JP2016219664A - 剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願発明による剥離装置は、半導体ウエーハ10(板状部材)に貼付された保護テープ11(シート)を剥離する剥離装置1であって、該保護テープ11を貼付された半導体ウエーハ10を保持する保持面を有する保持テーブル機構3と、該保持テーブル機構3に保持された該半導体ウエーハの該保護テープ11の外周の少なくとも一部に加熱溶融した樹脂を塗布するホットメルト塗布手段6と、該塗布された樹脂に接着され半導体ウエーハ10から該保護テープを剥離する剥離ローラ49と、該剥離ローラ49と該保持テーブル機構3との少なくとも一方を該保護テープ11が剥離する該半導体ウエーハ10と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、を少なくとも備える。
【選択図】図1
Description
を少なくとも備える剥離装置が提供される。
2:静止基台
3:保持テーブル機構(保持テーブル)
4:シート保持手段
5:折り曲げローラ移動手段
6:ホットメルト塗布手段
7:廃棄容器
10:半導体ウエーハ(板状部材)
11:保護テープ(シート)
31、31:ガイドレール
32:移動基台
36:テーブル本体
41:第1エアーシリンダー
44:第2エアーシリンダー
47:第3エアーシリンダー
49:剥離ローラ(剥離手段)
55:折り曲げローラ
61:第4エアーシリンダー
64:ホットガン
Claims (3)
- 板状部材に貼付されたシートを板状部材から剥離する剥離装置であって、該シートを貼付された板状部材を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該板状部材の該シートの外周の少なくとも一部に加熱溶融した樹脂を塗布するホットメルト塗布手段と、該塗布された樹脂に接着され板状部材から該シートを剥離する剥離手段と、該剥離手段と該保持テーブルとの少なくとも一方を該シートが該板状部材から剥離するように該板状部材と並行な剥離方向に相対的に移動させる移動手段と、
を少なくとも備える剥離装置。 - 前記移動手段の移動により、前記シートと接着された接着面が回転する前記剥離手段を少なくとも構成する剥離ローラと、該移動手段の移動により該シートが該板状部材からの剥離を開始した後、剥離した該シートの外周端部を挟持する挟持手段と、該シートの外周端部を挟持した該挟持手段と該剥離ローラとを前記保持テーブルの上方に離間させる離間手段と、上方に離間した該剥離ローラの下方にて該板状部材から剥離した該シートの粘着面側に作用し該シートを該板状部材から剥離しつつ前記剥離方向に折り曲げる折り曲げローラと、該折り曲げローラを該剥離方向に移動する折り曲げローラ移動手段と、該折り曲げローラ移動手段の移動により剥離された該シートを吸引保持する該シート保持手段と、を備える請求項1記載の剥離装置。
- 剥離後の前記シートを収容する廃棄容器を備え、該シート保持手段は、該シートを吸引保持した後、該廃棄容器直上に移動し、該廃棄容器直上にて吸引保持した該シートの吸引を解除し、該シートを該廃棄容器内に収容する請求項2記載の剥離装置。
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