JP6521739B2 - 剥離装置 - Google Patents
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Description
2:静止基台
3:保持テーブル機構(保持テーブル)
4:シート保持手段
5:折り曲げローラ移動手段
6:ホットメルト塗布手段
7:廃棄容器
10:半導体ウエーハ(板状部材)
11:保護テープ(シート)
31、31:ガイドレール
32:移動基台
36:テーブル本体
41:第1エアーシリンダー
44:第2エアーシリンダー
47:第3エアーシリンダー
49:剥離ローラ(剥離手段)
55:折り曲げローラ
61:第4エアーシリンダー
64:ホットガン
Claims (2)
- 板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に加熱溶融した樹脂を塗布するホットメルト塗布手段と、該塗布された樹脂に接着され板状部材から該シートを剥離する剥離手段と、該剥離手段と該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離するように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、を備え、
さらに、該移動手段の移動により、該シートと接着された接着面が回転する該剥離手段を少なくとも構成する剥離ローラと、該移動手段の移動により該シートが該板状部材からの剥離を開始した後、剥離した該シートの外周端部を挟持する挟持手段と、該シートの外周端部を挟持した該挟持手段と該剥離ローラとを該保持テーブルの上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該剥離ローラの下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ該剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、該折り曲げローラを該剥離方向に移動する折り曲げローラ移動手段と、該折り曲げローラ移動手段の移動により剥離された該シートを吸引保持する該シート保持手段と、を備える剥離装置。 - 剥離後の該シートを収容する廃棄容器を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器直上に移動し、該廃棄容器直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容する請求項1記載の剥離装置。
Priority Applications (1)
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JP2015104759A JP6521739B2 (ja) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015104759A JP6521739B2 (ja) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 剥離装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2016219664A JP2016219664A (ja) | 2016-12-22 |
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ID=57581524
Family Applications (1)
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JP2015104759A Active JP6521739B2 (ja) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6521739B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0518062U (ja) * | 1991-08-16 | 1993-03-05 | 大村精機株式会社 | 保護膜剥離装置 |
JP2013168616A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護テープ剥離方法 |
-
2015
- 2015-05-22 JP JP2015104759A patent/JP6521739B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2016219664A (ja) | 2016-12-22 |
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