JP2016134433A - ダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング装置は、試料Wに溝40を形成するダイシングユニットと、溝が形成された試料に二酸化炭素を含有する粒子を吹き付けて、試料の少なくとも一部を除去するノズルを有する処理ユニットを備え、溝の側面や角部等の加工面に発生するバリや、試料に付着したパーティクルを除去する。
【選択図】図4
Description
本実施形態のダイシング装置は、試料に溝を形成するダイシングユニットと、溝が形成された試料に粒子を噴射して試料の少なくとも一部を除去するノズルを有する処理ユニットと、を備える。
本実施形態のダイシング装置は、試料の一方の面側に貼り付けられた第1の樹脂シートを剥離し、試料の他方の面に第2の樹脂シートを貼りつける樹脂シート張替ユニットを、更に備える。本実施形態のダイシング装置は、樹脂シート張替ユニットを備える点以外は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、試料に流体を噴射する洗浄ユニットを、更に備える。本実施形態のダイシング装置は、洗浄ユニットを備える点以外は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが、試料を載置可能なステージと、ステージを回転させる回転機構と、ステージとノズルをステージの回転軸に垂直な方向に相対移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御部と、を有する。以下、第1の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットの制御部が、ステージとノズルの相対移動の速度を、ステージの回転軸からのノズルの距離が大きくなるほど遅くするよう制御する以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが、ノズルのステージの表面に対する傾斜角を変化させる傾斜機構を有する以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが、筐体に設けられる吸気口と、筐体に設けられる排気口とを備える以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが筐体内の雰囲気を冷却する冷却機構を備える以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがノズルを複数備える以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがステージとノズルをステージの回転軸方向に相対移動させる移動機構を備える以外は、第4の実施形態と同様である。したがって、第4の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが、表面が重力方向に垂直な平面に対し傾斜し、表面に試料を載置可能なステージと、ステージとノズルを内蔵する筐体と、ステージとノズルをステージの表面に平行な方向に相対移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御部と、を有する。以下、第1の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがステージの表面の重力方向に垂直な平面に対する傾斜角を変化させる第1の傾斜機構を有する点、移動機構がノズルではなくステージを移動させる点以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットが筐体内の雰囲気を冷却する冷却機構を備える以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがノズルのステージの表面に対する傾斜角を変化させる第2の傾斜機構を有する以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがステージを回転させる回転機構を備える点、移動機構によりノズルが1次元的に移動する点、以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがノズルを複数備える以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、処理ユニットがステージとノズルをステージの表面に垂直な方向に相対移動させる移動機構を備える以外は、第11の実施形態と同様である。したがって、第11の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
本実施形態のダイシング装置は、ダイシングユニットは、試料に溝を形成するレーザ光を発するレーザ発振器を有する。ダイシングユニットが異なる点以外は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
3 レーザ発振器
4 回転ブレード(ブレード)
10 ステージ
14 回転機構
15 吸気口
16 ノズル
17 排気口
18 移動機構
20 制御部
22 筐体
24 傾斜機構
25 第1の傾斜機構
26 冷却機構
28 第2の傾斜機構
36 樹脂シート(第1の樹脂シート)
40 溝
42 樹脂シート(第2の樹脂シート)
100 カセット台
200 ダイシングユニット
300 処理ユニット
400 樹脂シート張替ユニット
500 洗浄ユニット
Claims (22)
- 試料に溝を形成するダイシングユニットと、
前記溝が形成された試料に粒子を噴射して試料の少なくとも一部を除去するノズルを有する処理ユニットと、
を備えるダイシング装置。 - 前記粒子は、二酸化炭素を含む粒子である請求項1記載のダイシング装置。
- 前記ダイシングユニットは、前記試料に溝を形成するブレードを有する請求項1又は請求項2記載のダイシング装置。
- 前記ダイシングユニットは、前記試料に溝を形成するレーザ光を発するレーザ発振器を有する請求項1又は請求項2記載のダイシング装置。
- 前記試料の一方の面側に貼り付けられた第1の樹脂シートを剥離し、前記試料の他方の面に第2の樹脂シートを貼りつける樹脂シート張替ユニットを、更に備える請求項1乃至請求項4いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記試料に流体を噴射する洗浄ユニットを、更に備える請求項1乃至請求項5いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、試料を載置可能なステージと、前記ステージを回転させる回転機構と、前記ステージと前記ノズルを前記ステージの回転軸に垂直な方向に相対移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御部と、を有する請求項1乃至請求項6いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記制御部が、前記ステージと前記ノズルの相対移動の速度を、前記ステージの回転軸からの前記ノズルの距離が大きくなるほど遅くするよう制御する請求項7記載のダイシング装置。
- 前記ノズルが前記ステージの表面に対し、90度未満の傾斜角を有する請求項7又は請求項8記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記ノズルの前記ステージの表面に対する傾斜角を変化させる傾斜機構を有する請求項7又は請求項8記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記ステージと前記ノズルを内蔵する筐体と、前記筐体に設けられる吸気口と、前記筐体に設けられる排気口と、を有する請求項7乃至請求項10いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記筐体内を冷却する冷却機構を有する請求項11記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、表面が重力方向に垂直な平面に対し傾斜し、前記表面に試料を載置可能なステージと、前記ステージと前記ノズルを内蔵する筐体と、前記ステージと前記ノズルを前記ステージの表面に平行な方向に相対移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御部と、を有する請求項1乃至請求項6いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記筐体に設けられる吸気口と、前記筐体に設けられる排気口と、を有する請求項13記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記ステージの表面の前記重力方向に垂直な平面に対する傾斜角を変化させる第1の傾斜機構を有する請求項13又は請求項14記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記筐体内を冷却する冷却機構を有する請求項13乃至請求項15いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記ノズルが前記ステージの表面に対し、90度未満の傾斜角を有する請求項13乃至請求項16いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記処理ユニットが、前記ノズルの前記ステージの表面に対する傾斜角を変化させる第2の傾斜機構を有する請求項13乃至請求項17いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記ノズルは、前記試料の少なくとも一部を除去することにより前記試料を分離する請求項1乃至請求項18いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記ノズルは、前記溝に対応する部分の前記試料を除去する請求項1乃至請求項18いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記ノズルは、前記溝の反対側に前記粒子を噴射する請求項1乃至請求項18いずれか一項記載のダイシング装置。
- 前記ノズルは、前記試料の表面を走査し、前記試料の表面の全面に前記粒子を噴射する請求項1乃至請求項18いずれか一項記載のダイシング装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9929051B1 (en) | 2016-09-23 | 2018-03-27 | Chipbond Technology Corporation | Wafer dicing method |
JP2018078249A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
CN108400113A (zh) * | 2017-02-07 | 2018-08-14 | 株式会社迪思科 | 加工方法 |
CN108630603A (zh) * | 2017-03-23 | 2018-10-09 | 株式会社迪思科 | 加工方法 |
JP2018160578A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
KR20180118527A (ko) * | 2017-04-21 | 2018-10-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 피가공물의 가공 방법 |
JP2019029571A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 株式会社ディスコ | 板状ワークの分割方法 |
JP2021027183A (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-22 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000334662A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 基板材料の処理装置 |
JP2006073690A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2006108273A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法および分割装置 |
JP2009061516A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Fuji Seisakusho:Kk | 研削加工方法及び研削加工装置 |
US20140051232A1 (en) * | 2012-08-20 | 2014-02-20 | William F. Burghout | Semiconductor die singulation method |
JP2014039976A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 基板の製造方法 |
WO2014052445A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Plasma-Therm, Llc | Method for dicing a substrate with back metal |
WO2014079708A1 (de) * | 2012-11-23 | 2014-05-30 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum vereinzeln eines verbundes in halbleiterchips und halbleiterchip |
JP2014522731A (ja) * | 2011-07-21 | 2014-09-08 | 新東工業株式会社 | 半導体素子用基板の処理方法 |
JP2014176957A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-09-25 | Taisei Corp | ドライアイスブラスト装置 |
-
2015
- 2015-01-16 JP JP2015006812A patent/JP2016134433A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000334662A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 基板材料の処理装置 |
JP2006073690A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2006108273A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-04-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法および分割装置 |
JP2009061516A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Fuji Seisakusho:Kk | 研削加工方法及び研削加工装置 |
JP2014522731A (ja) * | 2011-07-21 | 2014-09-08 | 新東工業株式会社 | 半導体素子用基板の処理方法 |
US20140051232A1 (en) * | 2012-08-20 | 2014-02-20 | William F. Burghout | Semiconductor die singulation method |
JP2014039976A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 基板の製造方法 |
WO2014052445A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Plasma-Therm, Llc | Method for dicing a substrate with back metal |
WO2014079708A1 (de) * | 2012-11-23 | 2014-05-30 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum vereinzeln eines verbundes in halbleiterchips und halbleiterchip |
JP2014176957A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-09-25 | Taisei Corp | ドライアイスブラスト装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9929051B1 (en) | 2016-09-23 | 2018-03-27 | Chipbond Technology Corporation | Wafer dicing method |
JP2018050020A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | ▲き▼邦科技股▲分▼有限公司 | ウェハーの切断方法 |
JP2018078249A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
CN108074805A (zh) * | 2016-11-11 | 2018-05-25 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN108400113A (zh) * | 2017-02-07 | 2018-08-14 | 株式会社迪思科 | 加工方法 |
JP2018129355A (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
CN108630603A (zh) * | 2017-03-23 | 2018-10-09 | 株式会社迪思科 | 加工方法 |
JP2018160578A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
JP2018160577A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
KR20180118527A (ko) * | 2017-04-21 | 2018-10-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 피가공물의 가공 방법 |
KR102400418B1 (ko) | 2017-04-21 | 2022-05-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 피가공물의 가공 방법 |
JP2019029571A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | 株式会社ディスコ | 板状ワークの分割方法 |
JP2021027183A (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-22 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
JP7442927B2 (ja) | 2019-08-06 | 2024-03-05 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
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