JP6395573B2 - 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 - Google Patents
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前記接着テープの基材側から該接着テープを保持する保持プレートと、
前記保持プレートと対向し前記接着テープの基材を残して原接着テープに前記基板の外形形状に形成される第1切込みと、前記外形形状の切り込みと間隔を開けて該第1切込みの外側に形成される第2切込みとを形成する切断手段と、
前記基板を保持する貼付テーブルと、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離させる剥離ユニットとを備え、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離後に第1切込みの内側に形成された原接着テープを前記基板に押圧して貼り付けるようにした構成を採用した基板への接着テープ貼り付け装置である。
前記接着テープの基材側から該接着テープを保持プレートで保持し、
前記接着テープの基材を残して原接着テープに前記基板の外形形状の第1切込みを形成し、
前記外形形状の切り込みと間隔を開けて該第1切込みの外側に形成される第2切込みを形成し、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離した後、
第1切込みの内側の原接着テープを前記基板に対向させ、前記原接着テープを前記基板に押圧して貼り付けるようにした構成を採用した基板への接着テープ貼り付け方法である。
T 接着テープ
Ta 原接着テープ
Tb 基材
1 接着テープ貼り付け装置
2 機台
3 貼付ユニット
3a 基材
3b 原接着テープ
4 供給リール
5 回収リール
6 レール
7 支持壁
10 ガイドローラ
11 ピンチローラ
12a ガイドローラ
12b ガイドローラ
13 テンションローラ
14 ピンチローラ
15 テンションローラ
16 シリンダ
17 貼付ローラ
18 シリンダ
19 テープチャックユニット
20 剥離ローラ
21 上部チャック
22 シリンダ
23 位置決めセンサ
24 保持プレート
25 昇降シリンダ
26 ガイド
30 貼付テーブル
30a 内側テーブル
30b 外側テーブル
31 テーブル台
32 スライダ
33 レール
34 支持枠
35 スライダ
36 シリンダ
37 ヒーター
40 廃棄ボックス
41 駆動ベルト
42 駆動ベルト
50 カッターユニット(切断手段)
51 支持台
52 スライダ
53 回転モータ
54 シリンダ
55 弾性部材
56 カッター台
57 カッター
58 支持台
59 支持板
60 剥離ユニット
61 シリンダ
62 軸
63 吸着パッド
64 モータ
65 支持枠
67 ベルト
70 第1切込み
71 第2切込み
72 貼付領域
73 不要領域
74 保護テープ
80 ダイシングフレーム
81 ダイシングテープ
82 保護テープ
83 DAF(ダイアタッチフィルム)
84 ウエハ
85 貼付テーブル
86 剥離テープ
87 貼付ローラ
Claims (4)
- 基材上に仮着された原接着テープを有する接着テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、前記接着テープを押圧する押圧手段とを有し、前記原接着テープを前記基材を介して前記押圧手段で押圧することで前記基板に貼り付ける基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記接着テープの基材側から該接着テープを保持する保持プレートと、
前記保持プレートと対向し前記接着テープの基材を残して原接着テープに前記基板の外形形状に形成される第1切込みと、前記第1切込みと間隔を開けて該第1切込みの外側に形成される第2切込みとを形成する切断手段と、
前記基板を保持する貼付テーブルと、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離させる剥離ユニットとを備え、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離後に第1切込みの内側に形成された原接着テープを前記基板に押圧して貼り付けるようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。 - 前記接着テープが加熱接着テープであることを特徴とする請求項1に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
- 基材上に仮着された原接着テープを有する接着テープを基板上に繰り出し、前記接着テープを前記基材を介して押圧することで前記基板に原接着テープを貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記接着テープの基材側から該接着テープを保持プレートで保持し、
前記接着テープの基材を残して原接着テープに前記基板の外形形状の第1切込みを形成し、
前記外形形状の切り込みと間隔を開けて該第1切込みの外側に形成される第2切込みを形成し、
前記第1切込みと第2切込みとの間の原接着テープを剥離した後、
第1切込みの内側の原接着テープを前記基板に対向させ、前記原接着テープを前記基板に押圧して貼り付けるようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け方法。 - 前記接着テープが加熱接着テープであり、前記原接着テープを前記基板に押圧する際に前記基板または接着テープの少なくとも一方を加熱しながら貼り付けるようにしたことを特徴とする請求項3に記載の基板への接着テープ貼り付け方法。
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