JP2016154190A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】剥離きっかけ部を形成しつつウエハの被着面を保護できるようにする。【解決手段】シート貼付装置は、被着体の被着面に接着面を対向させて接着シートを供給する供給手段と、貼付用接着シートを押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される接着面に、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤を積層して貼付用接着シートを形成する積層手段を備えることを特徴とする。【選択図】図1
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する場合がある)等の被着体の処理工程で、接着シート(保護シート)を剥離し易くするために、当該接着シートの剥離開始位置に剥離きっかけ部を形成するシート貼付装置が提案されている。(特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載のシート貼付装置では、接着シートの一部に接着剤を積層しない領域を形成し、この領域を剥離きっかけ部としているので、被着体に所定の処理を行うときに、当該剥離きっかけ部から異物が侵入し、保護面を損傷させてしまうという不都合がある。
本発明の目的は、接着シートと被着体の被着面との間に異物が侵入することを確実に防止し、しかも、剥離するときには、簡単に剥離できる剥離きっかけ部を形成することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
上述した課題を解決するために、本発明は、被着体の被着面に接着面を対向させて接着シートを供給する供給手段と、貼付用接着シートを押圧して被着体に貼付する押圧手段とを備え、被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される接着面に、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤を積層して貼付用接着シートを形成する積層手段を備えることを特徴とするシート貼付装置である。
上記シート貼付装置において、積層手段で積層された接着力可変型接着剤を定着させる定着手段を備えることを特徴としてもよい。
上記シート貼付装置において、接着力可変型接着剤には、所定の検出手段で検出可能な検出可能剤が含有されていることを特徴としてもよい。
上記シート貼付装置において、被着面の他の領域に対して接着される接着面に、接着力可変型接着剤と異なる接着力可変型接着剤が積層されることを特徴としてもよい。
本発明の他の態様は、被着体の被着面に接着面を対向させて接着シートを供給する工程と、接着シートを押圧して被着体に貼付する工程とを有し、被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される接着面に、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤を積層して貼付用接着シートを形成する工程を含むことを特徴とするシート貼付方法である。
本発明によれば、被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される接着面に、接着力可変型接着剤を積層するので、被着体の被着面との間に異物が侵入することを確実に防止し、しかも、剥離するときには、簡単に剥離できる剥離きっかけ部を形成することができる。
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置10を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向でありY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向でありY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWFの被着面WF1に接着面AFを対向させて接着シートASを供給する供給手段20と、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤AD2を接着面AFに積層して複層接着シートMSを形成する積層手段30と、接着剤積層手段22および積層手段30で積層された接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2を定着させる定着手段40と、ウエハWFを裏面WA側から支持する支持手段50と、複層接着シートMSを押圧してウエハWFに貼付する押圧手段60と、ウエハWFに貼付された複層接着シートMSを所定の形状に切断する切断手段70とを備えている。
供給手段20は、供給側フレーム21と、基材シートBSに接着剤AD1を積層することで接着面AFを有する接着シートASを形成する接着剤積層手段22と、回収側フレーム23と、回収側フレーム23をそのスライダ24Aで支持する駆動機器としてのリニアモータ24とを備えている。
供給側フレーム21には、ロール状の基材シートBSを支持する支持ローラ21Aと、基材シートBSを案内するガイドローラ21Bと、駆動機器としての回動モータ21Cで回転駆動する駆動ローラ21Dと、駆動ローラ21Dとの間に基材シートBSを挟み込むピンチローラ21Eとが設けられている。
接着剤積層手段22は、液体状の接着剤AD1を収容する第1収容部22Aと、第1収容部22Aから接着剤AD1を掻き出す第1含浸ローラ22Bと、第1含浸ローラ22Bで掻き出した接着剤AD1を基材シートBSの一方の面(下面)に積層する第1積層ローラ22Cと、第1積層ローラ22Cとの間に基材シートBSを挟み込む第1プラテンローラ22Dと備え、図示しない駆動機器によって図1中矢印方向に回転駆動可能になっている。第1積層ローラ22Cは、図2(A)に示すように、被着面WF1全面を覆うことができる範囲で基材シートBSに接着剤AD1を積層するようになっている。
回収側フレーム23には、駆動機器としての回動モータ23Aで回転駆動する駆動ローラ23Bと、複層接着シートMSから貼付シートSSが切り抜かれた不要シートUSを駆動ローラ23Bとの間に挟み込むピンチローラ23Cと、不要シートUSを案内するガイドローラ23Dと、駆動機器としての回動モータ23Eで回転駆動し不要シートUSを回収する回収ローラ23Fとが設けられている。
供給側フレーム21には、ロール状の基材シートBSを支持する支持ローラ21Aと、基材シートBSを案内するガイドローラ21Bと、駆動機器としての回動モータ21Cで回転駆動する駆動ローラ21Dと、駆動ローラ21Dとの間に基材シートBSを挟み込むピンチローラ21Eとが設けられている。
接着剤積層手段22は、液体状の接着剤AD1を収容する第1収容部22Aと、第1収容部22Aから接着剤AD1を掻き出す第1含浸ローラ22Bと、第1含浸ローラ22Bで掻き出した接着剤AD1を基材シートBSの一方の面(下面)に積層する第1積層ローラ22Cと、第1積層ローラ22Cとの間に基材シートBSを挟み込む第1プラテンローラ22Dと備え、図示しない駆動機器によって図1中矢印方向に回転駆動可能になっている。第1積層ローラ22Cは、図2(A)に示すように、被着面WF1全面を覆うことができる範囲で基材シートBSに接着剤AD1を積層するようになっている。
回収側フレーム23には、駆動機器としての回動モータ23Aで回転駆動する駆動ローラ23Bと、複層接着シートMSから貼付シートSSが切り抜かれた不要シートUSを駆動ローラ23Bとの間に挟み込むピンチローラ23Cと、不要シートUSを案内するガイドローラ23Dと、駆動機器としての回動モータ23Eで回転駆動し不要シートUSを回収する回収ローラ23Fとが設けられている。
積層手段30は、液体状の接着力可変型接着剤AD2を収容する第2収容部31と、第2収容部31から接着力可変型接着剤AD2を掻き出す第2含浸ローラ32と、第2含浸ローラ32で掻き出した接着力可変型接着剤AD2を接着面AFに積層する第2積層ローラ33と、第2積層ローラ33との間に接着シートASを挟み込む第2プラテンローラ34とを備え、図示しない駆動機器によって図1中矢印方向に回転駆動可能になっている。第2積層ローラ33は、図2(A)に示すように、被着面WF1の外縁部WCを含む部分的な領域WF1Aに接着される接着面AFに、接着力可変型接着剤AD2を積層するようになっている。
接着剤AD1は、複層接着シートMSをウエハWFに貼付でき、剥離工程において複層接着シートMSを剥離できるものであれば特に制限はない。接着力可変型接着剤AD2は、所定の処理によって接着力が低下する接着剤であって、紫外線や放射線等のエネルギー線を照射することにより接着力が低下する接着剤(例えば、特開平2−296350号公報に記載のもの)や、加熱して発泡させることで接着力が低下する接着剤(例えば、特開2001−131507号公報に記載のもの)等を例示できる。
定着手段40は、接着剤積層手段22に対して接着シートASの搬送方向下流側と、積層手段30に対して複層接着シートMSの搬送方向下流側とに設けられ、図示しないヒータやエネルギー線照射装置等の定着部材で接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2を硬化させ定着させるものである。
支持手段50は、凹部51Aが形成された外側テーブル51と、凹部51A内に配置された直動モータ52の出力軸52Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面53Aを有する支持テーブル53とを備えている。
押圧手段60は、供給手段20と兼用するリニアモータ24のスライダ24Bに支持された押圧フレーム61と、押圧フレーム61に支持された駆動機器としての直動モータ62と、直動モータ62の出力軸62Aに支持されたブラケット63に回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ64とを備えている。
切断手段70は、駆動機器としての単軸ロボット71と、単軸ロボット71のスライダ71Aに支持されたフレーム72と、フレーム72に支持された駆動機器としての回動モータ73と、回動モータ73の出力軸73Aに支持された回転アーム74と、回転アーム74に支持された切断部材としての切断刃75とを備えている。
次に、本実施形態におけるシート貼付装置10の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、ウエハWFが支持面53A上に載置されると、支持手段50が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFの吸着保持を開始する。次に、供給手段20が回動モータ23Aの回転をロックした状態で、供給手段20が回動モータ21Cおよびリニアモータ24を駆動し、スライダ24Aを図1中二点鎖線で示す位置に移動させる。このとき、接着剤積層手段22、積層手段30および定着手段40が図示しない駆動機器および定着部材を駆動し、基材シートBSの一方の面に接着剤AD1を積層して接着シートASを形成し、さらに、接着シートAS上に接着力可変型接着剤AD2を積層して複層接着シートMSを形成する。なお、接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2は、各定着手段40で定着されるが、定着手段40は、接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2を完全に硬化させるものではなく、接着力を有したままで適度に粘度が高くなる程度まで硬化させるようになっている。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート貼付装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、ウエハWFが支持面53A上に載置されると、支持手段50が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFの吸着保持を開始する。次に、供給手段20が回動モータ23Aの回転をロックした状態で、供給手段20が回動モータ21Cおよびリニアモータ24を駆動し、スライダ24Aを図1中二点鎖線で示す位置に移動させる。このとき、接着剤積層手段22、積層手段30および定着手段40が図示しない駆動機器および定着部材を駆動し、基材シートBSの一方の面に接着剤AD1を積層して接着シートASを形成し、さらに、接着シートAS上に接着力可変型接着剤AD2を積層して複層接着シートMSを形成する。なお、接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2は、各定着手段40で定着されるが、定着手段40は、接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2を完全に硬化させるものではなく、接着力を有したままで適度に粘度が高くなる程度まで硬化させるようになっている。
次に、押圧手段60がリニアモータ24および直動モータ62を駆動し、押圧ローラ64で複層接着シートMSを外側テーブル51およびウエハWFに押圧した状態で、スライダ24Bを図1中二点鎖線で示す位置まで移動させる。これにより、複層接着シートMSが外側テーブル51の上面とウエハWFの被着面WF1とに貼付される。このとき、図2(A)に示すように、ウエハWFの外縁部WCを含む部分的な領域WF1Aには接着力可変型接着剤AD2が積層され、被着面WF1の他の領域には接着剤AD1が積層される。
その後、切断手段70が単軸ロボット71を駆動し、スライダ71Aを下降させ、複層接着シートMSにおけるウエハWFの外縁部WCに対応した位置に切断刃75を突き刺した後、回動モータ73を駆動し、その出力軸73Aを360度以上回転させることで、複層接着シートMSを切断してウエハWFに貼付された貼付シートSSと不要シートUSとに分離する。これにより、図2(B)に示すように、ウエハWFの外縁部WCを含む部分的な領域WF1Aに接着力可変型接着剤AD2が積層され、被着面WF1の他の領域には接着剤AD1が積層された貼付シートSSが、ウエハWFの被着面WF1に貼付されることとなる。その後、切断手段70が単軸ロボット71および回動モータ73を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、支持手段50が図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段が、貼付シートSSが貼付されたウエハWFを次工程に搬送する。次に、供給手段20が回動モータ21Cの回転をロックした状態で、供給手段20および押圧手段60がリニアモータ24および回動モータ23A、23Eを駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、不要シートUSを外側テーブル51の上面から剥離して回収ローラ23Fで巻き取り、以降、上記同様の動作が繰り返される。
なお、後工程では、貼付シートSSが貼付されたウエハWFに対し、裏面WAを研削したりウエハWFにリングフレーム等をマウントしたりする種々の処理が行われた後、加熱機や赤外線、紫外線等のエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置等からなる図示しない接着力低下手段により接着力可変型接着剤AD2の接着力を低下させる接着力低下工程が行われる。接着力が低下された接着力可変型接着剤AD2(領域WF1A)は、剥離きっかけ部K1として機能する。接着力低下工程の後、貼付シートSSが貼付されたウエハWFは適宜な搬送手段によって図示しない剥離装置に搬送され、剥離きっかけ部K1を剥離開始位置として貼付シートSSが剥離される。このとき、接着力可変型接着剤AD2の接着力を接着力低下工程において低下させているので剥離きっかけ部K1をきっかけとして貼付シートSSを剥離し易くすることができ、貼付シートSSが剥離せず残着する等の剥離不良が発生することを防止できる。なお、貼付シートSSを剥離する剥離装置としては、特開2010−219265号公報や特開2014−150232号公報等に記載された剥離装置等を例示できる。
以上のような実施形態によれば、被着体としてのウエハWFの外縁部WCを含む部分的な領域WF1Aに接着される接着面AFに、接着力可変型接着剤AD2を積層するので、接着シートASとウエハWFの被着面WK1との間に異物が侵入することを確実に防止し、しかも、剥離するときには、簡単に剥離できる剥離きっかけ部K1を形成することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段20は、接着シートASを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
供給手段20は、予め接着剤AD1が積層された接着シートASを供給してもよいし、このような接着シートASの接着面AFに剥離シートが仮着されたものを供給し、この供給の途中で剥離手段によって剥離シートを剥離して供給する構成のものでもよく、このような剥離手段は、板状部材やローラ等を採用することができる。
供給手段20は、枚葉の接着シートASを供給する構成でもよい。
供給手段20は、接着剤AD1の代わりに、接着力可変型接着剤AD2と異なる接着力可変型接着剤AD3が積層された接着シートASを供給してもよく、この場合、後工程において接着力可変型接着剤AD3の接着力を低下させる接着力低下工程が行われてもよい。
接着剤積層手段22および積層手段30は、接着剤AD1と接着力可変型接着剤AD2とが重ならないようにそれらを積層してもよいし、それらが一部重なるように積層してもよく、これらの場合、接着剤AD1と接着力可変型接着剤AD2を積層する順序はどちらが先でもよい。
供給手段20は、ウエハWFの形状に対応した形状の基材シートBSを供給するものでもよく、この場合、切断手段70はあってもよいし、なくてもよい。
供給手段20は、枚葉の接着シートASを供給する構成でもよい。
供給手段20は、接着剤AD1の代わりに、接着力可変型接着剤AD2と異なる接着力可変型接着剤AD3が積層された接着シートASを供給してもよく、この場合、後工程において接着力可変型接着剤AD3の接着力を低下させる接着力低下工程が行われてもよい。
接着剤積層手段22および積層手段30は、接着剤AD1と接着力可変型接着剤AD2とが重ならないようにそれらを積層してもよいし、それらが一部重なるように積層してもよく、これらの場合、接着剤AD1と接着力可変型接着剤AD2を積層する順序はどちらが先でもよい。
供給手段20は、ウエハWFの形状に対応した形状の基材シートBSを供給するものでもよく、この場合、切断手段70はあってもよいし、なくてもよい。
積層手段30は、図3(A)に示すように、被着面WF1の外縁部WCの全てを含む部分的な領域WF1Bに接着される接着面AFに、接着力可変型接着剤AD2を積層するように構成してもよい。この場合、同図(B)に示すように、第2積層ローラ33の表面に単数または複数のリング状の凸部35を設け、凸部35を介して接着シートASの接着面AFに接着力可変型接着剤AD2を積層してもよい。
部分的な領域WF1A、WF1Bの大きさは、使用者が任意に決定することができ、部分的な領域WF1Aは、2以上存在してもよい。
積層手段30は、液滴状または霧状の接着力可変型接着剤AD2を吐出する構成でもよいし、接着シートASに押圧することで接着力可変型接着剤AD2を積層するスタンプタイプのものでもよいし、接着力可変型接着剤AD2を局所的に積層する構成でもよい。
積層手段30が積層する接着力可変型接着剤AD2に、所定の検出手段により検出可能な検出可能材を含有させていてもよい。このような検出可能材は、撮像装置で検出可能な着色剤や特定の成分を含有する液体、金属探知機で検出可能な金属粉、磁石で検出可能な磁石粉等、検出手段で検出できるものであれば何でもよい。この場合、剥離装置が検出手段を備えてもよく、接着力可変型接着剤AD2が使用された剥離きっかけ部K1を検出手段が検出し、検出した剥離きっかけ部K1を剥離のきっかけとすることができる。
積層手段30は、左右方向、上下方向等に移動可能な構成でもよく、接着シートASを固定し積層手段30を移動させることで接着力可変型接着剤AD2を積層してもよいし、接着シートASおよび積層手段30の両方を移動させて接着力可変型接着剤AD2を積層してもよい。
接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2は、粘着剤等でもよい。
部分的な領域WF1A、WF1Bの大きさは、使用者が任意に決定することができ、部分的な領域WF1Aは、2以上存在してもよい。
積層手段30は、液滴状または霧状の接着力可変型接着剤AD2を吐出する構成でもよいし、接着シートASに押圧することで接着力可変型接着剤AD2を積層するスタンプタイプのものでもよいし、接着力可変型接着剤AD2を局所的に積層する構成でもよい。
積層手段30が積層する接着力可変型接着剤AD2に、所定の検出手段により検出可能な検出可能材を含有させていてもよい。このような検出可能材は、撮像装置で検出可能な着色剤や特定の成分を含有する液体、金属探知機で検出可能な金属粉、磁石で検出可能な磁石粉等、検出手段で検出できるものであれば何でもよい。この場合、剥離装置が検出手段を備えてもよく、接着力可変型接着剤AD2が使用された剥離きっかけ部K1を検出手段が検出し、検出した剥離きっかけ部K1を剥離のきっかけとすることができる。
積層手段30は、左右方向、上下方向等に移動可能な構成でもよく、接着シートASを固定し積層手段30を移動させることで接着力可変型接着剤AD2を積層してもよいし、接着シートASおよび積層手段30の両方を移動させて接着力可変型接着剤AD2を積層してもよい。
接着剤AD1および接着力可変型接着剤AD2は、粘着剤等でもよい。
定着手段40は、紫外線、赤外線、レーザ等のエネルギー線を照射するものでもよいし、送風機、温風送風機等でもよく、接着力可変型接着剤AD2を接着シートASに定着できるものであれば何でもよい。
接着剤AD1を定着させる定着手段と、接着力可変型接着剤AD2を定着させる定着手段とを一体的に構成してもよい。
接着剤AD1を定着させる定着手段と、接着力可変型接着剤AD2を定着させる定着手段とを一体的に構成してもよい。
支持手段50は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等でウエハWFを保持する構成でもよい。
押圧手段60は、空気やガスなどの気体を押圧部材とし、当該気体を吹き出して複層接着シートMSを押圧してウエハWFに貼付してもよいし、複層接着シートMSを減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって吸着保持し、ウエハWFに押圧して貼付してもよい。
押圧手段60は、押圧部材を停止させておき、ウエハWFを移動させてもよいし、押圧部材とウエハWFとの両方を移動させて複層接着シートMSをウエハWFに押圧して貼付してもよい。
押圧手段60は、押圧部材を停止させておき、ウエハWFを移動させてもよいし、押圧部材とウエハWFとの両方を移動させて複層接着シートMSをウエハWFに押圧して貼付してもよい。
切断手段70は、レーザ、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断部材を構成してもよい。
切断手段70は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成し、切断部材で複層接着シートMSを切断するようにしてもよい。
切断手段70は、切断部材を停止させておき、複層接着シートMSおよびウエハWFを移動させて当該複層接着シートMSを切断してもよいし、切断部材と複層接着シートMSおよびウエハWFとの両方を移動させて当該複層接着シートMSを切断してもよい。
切断手段70は、切断刃75をウエハWFの外縁に当接させた状態で、当該切断刃75における複層接着シートMS側を当該ウエハWF側に傾斜させ、当該ウエハWFの外縁に沿って移動させることで、当該ウエハWFの外縁よりも小さな外縁を備えた貼付シートSSを形成してもよい。
切断手段70は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成し、切断部材で複層接着シートMSを切断するようにしてもよい。
切断手段70は、切断部材を停止させておき、複層接着シートMSおよびウエハWFを移動させて当該複層接着シートMSを切断してもよいし、切断部材と複層接着シートMSおよびウエハWFとの両方を移動させて当該複層接着シートMSを切断してもよい。
切断手段70は、切断刃75をウエハWFの外縁に当接させた状態で、当該切断刃75における複層接着シートMS側を当該ウエハWF側に傾斜させ、当該ウエハWFの外縁に沿って移動させることで、当該ウエハWFの外縁よりも小さな外縁を備えた貼付シートSSを形成してもよい。
シート貼付装置10は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、ウエハWFの下面や側面に複層接着シートMSを貼付するように構成してもよい。
ウエハWFを停止させておき、または、ウエハWFを移動させつつ、供給手段20等の他の手段を適宜上下左右方向に移動させて上記と同様の複層接着シートMSの貼付動作や切断動作を行ってもよい。
接着剤積層手段22、定着手段40、支持手段50、切断手段70のように本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
ウエハWFを停止させておき、または、ウエハWFを移動させつつ、供給手段20等の他の手段を適宜上下左右方向に移動させて上記と同様の複層接着シートMSの貼付動作や切断動作を行ってもよい。
接着剤積層手段22、定着手段40、支持手段50、切断手段70のように本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
さらに、本発明における接着シートAS、ウエハWFの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤AD層だけの単層のもの、基材シートBSと接着剤AD層との間に中間層を有するもの、基材シートBSの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートBSを接着剤AD層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができ、ウエハWFとしては、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ等を対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10・・・シート貼付装置
20・・・供給手段
30・・・積層手段
40・・・定着手段
60・・・押圧手段
AS・・・接着シート
MS・・・複層接着シート(貼付用接着シート)
AF・・・接着面
WF・・・ウエハ(被着体)
WF1・・・被着面
WC・・・外縁部
WF1A,WF1B・・・部分的な領域
AD2,AD3・・・接着力可変型接着剤
20・・・供給手段
30・・・積層手段
40・・・定着手段
60・・・押圧手段
AS・・・接着シート
MS・・・複層接着シート(貼付用接着シート)
AF・・・接着面
WF・・・ウエハ(被着体)
WF1・・・被着面
WC・・・外縁部
WF1A,WF1B・・・部分的な領域
AD2,AD3・・・接着力可変型接着剤
Claims (5)
- 被着体の被着面に接着面を対向させて接着シートを供給する供給手段と、
貼付用接着シートを押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される前記接着面に、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤を積層して前記貼付用接着シートを形成する積層手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記積層手段で積層された接着力可変型接着剤を定着させる定着手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記接着力可変型接着剤には、所定の検出手段で検出可能な検出可能剤が含有されていることを特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。
- 前記被着面の他の領域に対して接着される前記接着面に、前記接着力可変型接着剤と異なる接着力可変型接着剤が積層されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシート貼付装置。
- 被着体の被着面に接着面を対向させて接着シートを供給する工程と、
前記接着シートを押圧して前記被着体に貼付する工程とを有し、
前記被着面の外縁部を含む部分的な領域に接着される前記接着面に、所定の処理によって接着力が低下する接着力可変型接着剤を積層して貼付用接着シートを形成する工程を含むことを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031998A JP2016154190A (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031998A JP2016154190A (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016154190A true JP2016154190A (ja) | 2016-08-25 |
Family
ID=56761304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015031998A Pending JP2016154190A (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2016154190A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019212780A (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
-
2015
- 2015-02-20 JP JP2015031998A patent/JP2016154190A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019212780A (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
JP7055567B2 (ja) | 2018-06-06 | 2022-04-18 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
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