JP2018050020A - ウェハーの切断方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハーの提供及び切断及び押圧を行う工程を含むウェハーの切断方法を提供する。【解決手段】本発明のウェハーの切断方法において、ウェハー100は、複数のダイ110及び金属層120を有し、金属層は隣接し合う2つのダイの間の切断経路130に形成される。切断工程において、切断機220により切断経路に沿って金属層が切断され、ウェハーに複数の切削溝140が形成され、且つ、金属層が切断されてこれらダイに複数の金属残留段121が残留される。押圧工程において、ブラシにより切削溝に沿ってこれら金属残留段が押圧され、各金属残留段が各ダイの表面に突出されることが回避される。【選択図】図4
Description
本発明は、金属残留段がダイの表面に突出することが回避されるウェハーの切断方法に関する。
従来のウェハーの切断方法では、先ずテープ500によりウェハー400が載置座600に固定され、次いで切断機(図示せず)により前記ウェハー400が切断されて複数のチップ410が形成される(図11参照)。なお、特許文献1には他の従来技術が開示されている。
しかしながら、前述した従来の技術では、すなわち、切断過程において、前記チップ410の表面に突出される多くの金属残留段411が形成される(図12参照)。フリップチップ(Flip−Chip)技術により前記チップ410及び基板700の複数のバンプ710が接続される場合(前記基板700は軟性基板、ガラス基板、または他の材質の基板)、前記チップ410の表面に突出されるこれら前記金属残留段411が前記基板700に接触されてしまい、半導体構造に漏電やショートが発生し、或いは電子信号の入出力に影響が及んだ。
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に到った。
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものである。金属層が切断されて形成される金属残留段が、ブラシにより押圧されることでダイの表面に突出されないようになる、ウェハーの切断方法を提供することを主目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るウェハーの切断方法は、複数のダイ及び金属層で構成されるウェハーを有し、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う2つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
本発明は前記押圧工程において、前記ブラシによりこれら前記金属残留段が押圧されることにより、前記切断工程において残留される各前記金属残留段が前記ダイの前記表面に突出されることが回避される。また、各前記金属残留段が前記ダイの前記表面に突出されないようにする目的は、後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段が他の部材に接触されて漏電やショートが発生する事態を回避させることであり、或いは、電子信号の伝送に影響が及ぶのを回避させることであり、且つ、後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段により他の部材が破壊されないようにするためである。
本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
(第1実施形態)
以下、第1実施形態を図1〜10に基づいて説明する。本考案に係る第1実施形態によるウェハーの切断方法10は、”ウェハーの提供”11及び”切断及び押圧を行う工程”12を含む(図1参照)。
以下、第1実施形態を図1〜10に基づいて説明する。本考案に係る第1実施形態によるウェハーの切断方法10は、”ウェハーの提供”11及び”切断及び押圧を行う工程”12を含む(図1参照)。
工程11において、複数のダイ110及び金属層120を有するウェハー100が提供される。これら前記ダイ110は配列され、各前記ダイ110は表面111を有し、前記表面111は各前記ダイ110のアクティブ面または非アクティブ面であり、隣接し合う2つの前記ダイ110の間には切断経路130を有し、前記金属層120は前記切断経路130に形成される。好ましくは、前記ウェハー100はシリコンまたはIII−V族化合物(例えば、ヒ化ガリウムGaAs)等の材料から選択され、前記金属層120はこれら前記ダイ110に電気的に接続されて電気的試験が行われる。或いは、切断工程の進行中に、これら前記金属層120は切断機との対置に用いられる(図1乃至図3参照)。
また、本発明は、ウェハーの切断装置200により前記ウェハー100が切断される。前記ウェハーの切断装置200は、載置座210と、切断機220と、ブラシ230とを備え、前記切断機220及び前記ブラシ230は前記載置座210の上方に設置されると共に各前記ダイ110の前記表面111に向けられ、前記ウェハー100は前記載置座210の載置面211に設置される。本実施形態では、前記載置座210は前記ウェハー100の載置に用いられ、前記ウェハー100が前記切断機220及び前記ブラシ230に対して変位され、変位は水平変位及び垂直変位を含む。或いは、異なる実施形態において、前記切断機220及び前記ブラシ230は前記ウェハー100に対して変位され、変位は、水平変位及び垂直変位を含む。好ましくは、前記切断機220はホイールカッターであり、前記ブラシ230の接触部231は軟性材料で製造される。これにより、前記ウェハー100に対して損害を与えなくなる。好ましくは、前記ブラシ230の前記接触部231は人工毛、動物の毛、または植物の毛等の軟性材料から選択される。本実施形態では、前記ブラシ230の前記接触部231としてデュポン社製のナイロン612の毛が選択される(図2及び図3参照)。
なお、前記ウェハー100と前記載置座210との間には固定テープ300を有し、前記固定テープ300は前記ウェハー100の固定に用いられ、前記ウェハー100が切断過程で変位しないようにする(図2及び図3参照)。
図3を参照すれば、前記切断機220は末尾部221を有し、前記ブラシ230の前記接触部231は接触端231aを有し、前記切断機220の前記末尾部221及び前記接触部231の前記接触端231aは前記載置座210の前記載置面211に向けられる。本実施形態では、前記切断機220の前記末尾部221と前記載置面211との間には第一高さH1を有し、前記接触部231の前記接触端231aと前記載置面211との間には第二高さH2を有する。前記切断工程及び前記押圧工程が行われる前には、前記第一高さH1は前記第二高さH2より低くなく、前記載置座210が垂直上に向けて変位されて前記切断機220が前記ウェハー100に接触される際に、前記ブラシ230の前記接触部231が前記ウェハー100に接触されないようになる。本実施形態では、前記第一高さH1は前記第二高さH2より高い。
さらに、工程12における切断及び押圧を行う工程は、前記切断工程において、前記切断機220により前記切断経路130に沿って前記金属層120が切断され、前記ウェハー100に複数の切削溝140が形成され、且つ前記切削溝140の両側に位置されるこれら前記ダイ110とは互いに電気的に分離される。図5を参照すれば、本実施形態では、前記載置座210は、先ず前記ウェハー100が載置されて垂直に上に向けて変位され、前記切断機220が前記ウェハー100に接触される。次いで、前記載置座210により前記ウェハー100が連動されて前記切断機220に対して水平に変位され、前記切断機220により前記切断経路130に沿って前記金属層120が切断されて前記切削溝140が形成される。本実施形態では、前記切断機220により前記切断経路130に沿って前記金属層120が切断されると、前記ブラシ230の前記接触部231が前記切断機220に追随して前記ダイ110の前記表面111及び少なくとも1本の切削溝140に接触される(図1、図4及び図5参照)。
図6は図5A−Aに沿ってなる断面図である。前記切断機220により前記切断経路130に沿って前記金属層120が切断されると、前記金属層120が複数の金属残留段121をこれら前記ダイ110に残留させ、且つこれら前記金属残留段121はせん断応力の影響を受けて各前記ダイ110の前記表面111に突出される。
図7は図5B−Bに沿ってなる断面図である。前記押圧工程において、前記ブラシ230の前記接触部231が前記切削溝140に沿って各前記ダイ110の前記表面111及び前記切削溝140に接触され、且つ各前記金属残留段121が押圧される。前記接触部231が軟性材料であるため、前記接触部231には前記押圧工程において変形が生じる。
図8は図5C−Cに沿ってなる断面図である。前記押圧工程は、各前記金属残留段121が前記ダイ110の前記表面111に突出されることを回避させるために行われる。好ましくは、前記ブラシ230の前記接触部231により各前記金属残留段121が押圧される際に、各前記金属残留段121が前記ブラシ230の前記接触部231の横方向の推力または縦方向の圧力により前記ダイ110から分離されるか、或いは下に向けて前記切削溝140中に湾曲される。これにより、これら前記金属残留段121が各前記ダイ110の前記表面111に突出される問題が有効的に克服され、且つ後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段121が他の部材に電気的に接続されて漏電やショートが発生する事態が防止され、これら前記金屬残留電121により電子信号の入出力に影響が及ぶ、或いは他の部材に損害が及んで半導体構造に影響が及ぶことが防止される効果を達成させる。
本実施形態では、前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われるため、前記切断工程及び前記押圧工程が行われると同時に、エアカーテンまたはウォーターカーテンにより前記ウェハー100が洗浄されて、前記切断工程中に形成されたウェハーの破片及び前記押圧工程中で分離された前記金属残留段121が除去され、ウェハー破片または前記金属残留段121が前記ウェハー100に残留しなくなる。
図5に示すように、本実施形態では、前記切断機220の切断方向に沿って前記ブラシ230の前記接触部231が前記切断機220の後方に設置され、且つ前記切断機220及び前記ブラシ230の前記接触部231は同じ切断経路130に位置される。前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われることにより、前記切断機220により前記切断経路130に沿って前記金属層120が切断されて前記切削溝140が形成されると、前記ブラシ230の前記接触部231により前記切削溝140に沿ってこれら前記金属残留段121が押圧され、各前記金属残留段121が前記ダイ110から分離されるか、或いは前記切削溝140中に湾曲され、これら前記金属残留段121が前記ダイ110の前記表面111に突出されることが回避される。
他の実施形態では、前記押圧工程は前記切断工程の完了後に行われる。すなわち、前記切断機220により前記ウェハー100が切断された後、全てのこれら前記ダイ110が互いに電気的に分離され、次いで前記ブラシ230の前記接触部231により各前記切削溝140に沿ってこれら前記金属残留段121が順に押圧され、各前記金属残留段121が前記ダイ110から分離されるか、或いは前記切削溝140中に湾曲される。
(第2実施形態)
続いて、第2実施形態を図9及び10に基づいて説明する。前記第2実施形態の前記第1実施形態との差異は、前記切断機220の切断方向に沿って前記ブラシ230の前記接触部231が前記切断機220の側辺に設置され、且つ前記切断機220及び前記ブラシ230の前記接触部231が異なる切断経路130に位置され、前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われることにより、前記切断機220により前記ウェハー100が切断されて前記切削溝140が形成される際に、前記切断機220の側辺に位置される前記ブラシ230により先に形成された前記切削溝140に沿ってこれら前記金属残留段121が押圧され、各前記金属残留段121が前記ダイ110から分離されるか、或いは前記切削溝140中に湾曲される点である。図10を参照すると、好ましくは、前記ブラシ230の前記接触部231と前記切断機220との間には少なくとも切断経路130の間隔が空けられ、前記ブラシ230の前記接触部231と前記切断機220とが相互に干渉される事態が回避される。
続いて、第2実施形態を図9及び10に基づいて説明する。前記第2実施形態の前記第1実施形態との差異は、前記切断機220の切断方向に沿って前記ブラシ230の前記接触部231が前記切断機220の側辺に設置され、且つ前記切断機220及び前記ブラシ230の前記接触部231が異なる切断経路130に位置され、前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われることにより、前記切断機220により前記ウェハー100が切断されて前記切削溝140が形成される際に、前記切断機220の側辺に位置される前記ブラシ230により先に形成された前記切削溝140に沿ってこれら前記金属残留段121が押圧され、各前記金属残留段121が前記ダイ110から分離されるか、或いは前記切削溝140中に湾曲される点である。図10を参照すると、好ましくは、前記ブラシ230の前記接触部231と前記切断機220との間には少なくとも切断経路130の間隔が空けられ、前記ブラシ230の前記接触部231と前記切断機220とが相互に干渉される事態が回避される。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
10:ウェハーの切断方法、11:ウェハーの提供、12:切断及び押圧を行う工程、100:ウェハー、110:ダイ、111:表面、120:金属層、121:金属残留段、130:切断経路、140:切削溝、200:ウェハーの切断装置、210:載置座、211:載置面、220:切断機、221:末尾部、230:ブラシ、231:接触部、231a:接触端、300:固定テープ、400:ウェハー、410:チップ、411:金属残留段、500:テープ、600:載置座、700:基板、710:バンプ、H1:第一高さ、H2:第二高さ
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るウェハーの切断方法は、複数のダイ及び金属層で構成されるウェハーを有し、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う2つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明に係るウェハーの切断方法では、切断機の切断方向に沿ってブラシの接触部は切断機の側辺に設置され、且つ、切断機及び接触部は異なる前記切断経路に位置し、切断工程及び押圧工程は同時に行われる。
Claims (9)
- 複数のダイ及び金属層から構成され、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う2つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、を含むことを特徴とするウェハーの切断方法。 - 前記ブラシの前記接触部により各前記金属残留段が押圧されると、各前記金属残留段が前記ダイから分離されるか前記切削溝中に湾曲されることを特徴とする、請求項1に記載のウェハーの切断方法。
- 前記切断工程及び前記押圧工程は同時に行われることを特徴とする、請求項1に記載のウェハーの切断方法。
- 前記切断機の切断方向に沿って前記ブラシの前記接触部が前記切断機の後方に設置され、且つ前記切断機及び前記接触部は同じ切断経路に位置されることを特徴とする、請求項3に記載のウェハーの切断方法。
- 前記切断機の切断方向に沿って前記ブラシの前記接触部は前記切断機の側辺に設置され、且つ前記切断機及び前記接触部は異なる前記切断経路に位置されることを特徴とする、請求項3に記載のウェハーの切断方法。
- 前記ブラシの前記接触部と前記切断機との間には少なくとも前記切断経路分の間隔が空けられることを特徴とする、請求項5に記載のウェハーの切断方法。
- 前記押圧工程は前記切断工程の完了後に行われることを特徴とする、請求項1に記載のウェハーの切断方法。
- 前記ウェハーは載置座の載置面に設置され、前記切断機は末尾部を有し、前記末尾部と前記載置面との間には第一高さを有し、前記ブラシの前記接触部は接触端を有し、前記接触端と前記載置面との間には第二高さを有し、前記切断工程及び前記押圧工程が行われる前は、前記第一高さは前記第二高さより低くないことを特徴とする、請求項1に記載のウェハーの切断方法。
- 前記ブラシの前記接触部は軟性材料で製造され、前記接触部は前記押圧工程において各前記ダイの前記表面及び前記切削溝と接触して変形が生じることを特徴とする、請求項1に記載のウェハーの切断方法。
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