JP2023112862A - 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークに変形または割れなどが発生することを防止しつつ、ワークに貼りつけられた粘着テープを精度よく剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】ウエハＷの全面のうちウエハＷの外周部を保持する保持テーブル３と、平坦面４５を有する剥離部材３７の平坦面４５を保護テープＰＴの表面に当接させ、保護テープ４５を剥離部材３７によって折り返した状態で保護テープＰＴを引っ張ることにより、ウエハＷから保護テープＰＴを剥離させる剥離機構５と、を備え、平坦面４５は、保護テープＰＴがウエハＷから剥離される方向である剥離方向Ｖｐについて、ウエハＷの長さＲ１の１／１０以上の長さを有するとともに、剥離方向Ｖｐに直交する方向である直交方向ｙについてウエハＷの長さＲ２より長くなるように構成されている。【選択図】図６

Description

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）を例とするワークに貼り付けられた粘着テープを剥離するための、粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置に関する。

ウエハの表面に回路パターン形成処理を行った後、ウエハの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグラインド処理が施される。当該バックグラインド処理を行う前に、回路を保護するべくウエハの表面に保護用の粘着テープ（保護テープ）を貼り付けている。ウエハを薄型化した後、ダイシング工程などの各処理をおこなうべく保護テープを剥離する。

ウエハから保護テープを剥離する従来の方法としては、裏面研削後に保護テープの表面に剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を貼付ローラで貼り付ける。そして、保護テープに貼りつけられた剥離テープをエッジ部材で折り返しつつ剥離することによって、剥離テープと保護テープとを一体としてウエハから剥離する方法が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。

近年では高密度実装を目的としてウエハのさらなる薄型化が進められており、一例として数十μｍ程度の薄さになるようにバックグラインド処理が施される。このような薄型化によってウエハの剛性が低下するので、薄型化されたウエハは脆くかつ歪みが生じやすい。そこでウエハを補強する方法として、ウエハの外周部を残してバックグラインド処理を行うことにより、外周に沿って環状凸部が残存された薄型の形状に加工する方法が提案されている。当該環状凸部を形成することにより、一般的なハンドリング工程を行う場合においてはウエハの撓み変形を防止できる。

バックグラインド処理後にウエハ表面から保護テープを剥離するとき、裏面の環状凸部のみを保持テーブルに接触させて吸着保持するとともに、保持テーブルとウエハ裏面との間に流体を供給して内圧を高めている。この状態で剥離テープを保護テープに貼付けるとともに、保護テープに貼りつけられた剥離テープをエッジ部材で折り返しつつ剥離することによって、剥離テープとともに保護テープをウエハ表面から一体にして剥離している（特許文献２を参照）。

特開２００２－１２４４９４号公報 特開２００８－０３４７０９号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。

従来の構成において、ウエハの外周部を保持テーブルで保持した状態でウエハに貼りつけられている保護テープを剥離する場合、ウエハに波打ちが発生するという問題が新たに確認された。保護テープを剥離する際にウエハが波打つと、当該波打ちに起因してウエハに変形または割れが発生し、ウエハの処理効率が低下するという問題が懸念される。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ワークに変形または割れなどが発生することを防止しつつ、ワークに貼りつけられた粘着テープを精度よく剥離できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供することを目的とする。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離方法は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持過程と、
平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
を備え、
前記平坦面は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される方向である剥離方向について前記ワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、前記剥離方向に直交する方向である直交方向について前記ワークの長さより長くなるように構成されている
ことを特徴とするものである。

（作用・効果）この構成によれば、ワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、平坦面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の平坦面を粘着テープの表面に当接させ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。このとき、平坦面は、剥離方向についてワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、剥離方向に直交する方向である直交方向についてワークの長さより長くなるように構成されている。すなわち、十分に広い平坦面を粘着テープの表面に当接させた状態で粘着テープを引っ張るので、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、剥離部材の広い平坦面によってワークの位置が安定に維持される。よって、粘着テープを剥離する際にワークに変形または割れが発生することを防止できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離方法は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持過程と、
前記ワークの振動を防止する振動防止面を有する剥離部材の前記振動防止面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
を備えることを特徴とするものである。

（作用・効果）この構成によれば、ワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、振動防止面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の振動防止面を粘着テープの表面に当接させ、振動防止面によってワークの振動を防止しつつ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。よって、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、粘着テープを剥離する際にワークが振動して変形または割れが発生することを防止できる。

また、上述した発明において、前記剥離部材は前記粘着テープを加熱させるヒータを備え、前記剥離過程において、前記剥離部材は前記ヒータによって加熱された前記粘着テープを折り返させ、前記粘着テープを前記ワークから剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、剥離部材は粘着テープを加熱させるヒータを備え、ヒータによって加熱された粘着テープを折り返させ、粘着テープをワークから剥離させる。粘着テープが加熱されることにより、粘着テープが軟化するので、粘着テープの折り返しが容易となる。よって、剥離過程において粘着テープの剥離エラーが発生することを防止できる。

また、上述した発明において、前記剥離部材は、前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを折り返して前記ワークから剥離させる折り返し角部を備え、前記折り返し角部は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角度が鋭角となるように構成されることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、剥離部材に設けられた折り返し角部により、粘着テープを鋭角に折り返しつつ粘着テープをワークから剥離させる。すなわち粘着テープが剥離される際に折り返される角度が過度に大きくなることを防止できるので、粘着テープの基材または粘着材が断裂する事態を回避できる。

また、上述した発明において、前記剥離部材は、先鋭なエッジ部をさらに有し、前記エッジ部および前記平坦面のうち前記平坦面が前記粘着テープの表面に当接可能な第１姿勢と、前記エッジ部および前記平坦面のうち前記エッジ部が前記粘着テープの表面に当接可能な第２姿勢とを切り換え可能に構成されており、前記剥離過程は、前記剥離部材が前記第１姿勢をとる場合は前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させ、前記剥離部材が前記第２姿勢をとる場合は前記エッジ部を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、剥離部材は平坦面と先鋭なエッジ部とを有しており、第１姿勢と第２姿勢とを切り換え可能に構成される。剥離部材が第１姿勢をとる場合、剥離過程において平坦面が粘着テープの表面に当接するので、ワークをより安定に維持しつつ粘着テープをワークから剥離できる。そのため、ワークの外周部のみが保持される場合であってもワークの変形または割れが発生することを防止できる。剥離部材が第２姿勢をとる場合、先鋭なエッジ部が粘着テープの表面に当接した状態で粘着テープを折り返すので、粘着テープに作用する剥離力を大きくできる。そのため、粘着テープの粘着力が大きい場合であってもより確実に粘着テープをワークから剥離できる。このように、剥離部材の姿勢を切り換えるという単純な操作によってワークおよび粘着テープの条件に応じた剥離過程を実行できるので、装置の複雑化を回避しつつ粘着テープを精度よくワークから剥離できる。

また、上述した発明において、前記剥離過程において、前記ワークの外周部に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返し、前記ワークの外周部以外に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに近接している状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返すように前記剥離部材の高さが制御されることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、ワークの外周部に貼りつけられている粘着テープを剥離する場合、剥離部材を粘着テープに当接させた状態で粘着テープを剥離部材で折り返して剥離する。この場合、ワークをより安定に維持できるので粘着テープを剥離する際にワークが変形または破損する事態を回避できる。また、ワークの外周部以外に貼りつけられている粘着テープを剥離する場合、剥離部材を粘着テープに近接させた状態で粘着テープを剥離部材で折り返して剥離する。この場合、剥離部材がワークに対して過剰な力が作用することを回避できるので、中央部が薄く脆弱なワークを用いる場合であってもワークに変形または割れが発生することをより確実に回避できる。

また、上述した発明において、前記剥離部材は、所定の方向に延びる複数の平面とそれぞれ角度が異なる複数の角部とを有する多角柱状の部材であり、前記所定の方向の軸周りに回動可能に構成されており、前記剥離部材が前記所定の方向の軸周りに回動されることで、前記複数の平面のうち前記平坦面として前記粘着テープの表面に当接する平面が切り換えられ、前記複数の角部のうち前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角部が切り換えられるように構成されることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、剥離部材は所定の方向の軸周りに回動可能な多角柱状の部材であり、当該所定の方向に延びる複数の平面とそれぞれ角度が異なる複数の角部とを有する。すなわち剥離部材が所定の方向の軸周りに回動されることで、複数の平面のうち平坦面として粘着テープの表面に当接する平面が切り換えられる。粘着テープの表面に当接する平面が切り換えられることにより、粘着テープに当接して粘着テープを折り返す角部も切り換えられる。各々の角部の角度は異なるので、粘着テープを折り返す角部が切り換えられることにより、粘着テープの剥離角度を適宜変更できる。このように、剥離部材を回動させるという単純な操作によってワークおよび粘着テープの条件に応じて剥離角度を適宜変更して剥離過程を実行できるので、装置の複雑化を回避しつつ粘着テープを精度よくワークから剥離できる。

また、上述した発明において、前記粘着テープの表面に剥離テープを前記剥離方向に貼りつける剥離テープ貼付過程と、を備え、前記剥離過程は、平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープに貼りつけられた前記剥離テープの表面に当接させ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープの表面に剥離テープを貼りつける。そして剥離部材の平坦面を剥離テープの表面に当接させ、剥離テープが貼りつけられた粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で剥離テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離テープと一体にして剥離させる。剥離テープを用いることにより、粘着テープをより安定に保持しつつワークから剥離できる。よって、剥離過程において粘着テープの剥離エラーが発生することを防止できる。

また、上述した発明において、前記剥離部材は、前記剥離テープの厚みに相当する深さの凹部が前記平坦面に形成されており、前記剥離過程では前記凹部に前記剥離テープを嵌合させた状態で前記平坦面を前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープの表面に当接させ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、剥離部材の平坦面には粘着テープの厚みに相当する深さの凹部が形成されている。そのため、剥離テープが貼りつけられた粘着テープに剥離部材の平坦面を当接させる際に、凹部に剥離テープが嵌合される。よって、厚みが大きい剥離テープを用いる場合であっても、剥離テープの厚みによって剥離部材の平坦面と粘着テープとの密着性が低下するという事態を回避できる。よって、剥離過程における平坦面と粘着テープとの密着性を向上させ、平坦面によってワークの位置をより安定に維持できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離装置は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持部と、
平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
を備え、
前記平坦面は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される方向である剥離方向について前記ワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、前記剥離方向に直交する方向である直交方向について前記ワークの長さより長くなるように構成されている
ことを特徴とするものである。

（作用・効果）この構成によれば、ワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、平坦面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の平坦面を粘着テープの表面に当接させ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。このとき、平坦面は、剥離方向についてワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、剥離方向に直交する方向である直交方向についてワークの長さより長くなるように構成されている。すなわち、十分に広い平坦面を粘着テープの表面に当接させた状態で粘着テープを引っ張るので、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、剥離部材の広い平坦面によってワークの位置が安定に維持される。よって、粘着テープを剥離する際にワークに変形または割れが発生することを防止できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離装置は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持部と、
前記ワークの振動を防止する振動防止面を有する剥離部材の前記振動防止面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
を備えることを特徴とするものである。

（作用・効果）この構成によれば、ワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、振動防止面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の振動防止面を粘着テープの表面に当接させ、振動防止によってワークの振動を防止しつつ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。よって、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、粘着テープを剥離する際にワークが振動して変形または割れが発生することを防止できる。

本発明に係る粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置によれば、第１の態様においてはワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、平坦面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の平坦面を粘着テープの表面に当接させ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。

このとき、平坦面は、剥離方向についてワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、剥離方向に直交する方向である直交方向についてワークの長さより長くなるように構成されている。すなわち、十分に広い平坦面を粘着テープの表面に当接させた状態で粘着テープを引っ張るので、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、剥離部材の広い平坦面によってワークの位置が安定に維持される。よって、ワークに変形または割れが発生することを防止しつつ、ワークに貼りつけられた粘着テープを精度よく剥離できる

また第２の態様においては、ワーク全体のうちワークの外周部のみを保持部材で保持させた状態で当該ワークから粘着テープを剥離する際に、振動防止面を有する剥離部材を用いる。すなわち剥離部材の振動防止面を粘着テープの表面に当接させ、振動防止によってワークの振動を防止しつつ、粘着テープを剥離部材によって折り返した状態で粘着テープを引っ張ることにより、ワークから粘着テープを剥離させる。よって、ワークの外周部のみを保持部材で保持させながら粘着テープを剥離する構成であっても、ワークに変形または割れが発生することを防止しつつ、ワークに貼りつけられた粘着テープを精度よく剥離できる

実施例１に係る半導体ウエハの構成を示す図である。（ａ）は半導体ウエハの一部破断斜視図であり、（ｂ）は半導体ウエハの裏面側の斜視図であり、（ｃ）は半導体ウエハの部分縦断面図である。 実施例１に係る保護テープの構成を示す断面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置の正面図である。 実施例１に係る保持テーブルにウエハを載置させた状態を示す縦断面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置の要部の概略構成を示す平面図である。 実施例１に係る剥離部材の構成を示す縦断面図である。（ａ）は剥離部材の正面図であり、（ｂ）は剥離部材の斜視図である。 各実施例に係る粘着テープ剥離装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）は実施例１に係る粘着テープ剥離装置のフローチャートであり、（ｂ）実施例２に係る粘着テープ剥離装置のフローチャートである。 実施例１に係るステップＳ１の状態を示す正面図である。 実施例１に係るステップＳ２を説明する正面図である。 実施例１に係るステップＳ２を説明する正面図である。 実施例１に係るステップＳ２を説明する平面図である。 実施例１に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例１に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例１に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例１に係るステップＳ３を説明する平面図である。 実施例１に係るステップＳ４を説明する正面図である。 従来例に係るエッジ部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す図である。 従来例の問題点を示す平面図である。 実施例２に係る粘着テープ剥離装置の正面図である。 実施例２に係る第２剥離ユニットの構成を示す図である。（ａ）は第２剥離ユニットの正面図であり、（ｂ）は第２剥離ユニットの斜視図である。 実施例２に係るステップＳ２を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ２を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ２を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ３を説明する正面図である。 実施例２に係るステップＳ３を説明する正面図である。 変形例に係る剥離部材を示す左側面図である。 凹部を有しない剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す左側面図である。 凹部を有する変形例に係る剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す左側面図である。 変形例に係る剥離部材を示す正面図である。 変形例に係る剥離部材を示す図である。（ａ）は第１の状態となっている剥離部材を示す正面図であり、（ｂ）は第２の状態に切り換えられた剥離部材を示す正面図である。 変形例において、第２の状態に切り換えられた剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す正面図である。 変形例において、剥離部材の高さを調整する状態を示す図である。 変形例に係る剥離部材を示す正面図である。（ａ）は鋭角となっている折り返し角部を先端側に備える剥離部材を示す正面図であり、（ｂ）は先端側に曲面を有する剥離部材を示す正面図である。 変形例において、鋭角となっている折り返し角部を先端側に備える剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す正面図である。 実施例および比較例において、剥離方向におけるワークの長さおよび剥離方向における平坦面の長さと、ワークにおける波打ち現象の有無との関係を評価する実験結果を示す表である。 変形例を説明する図である。（ａ）は初期状態の剥離部材を示す正面図であり、（ｂ）は下向きの平面を切り換えた状態を示す正面図であり、（ｃ）は初期状態の剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す正面図であり、（ｄ）は下向きの平面を切り換えた状態の剥離部材を用いて保護テープを剥離する状態を示す正面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。実施例１に係る粘着テープ剥離装置１では、半導体ウエハＷ（以下、「ウエハＷ」とする）の表面に貼りつけられている保護テープＰＴをウエハＷから剥離する。保護テープＰＴは、回路保護用の粘着テープであり、本実施例における粘着テープに相当する。ウエハＷは、本実施例におけるワークに相当する。

ウエハＷは図１（ａ）ないし図１（ｃ）に示すように、回路パターンが形成された表面に、回路保護用の保護テープＰＴが貼り付けられている状態でバックグラインド処理されたものである。ウエハＷの裏面は、外周部を径方向に約３ｍｍを残して研削（バックグラインド）されている。すなわち、裏面に扁平凹部Ｈｅが形成されるとともに、その外周に沿って環状凸部Ｋａが残存された形状に加工されたものが使用される。

一例として、扁平凹部Ｈｅにおいて研削される深さｄが数百μｍ、扁平凹部Ｈｅのウエハ厚さＪが３０μｍないし５０μｍになるよう加工されている。したがって、裏面外周に形成された環状凸部Ｋａは、ウエハＷの剛性を高める環状リブとして機能し、ハンドリングやその他の処理工程におけるウエハＷの撓み変形を抑止する。なお、環状凸部Ｋａの内側角部について、符号Ｋｆを用いて示している。内側角部Ｋｆは、環状凸部Ｋａと扁平凹部Ｈｅとの境界に相当する。

本実施例に用いられる保護テープＰＴは図２に示すように、非粘着性の基材Ｔａと、粘着性を有する粘着材Ｔｂとが積層した長尺状の構造を備えている。

基材Ｔａを構成する材料の例として、ポリオレフィン、ポリエチレン、エチレン－ビニル酢酸共重合体、ポリエステル、ポリイミド、ポリウレタン、塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレナフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンメタアクリル酸共重合体、ポリプロピレン、メタアクリル酸テレフタレート、ポリアミドイミド、ポリウレタンエラストマーなどが挙げられる。なお、上述した材料を複数組み合わせたものを基材Ｔａとして用いてもよい。また、基材Ｔａは単層でもよいし、複数の層を積層させた構成でもよい。

粘着材Ｔｂは、保護テープＰＴがウエハＷに粘着する状態を保持できる機能を担保できる材料で構成される。粘着材Ｔｂを構成する材料の例として、アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。粘着材Ｔｂは単層でもよいし、複数の層を積層させた構成でもよい。

＜全体構成の説明＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の全体構成について説明する。図３は、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の基本構成を示す正面図である。なお、以後の説明において、図３などに示されるように粘着シート剥離装置１の長手方向を左右方向（ｘ方向）、これと直交する水平方向（ｙ方向）を前後方向と呼称する。また、鉛直方向をｚ方向とする。

粘着テープ剥離装置１は図３に示すように、保持テーブル３と、テープ供給部５と、剥離機構７と、テープ回収部９とを備えている。

保持テーブル３はウエハＷを載置保持するものであり、一例として金属製のチャックテーブルである。保持テーブル３は図３に示すように、ｘ方向に沿って水平に配備された左右一対のレール１０に沿ってｘ方向にスライド可能に支持された可動台１１に支持されている。可動台１１は、パルスモータ１２で正逆駆動されるネジ軸１３によってネジ送り駆動されるように構成されている。すなわち、保持テーブル３はレール１０に沿ってｘ方向に往復移動可能に構成されている。

保持テーブル３は図４および図５に示すように、中央部の上面に円筒状の凹部１５が設けられている。平面視における凹部１５の径は、ウエハＷの扁平凹部Ｈｅの径と比べて僅かに小さい程度となるように構成されている。

保持テーブル３において凹部１５が形成されていない部分、すなわち保持テーブル３の外周部の上面には真空吸着孔１７が環状に配置されている。真空吸着孔１７は真空装置１８と連通接続されている。真空吸着孔１７の径は、ウエハＷを保持テーブル３に載置させた場合、ウエハＷの環状凸部Ｋａに対向するように調整される。そのため、真空装置１８が作動して真空吸引を行うことにより、保持テーブル３は真空吸着孔１７を介してウエハＷの環状凸部Ｋａを吸着保持する。すなわち、保持テーブル３はウエハＷの全面のうちウエハＷの外周部のみを保持するように構成されている。

凹部１５の底面には、気体供給孔１９および小孔２０が形成されている。気体供給孔１９は、凹部１５に気体を供給する気体供給部２１と連通接続されている。小孔２０は図示しない弁が配設されており、弁を開放することによって、凹部１５の内部の空気が適度の抵抗をもって外部へ流出することを許容する。保持テーブル３にウエハＷを載置させた状態で気体供給部２１が凹部１５に気体を供給することにより、ウエハＷと保持テーブル３との間に形成された空間Ｓは、大気圧より少し高い所定の気圧まで加圧される。

テープ供給部５は、原反ロールから繰り出された剥離テープＴｓを剥離機構７へ案内する。剥離テープＴｓの幅は、図４に示されているように、ｙ方向におけるウエハＷの長さＲ２より短くなるように構成されている。

剥離機構７は、昇降ユニット２３と、貼付けローラ２５と、剥離ユニット２７とを備えている。昇降ユニット２３は剥離ユニット２７を昇降移動させる。貼付けローラ２５は図示しない昇降部材によって昇降可能に構成されている。貼付けローラ２５は保護テープＰＴの表面上を転動可能に構成されており、テープ供給部５から繰り出された剥離テープＴｓを保護テープＰＴの表面に貼りつける。剥離ユニット２７は、保護テープＰＴに貼りつけられた剥離テープＴｓを引っ張ることにより、保護テープＰＴを剥離テープＴｓと一体にしてウエハＷから剥離させる。

昇降ユニット２３は図３および図５に示すように、縦フレーム２８と支持フレーム２９とを備えている。縦フレーム２８は粘着テープ剥離装置１の基台に立設された前後一対のフレームである。支持フレーム２９はｙ方向に延びるフレームであり、前後一対に立設された縦フレーム２８に亘って固定されている。支持フレーム２９の構成の例として、アルミ引き抜き材が挙げられる。

支持フレーム２９の前後中央部位には箱形の基台３０が連結されている。基台３０には前後一対の縦レール３１が配設されている。また基台３０には縦レール３１を介して昇降台３２がスライド昇降可能に支持されている。昇降台３２は、モータ３３によって連結駆動されるボール軸によって昇降される。剥離ユニット２７は昇降台３２に装備されており、昇降台３２の動作によって昇降移動する。

昇降台３２は、上下に貫通した中抜き枠状に構成されている。剥離ユニット２７は、昇降台３２の前後に備えられた側板３４の内側下部に接続されている。前後一対の側板３４の各々に亘って、ｙ方向に延びる支持フレーム３５が固定されている。支持フレーム３５の中央には剥離部材３７が装着されている。剥離部材３７の構成については後述する。

剥離ユニット２７の側板３３には、ガイドローラ３９が遊転自在に軸支されている。ガイドローラ３９はｙ方向に延びるローラであり、ｙ方向におけるガイドローラ３９の長さは、剥離テープＴｓの幅よりも長く、かつｙ方向におけるウエハＷの長さＲ２より短くなるように構成されている。ガイドローラ３９は、テープ供給部５から繰り出された剥離テープＴｓを剥離部材３７に案内する。

剥離ユニット２７の上方には、ガイドローラ４０とニップローラ４１とテンションローラ４２とが配備されている。ガイドローラ４０は遊転自在に軸支されている。ガイドローラ４０は剥離部材３７を経由して巻き取られた剥離テープＴｓを巻回してテー部回収部９へと案内する。テンションローラ４２は、遊転自在に支持アーム４３に設けられており、支持アーム４３を介して揺動可能に配備されている。テンションローラ４２は、巻回案内された剥離テープＴｓに適度の張力を与える。

テープ回収部９は、剥離機構７から送り出された剥離テープＴｓを巻き取り回収する。

粘着テープ剥離装置１は、制御部５１を備えている。制御部５１は一例として中央演算処理装置（ＣＰＵ）を備えており、粘着テープ剥離装置１の各部を統括制御する。制御部５１は、特にパルスモータ１２およびモータ３３の回転を統括制御することによって剥離部材３７および保持テーブル３の位置を調整するとともに、図示しない昇降部材の動作を制御して貼付けローラ２５の位置を調整する。

＜剥離部材の構成＞
ここで、剥離部材３７の構成について説明する。図６（ａ）は剥離部材３７の縦断面図であり、図６（ｂ）は剥離部材３７の斜視図である。

剥離部材３７は全体としてｙ方向に延びる柱状部材であり、平坦面４５と、第１折り返し角部４７と、第１案内面４８と、第２折り返し角部４９と、第２案内面５０とを備えている。

平坦面４５は、剥離部材３７の下面に設けられておりｘｙ平面に沿って拡がる面である。すなわち、保持テーブル３に載置された状態のウエハＷに対して剥離部材３７が下降することにより、ウエハＷに貼りつけられている保護テープＰＴの表面に平坦面４５が当接する。

図４および図６（ｂ）に参照されるように、平坦面４５は、ｘ方向の長さＤ１がｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１の１／１０以上であるように構成される。また平坦面４５は、ｙ方向の長さＤ２が、ｙ方向におけるウエハＷの長さＲ２より長くなるように構成されている。当該条件に従って長さＤ１および長さＤ２を調整して平坦面４５の面積を広くすることにより、保護テープＰＴを剥離する際にウエハＷが振動して波打つ事態を確実に回避できる。実施例１では図３８に示すように、ｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１を３００ｍｍとし、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１を３０ｍｍとしている。平坦面４５は本発明における振動防止面に相当する。

第１折り返し角部４７は、平坦面４５の先端側に設けられているとともに、第１案内面４８の一端側に設けられている。平坦面４５が保護テープＰＴに当接している状態で保護テープＰＴを上側へ引っ張ることにより、保護テープＰＴは第１折り返し角部４７において折り返されてウエハＷから剥離する。

正面視における第１折り返し角部４７の角度、すなわち平坦面４５と第１案内面４８とがなす角度は、鈍角となるように構成される。第１折り返し角部４７の角度が鈍角となることで、保護テープＰＴの剥離角度Ｌ１は鋭角となる。剥離角度Ｌ１は後述するように、ウエハＷに貼りつけられている状態の保護テープＰＴが延びる方向Ｐ１と、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴが第１案内面４８によって案内される方向Ｐ２との間の角度に相当する。

なお剥離部材３７における先端側とは、図３または図６（ａ）などにおける右側に相当する。言い換えると、剥離部材３７の先端側は、図４に示す保護テープＰＴの剥離終了位置Ｃｅから保護テープＰＴの剥離開始位置Ｃｓへ向かう側を意味する。

第１案内面４８は、本実施例において剥離部材３７の先端側の下面に設けられている。第１案内面４８は、第１折り返し角部４７によって折り返されてウエハＷから剥離された保護テープＰＴを方向Ｐ２へ案内する。

第２折り返し角部４９は、本実施例において剥離部材３７の先端側に設けられている。第２折り返し角部４９は、第１案内面４８によって案内されている保護テープＰＴを再び折り返し、剥離部材３７の基端側へと案内させる。

第２案内面５０は、本実施例において剥離部材３７の上面に設けられている。第２案内面５０は、第２折り返し角部４９によって再び折り返された保護テープＰＴを方向Ｐ３へ案内する。実施例１において、方向Ｐ３と方向Ｐ１とがなす角度Ｌ２は鈍角となるように、第１折り返し角部４７および第２折り返し角部４９の角度が調整される。すなわち、方向Ｐ３は図６（ｂ）などに示すように、ｘ方向において左側へ向かう方向となる。正面視における第１折り返し角部４７の角度と第２折り返し角部４９の角度との和が２７０°より小さい場合、方向Ｐ１と方向Ｐ３となす角度Ｌ２は鈍角となる。

＜動作の概要＞
ここで、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の基本動作を説明する。図７（ａ）は、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１を用いてウエハＷから保護テープＰＴを剥離する一連の工程を説明するフローチャートである。

ステップＳ１（ワークの保持）
保護テープＰＴをウエハＷから剥離する指令が出されると、裏面が研削されており表面に保護テープＰＴが貼りつけられているウエハＷが、図示しない搬送ロボットによって保持テーブル３の上方へ搬送される。搬送ロボットは、一例としてウエハＷの環状凸部Ｋａの表面側（ウエハＷの表面外周部）を吸着することによってウエハＷを搬送する。

搬送ロボットは、保持テーブル３の表面に設けられている真空吸着孔１７とウエハＷの環状凸部Ｋａとが対向するように、ウエハＷを保持テーブル３に載置させる。ウエハＷが保持テーブル３に載置されると、真空装置１８が作動して真空吸引を行う。真空吸引によって、保持テーブル３は真空吸着孔１７を介してウエハＷの環状凸部Ｋａを吸着保持する。保持テーブル３がウエハＷの外周部を吸着保持している状態は、図８に示されている。

保持テーブル３がウエハＷを吸着保持すると、保持テーブル３の凹部１５とウエハＷとの間に形成される空間Ｓに対して、気体供給部２１から気体が供給される。気体供給孔１９を介して気体が供給されることにより、空間Ｓは大気圧より少し高い所定の気圧にまで加圧される。空間Ｓが加圧されることにより、ウエハＷが下方へ垂れるように変形することを防止できる。

ステップＳ２（剥離テープの貼付け）
保持テーブル３がウエハＷを保持して空間Ｓが加圧されると、ウエハＷ上の保護テープＰＴに剥離テープＴｓを貼りつける動作を開始する。すなわち図９に示すように、貼付けローラ２５が所定の貼付け高さにまで下降する。その後、保持テーブル３がｘ方向に移動することで保持テーブル３と貼付けローラ２５とがｘ方向へ相対的に移動する。その結果、図１０に示すように貼付けローラ２５がウエハＷの上面に沿って転動移動し、保護テープＰＴの一端側から他端側に亘って、剥離テープＴｓを保護テープＰＴの表面に貼りつけていく。
このとき、ウエハＷの表面は空間Ｓの内圧を受けて扁平レベルより僅かに上方へ膨出変形されており、貼付けローラ２５がウエハＷの表面側から押圧することでウエハＷは扁平レベルに押し戻され、その押圧反力を受けることによって剥離テープＴｓは確実に保護テープＰＴの表面に貼りつけられていく。保護テープＰＴの表面に剥離テープＴｓが貼りつけられた状態の平面図は、図１１に示されている通りである。

貼付けローラ２５はｙ方向におけるウエハＷの長さＲ２より幅広となるように構成されている。そのため剥離テープＴｓを貼りつける際に、貼付けローラ２５は確実にウエハＷの環状凸部Ｋａに当接する。すなわち、貼付けローラ２５が過剰に下降することを環状凸部Ｋａが規制するので、ウエハＷの扁平凹部Ｈｅが扁平レベルより下方に押し込み変形されることを防止できる。

なお、ステップＳ２において小孔２０の弁を開放状態にする。すなわち、上方へ僅かに膨出変形されていたウエハＷの扁平凹部Ｈｅが貼付けローラ２５によって扁平状態に押し戻されると空間Ｓの容積が減少して空間Ｓの内圧が高まり、小孔２０から空間Ｓの内部の空気が流出する。小孔２０から適量の空気流出することにより、空間Ｓの内圧の上昇が抑制される。従って、空間Ｓの内圧は所定の気圧に維持される。

ステップＳ３（保護テープの剥離）
保護テープＰＴの表面に剥離テープＴｓが貼りつけられると、保護テープＰＴを剥離する動作が開始される。まず、貼付けローラ２５が上昇して図３に示される初期位置へ復帰するとともに、保持テーブル３をｘ方向に移動させ、剥離ユニット２７の位置を保護テープＰＴの剥離開始位置Ｃｓの上方に調整する。そして図１２に示すように、剥離ユニット２７が下降して剥離部材３７の平坦面４５が保護テープＰＴに当接する。

平坦面４５を保護テープＰＴの表面に当接させた後、保持テーブル３をｘ方向において右側へ移動させる。保持テーブル３が移動することにより、図１３に示すように、剥離部材３７は高さを維持しつつ保持テーブル３に対して相対的に剥離方向Ｖｐへ移動する。剥離方向Ｖｐは保護テープＰＴが剥離されていく方向であり、剥離開始位置Ｃｓから剥離終了位置Ｃｅへ向かう方向である。

剥離部材３７が相対的に剥離方向Ｖｐへ移動するとともに、テープ回収部９が作動して剥離テープＴｓを引っ張ることにより、剥離部材３７によって剥離テープＴｓ折り返しながら保護テープＰＴを一体にしてウエハＷの表面から剥離させる。剥離テープＴｓが引っ張られる方向は、図１３などにおいて符号Ｑを用いて示されている。

実施例１では剥離部材３７が備える第１折り返し角部４７と第２折り返し角部４９とを用いて、保護テープＰＴを２回折り返しつつウエハＷの表面から剥離させる。すなわち、まずは図１３に示すように、平坦面４５が保護テープＰＴの表面に当接している状態で剥離テープＴｓが符号Ｑで示す方向へ引っ張られることにより、ウエハＷの剥離開始位置Ｃｓに貼りつけられている部分の保護テープＰＴ（保護テープＰＴａ）は第１折り返し角部４７を支点として上方へ引っ張られる。その結果、保護テープＰＴａはウエハＷの表面から剥離される。

保護テープＰＴをウエハＷから剥離するとき、剥離部材３７は昇降ユニット２３の動作によって、ウエハＷを僅かに押圧する。そのため、保護テープＰＴを剥離するための剥離力が作用することに起因して発生するウエハＷの振動は、剥離部材３７の平坦面４５によって速やかに抑止される。従って、ウエハＷが長時間振動することによってウエハＷに変形または割れなどが発生することを確実に回避できる。

ウエハＷから剥離された保護テープＰＴａは剥離部材３７の第１案内面４８によって方向Ｐ２へ案内される。すなわち、第１折り返し角部４７によって１回目の折り返し工程が行われ、保護テープＰＴａが延びる方向は符号Ｐ１で示される右水平方向から符号Ｐ２で示される右斜め上方向へと変更される。

実施例１では、第１折り返し角部４７によって保護テープＰＴが折り返される角度、すなわち保護テープＰＴの剥離角度Ｌ１は鋭角となっている。すなわち剥離角度Ｌ１を小さくすることにより、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる際において保護テープＰＴに作用する剥離力を小さくできる。従って、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる際に、保護テープＰＴに対して過剰に大きな剥離力が作用して基材Ｔａまたは粘着材Ｔｂが断裂することを回避できる。

ウエハＷから剥離された保護テープＰＴａは、第１案内面４８によって第１折り返し角部４７から第２折り返し角部４９へと案内される。そして図１４に示すように、第２折り返し角部４９によって保護テープＰＴａはさらに折り返される。再度折り返された保護テープＰＴａは、第２案内面５０によって方向Ｐ３へと案内される。

このように第２折り返し角部４９によって２回目の折り返し工程が行われ、保護テープＰＴａが延びる方向は符号Ｐ２で示される右斜め上方向から符号Ｐ３で示される左斜め上方向へと変更される。すなわち２回の折り返し工程を行うことにより、保護テープＰＴが延びる方向は平面視で右方向であるＰ１方向から、平面視で左方向であるＰ３方向へと速やかに反転する。第２折り返し角部４９によって保護テープＰＴが折り返される角度は符号Ｌ３で示されている。

第２案内面５０によって方向Ｐ３へと案内された保護テープＰＴａは、剥離テープＴｓによってさらにガイドローラ４０を経由して下流へ案内される。その後、保持テーブル３の移動および剥離テープＴｓの巻き取り動作を続行させ、剥離部材３７をウエハＷに対して剥離方向Ｖｐへ移動させつつ剥離テープＴｓを方向Ｑへ引っ張ることにより、剥離開始位置Ｃｓ以外の部分のウエハＷに貼りつけられている保護テープＰＴもウエハＷから剥離される。すなわち、保護テープＰＴは剥離部材３７の第１折り返し角部４７によって折り返されてウエハＷから剥離する。そしてウエハＷから剥離された保護テープＰＴは第１案内面４８を経由して第２折り返し角部４９によって再度折り返され、第２案内面５０に沿って反転方向Ｐ３へ搬送される。

ステップＳ４（保護テープの回収）
保護テープＰＴがウエハＷの表面全体から剥離されると、剥離テープＴｓをさらに巻き取ることによって保護テープＰＴを回収する。すなわち図１６に示すように、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴは符号Ｑで示す方向に巻き取られ、剥離テープＴｓとともに剥離部材３７の下流へと搬送される。そして保護テープＰＴはガイドローラ４０、ニップローラ４１、テンションローラ４２を経由してテープ回収部９に搬送される。テープ回収部９は、回収用のボビンに剥離テープＴｓおよび保護テープＰＴを巻き取ることによって保護テープＰＴを回収する。

ステップＳ５（ワークの回収）
保護テープＰＴを回収する動作と同期して、ワークを回収する動作が開始される。すなわち、保持テーブル３は真空装置１８の動作を停止させてウエハＷの真空吸着を解除する。そして搬送ロボットはウエハＷの表面外周部を吸着保持して保持テーブル３から離脱させ、図示しないウエハ回収用のカセットにウエハＷを収納させる。

以上で実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の一巡の動作が完了し、以後、所定枚数に達するまで同じ動作が繰り返される。

＜実施例１の構成による効果＞
上記実施例１に係る粘着テープ剥離装置１によれば、平坦面４５を備える剥離部材３７を用いて保護テープＰＴを剥離する。すなわちウエハＷの外周部に設けられている環状凸部Ｋａを保持テーブル３によって保持した後、平坦面４５を保護テープＰＴの表面に当接させる。そして保護テープＰＴを剥離部材３７で折り返しつつ保護テープＰＴを引っ張ってウエハＷから剥離させる。平坦面４５を保護テープＰＴに当接させた状態で保護テープＰＴを剥離することにより、保持テーブル３がウエハＷの外周部のみを保持する構成であってもウエハＷに変形または割れが発生することを回避できる。

従来の粘着テープ剥離装置では図１７に示すように、先鋭なエッジ部を先端部に有するエッジ部材Ｅｄを用いて保護テープＰＴをウエハＷから剥離する。すなわち、保護テープＰＴに剥離テープＴｓを貼りつけた後、エッジ部材Ｅｄのエッジ部を保護テープＰＴに当接させ、エッジ部において保護テープＰＴを大きく折り返してウエハＷから剥離させる。このような従来の装置では、ウエハＷの外周部のみを保持テーブルＴＬで保持させた状態でウエハＷの表面に貼りつけられた保護テープＰＴを剥離すると、ウエハＷに歪みまたは割れなどが発生する頻度が高くなるという問題が新たに判明した。

このような従来における剥離装置の問題について検討を重ねた結果、以下のような知見が得られた。すなわち図１８に示すように、ウエハＷの外周部のみを保持テーブルＴＬで保持させた状態で、エッジ部材Ｅｄを用いて保護テープＰＴをウエハＷから剥離すると、ウエハＷのうち保護テープＰＴが剥離された部分において、剥離テープＴｓの幅方向に波打ちＮｗが発生する。すなわち保護テープＰＴを剥離する剥離力などに起因して、剥離テープＴｓの幅方向（ここではｙ方向）においてウエハＷが振動していると考えられる。

ウエハＷの裏面全体を保持テーブルが保持する場合、ウエハＷの全面に当接している保持テーブルによって当該ウエハＷの振動は速やかに抑止されて減衰する。しかしウエハＷの外周部のみを保持テーブルＴＬが保持する場合、ウエハＷの大部分は支持する部材が存在していないので、ウエハＷの振動を抑止することが困難である。その結果、持続的にウエハＷが振動することでウエハＷに変形または割れなどが発生するものと考えられる。

しかしながら近年ではウエハＷの薄型化が急速に進み、中央部が非常に薄いウエハＷを処理する要求が高くなっている。このような中央部が非常に薄いウエハＷを取り扱う場合、補強されている外周部のみを保持テーブルで保持する必要がある。また近年では、表面のみならず裏面の中央部にもデバイスを搭載したウエハＷが提案されている。このような表裏面にデバイスを有するウエハＷを取り扱う場合、デバイスが搭載されている裏面中央部を保持テーブルで保持するとデバイスに不具合が発生するので、保持テーブルでウエハＷの裏面外周部のみを保持する必要がある。従って、ウエハＷの裏面全体のうち外周部のみを保持テーブルＴＬで保持させる場合であっても、ウエハＷに変形を例とする不具合を発生させることなくウエハＷから保護テープＰＴを剥離できる装置が要求される。

そこで、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１では、剥離部材３７を用いてウエハＷの振動をウエハＷの表面側から抑止させる。すなわち剥離部材３７に設けられている平坦面４５を保護テープＰＴに当接させた状態で保護テープＰＴを剥離部材３７で折り返してウエハＷから剥離させることにより、平坦面４５はウエハＷの振動を防止させる振動防止面として機能する。

すなわちウエハＷの表面に貼りつけられている保護テープＰＴに平坦面４５を当接させることにより、保護テープＰＴを剥離する際に発生するウエハＷの振動は、広い平坦面４５によって速やかに抑止される。従って、保持テーブル３がウエハＷの裏面の大部分を支持していない場合であっても、剥離部材３７の平坦面４５が保護テープＰＴを介してウエハＷの表面側を支持することによって、ウエハＷの振動は速やかに減衰される。よって、ウエハＷの裏面全体のうち外周部のみを保持テーブルＴＬで保持させる場合であっても、ウエハＷに変形などを発生させることなくウエハＷから保護テープＰＴを剥離できる。

平坦面４５は、保護テープＰＴの剥離方向Ｖｐ（ｘ方向）における長さＤ１が、ｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１の１／１０以上の長さであり、かつ、剥離方向Ｖｐに直交する方向（ｙ方向）における長さＤ２が、ｙ方向におけるウエハＷの長さＲ２より長くなるように構成されている。このように十分な広さを有する平坦面４５を保護テープＰＴに当接させた状態で保護テープＰＴを剥離することにより、ウエハＷの振動は平坦面４５によって確実かつ速やかに減衰される。よって、より薄型化したウエハＷまたは表面および裏面の両方にデバイスが搭載されたウエハＷを使用する場合であっても、ウエハＷに変形などの不具合を発生させることなく、ウエハＷの表面から保護テープＰＴを精度よく剥離することができる。

図３８は、剥離方向Ｖｐ（ｘ方向）におけるウエハＷの長さＲ１の値および剥離方向Ｖｐ（ｘ方向）における平坦面４５の長さＤ１の値と、ウエハＷにおける波打ちの有無との関係を評価した実験結果を示している。実施例１ではｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１が３００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１が３０ｍｍである。すなわち実施例１では、剥離方向Ｖｐにおける平坦面４５の長さＤ１は剥離方向ＶｐにおけるウエハＷの長さＲ１の１／１０以上となっている。この場合、保護テープＰＴをウエハＷから剥離するステップＳ３において、ウエハＷに波打ち現象は発生しない。よって実施例１では保護テープＰＴをウエハＷから剥離する際に、ウエハＷの変形または割れが発生することを回避できる。

また後述する実施例２では図３８に示すように、ｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１が２００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１が２０ｍｍである。なお、実施例３ではｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１が２００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１を３０ｍｍである。これら実施例２および実施例３では実施例１と同様に、平坦面４５の長さＤ１はウエハＷの長さＲ１の１／１０以上となっている。このような実施例２および実施例３の条件で保護テープＰＴをウエハＷから剥離した場合、ステップＳ３においてウエハＷに波打ち現象は発生しないという結果が得られた。

一方、比較例１ではｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１が３００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１が１５ｍｍである。すなわち比較例１では平坦面４５の長さＤ１はウエハＷの長さＲ１の１／１０より小さい。このような比較例１において保護テープＰＴをウエハＷから剥離すると、ステップＳ３においてウエハＷに波打ち現象が発生する。その結果、波打ち現象に起因してウエハＷに変形または割れなどの不具合が発生する。

同様に、平坦面４５の長さＤ１がウエハＷの長さＲ１の１／１０より小さい条件として比較例２および比較例３を示している。比較例２ではｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１を３００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１を２０ｍｍである。比較例３ではｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１を２００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１を１５ｍｍとしている。比較例２および比較例３の各々において保護テープＰＴをウエハＷから剥離すると、ステップＳ３においてウエハＷに波打ち現象が発生する。このように、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１がｘ方向におけるウエハＷの長さＲ１の１／１０以上である場合はステップＳ３においてウエハＷに波打ち現象が発生することを防止できる。すなわち剥離方向Ｖｐにおける平坦面４５の長さＤ１を剥離方向ＶｐにおけるウエハＷの長さＲ１の１／１０以上とすることにより、保護テープＰＴを剥離する際にウエハＷに割れなどの不具合が発生することを回避できる。

また、実施例１に係る剥離部材３７は第１折り返し角部４７および第２折り返し角部４９を用いて、保護テープＰＴを複数回折り返して保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。この場合、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる際に保護テープＰＴが折り返される角度、すなわち保護テープＰＴの剥離角度Ｌ１を小さく抑えつつ、剥離部材３７によって保護テープＰＴを反転させることができる。剥離角度Ｌ１を小さくすることにより、保護テープＰＴの剛性が高い場合であっても、保護テープＰＴに損傷が発生することを防止できる。

また、より精度良く保護テープＰＴを剥離部材３７の面に沿って折り返すことができる。そして保護テープＰＴを複数回折り返すことにより、各々の折り返し角度を小さく抑えつつ、保護テープＰＴを反転させてテープ回収部９へと搬送できる。すなわち、各々の折り返し工程における保護テープＰＴへのストレスを抑えつつ、保護テープＰＴを速やかに反転できる。従って、保護テープＰＴを反転させることによって保護テープＰＴの粘着材ＴｂはウエハＷから速やかに離れていくので、保護テープＰＴの粘着材Ｔｂ破片などによってウエハＷの表面が汚染される事態を回避できる。

次に、本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と実施例２において共通する構成については同一符号を付し、詳細な説明を省略する。実施例１に係る粘着テープ剥離装置１は、剥離テープＴｓを用いて保護テープＰＴをウエハＷから剥離する構成を有している。一方、実施例２に係る粘着テープ剥離装置１Ａは、剥離テープＴｓを用いることなく保護テープＰＴをウエハＷの表面から剥離する。すなわち、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１が備える構成のうち、テープ供給部５、テープ回収部９、貼付けローラ２５、ガイドローラ３９、ガイドローラ４０など、剥離テープＴｓの操作に用いられる構成を実施例２では省略できる。なお実施例２では図３８に示すように、ｘ方向（剥離方向Ｖｐ）におけるウエハＷの長さＲ１が２００ｍｍであり、ｘ方向における平坦面４５の長さＤ１が２０ｍｍである。

実施例２に係る粘着テープ剥離装置１Ａは図１９に示すように、テープ供給部５およびテープ回収部９などが省略される一方、剥離機構７は第２剥離ユニット５３を新たに備えている。

第２剥離ユニット５３は、保護テープＰＴのうち、ウエハＷの剥離開始位置Ｃｓに貼りつけられている部分の保護テープＰＴを剥離させるものである。言い換えると、第２剥離ユニット５３は、剥離開始位置Ｃｓ側における保護テープＰＴの端部を剥離させるものである。

図２０（ａ）は第２剥離ユニット５３の正面図であり、図２０（ｂ）は第２剥離ユニット５３の斜視図である。第２剥離ユニット５３は、第１昇降軸５５、モータ５６、縦壁５７、第１把持部材５８、第２把持部材５９、第２昇降軸６０、およびモータ６１などを備えている。

第１昇降軸５５は、図示しない左右可動台から下向きに延出されており、モータ５６の正逆転駆動によって第２剥離ユニット５３の全体を昇降させるよう構成されている。左右可動台はレールなどに沿ってｘ方向へ往復移動可能に構成されている。すなわち左右可動台の水平移動によって、第２剥離ユニット５３はｘ方向へ往復移動可能となっている。

縦壁５７は第１昇降軸５５の下端に接続されており、縦向きに配置されたレール６３を備えている。第１把持部材５８は縦壁５７の下端に接続されており、剥離方向Ｖｐへ水平に延びる先細り板状のエッジ部材である。すなわち第１把持部材５８は、先鋭なエッジ状となっている先端部６５を備えている。第１把持部材５８は、フッ素加工などによる非粘着処理が施されている。

第２把持部材５９はレール６３を介して縦壁５７と接続されており、レール６３に沿って昇降移動可能に構成される。第２把持部材５９は第１把持部材５８と同様に、剥離方向Ｖｐへ延びる板状の部材である。第１把持部材５８および第２把持部材５９は、それぞれｘ方向における略同じ位置まで延びている。第２把持部材５９は、第２昇降軸６０に支持されている。第２昇降軸６０は、モータ６１の正逆転駆動によって第２把持部材５９を昇降させるよう構成されている。

第２把持部材５９はレール６３に沿って昇降することにより、第１把持部材５８と協働してはみ出し部ＰＳを把持できる。第１把持部材５８および第２把持部材５９の各々は、金属や樹脂を例とする、堅さを有する材料で構成される。

第１把持部材５８は後述するように、ウエハＷと保護テープＰＴとの接着界面Ｋに先端部６５を突き刺して進入させることにより、保護テープＰＴの周縁部分の一部をウエハＷから剥離させ、第２剥離ユニット５３によって把持される部分となる剥離部位Ｐａを形成させる。そして第２把持部材５９はレール６３に沿って昇降することにより、第１把持部材５８と協働して剥離部位Ｐａを把持する。すなわち第１把持部材５８および第２把持部材５９は、剥離部位Ｐａを把持する一対の把持部材として機能する。なお、先端部６５はｙ方向に延びる幅広の板状となっているが、剥離方向Ｖｐに向かって先細りとなっているニードル状であってもよい。

図２０（ａ）に示すように、第２剥離ユニット５３において、第２把持部材５９の下面５９Ａの形状は、先端部６５を含む第１把持部材５８の上面５８Ａの形状と嵌合するように構成されていることが好ましい。第１把持部材５８の上面５８Ａと第２把持部材５９の下面５９Ａとが嵌合する形状とすることにより、第１把持部材５８と第２把持部材５９とによって、より安定な状態で保護テープＰＴが把持される。

次に、実施例２に係る粘着テープ剥離装置１Ａを用いて、保護テープＰＴをウエハＷから剥離するための一連の動作を説明する。図７（ｂ）は、実施例２に係る粘着テープ剥離装置１Ａを用いてウエハＷから保護テープＰＴを剥離する一連の工程を説明するフローチャートである。

ステップＳ１（ワークの保持）
実施例２に係るステップＳ１の工程は、実施例１と共通する。すなわちウエハＷが、図示しない搬送ロボットによって保持テーブル３に載置される。ウエハＷが保持テーブル３に載置されると、真空装置１８の真空吸引によって、保持テーブル３は真空吸着孔１７を介してウエハＷの環状凸部Ｋａを吸着保持する。保持テーブル３がウエハＷを吸着保持すると、気体供給部２１は空間Ｓへ気体を供給して空間Ｓを加圧する。

ステップＳ２（保護テープ端部の剥離）
実施例２では、保持テーブル３がウエハＷの裏面外周部を保持すると、第２剥離ユニット５３を用いて保護テープＰＴの端部をウエハＷから剥離させる工程を開始する。すなわち、制御部５１は左右可動台およびモータ５６を制御して、第２剥離ユニット５３を水平方向および上下方向に適宜移動させる。

制御部５１による制御の結果、第２剥離ユニット５３は図２１に示すように、点線で示す待機位置から実線で示す稼働位置に移動する。第２剥離ユニット５３の稼働位置は、第１把持部材５８の先端部６５の高さが、ウエハＷと保護テープＰＴとの接着界面Ｋと同じ高さであり、かつ先端部６５が剥離開始位置Ｃｓにおける環状凸部Ｋａの外側近傍となるような位置として定められる。なお、保持テーブル３の保持面の高さ、ウエハＷおよび保護テープＰＴの厚みに係る情報が制御部５１に入力されている。そのため、制御部５１は接着界面Ｋの正確な高さを予め算出できる。

稼働位置に第２剥離ユニット５３が移動すると、図２２に示すように、制御部５１は左右可動台を制御することにより、第２剥離ユニット５３を剥離方向Ｖｐへ水平移動させる。当該制御によって、先鋭なエッジ状となっている先端部６５は、ウエハＷと保護テープＰＴとの接着界面Ｋに突き刺される。

先端部６５が接着界面Ｋに突き刺された後、制御部５１はさらに第２剥離ユニット５３を剥離方向Ｖｐへ水平移動させる。当該水平移動に伴い、先鋭な先端部６５が接着界面Ｋに沿って剥離方向Ｖｐへ進入していき、保護テープＰＴの周縁部分の一部が先端部６５によってウエハＷから剥離されていく。その結果、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴの周縁部分によって、剥離部位Ｐａが形成される。このとき、ウエハＷから剥離された剥離部位Ｐａの下面（粘着面）は、第１把持部材５８の上面５８Ａによって支持されている。

剥離部位Ｐａが形成されると、第１把持部材５８が剥離部位Ｐａの下面を支持している状態で、当該剥離部位Ｐａの把持を行う。すなわち図２３に示すように、制御部５１はモータ６１を制御することにより、第１把持部材５８が接着界面Ｋに進入している状態を維持しつつ、第２把持部材５９を下降させる。当該制御によって、第２把持部材５９は図２２になどに示される初期位置から、図２３に示される把持位置へと下降する。

第２把持部材５９は把持位置へと下降することによって、剥離部位Ｐａの表面（非粘着面）に当接するとともに、剥離部位Ｐａを下方へ押圧する。当該押圧に伴って、剥離部位Ｐａは第１把持部材５８および第２把持部材５９によって安定に把持される。このように、剥離開始位置Ｃｓ側における保護テープＰＴの端部が第２剥離ユニット５３によってウエハＷから剥離され、剥離部位Ｐａが形成される。

ステップＳ３（保護テープ全体の剥離）
剥離部位Ｐａが形成されると、剥離ユニット２７と第２剥離ユニット５３とを用いて保護テープＰＴの全体をウエハＷから剥離させる工程が開始される。まず、保持テーブル３をｘ方向に移動させ、剥離部材３７が平面視で第２剥離ユニット５３と近接対向するように剥離ユニット２７の位置を調整する。そして図２４に示すように剥離ユニット２７を下降させ、剥離部材３７の平坦面４５を保護テープＰＴに当接させる。このとき剥離部材３７は、剥離部位Ｐａを把持している第１把持部材５８および第２把持部材５９と近接対向する。

平坦面４５を保護テープＰＴの表面に当接させた後、図２５に示すように、剥離部位Ｐａの保護テープＰＴを把持させつつ第２剥離ユニット５３を上昇させる。保護テープＰＴを把持した状態で第２剥離ユニット５３が上昇することにより、保護テープＰＴはウエハＷから離反する方向Ｓへ引っ張られる。

このとき、剥離部材３７の平坦面４５が保護テープＰＴに当接している。そのため、平坦面４５の先端側に配置されている第１折り返し角部４７を支点として、剥離部位Ｐａの内側における保護テープＰＴがウエハＷから離反する方向Ｓへ引っ張られてウエハＷの表面から剥離される。ウエハＷから剥離された保護テープＰＴは剥離部材３７の第１案内面４８に当接し、第１案内面４８によって方向Ｐ２へ案内される。すなわち、第１折り返し角部４７によって１回目の折り返し工程が行われ、保護テープＰＴが延びる方向は符号Ｐ１で示される右水平方向から符号Ｐ２で示される右斜め上方向へと変更される。

保護テープＰＴをウエハＷから剥離するとき、剥離部材３７は昇降ユニット２３の動作によって、ウエハＷを僅かに押圧する。そのため、保護テープＰＴを剥離するための剥離力が作用すること起因して発生するウエハＷの振動は、剥離部材３７の平坦面４５によって速やかに抑止される。従って、ウエハＷが長時間振動することによってウエハＷに変形または割れなどが発生することを確実に回避できる。

実施例２では実施例１と同様、第１折り返し角部４７によって保護テープＰＴが折り返される角度、すなわち保護テープＰＴの剥離角度Ｌ１は鋭角となっている。すなわち剥離角度Ｌ１を小さくすることにより、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる際において保護テープＰＴに作用する剥離力を小さくできる。従って、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる際に、保護テープＰＴに対して過剰に大きな剥離力が作用して基材Ｔａまたは粘着材Ｔｂが断裂することを回避できる。

第２剥離ユニット５３を上昇させて保護テープＰＴを第１案内面４８に当接させた後、図２６に示すように第２剥離ユニット５３を左上方向へ移動させ、剥離部材３７の上方へ回り込ませる。第２剥離ユニット５３を剥離部材３７の上方へ移動させることにより、第１案内面４８によって方向Ｐ２へ案内されていた保護テープＰＴは第２折り返し角部４９によって再び折り返され、第２案内面５０に当接して方向Ｐ３へと案内される。２回の折り返し工程を行うことにより、保護テープＰＴが延びる方向は平面視で右方向であるＰ１方向から、平面視で左方向であるＰ３方向へと反転する。

保護テープＰＴを第２案内面５０に当接させた後、図２７に示すように、第２剥離ユニット５３をさらに左上方向へ移動させつつ、保持テーブル３を右方向に移動させる。すなわち、ウエハＷに対する剥離ユニット２７の相対的位置を剥離方向Ｖｐへ変位させる。このとき、第２剥離ユニット５３が把持している保護テープＰＴが弛まないように、剥離ユニット２７を剥離方向Ｖｐへ変位させる速度と、第２剥離ユニット５３を移動させる速度とを調整させる。剥離ユニット２７の変位と第２剥離ユニット５３の移動とにより、保護テープＰＴは徐々にウエハＷから剥離されていき、図２８に示すように保護テープＰＴの全体がウエハＷから剥離される。

ステップＳ４（保護テープの回収）
保護テープＰＴがウエハＷの表面全体から剥離されると、保護テープＰＴを回収する。一例として、図示しないテープ回収ボックスの上方へと第２剥離ユニット５３を移動させた後、第２把持部材５９を把持位置から初期位置へと上昇させる。第２把持部材５９が上昇することによって、第１把持部材５８と第２把持部材５９とによる保護テープＰＴの把持が解除される。その結果、保護テープＰＴは第２剥離ユニット５３から離れてテープ回収ボックスへと落下して回収される。

ステップＳ５（ワークの回収）
保護テープＰＴを回収する動作と同期して、ワークを回収する動作が開始される。すなわち、保持テーブル３は真空装置１８の動作を停止させてウエハＷの真空吸着を解除する。そして搬送ロボットはウエハＷの表面外周部を吸着保持して保持テーブル３から離脱させ、図示しないウエハ回収用のカセットにウエハＷを収納させる。

実施例２では第２剥離ユニット５３を備えることにより、剥離テープＴｓを用いることなく保護テープＰＴをウエハＷから剥離する。すなわち剥離部材３７の平坦面４５を保護テープＰＴに当接させた状態で、第２剥離ユニット５３で保護テープＰＴを把持して引っ張ることにより、保護テープＰＴをウエハＷから剥離する。広い平坦面４５が保護テープＰＴに当接して上方からウエハＷの振動を抑止するので、保持テーブル３がウエハＷの裏面外周部のみを保持する場合であっても、保護テープＰＴをウエハＷから剥離する際に発生するウエハＷの振動は平坦面４５によって速やかに減衰する。よって、ウエハＷの振動に起因してウエハＷに変形または割れなどの不具合が生じることを回避できる。

また実施例２では剥離テープＴｓが不要であるので、テープ供給部５およびテープ回収部９などの機構を省略できる。そのため、粘着テープ剥離装置１Ａをより単純化できる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。例として、本発明は下記のように変形実施することができる。

（１）各実施例において、図２９に示すように剥離部材３７の平坦面４５には凹部６７が形成されていてもよい。図２９は、剥離部材３７の左側面図である。凹部６７は、剥離テープＴｓが保護テープＰＴに貼りつけられている方向（各実施例ではｘ方向）に延びている。凹部６７の深さＲｓおよび幅Ｇｓは、剥離テープＴｓの厚みおよび幅に応じて設定される。すなわち凹部６７は剥離テープＴｓを嵌合可能に構成されている。凹部６７の深さＲｓおよび幅Ｇｓは、剥離テープＴｓの厚みおよび幅より僅かに大きいことが好ましい。

剥離テープＴｓが厚く剛性が高い場合、剥離テープＴｓが貼りつけられている保護テープＰＴに対して、凹部６７を有しない剥離部材３７を載置させると、図３０に示すように、平坦面４５が剥離テープＴｓに当接する一方で保護テープＰＴの全面に平坦面４５が精度よく当接しない問題が懸念される。

そこで剥離テープＴｓの厚みに応じたサイズの凹部６７を剥離部材３７の平坦面４５に形成されることにより、剥離部材３７の平坦面を精度良く保護テープＰＴに当接させることができる。すなわち図３１に示すように、剥離テープＴｓが貼りつけられている保護テープＰＴに対して、凹部６７を備える剥離部材３７を載置させると、凹部６７に剥離テープＴｓが嵌合する。そのため、凹部６７が形成されていない部分の平坦面４５は全面にわたって保護テープＰＴと精度よく当接する。そのため、剥離テープＴｓが厚く剛性が高い場合であっても、平坦面４５によってウエハＷの振動をより精度よく減衰させることができる。

（２）上記各実施例および各変形例において、図３２に示すように剥離部材３７はヒータ６９を内蔵してもよい。平坦面４５が保護テープＰＴに当接している状態でヒータ６９が作動することにより、保護テープＰＴがヒータ６９によって加熱されて軟化する。そのため、保護テープＰＴの剛性が高い場合であってもヒータ６９によって保護テープＰＴを軟化できるので、保護テープＰＴを精度良く折り返してウエハＷから剥離することができる。

（３）上記各実施例および各変形例において、剥離部材３７は平坦面４５を保護テープＰＴに当接可能な第１の状態と、先鋭なエッジ部を保護テープＰＴに当接可能な第２の状態とを切り換える構成としてもよい。複数の姿勢を切り換える構成の一例として、図３３（ａ）に示すように剥離部材３７はエッジ部７０と、ｙ方向に延びる回転軸７１とをさらに備えている。エッジ部７０は先鋭な角部であり、正面視で鋭角になるように構成されている。回転軸７１は剥離部材３７に埋設されており、ｙ方向の軸周りに回転可能となるように構成されている。すなわち回転軸７１の回転に応じて、剥離部材３７はｙ方向の軸周りに回転する。そして回転軸７１が回転することにより、剥離部材３７は図３３（ａ）に示される第１の状態と図３３（ｂ）に示される第２の状態とを切り換えることができる。

図３３（ａ）に示される第１の状態において、剥離部材３７は平坦面４５が下向きとなる姿勢（第１の姿勢）をとっている。剥離部材３７が第１の姿勢をとる場合、ステップＳ３において剥離部材３７を保護テープＰＴに載置させることによって、図１２ないし図１４などで示されたように、平坦面４５が保護テープＰＴに当接してウエハＷの振動を抑止する。

一方、図３３（ｂ）に示される第２の状態において、剥離部材３７はエッジ部７０が下向きとなる姿勢（第２の姿勢）をとっている。剥離部材３７が第２の姿勢をとる場合、ステップＳ３において剥離部材３７を保護テープＰＴに載置させることによって、図３４で示されるようにエッジ部７０が保護テープＰＴに当接する。エッジ部７０を保護テープＰＴに当接させた状態で剥離テープＴｓを引っ張ることにより、保護テープＰＴはエッジ部７０によって折り返されてウエハＷから剥離する。

剥離された保護テープＰＴは、エッジ部７０の角度に応じて方向Ｐ４へ反転案内される。すなわち保護テープＰＴが延びる方向は方向Ｐ１から方向Ｐ４へと反転される。エッジ部７０は従来のエッジ部材と同様に先鋭な構造であるので、方向Ｐ１と方向Ｐ４とのなす角度である剥離角度Ｌ４は大きくなる。また、先鋭なエッジ部７０は保護テープＰＴの狭い範囲に対して剥離力を作用させる。従って、先鋭なエッジ部７０を用いることによって保護テープＰＴに強い剥離力を作用できるので、保護テープＰＴの粘着材Ｔｂとして粘着力が大きい材料を用いる場合であっても、確実に保護テープＰＴをウエハＷから剥離できる。

このようにウエハＷの裏面全体を保持する保持テーブルＨＴを用いる場合、または保護テープＰＴの粘着力が高い場合、剥離部材３７を第２の姿勢に切り換えて保護テープＰＴを剥離する。すなわち、先鋭なエッジ部７０を保護テープＰＴの狭い範囲に当接させて比較的強い剥離力を保護テープＰＴに作用させる。

一方でウエハＷの裏面外周部のみを保持する保持テーブル３を用いる場合、または保護テープＰＴの剛性が高い場合、剥離部材３７を第１の姿勢に切り換えて保護テープＰＴを剥離する。すなわち、平坦面４５を保護テープＰＴの広い範囲に当接させ、ウエハＷの振動を抑止させながら保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。従って、ウエハＷを保持する構造または保護テープＰＴの条件に応じて剥離部材３７の姿勢を切り換えることにより、汎用性が高い粘着テープ剥離装置１を実現できる。

（４）上記各実施例および各変形例において、ステップＳ３において保護テープＰＴを剥離する際に、剥離部材３７の高さを一定にして剥離方向Ｖｐへ移動させる構成を例示しているがこれに限られない。すなわちステップＳ３において、保護テープＰＴが剥離されるウエハＷの部位に応じて剥離部材３７の高さを変更しつつ剥離方向Ｖｐへ移動させてもよい。

具体的には、ウエハＷの外周部に貼りつけられている保護テープＰＴを剥離する場合、図３５に示すように剥離部材３７を符号Ｈ１で示される比較的低い位置に調整した状態で剥離部材３７を剥離方向Ｖｐへ移動させ、保護テープＰＴを折り返して剥離させる。一方、ウエハＷの外周部以外の部分に貼りつけられている保護テープＰＴを剥離する場合、剥離部材３７を符号Ｈ２で示される比較的高い位置に調整した状態で剥離部材３７を剥離方向Ｖｐへ移動させ、保護テープＰＴを折り返して剥離させる。

一例として、剥離部材３７の高さがＨ１である場合、剥離部材３７の平坦面４５は保護テープＰＴに当接している。一方、剥離部材３７の高さがＨ２である場合、平坦面４５は保護テープＰＴに近接している状態であり平坦面４５と保護テープＰＴとの間には隙間７３が形成されている。なお説明の便宜上、図３５では隙間７３を広く表示している。ｚ方向における隙間７３の高さは、ウエハＷの振動を平坦面４５で速やかに抑止できる程度に小さい距離に調整される。

ウエハＷの外周部に貼りつけられている保護テープＰＴを剥離する場合、剥離部材３７はウエハＷの環状凸部Ｋａの上方に位置している。環状凸部Ｋａは厚みがあり剛性が高い部分であるので、剥離部材３７を比較的低い位置へ下降させてウエハＷの環状凸部Ｋａに当接させる場合、または剥離部材３７が環状凸部Ｋａに対して押圧力を作用させる場合であっても、ウエハＷが剥離部材３７の下降によって受ける影響は小さい。そのため、剥離部材３７の高さを比較的低くすることによって、より確実にウエハＷの振動を抑止しつつ保護テープＰＴを剥離できる。

ウエハＷの外周部以外すなわちウエハＷの中央部に貼りつけられている保護テープＰＴを剥離する場合、剥離部材３７はウエハＷの扁平凹部Ｈｅの上方に位置している。扁平凹部Ｈｅは薄く剛性が低い部分であるので、平坦面４５が扁平凹部Ｈｅに当接すると扁平凹部Ｈｅに押圧力が作用してウエハＷに変形などの不具合が発生する場合がある。そのため、剥離部材３７の高さを比較的高くして僅かな隙間７３を形成させることによって、ウエハＷに不具合が発生する事態をより確実に回避しつつ、保護テープＰＴを剥離する際にウエハＷの振動を抑止できる。

（５）上記各実施例および各変形例において、平坦面４５を備える剥離部材３７の形状は、第１折り返し角部４７および第２折り返し角部４９を備える構成に限られない。剥離部材３７の形状の一例として、図３６（ａ）に示すように、平坦面４５と、鋭角に構成される折り返し角部７５とを備える構成が挙げられる。また他の一例として図３６（ｂ）に示すように、先端部に曲面７７が形成されており、下面に平坦面４５を備える構成が挙げられる。

図３６（ａ）に示される剥離部材３７を用いる場合、図３７に示すように、ステップＳ３において平坦面４５によってウエハＷの振動を抑止しつつ、折り返し角部７５によって保護テープＰＴを１回折り返してウエハＷから剥離させる。折り返し角部７５は鋭角であるので、保護テープＰＴの剥離角度Ｌ５は鈍角となる。すなわち鋭角である折り返し角部７５を備えることによって保護テープＰＴの剥離角度Ｌ５を大きくできるので、保護テープＰＴの粘着力が高い場合であっても確実に保護テープＰＴをウエハＷから剥離できる。

図３６（ｂ）に示される剥離部材３７を用いる場合、ステップＳ３において平坦面４５によってウエハＷの振動を抑止しつつ、曲面７７によって保護テープＰＴを折り返してウエハＷから剥離させる。保護テープＰＴは曲面７７の形状に沿って徐々に折り返されるので、保護テープＰＴの剛性が高い場合であっても、保護テープＰＴを折り返す際において保護テープＰＴに断裂などの不具合が発生することを回避できる。

（６）上記各実施例および各変形例において、剥離対象となる粘着テープの一例として回路保護用の保護テープＰＴを例にとって説明したが、剥離対象となる粘着テープは保護テープに限ることはなく、ダイシングテープなど他の用途に用いる粘着テープをも剥離対象とすることができる。

（７）各実施例において、ステップＳ３において剥離部材３７を保護テープＰＴの表面に載置させる際に、平坦面４５が保護テープＰＴの表面に当接する構成を例にとって説明したが、平坦面４５が保護テープＰＴの表面に近接する構成であってもよい。すなわち剥離部材３７を下降させて保護テープＰＴの表面に載置させる際に、平坦面４５と保護テープＰＴとの間に微小な隙間が形成されるように剥離部材３７の高さを調整する。そして平坦面４５が保護テープＰＴの表面に近接している状態を維持しつつ、保護テープＰＴを第１折り返し角部４７で折り返してウエハＷから剥離させる。

このように平坦面４５を近接させた状態で保護テープＰＴを折り返して剥離する変形例では、剥離部材３７の高さを比較的高くして僅かな隙間を形成させることによって、平坦面４５が過度な押圧力をウエハＷに作用させることに起因してウエハＷに割れなどの不具合が発生する事態を確実に回避できる。一方、平坦面４５と保護テープＰＴとの間に形成されている隙間は非常に微小な距離であるので、ウエハＷが変位する場合であっても当該変位は近接している平坦面４５によって速やかに抑止される。よって、ウエハＷの変形または割れの発生を回避しつつ、保護テープＰＴを剥離する際にウエハＷが変位することを抑止できる。

（８）各実施例において、ワークは半導体ウエハに限ることはなく、基板、パネルなど各種半導体用部材をワークとして適用することができる。さらにワークの形状としては円形状の他、矩形状、多角形状、略円形状などであってもよい。一例として矩形状の基板をワークとして用いる場合、剥離方向Ｖｐにおける平坦面４５の長さＤ１が、剥離方向Ｖｐにおける基板の長さの１／１０以上となるように装置の構成および基板の配置などを調整することで、保護テープＰＴを剥離する際にワークが振動して波打ちが発生することができる。

（９）上記各実施例および各変形例において、剥離部材３７は複数の平面および角部を備え、回動することによって保護テープＰＴに当接する平面および角部を切り換える構成であってもよい。回動することによって保護テープＰＴに当接する平面および角部を切り換える構成の一例として、図３９（ａ）に示すように、剥離部材３７はｙ方向に延びる４つの平面７９、８０、８１、および８２と、４つの角部８３、８４、８５、および８６とを備えている。すなわち（７）に係る変形例において、剥離部材３７はｙ方向に延びる四角柱状の部材である。

また剥離部材３７はｙ方向に延びる回転軸８７を備えており、ｙ方向の軸周りに回動可能に構成される。剥離部材３７がｙ方向の軸周りに回動することにより、剥離部材３７において下向きとなる平面を切り換えることができる。図３９（ａ）は、平面７９が下向きになっている状態を示している。この状態で剥離部材３７が保護テープＰＴに載置されることにより、平面７９～８２のうち平面７９が保護テープＰＴに当接する。図３９（ｂ）は、平面８１が下向きになっている状態を示している。この状態で剥離部材３７が保護テープＰＴに載置されることにより、平面７９～８２のうち平面８１が保護テープＰＴに当接する。

角部８３は平面７９の一端側に備えており、平面７９が保護テープＰＴに当接する場合は角部８３がステップＳ３において保護テープＰＴを折り返す角部として機能する。角部８４は平面８０の一端側に備えており、平面８０が保護テープＰＴに当接する場合は角部８４がステップＳ３において保護テープＰＴを折り返す角部として機能する。角部８５は平面８１の一端側に備えており、平面８１が保護テープＰＴに当接する場合は角部８５がステップＳ３において保護テープＰＴを折り返す角部として機能する。角部８６は平面８２の一端側に備えており、平面８２が保護テープＰＴに当接する場合は角部８３がステップＳ３において保護テープＰＴを折り返す角部として機能する。

角部８３～８６の各々の角度はそれぞれ異なるように構成されている。本変形例において、角部８３は鈍角であり、角部８４および８５は鋭角であり、角部８６は直角であるように構成されている。また角部８４の正面視における角度は角部８５の正面視における角度より小さくなるように構成されている。

ステップＳ３において、図３９（ａ）に示すように平面７９が下向きになっている状態で剥離部材３７を下降させて保護テープＰＴに載置させることにより、平面７９～８２のうち平面７９が保護テープＰＴに当接する。そして角部８３～８６のうち角部８３が保護テープＰＴを折り返す折り返し角部として機能する。すなわち図３９（ｃ）に示すように、剥離テープＴｓを引っ張ることにより保護テープＰＴは角部８３において折り返されてウエハＷから剥離される。角部８３の角度は鈍角であるので、角部８３が折り返し角部として機能する場合において、保護テープＰＴが剥離する際に折り返される角度すなわち剥離角度Ｌ６は鈍角となる。

一方、ステップＳ３において、図３９（ｂ）に示すように平面８１が下向きになっている状態で剥離部材３７を下降させて保護テープＰＴに載置させることにより、平面７９～８２のうち平面８１が保護テープＰＴに当接する。そして角部８３～８６のうち角部８５が保護テープＰＴを折り返す折り返し角部として機能する。すなわち図３９（ｄ）に示すように、剥離テープＴｓを引っ張ることにより保護テープＰＴは角部８５において折り返されてウエハＷから剥離される。角部８５の角度は鋭角であるので、角部８５が折り返し角部として機能する場合において、保護テープＰＴの剥離角度Ｌ７は鋭角となる。

このように、剥離部材３７を回転させて保護テープＰＴに当接する平面および角部を切り換えることにより、ステップＳ３において保護テープＰＴを折り返して剥離する角度を適宜変更することができる。言い換えると、保護テープＰＴに当接する角部を切り換えることにより、ステップＳ３における保護テープＰＴの剥離角度を変更できる。

なお剥離部材３７は４つの平面および角部を備える四角柱状の部材に限ることはなく、六角柱状などを例とする多角柱状の部材であってもよい。一例として剥離部材３７が六角柱状である場合、正面視においてそれぞれ異なる角度を有する６つの角部のうち保護テープＰＴを折り返す折り返し角部として機能する角部を切り換えることにより、ステップＳ３における保護テープＰＴの剥離角度を６段階に変更できる。すなわち剥離部材３７を回動可能な多角柱状とすることにより、剥離部材３７を複数準備することなく保護テープＰＴの剥離角度を複数の段階に変更できる。

１ … 粘着テープ剥離装置
３ … 保持テーブル
５ … テープ供給部
７ … 剥離機構
９ … テープ回収部
１０ … レール
１１ … 可動台
１２ … パルスモータ
１３ … ネジ軸
１５ … 凹部
１７ … 真空吸着孔
１８ … 真空装置
１９ … 気体供給孔
２０ … 小孔
２１ … 気体供給部
２３ … 昇降ユニット
２５ … 貼付けローラ
２７ … 剥離ユニット
２８ … 縦フレーム
２９ … 支持フレーム
３０ … 基台
３１ … 縦レール
３２ … 昇降台
３３ … モータ
３４ … 側板
３５ … 支持フレーム
３７ … 剥離部材
３９ … ガイドローラ
４０ … ガイドローラ
４１ … ニップローラ
４２ … テンションローラ
４３ … 支持アーム
４５ … 平坦面
４７ … 第１折り返し角部
４８ … 第１案内面
４９ … 第２折り返し角部
５０ … 第２案内面
５１ … 制御部
５３ … 第２剥離ユニット
５５ … 第１昇降軸
５６ … モータ
５７ … 縦壁
５８ … 第１把持部材
５９ … 第２把持部材
６０ … 第２昇降軸
６１ … モータ
６３ … レール
６５ … 先端部
Ｗ … ウエハ（ワーク）
Ｋａ … 環状凸部
Ｈｅ … 扁平凹部
ＰＴ … 保護テープ
Ｔｓ … 剥離テープ
Ｃｓ … 剥離開始位置
Ｃｅ … 剥離終了位置
Ｖｐ … 剥離方向

Claims (18)

1. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
   前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持過程と、
   平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
   を備え、
   前記平坦面は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される方向である剥離方向について前記ワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、前記剥離方向に直交する方向である直交方向について前記ワークの長さより長くなるように構成されている
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
2. 請求項１に記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離部材は前記粘着テープを加熱させるヒータを備え、
   前記剥離過程において、前記剥離部材は前記ヒータによって加熱された前記粘着テープを折り返させ、前記粘着テープを前記ワークから剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離部材は、
   前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを折り返して前記ワークから剥離させる折り返し角部を備え、
   前記折り返し角部は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角度が鋭角となるように構成される
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離部材は、
   先鋭なエッジ部をさらに有し、
   前記エッジ部および前記平坦面のうち前記平坦面が前記粘着テープの表面に当接可能な第１姿勢と、前記エッジ部および前記平坦面のうち前記エッジ部が前記粘着テープの表面に当接可能な第２姿勢とを切り換え可能に構成されており、
   前記剥離過程は、
   前記剥離部材が前記第１姿勢をとる場合は前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させ、
   前記剥離部材が前記第２姿勢をとる場合は前記エッジ部を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離過程において、
   前記ワークの外周部に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返し、前記ワークの外周部以外に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに近接している状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返すように前記剥離部材の高さが制御される
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離部材は、所定の方向に延びる複数の平面とそれぞれ角度が異なる複数の角部とを有する多角柱状の部材であり、前記所定の方向の軸周りに回動可能に構成されており、
   前記剥離部材が前記所定の方向の軸周りに回動されることで、前記複数の平面のうち前記平坦面として前記粘着テープの表面に当接する平面が切り換えられ、前記複数の角部のうち前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角部が切り換えられるように構成される
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記粘着テープの表面に剥離テープを前記剥離方向に貼りつける剥離テープ貼付過程と、
   を備え、
   前記剥離過程は、
   平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープに貼りつけられた前記剥離テープの表面に当接させ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
8. 請求項７に記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記剥離部材は、
   前記剥離テープの厚みに相当する深さの凹部が前記平坦面に形成されており、
   前記剥離過程では
   前記凹部に前記剥離テープを嵌合させた状態で前記平坦面を前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープの表面に当接させ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
9. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
   前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持過程と、
   前記ワークの振動を防止する振動防止面を有する剥離部材の前記振動防止面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
   を備えることを特徴とする粘着テープ剥離方法。
10. 請求項９に記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離部材は前記粘着テープを加熱させるヒータを備え、
    前記剥離過程において、前記剥離部材は前記ヒータによって加熱された前記粘着テープを折り返させ、前記粘着テープを前記ワークから剥離させる
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
11. 請求項９または請求項１０に記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離部材は、
    前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを折り返して前記ワークから剥離させる折り返し角部を備え、
    前記折り返し角部は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角度が鋭角となるように構成される
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
12. 請求項９ないし請求項１１のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離部材は、
    先鋭なエッジ部をさらに有し、
    前記エッジ部および前記振動防止面のうち前記振動防止面が前記粘着テープの表面に当接可能な第１姿勢と、前記エッジ部および前記振動防止面のうち前記エッジ部が前記粘着テープの表面に当接可能な第２姿勢とを切り換え可能に構成されており、
    前記剥離過程は、
    前記剥離部材が前記第１姿勢をとる場合は前記振動防止面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させ、
    前記剥離部材が前記第２姿勢をとる場合は前記エッジ部を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
13. 請求項９ないし請求項１２のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離過程において、
    前記ワークの周縁部に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに当接した状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返し、前記ワークの周縁部以外に貼りつけられている前記粘着テープを剥離する際には前記剥離部材が前記粘着テープに近接している状態で前記粘着テープを前記剥離部材で折り返すように前記剥離部材の高さが制御される
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
14. 請求項９ないし請求項１３のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離部材は、所定の方向に延びる複数の平面とそれぞれ角度が異なる複数の角部とを有する多角柱状の部材であり、前記所定の方向の軸周りに回動可能に構成されており、
    前記剥離部材が前記所定の方向の軸周りに回動されることで、前記複数の平面のうち前記振動防止面として前記粘着テープの表面に当接する平面が切り換えられ、前記複数の角部のうち前記粘着テープが前記ワークから剥離される際に前記粘着テープが折り返される角部が切り換えられるように構成される
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
15. 請求項９ないし請求項１４のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記粘着テープの表面に剥離テープを前記剥離方向に貼りつける剥離テープ貼付過程と、
    を備え、
    前記剥離過程は、
    前記剥離部材の前記振動防止面を前記粘着テープに貼りつけられた前記剥離テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させる
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
16. 請求項１５に記載の粘着テープ剥離方法において、
    前記剥離部材は、
    前記剥離テープの厚みに相当する深さの凹部が前記振動防止面に形成されており、
    前記剥離過程では
    前記凹部に前記剥離テープを嵌合させた状態で前記振動防止面を前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記剥離テープが貼りつけられた前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記剥離テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを前記剥離テープと一体にして剥離させる
    ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
17. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
    前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持部と、
    平坦面を有する剥離部材の前記平坦面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
    を備え、
    前記平坦面は、前記粘着テープが前記ワークから剥離される方向である剥離方向について前記ワークの長さの１／１０以上の長さを有するとともに、前記剥離方向に直交する方向である直交方向について前記ワークの長さより長くなるように構成されている
    ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
18. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
    前記ワークを保持部材に載置させ、前記ワーク全面のうち前記ワークの外周部を前記保持部材で保持するワーク保持部と、
    前記ワークの振動を防止する振動防止面を有する剥離部材の前記振動防止面を前記粘着テープの表面に当接させ、前記振動防止面によって前記ワークの振動を防止しつつ、前記粘着テープを前記剥離部材によって折り返した状態で前記粘着テープを引っ張ることにより、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
    を備えることを特徴とする粘着テープ剥離装置。

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