JP2016074583A - 接合基板の切断方法 - Google Patents

接合基板の切断方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2016074583A
JP2016074583A JP2015188717A JP2015188717A JP2016074583A JP 2016074583 A JP2016074583 A JP 2016074583A JP 2015188717 A JP2015188717 A JP 2015188717A JP 2015188717 A JP2015188717 A JP 2015188717A JP 2016074583 A JP2016074583 A JP 2016074583A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting
glass part
scribing
upper glass
cutting line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015188717A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6565544B2 (ja
Inventor
東光 崔
Dong Kwang Choi
東光 崔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Publication of JP2016074583A publication Critical patent/JP2016074583A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6565544B2 publication Critical patent/JP6565544B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25HWORKSHOP EQUIPMENT, e.g. FOR MARKING-OUT WORK; STORAGE MEANS FOR WORKSHOPS
    • B25H7/00Marking-out or setting-out work
    • B25H7/04Devices, e.g. scribers, for marking
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/0222Scoring using a focussed radiation beam, e.g. laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

【課題】接合基板等をスクライブするときに、シール部が形成された基板の不要なダミー部分を最大限に狭く残しながら除去することができるだけでなく、切断面を滑らかに切断することができる接合基板の切断方法の提供。【解決手段】接合基板の上部ガラス部11aと下部ガラス部11bとの間に形成されたシール部20上を切断するための接合基板の切断方法において、上部ガラス部11a及び下部ガラス部11bの少なくとも一方とシール部20が当接される位置にレーザを照射して、上部ガラス部11a及び下部ガラス部11bの少なくとも一方の内面側に切断ライン13a、13bを形成する段階と、スクライビングホイールを利用して切断ライン13a、13bに沿って上部ガラス部11a及び下部ガラス部11bの少なくとも一方をスクライブする段階を含む接合基板の切断方法。【選択図】図2

Description

本発明は、接合基板の切断方法に関し、詳しくは、レーザを利用した液晶基板等のスクライブ切断時、基板の不要な部分であってシール層が形成されているダミー部を最大限に小さくすることができるだけではなく、滑らかな切断面を得ることができる接合基板の切断方法に関する。
一般的に、従来には、液晶基板の切断時に基板の不要な部分であってシール層が形成されているダミー部を切断する際にスクライビングホイールのみを利用して切断していた。
具体的に、一般的な液晶基板は、上部ガラス部と下部ガラス部の間に液晶層が充填された後に液晶層が外部へ漏液しないように液晶層の枠部分をシール層で包みながらシーリングされている。
すなわち、シール層を上部ガラス部と下部ガラス部の互いに対向する面に付着させて、その間に液晶層が外部へ流れ出さないように密封する構造である。
また、シール性を高めるために、前述のようにシールされるシール層を基板平面の幅方向に広く形成させている構造を選んでいる。
そして、前述のように広い幅で形成されるシール層により液晶基板の枠部分に広い幅を有するシール層が含まれており、既存にはベゼルのサイズが大きい状態で使用しているか、又はベゼルのサイズを減らすためにシール層の外周部分を切り取ってベゼルを薄く形成している実情であった。
しかし、最近は、液晶基板を互いに平面に連結して使用する場合も存在し、この場合、画像の具現時にシール層の外周部分同士の連結部位で画像が滑らかではない問題点が台頭している。
したがって、前述のような問題点を解決すべく液晶基板のシール層の幅を最大限切り取るためにスクライビングホイールを利用して液晶基板のシール層まで深く食い込むようにしながら切断している。
しかし、シール層は、ゴムのように脆い性質を有しているので、スクライビングホイールを利用して液晶基板のシール層をスクライブする際に、スクライビングしながら脆いシール層と接触するようになると、直進性を失うようになったり、スクライブラインに沿って移動することができずに別の方向に走行することになり、基板切断時に基板を不良にする問題点が台頭している。
特に、接合基板をスクライビングするための既存の上、下スクライビングホイール方式では、接合基板を構成している上部ガラス部と下部ガラス部の間に位置されているシール層までの切断が難しく、スクライビングホイールのスクライビング作業が完了した後にもシール層が切断されずに一部のシール層が残存しており、ガラス部が完全に分離しない問題点も発生している実情である。
また、シール層に因りスクライビングホイールの直進性が落ちて液晶基板からダミー部を所望の程度に取り外すことができず、また液晶基板の切断面がシール層に因り滑らかな面を有することができず、廃棄しなければならない不良品が増加する問題点も台頭している実情である。
また、最近は、多数の液晶基板を平面で互いに枠が当接するようにして大型の画面を具現させて発売される画面装置が多くなっている時点で、液晶基板の枠で画面を具現することができる液晶層以外の他の部分、例えば、シール層は最小となるようにするための研究が盛んに試みられている。
したがって、本発明は、従来のような問題点を解決すべく創出されたものであって、その目的は、レーザを利用して液晶基板等の接合基板をスクライブして切断するとき、基板の不要なダミー部を最大限に小さくすることができるだけではなく、滑らかな切断面を得ることができる接合基板の切断方法を提供することにある。
本発明の一実施形態に係る接合基板の切断方法は、接合基板の上部ガラス部と下部ガラス部との間に形成されたシール部上を切断するための接合基板の切断方法において、前記上部ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方と前記シール部が当接される位置にレーザを照射して、前記上部ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方の内面側に切断ラインを形成する段階と、スクライビングホイールを利用して前記切断ラインに沿って前記ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方をスクライブする段階を含む。
また、前記切断ラインを形成する段階で、前記シール部と当接される前記上部ガラス部及び下部ガラス部の内面側に前記切断ラインを形成し、前記スクライブする段階で、前記上部ガラス部及び下部ガラス部をスクライブすることもできる。
また、前記切断ラインを形成する段階で、前記シール部と当接される前記上部ガラス部及び下部ガラス部のいずれか一つの内面側に前記切断ラインを形成し、前記スクライブする段階で、前記切断ラインが形成された前記上部ガラス部又は下部ガラス部と対面する反対側の前記下部ガラス部又は上部ガラス部をスクライブすることもできる。
また、前記スクライブする段階の後に前記切断ラインに沿ってローラブブレーク又はバーブレークを利用してブレークする段階を更に含むこともできる。
本発明によると、シール層を有する接合基板のシール層上を切断するとき、切断部位であるシール層を容易に分離し得るだけでなく、切断面をきれいに形成することができる効果がある。
図1は、一般的な接合基板の平面を示す図である。 図2は、本発明の一実施形態に係る接合基板の切断方法において、レーザを利用して切断ラインを形成する段階を示す図である。 図3は、本発明の一実施形態に係る接合基板の切断方法において、切断ライン形成の後にスクライビングホイールを利用してスクライビングする段階を示す図である。 図4は、本発明の一実施形態に係る接合基板の切断方法において、接合基板のスクライビングの後に切断された断面を示す図である。 図5は、本発明の他の実施形態に係る接合基板の切断方法であって、レーザを利用して切断ラインを形成することを示す図である。 図6は、図5の切断ライン形成の後にスクライビングホイールを利用してスクライビングする段階を示す図である。 図7は、図6でスクライビングされた後の切断された接合基板の断面を示す図である。
本発明の一実施形態に係る接合基板の切断方法を添付の図を参照して下記のように具体的に説明する。
図1及び図2に図示されたように、本実施形態に係る接合基板(10)は、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)を含み、これらの上部ガラス部(11a)と下部ガラス部(11b)の間に画像を示す液晶部(30)が形成されている。そして、前記液晶部(30)が接合基板(10)の外部へ漏液しないように液晶部(30)の外周がシール部(20)により密封されている。
前記シール部(20)により密封される接合基板(10)の枠部には、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)の形成時に不要な部分であるダミー部(14)が存在する。このようなダミー部(14)に該当する上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)の枠部の間にはシール部(20)も含まれている。
前記接合基板(10)の枠側に位置するダミー部(14)は、接合基板(10)の面積を通じて具現される画像の質を高めるために、その大きさを最小化することが好ましい。
したがって、図1に図示されたA部分に表示されたように、シール部(20)が形成されているダミー部(14)を矢印方向に沿って切断するとき、液晶部が漏液しない範囲内でシール部(20)及びダミー部(14)を最小限に残して切断する必要がある。
このために、本実施形態に係る接合基板の切断方法では、先ず、図2に図示されたように、接合基板(10)上に1次的にレーザ(1)を照射しながら、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)の厚さの深くまで浸透させ、シール部(20)と当接される上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)に切断ライン(13a、13b)を形成する。
すなわち、上部ガラス部(11a)の切断ライン(13a)と下部ガラス部(11b)の切断ライン(13b)はそれぞれ、上部ガラス部(11a)と下部ガラス部(11b)の間に形成されたシール部(20)と当接される上部ガラス部(11a)の内面の位置と下部ガラス部(11b)の内面の位置に形成される。
そして、レーザによりシール部(20)と当接される上部ガラス部(11a)の内面側と下部ガラス部(11b)の内面側に、それぞれ切断ライン(13a)及び切断ライン(13b)を形成するとき、切断ライン(13a、13b)が形成される位置周辺のシール部(20)も照射されるレーザの影響を受ける領域に含まれ、これにより脆い性質を有するシール部(20)が硬化しながら割れやすい性質に変わるようになる。
すなわち、接合基板(10)の間に接着されているシール部(20)は、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)に切断ライン(13a、13b)を形成するためにレーザを照射するとき、照射されるレーザの影響を受けてシール部(20)自体が硬化しながら、砕けやすかったり、切断されやすい物性に変わるようになる。
このように、レーザにより上部ガラス部(11a)の切断ライン(13a)と下部ガラス部(11b)の切断ライン(13b)を形成した後には、図3及び図4に図示されたように、スクライビングホイール(70)を利用して上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)の切断ライン(13a、13b)に沿って、各ガラス部の厚さまで、すなわち、シール部(20)が形成された厚さの深くまで食い込むようにスクライビングする。
このように、レーザを利用して上部ガラス部(11a)の切断ライン(13a)と下部ガラス部(11b)の切断ライン(13b)を形成した後に、スクライビングホイールを利用して切断ライン(13a、13b)に沿ってスクライビングすると、予め形成されている前記切断ライン(13a、13b)の周辺に接着されているシール部(20)は、レーザにより予め硬化し、割れたり、砕ける性質が向上した状態にあるので、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)を容易に且つ良好な断面品質を有するように切断することができる。
また、レーザを利用して上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)を照射するとき、シール部(20)もレーザによる影響を受ける照射領域に含まれ、これによりシール部(20)が硬化しながら自体の接着力が弱化し、引き合う応力が減少するようになって、シール部(20)によりスクライビングホイール(70)の走行時の方向が変わったりせずにスクライビングホイール(70)の直進性が付与されることができる。
一方、スクライビングホイール(70)により、上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)をスクライビングした後にロールブレーカ又はバーブレーカを利用して接合基板をブレークする工程が更に行われ得ることは勿論である。
以下、図5乃至図7を参照して本発明の他の実施形態を説明する。
本発明の他の実施形態では、前述の実施形態と異なって、接合基板(10)上に1次的にレーザ(1)を照射しながら、シール部(20)と当接されている上部ガラス部(11a)及び下部ガラス部(11b)のうちいずれか一つの内面側に切断ライン(13a)を形成する。
図5には、シール部(20)と当接されている上部ガラス部(11a)の内面の位置に切断ライン(13a)が形成されていることが図示されている。
このようにレーザを利用して上部ガラス部(11a)の内面側に切断ライン(13a)を形成する場合にも、切断ライン(13a)が形成される位置周辺のシール部(20)もレーザの影響を受ける領域に含まれ、これに因りシール部(20)は硬化しながら割れやすい性質に物性が変わるようになる。
そして、前記のようにレーザにより上部ガラス部(11a)の切断ライン(13a)を形成した後には、図6に図示されたように、切断ライン(13a)が形成されたガラス部と対面する反対側のガラス部である下部ガラス部(11b)上でスクライビングホイール(70)を利用して前記切断ライン(13a)に沿って走行するようにし、下部ガラス部(11b)の厚さまで、すなわち、シール部(20)が形成された接合面の深さまで食い込むようにスクライビングする。
すなわち、本発明の他の実施形態では、切断ライン(13a)が形成された上部ガラス部(11a)の反対側である下部ガラス部(11b)をスクライビングホイール(70)を利用して前記切断ライン(13a)に沿ってスクライビングする。そして、前記切断ライン(13a)の周辺に接着されているシール部(20)は、既にレーザの照射による影響を受けて硬化しながら、割れやすかったり、砕けたりする性質の物性を有するように変わっているので、本発明の他の実施形態では、下部ガラス部(11b)をスクライビングすることだけでシール部(20)を含んだ接合基板を容易に切断することができる。
また、より完全な切断のために、スクライビングホイール(70)を利用してスクライビングした後に、ロールブレーカ又はバーブレーカを利用して接合基板(1)に衝撃を加えることにより、ブレークする工程が更に行われ得ることは勿論である。
また、本発明の他の実施形態では、切断ライン(13a)が形成された上部ガラス部(11a)と対面する下部ガラス部(11b)上にスクライビングホイール(70)を利用してスクライビングしたが、切断ライン(13a)が形成された上部ガラス部(11a) 上にスクライビングホイール(70)を利用してスクライビングすることもできる。
1:レーザ
10:接合基板
11a:上部ガラス部
11b:下部ガラス部
13a、13b:切断ライン
20:シール部
30:液晶部
70:スクライビングホイール

Claims (4)

  1. 接合基板の上部ガラス部と下部ガラス部との間に形成されたシール部上を切断するための接合基板の切断方法において、
    前記上部ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方と前記シール部が当接される位置にレーザを照射して、前記上部ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方の内面側に切断ラインを形成する段階と、
    スクライビングホイールを利用して前記切断ラインに沿って前記上部ガラス部及び下部ガラス部の少なくとも一方をスクライブする段階を含むことを特徴とする接合基板の切断方法。
  2. 前記切断ラインを形成する段階で、前記シール部と当接される前記上部ガラス部及び下部ガラス部の内面側に前記切断ラインを形成し、
    前記スクライブする段階で、前記上部ガラス部及び下部ガラス部をスクライブすることを特徴とする請求項1に記載の接合基板の切断方法。
  3. 前記切断ラインを形成する段階で、前記シール部と当接される前記上部ガラス部及び下部ガラス部のいずれか一つの内面側に前記切断ラインを形成し、
    前記スクライブする段階で、前記切断ラインが形成された前記上部ガラス部又は下部ガラス部と対面する反対側の前記下部ガラス部又は上部ガラス部をスクライブすることを特徴とする請求項1に記載の接合基板の切断方法。
  4. 前記スクライブする段階の後に前記切断ラインに沿ってローラブレーク又はバーブレークを利用してブレークする段階を更に含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の接合基板の切断方法。
JP2015188717A 2014-10-06 2015-09-25 接合基板の切断方法 Expired - Fee Related JP6565544B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140134231A KR101623026B1 (ko) 2014-10-06 2014-10-06 접합 기판의 커팅 방법
KR10-2014-0134231 2014-10-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016074583A true JP2016074583A (ja) 2016-05-12
JP6565544B2 JP6565544B2 (ja) 2019-08-28

Family

ID=55666479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015188717A Expired - Fee Related JP6565544B2 (ja) 2014-10-06 2015-09-25 接合基板の切断方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6565544B2 (ja)
KR (1) KR101623026B1 (ja)
CN (1) CN105479020B (ja)
TW (1) TWI671267B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018131602A1 (ja) * 2017-01-10 2018-07-19 大日本印刷株式会社 調光セル、調光部材、移動体、調光セルの製造方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7020660B2 (ja) * 2016-11-29 2022-02-16 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の分断方法及び分断装置
KR102633196B1 (ko) * 2016-12-01 2024-02-05 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005165264A (ja) * 2003-11-29 2005-06-23 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶表示パネルの切断方法
JP2009006334A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Seiko Epson Corp レーザ加工方法およびレーザ照射装置
JP2010229024A (ja) * 2009-03-25 2010-10-14 Samsung Mobile Display Co Ltd 基板切断方法
JP2014048432A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd セル基板の加工方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003215551A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置の製造方法
JP2007137699A (ja) * 2005-11-16 2007-06-07 Epson Imaging Devices Corp ガラス基板の切断方法
CN101131519A (zh) * 2006-08-24 2008-02-27 精工爱普生株式会社 电光装置用基板、电光装置以及电子设备
JP5299730B2 (ja) * 2006-10-13 2013-09-25 Nltテクノロジー株式会社 表示装置
JP2008276057A (ja) 2007-05-02 2008-11-13 Active Inc 液晶表示装置の透明電極膜加工方法
WO2010029660A1 (ja) * 2008-09-12 2010-03-18 シャープ株式会社 表示パネルの製造方法
WO2010044217A1 (ja) * 2008-10-17 2010-04-22 株式会社リンクスタージャパン ディスプレイ用マザーガラス基板および脆性材料基板の切断方法、ディスプレイの製造方法
KR101818449B1 (ko) * 2010-12-15 2018-01-16 엘지디스플레이 주식회사 액정패널의 절단방법 및 액정표시장치 제조방법
TWI583522B (zh) * 2012-10-25 2017-05-21 三星鑽石工業股份有限公司 Disassembly method of laminated ceramic substrate
TW201435434A (zh) * 2013-03-05 2014-09-16 hui-xin Sun 液晶面板模組的裁切重製方法
JP5648160B2 (ja) * 2013-04-05 2015-01-07 Towa株式会社 加工装置及び加工方法
CN103819082A (zh) * 2014-02-20 2014-05-28 北京京东方光电科技有限公司 一种液晶面板的切割方法以及液晶面板
CN104028898B (zh) * 2014-05-23 2016-06-15 广东工业大学 一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005165264A (ja) * 2003-11-29 2005-06-23 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶表示パネルの切断方法
JP2009006334A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Seiko Epson Corp レーザ加工方法およびレーザ照射装置
JP2010229024A (ja) * 2009-03-25 2010-10-14 Samsung Mobile Display Co Ltd 基板切断方法
JP2014048432A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd セル基板の加工方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018131602A1 (ja) * 2017-01-10 2018-07-19 大日本印刷株式会社 調光セル、調光部材、移動体、調光セルの製造方法
JPWO2018131602A1 (ja) * 2017-01-10 2019-11-07 大日本印刷株式会社 調光セル、調光部材、移動体、調光セルの製造方法
JP7037769B2 (ja) 2017-01-10 2022-03-17 大日本印刷株式会社 調光セル、調光部材、移動体、調光セルの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105479020B (zh) 2019-10-18
CN105479020A (zh) 2016-04-13
TWI671267B (zh) 2019-09-11
TW201619080A (zh) 2016-06-01
KR101623026B1 (ko) 2016-05-20
KR20160040825A (ko) 2016-04-15
JP6565544B2 (ja) 2019-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101971202B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법
JP6565544B2 (ja) 接合基板の切断方法
JP2008292997A5 (ja)
JP6638400B2 (ja) 基板分断方法
TWI669278B (zh) 貼合基板之分斷方法
JP2009205140A5 (ja)
SG163481A1 (en) Method for manufacturing soi substrate and semiconductor device
JP2006137641A (ja) ガラス基板の切断方法
JP2007137699A (ja) ガラス基板の切断方法
WO2010147331A3 (ko) 액정 패널 절단 방법
TWI652238B (zh) 貼合基板之分斷方法
TW201821204A (zh) 劃片設備及劃片方法
KR20150107200A (ko) 에칭 지그 및 이를 이용한 강화유리 절단방법
JP2008176204A (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR20170010743A (ko) 패널의 제조 방법
JP6288293B2 (ja) 脆性基板の分断方法
JP2014214054A (ja) 貼り合わせ基板の加工装置
JP2006143506A (ja) ガラス基板の切断方法
JP2009282107A (ja) 表示パネル及びその製造方法
JP2008083356A (ja) 表示パネルおよび表示パネルの端縁処理方法
JP2016060684A (ja) 基板分断方法及びスクライブ装置
JP2004157145A (ja) フラットディスプレイパネルの製造方法
JP2018036291A5 (ja)
TW201811692A (zh) 基板分斷裝置及基板分斷方法
JP2016088810A (ja) スクライブ方法及びスクライブ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180903

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190530

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190702

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190715

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6565544

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees