部がエアーノズル66からの高圧エアーにより持ち上げられると、該移動基台32の待機位置方向への移動を一旦停止し、第3エアーシリンダー47の作動により挟持部材48aを挟持部材48b側に移動させて、剥離した保護テープ11の外周端部を挟持手段48により挟持する(図11を参照)。そして、第1エアーシリンダー41を作動させることにより、挟持手段48の下方に折り曲げローラ55を進入させることが可能な程度にシート保持手段4全体を上方に移動させる。
なお、上記した本発明の実施形態では、板状部材を半導体ウエーハとしたが、これに限定されず、例えば、板状部材としてサファイヤ基板を採用し、該サファイヤ基板に対して保護テープを貼付したような場合等、表面にシート状の部材を貼付した板状部材を使用し、シート状の部材を剥離させるものであれば、本願発明を適用することができる。
2:静止基台
3:保持テーブル機構(保持テーブル)
4:シート保持手段
5:折り曲げローラ移動手段
6:剥離起点部生成手段
7:廃棄容器
10:半導体ウエーハ(板状部材)
11:保護テープ(シート)
12:剥離起点部
31、31:ガイドレール
32:移動基台
36:テーブル本体
41:第1エアーシリンダー
44:第2エアーシリンダー
47:第3エアーシリンダー
48:挟持部材
55:折り曲げローラ
61:第4エアーシリンダー
64:先端部材
65:先端針状部材
66:エアーノズル
Claims (6)
- 板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離方法であって、保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に先端針状部材の先端部を突き当て、該一部を該板状部材から剥離させる第1の剥離工程と、
該一部が剥離した該シートと該板状部材との間にエアーを吹き込み、該一部を含む拡大された剥離領域により形成される剥離起点部を生成する剥離起点部生成工程と、
該剥離起点部を起点として、該シートの剥離されていない残余部分を該板状部材から離間させて剥離する最終剥離工程と、
から少なくとも構成される、剥離方法。 - 該剥離起点部生成工程後、生成された該剥離起点部を挟持する剥離起点部挟持工程を備え、該剥離起点挟持工程を経て、該最終剥離工程を実行する、請求項1に記載の剥離方法。
- 該剥離起点部生成工程において、さらに、先端針状部材の先端部を突き当て、剥離領域を拡大する、請求項1、又は2に記載の剥離方法。
- 板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、
該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に針状部材の先端部を突き当て、該一部を該板状部材から剥離させ、該一部が剥離した該シートと該板状部材との間にエアーを吹き込み、該一部を含む拡大された剥離領域により形成される剥離起点部を生成する剥離起点部生成手段と、
該剥離した剥離起点部を挟持する挟持手段と、
該剥離起点部を挟持した該挟持手段を該保持テーブルに対して上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該挟持手段の下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、
該折り曲げローラと該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離されるように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段の移動により該板状部材から該シートをすべて剥離させる剥離装置。 - 該板状部材から剥離された該シートを吸引保持するシート保持手段と、を備えた請求項4に記載の剥離装置。
- 剥離後の前記シートを収容する廃棄容器を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器直上に移動し、該廃棄容器直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容する請求項4、又は5に記載の剥離装置。
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