JP6706980B2 - 拡張装置及び拡張方法 - Google Patents
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間に間隔を形成する拡張方法であって、一端でロール状に巻回された該シートを送り出すとともに送り出された該シートを他端で巻き取るシート送り出しステップと、被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該保持手段で保持された被加工物の被貼着面を撮像カメラで撮像して形成された撮像画像をもとに被加工物を該シート送り出しステップで送り出された該シートに対して所定の向きに位置づけるとともに該シートの該粘着面に被加工物の該被貼着面を対面させる被加工物位置づけステップと、被加工物位置づけステップを実施した後、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持手段と第二挟持手段とで該シートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持手段と第四挟持手段とで該シートを挟持する挟持ステップと、該挟持ステップを実施した後、該シートの該粘着面の反対側から該シートを押圧して該シートを被加工物に貼着する貼着ステップと、該貼着ステップを実施した後、該シートに貼着された被加工物を該保持手段から放すリリースステップと、該リリースステップを実施した後、該第一挟持手段と該第二挟持手段とが該シートを挟持した状態で該第一挟持手段と該第二挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを該第一方向に拡張させる第一方向拡張ステップと、該リリースステップを実施した後、該第三挟持手段と該第四挟持手段とが該シートを挟持した状態で該第三挟持手段と該第四挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第二方向拡張ステップと、該第一方向拡張ステップと該第二方向拡張ステップとを実施した後、該第一挟持手段と該第二挟持手段と該第三挟持手段と該第四挟持手段とで該シートを挟持した状態で、該シートの該粘着面に、中央に開口を有した環状フレームを対面させるとともに該開口内に被加工物を位置づけるフレーム位置づけステップと、該フレーム位置づけステップで該粘着面に対面して位置づけられた該環状フレームに該シートを貼着するフレーム貼着ステップと、該フレーム貼着ステップを実施した後、該環状フレームに沿って該シートを切断するシート切断ステップと、該シート切断ステップを実施した後、該環状フレームに該シートを介して被加工物が貼着されたフレームユニットを該シート上から搬出する搬出ステップと、を備える。
図1に示す拡張装置1は、被加工物に貼着されるシート8を拡張することができる拡張装置の一例である。拡張装置1は、三階層構造となっており、一階層部分において第一方向に延在する装置ベース100aと、二階層部分において第一方向に延在する装置ベース100bと、三階層部分において第一方向に延在する一対のガイドベース103とを有している。装置ベース100bの中央部分には、装置ベース100a側と連通するための開口101が形成されている。一対のガイドベース103には、第一方向に延在するガイドレール104がそれぞれ敷設されている。装置ベース100a,100bの第一方向後方側には中央に図2に示す開口3を有する環状フレーム2を複数収容するための環状フレーム供給ユニット4が連結されている。
また、アライメント手段50により、シート8に貼着される被加工物の向きを調整することができるため、環状フレーム2に対する被加工物の向きを一様に定めることが可能となり、例えば後工程のピックアップ工程を実施するときにアライメント不良が発生するおそれを低減することができる。
次に、上記した拡張装置1を用いて、個々のチップに分割された被加工物にシート8を貼着するとともに、シート8を拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張方法について説明する。本発明の適用対象となる被加工物は、分割予定ラインに沿って分割起点(例えば改質層)が形成された被加工物、または分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物である。
図10に示すように、送り出しローラ22により一端側の送り出しリール20からロール状に巻回されたシート8を第一方向に送り出すとともに、送り出されたシート8を引き込みローラ23,24によって引き込んで巻き取りリール21により巻き取る。このとき、送り出されたシート8の上向きに露出した上面が粘着性を有する粘着面8aとなっている。なお、本実施形態で使用されるシート8は、特に限定されないが、例えば、ポリオレフィンやポリ塩化ビニル等の基材層に粘着層が積層されたエキスパンドシートを用いる。
図11に示すように、ウエーハWを保持手段40に搬入する。ウエーハWは、被加工物の一例であって、その表面Waに交差する複数の分割予定ラインにより区画された各領域にデバイスが形成されている。ウエーハWの表面Waには、デバイスを保護するための保護テープTが貼着されている。表面Waと反対側の裏面は、後述する貼着ステップでシート8に貼着される被貼着面Wbとなっている。本実施形態に示すウエーハWは、例えばレーザー光線の照射により分割予定ラインに沿った改質層がウエーハWの内部に形成され、例えば研削装置において薄化され改質層を起点に個々のチップに分割されている。
図12に示すように、ウエーハWを保持手段40で保持する。具体的には、図示しない吸引源の吸引力を保持テーブル41の保持面41aに作用させ、保護テープTを介してウエーハWの表面Wa側を吸引保持する。続いて、保持テーブル41の保持面41aでウエーハWの表面Wa側を保持した状態で、図6に示した回転軸44が回転し保持テーブル41の保持面41aを反転させウエーハWの被貼着面Wbを下向きにする。
保持ステップを実施した後、図13に示すように、保持手段40で保持されたウエーハWを撮像カメラ51で撮像し、撮像画像をもとにウエーハWの向きを調整して、ウエーハWをシート送り出しステップで送り出されたシート8に対して所定の向きに位置づけるとともにシート8の粘着面8aにウエーハWの被貼着面Wbを対面させる。
被加工物位置づけステップを実施した後、図15に示すように、第一方向においてウエーハWを挟んで互いに対向した第一挟持手段10Aと第二挟持手段Bとでシート8を挟持するとともに、第一方向に直交する第二方向においてウエーハWを挟んで互いに対向した第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとでシート8を挟持する。まず、2つの第一方向移動手段14aを作動させ、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとが互いに接近するように図4に示した各スライド部131を第一方向に水平移動させる。また、2つの第二方向移動手段14bを作動させ、第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとが互いに接近するように各スライド部135を第二方向に水平移動させる。このようにして、第一挟持手段10A,第二挟持手段10B,第三挟持手段10C及び第四挟持手段10Dを互いに接近させる。
挟持ステップを実施した後貼着ステップを実施する前に、第一方向においてシート8に撓みが発生している場合は、図16に示すように、第一方向においてシート8を拡張させてシート8の撓みを解消する。具体的には、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとがシート8の上下面を挟持した状態で第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとを互いに離反するように移動させる。すなわち、図13に示した2つの第一方向移動手段14aを作動させ、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとが互いに離反するように、図4に示した各スライド部131を凹部102aにおいて第一方向に水平移動させ、各下側挟持部110のローラ113と各上側挟持部120のローラ123とによって挟持されたシート8をそれぞれ外側に向けて引っ張る。その結果、第一方向においてシート8が伸張されて撓みが解消される。
次いで、第二方向においてシート8に撓みが発生している場合は、図17に示すように、第二方向においてシート8を拡張させてシート8の撓みを解消する。第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとがシート8の上下面を挟持した状態で第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとを互いに離反するように移動させる。すなわち、図15に示した2つの第二方向移動手段14bを作動させ、第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとが互いに離反するように、図4に示した各スライド部135を凹部102bにおいて第二方向に水平移動させ、各下側挟持部110のローラ113と各上側挟持部120のローラ123とによって挟持されたシート8をそれぞれ外側に向けて引っ張る。その結果、第二方向においてシート8が伸張されて撓みが解消される。
挟持ステップを実施した後(事前第一方向拡張ステップ及び事前第二方向拡張ステップを実施した後はその後)、図18に示すように、シート8の粘着面8aの反対側からシート8を押圧してシート8をウエーハWに貼着する。具体的には、エアシリンダ302においてピストン303が上昇することにより、貼着ローラ30をシート8の下面に接触させる。続いて貼着ローラ30を回転させながらシート8の下面を上方に押圧するとともに、図3に示した第一方向送り手段37により移動基台373を第一方向に移動させ貼着ローラ30を転動させる。転動する貼着ローラ30の押圧にともない、シート8をウエーハWの被貼着面Wbに向けて押し付けることにより、被貼着面Wbの全面にシート8の粘着面8aを貼着する。その後、エアシリンダ302においてピストン303が下降し、シート8から貼着ローラ30を退避させる。このとき、第一挟持手段10A,第二挟持手段10B,図15に示した第三挟持手段10C及び第四挟持手段10Dによりシート8の上下面は挟持されており、この状態は後述するシート切断ステップが完了するまで維持される。
貼着ステップを実施した後、図19に示すように、シート8に貼着されたウエーハWを保持手段40から放す。具体的には、図3に示した第一方向送り手段37により移動基台373が第一方向に移動し、リリーステーブル311を第一方向に移動させる。続いてエアシリンダ312においてピストン313が上昇することによりリリーステーブル311を上昇させ、保持手段40と対向した位置にリリーステーブル311を位置づける。すなわち、リリーステーブル311がシート8を介して保持テーブル41が保持するウエーハWの被貼着面Wb側に接触する。その後、保持テーブル41がウエーハWの吸引を解除するとともに、リリーステーブル311によりウエーハWを吸引保持する。このようにして、保持テーブル41からリリーステーブル311へウエーハWの吸引保持を引き継ぐことで、ウエーハWに破損が生じるのを低減することができる。
次に、剥離ユニット60を用いて保護テープTをウエーハWの表面Waから剥離する。まず、図20に示すように、リリーステーブル311の上方にテープ保持手段60A及び剥離起点部生成手段60Cを移動させる。この際、ウエーハWに貼着された保護テープTの外周端部のわずかに外周部分を剥離起点部生成手段60Cにおける先端針状部材68の先端の直下に位置づける。その後、図9に示した第4エアシリンダ61dを作動させて、先端針状部材68の先端を保護テープTの外周端部に近接する位置まで降下させる。
次に、図27に示すように、第一方向においてシート8をさらに拡張して個々のチップC間の間隔を形成する。具体的には、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとがシート8を挟持した状態で第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとを第一方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図4に示した2つの第一方向移動手段14aを作動させ、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bとが互いに離反するように、各スライド部131を凹部102aにおいて第一方向に移動させ、各下側挟持部110のローラ113と各上側挟持部120のローラ123とによって挟持されたシート8をそれぞれ外側に引っ張る。シート8がさらに拡張することにともない、隣り合うチップCの間の間隔が大きくなり、各チップCの間に十分な間隔を形成することができる。これにより、ウエーハWの搬送時に隣り合うチップC同士が接触することを防止できる。シート8は、第二方向に比べて巻回方向(第一方向)に伸びやすく、本ステップでは、分割予定ラインS1よりもチップ間隔が狭い分割予定ラインS2が、伸びやすい方向である第一方向に拡張されるため、分割予定ラインS2におけるチップ間隔を十分な幅に形成することができる。
続いて、図28に示すように、第二方向においてシート8をさらに拡張して個々のチップC間の間隔を形成する。具体的には、第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとがシート8を挟持した状態で第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとを第二方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図4に示した2つの第二方向移動手段14bを作動させ、第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとが互いに離反するように、各スライド部135を凹部102bにおいて第二方向に移動させ、各下側挟持部110のローラ113と各上側挟持部120のローラ123とによって挟持されたシート8をそれぞれ外側に引っ張る。シート8がさらに拡張することにともない、隣り合うチップCの間の間隔が拡がり、各チップCの間に十分な間隔を形成することができる。これにより、第一方向拡張ステップと同様に、ウエーハWの搬送時に隣り合うチップC同士が接触することを防止できる。なお、本実施形態では、第一方向拡張ステップを実施した後に第二方向拡張ステップを実施しているが、この場合に限られず、第一方向拡張ステップと第二方向拡張ステップとを同時に実施してもよいし、第二方向の拡張をしてから第一方向の拡張を行ってもよい。
ここで、第一方向拡張ステップ及び第二方向拡張ステップにより拡張されたウエーハWのうち、個々のチップCに分割されていない未分割領域(改質層を起点に分割されなかった領域)がある場合は、図3に示した分割手段35によってウエーハWに外力を付与することにより、個々のチップCに分割する。例えば、第一方向においてウエーハWに未分割領域がある場合は、回転テーブル36を回転させることにより、スキージ350の延在方向を第一方向に合わせるとともに、第二方向送り手段38により移動基台383を第二方向に移動させ未分割領域に対応する位置にスキージ350を位置づける。続いて、スキージ350を上昇させてシート8を介してウエーハWに接触させスリット351を通じてウエーハWを吸引することにより、未分割領域を分割して個々のチップCに分割する。なお、未分割領域分割ステップは、少なくともフレーム貼着ステップを実施する前に行う。
第一方向拡張ステップと第二方向拡張ステップとを実施した後、図29に示すように、フレーム保持手段70によって環状フレーム2をシート8に対面させる。まず、フレーム保持手段70は、図2に示したフレームストッカー5に収容されている環状フレーム2をフレーム保持部71で吸引保持して搬出し、シート8の上方側に移動する。次いで、第一挟持手段10Aと第二挟持手段10Bと図28に示した第三挟持手段10Cと第四挟持手段10Dとでシート8を挟持した状態で、シート8の粘着面8aに環状フレーム2を対面させるとともに、環状フレーム2の開口3の内側にウエーハWを位置づける。
フレーム位置づけステップを実施したら、図30に示すように、シート8の粘着面8aに対面して位置づけられた環状フレーム2にシート8を貼着する。具体的には、昇降機構によりフレーム用貼着ローラ33a,33bが上昇し、シート8の下面にフレーム用貼着ローラ33a,33bを接触させる。続いて図3に示した回転テーブル36が少なくとも1回転することによりフレーム用貼着ローラ33a,33bを環状フレーム2に沿って転動させながらシート8の下面を上方に押圧することにより、環状フレーム2にシート8の粘着面8aを貼着する。環状フレーム2にシート8が貼着された後、フレーム用貼着ローラ33a,33bを下降させてシート8から退避させる。
フレーム貼着ステップを実施した後、図31に示すように、環状フレーム2に沿ってシート8を切断する。具体的には、昇降機構により切断手段34が上昇してシート8に切り込ませ、図3に示した回転テーブル36が少なくとも1回転することにより、環状フレーム2に沿って切断手段34を円形に移動させることによりシート8を切断する。
シート切断ステップを実施した後、図32に示すように、環状フレーム2にシート8を介してウエーハWが貼着されたフレームユニット9が形成される。そして、フレーム保持手段70はフレームユニット9を保持した状態で上昇することにより、シート8が切断された位置Pからフレームユニット9を搬出し、次工程(例えば実装工程)にフレームユニット9を移送する。
また、本発明にかかる拡張方法では、拡張対象となるウエーハWが第一方向に伸張する第一分割予定ラインS1と第一方向に直交する第二方向に伸張する第二分割予定ラインS2とを有し、第一分割予定ラインS1と第二分割予定ラインS2とによって区画された領域に形成されたチップCが長尺チップである場合、被加工物位置づけステップでアライメント手段50によるパターンマッチングを行うことにより、チップC間の距離が広い方向の分割予定ライン(第一分割予定ラインS1)の延在方向をシート8の送り出し方向(第一方向)に一致させることができ、チップC間に十分な距離を形成することができる。
5:フレームストッカー 6:台車 7:キャスター 8:シート 8a:粘着面
9:フレームユニット 10:拡張手段 10A:第一挟持手段 10B:第二挟持手段
10C:第三挟持手段 10D:第四挟持手段
11a,11b:下側挟持機構 12a,12b:上側挟持機構
13a,13b:可動基台 14a:第一方向移動手段 14b:第二方向移動手段
15:下側昇降手段 16:上側昇降手段
20:送り出しリール 21:巻き取りリール 22:送り出しローラ
23,24:引き込みローラ 30:貼着ローラ 31:リリース手段 32:固定基台
33a,33b:フレーム用貼着ローラ 34:切断手段 35:分割手段
36:回転テーブル 37:第一方向送り手段 38:第二方向送り手段
40:保持手段 41:保持テーブル 42:回転テーブル 43:ベース
44:回転軸 45:支持部
50:アライメント手段 51:撮像カメラ 500:撮像画像
60:剥離ユニット
70:フレーム保持手段 71:フレーム保持部 80:ロボットハンド
Claims (3)
- 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物に粘着面を有したシートを貼着するとともに貼着された該シートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、
被加工物が貼着されたシートを拡張する拡張手段と、
該拡張手段で拡張される該シートの上方で該シートに貼着される被加工物の被貼着面を該シートの該粘着面に対面させた状態で保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物の該被貼着面を撮像する撮像カメラを有し、該保持手段で保持された被加工物を該シートに対して所定の向きに位置づけることを可能にするアライメント手段と、
被加工物が貼着される該シートを介して該保持手段に対面して配設され、該保持手段で保持された被加工物に該シートを貼着する貼着ローラと、
該拡張手段により拡張される該シートの上方側で中央に開口を有した環状フレームを、該開口内に該シートに貼着された被加工物が位置づけられるように保持するフレーム保持手段と、
被加工物が貼着される該シートの下方側に配設され該フレーム保持手段に保持された該環状フレームに該シートを貼着するフレーム用貼着ローラと、
被加工物が貼着される該シートの下方側に配設され該フレーム保持手段に保持された該環状フレームに沿って該シートを切断する切断手段と、を備え、
該拡張手段は、第一方向において該シートに貼着される被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれが該シートを挟持する第一挟持手段と第二挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向において該シートに貼着される被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれが該シートを挟持する第三挟持手段と第四挟持手段と、該第一挟持手段と該第二挟持手段とを該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三挟持手段と該第四挟持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段と、を備える拡張装置。 - 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物に粘着面を有したシートを貼着するとともに貼着された該シートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張方法であって、
一端でロール状に巻回された該シートを送り出すとともに送り出された該シートを他端で巻き取るシート送り出しステップと、
被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該保持手段で保持された被加工物の被貼着面を撮像カメラで撮像して形成された撮像画像をもとに被加工物を該シート送り出しステップで送り出された該シートに対して所定の向きに位置づけるとともに該シートの該粘着面に被加工物の該被貼着面を対面させる被加工物位置づけステップと、
被加工物位置づけステップを実施した後、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持手段と第二挟持手段とで該シートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持手段と第四挟持手段とで該シートを挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、該シートの該粘着面の反対側から該シートを押圧して該シートを被加工物に貼着する貼着ステップと、
該貼着ステップを実施した後、該シートに貼着された被加工物を該保持手段から放すリリースステップと、
該リリースステップを実施した後、該第一挟持手段と該第二挟持手段とが該シートを挟持した状態で該第一挟持手段と該第二挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シー
トを該第一方向に拡張させる第一方向拡張ステップと、
該リリースステップを実施した後、該第三挟持手段と該第四挟持手段とが該シートを挟持した状態で該第三挟持手段と該第四挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第二方向拡張ステップと、
該第一方向拡張ステップと該第二方向拡張ステップとを実施した後、該第一挟持手段と該第二挟持手段と該第三挟持手段と該第四挟持手段とで該シートを挟持した状態で、該シートの該粘着面に、中央に開口を有した環状フレームを対面させるとともに該開口内に被加工物を位置づけるフレーム位置づけステップと、
該フレーム位置づけステップで該粘着面に対面して位置づけられた該環状フレームに該シートを貼着するフレーム貼着ステップと、
該フレーム貼着ステップを実施した後、該環状フレームに沿って該シートを切断するシート切断ステップと、
該シート切断ステップを実施した後、該環状フレームに該シートを介して被加工物が貼着されたフレームユニットを該シート上から搬出する搬出ステップと、を備えた拡張方法。 - 被加工物は、第一方向に伸張する第一分割予定ラインと該第一方向に直交する第二方向に伸張する第二分割予定ラインとを有し、互いに隣接する該第一分割予定ライン間の第一間隔に対して互いに隣接する該第二分割予定ライン間の第二間隔が狭く形成されており、
前記被加工物位置づけステップでは、前記シート送り出しステップで前記シートを送り出す送り出し方向に該第一方向が一致するように被加工物を位置づける請求項2に記載の拡張方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016128665A JP6706980B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 拡張装置及び拡張方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016128665A JP6706980B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 拡張装置及び拡張方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018006448A JP2018006448A (ja) | 2018-01-11 |
JP6706980B2 true JP6706980B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=60949456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016128665A Active JP6706980B2 (ja) | 2016-06-29 | 2016-06-29 | 拡張装置及び拡張方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6706980B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0212944A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-17 | Nec Corp | 半導体装置製造用シート拡大装置 |
JPH02262352A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-25 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの自動貼付け装置 |
JP4612441B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-01-12 | 株式会社ディスコ | アライメント方法 |
JP2010192510A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワークの移載方法および移載装置 |
JP5412226B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2014-02-12 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ貼付け装置 |
JP2014063813A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工方法 |
JP6180120B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2017-08-16 | 株式会社ディスコ | 拡張装置および拡張方法 |
JP6061788B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2017-01-18 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持方法 |
-
2016
- 2016-06-29 JP JP2016128665A patent/JP6706980B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018006448A (ja) | 2018-01-11 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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