JP2009061516A - 研削加工方法及び研削加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを所定の回転軌跡上で移動すると共に,研磨材を定量ずつ噴射する噴射ノズル20を,前記回転軌跡の中心側に向かうに従い相対的に速く,外周側に向かうに従い相対的に遅くなるよう移動速度を制御しながら前記回転軌跡の前記外周線と内周線間,又は前記外周線−中心方向−外周線間に反復して往復移動させる。このような噴射ノズル20の移動速度制御は,ワークWの回転軌跡を同心円状に複数の等面積領域に画成し,噴射ノズル20が各等面積領域をそれぞれ一定時間で横断するように制御する。
【選択図】図8
Description
前記ワークWを所定の回転軌跡上で移動させると共に,
一定の加工条件で,研磨材噴射する噴射ノズル20を,前記回転軌跡内を該回転軌跡の中心を中心とする同心円によって複数の等面積領域に画成し,前記各等面積領域の横断時間を一定,すなわち,前記回転軌跡の中心側に向かうに従い相対的に速く,外周側に向かうに従い相対的に遅くなるよう移動を制御して,各等面積領域に交差する方向に移動ないし揺動させることを特徴とする(請求項1;図8,10,11参照)。また,前記移動ないし揺動を反復することも必要に応じて可能である。
また,内周方向に向かって移動する移動距離dxは,これを,
前記スイングアーム31に設けた噴射ノズル20を,該噴射ノズル20が所定のタイミングで配置されるべき位置(P1〜P7)にそれぞれ配置したときの,前記スイングアーム31の前記カムとの接触部分が配置される位置をそれぞれ基準入力点(p1〜p7)として求め,
前記カム35の外形形状を,前記タイミングに対応した回転角度毎に前記基準入力点(p1〜p7)を順次通過する形状とすることができる(請求項11;図8,10,11参照)。
前記噴射ノズル移動制御手段が,前記回転軌跡の中心から半径rnの任意の点において,回転軌跡の内周側から外周側方向に移動する噴射ノズルの所定時間内に移動する距離dxが,
次式
次式
上記式(2)より,
2 キャビネット
3 加工室
10 シリコンウエハー回転・搬送手段
11 ターンテーブル
12 治具
20 噴射ノズル
30 噴射ノズル移動制御手段
31(31a,31b,31c) スイングアーム
32 回転軸
33 カムアーム
34 噴射ノズル取付アーム
35 カム
36 モータ(カム回転用)
37 動力伝達機構
37a,37b プーリ
37c プーリベルト
38 軸受
39 リンク
50 ダストコレクタ
60 サイクロン
W ワーク(シリコンウエハー)
Claims (16)
- ワークの表面に噴射ノズルで研磨材を噴射して行う研削加工方法において,
前記ワークを所定の回転軌跡上で移動させると共に,
一定の加工条件で,研磨材を噴射する噴射ノズルを,前記回転軌跡の外周線内を該回転軌跡の中心を中心とする同心円によって複数の等面積領域に画成し,前記各等面積領域の横断時間を一定として,前記各等面積領域に交差する方向に移動させることを特徴とする研削加工方法。 - 前記ワークの回転軌跡が前記外周線と同心円の内周線とを有し,前記外周線と内周線間の間隔を前記各等面積領域に画成することを特徴とする請求項1記載の研削加工方法。
- 前記ワークの回転軌跡の外周線内を同心円状に等面積に画成して,前記等面積領域とすることを特徴とする請求項1記載の研削加工方法。
- 前記噴射ノズルの移動を前記回転軌跡の前記外周線と内周線の等面積領域範囲内で行うことを特徴とする請求項2〜7いずれか1項記載の研削加工方法。
- 前記噴射ノズルの移動を前記回転軌跡を外周線−中心方向−前記外周線の中心を介して対峙する外周線間を横断して行うことを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載の研削加工方法。
- ワークに研磨材を噴射する噴射ノズルと,
前記ワークを所定の回転軌跡上で移動させる回転・搬送手段と,
前記噴射ノズルを,前記回転軌跡の外周線内を該回転軌跡の中心を中心とする同心円によって画成した複数の等面積領域の横断時間が一定として,前記各等面積領域に交差する方向に移動させる噴射ノズル移動制御手段を備えることを特徴とする研削加工装置。 - 前記噴射ノズル移動制御手段が,所定の軸支位置を支点とした揺動により前記噴射ノズルを前記回転軌跡の前記外周線と該外周線と同心円の内周線間に往復移動させるスイングアームと,前記スイングアームに外接して回転することにより前記スイングアームを所定のパターンで揺動するカムを備え,
前記スイングアームに設けた噴射ノズルを,該噴射ノズルが所定のタイミングで配置されるべき位置にそれぞれ配置したときの,前記スイングアームの前記カムとの接触部分が配置される位置をそれぞれ基準入力点とし,
前記カムの外形形状を,前記タイミングに対応した回転角度毎に前記基準入力点を順次通過する形状としたことを特徴とする請求項10記載の研削加工装置。 - 前記スイングアームを,前記ワークの回転軌跡の面に対して直交する面で揺動させることを特徴とする請求項11記載の研削加工装置。
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