JP2015515760A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 処理チャンバ内で使用するための装置であって、
   第１面を有する第１コンポーネントと、
   第２面を有する第２コンポーネントであって、第２面は第１コンポーネントの第１面と対向している第２コンポーネントと、
   第１面と第２面の間に配置され、第１コンポーネントと第２コンポーネントを接合する接合材と、
   処理チャンバ内で接合材を浸食から防止するための保護要素を含み、保護要素は、接合材を囲む保護シールを含み、保護シールは、エラストマーを含む装置。
2. 保護シールは、第１コンポーネントと第２コンポーネントの間の界面に形成された凹部内に配置されている請求項１記載の装置。
3. 処理チャンバ内で使用するための装置であって、
   第１面を有する第１コンポーネントと、
   第２面を有する第２コンポーネントであって、第２面は第１コンポーネントの第１面と対向している第２コンポーネントと、
   第１面と第２面の間に配置され、第１コンポーネントと第２コンポーネントを接合する接合材と、
   処理チャンバ内で接合材を浸食から防止するための保護要素を含み、保護要素は、接合材を覆う第１コンポーネントから延びる保護構造を含む装置。
4. 処理チャンバ内で使用するための装置であって、
   第１面を有する第１コンポーネントと、
   第２面を有する第２コンポーネントであって、第２面は第１コンポーネントの第１面と対向している第２コンポーネントと、
   第１面と第２面の間に配置され、第１コンポーネントと第２コンポーネントを接合する接合材と、
   処理チャンバ内で接合材を浸食から防止するための保護要素を含み、保護要素は、接合材中にシリコンフィラーを含む装置。
5. 処理チャンバ用の静電チャックであって、
   上で基板を支持するように構成された上面と、上面と反対側の下面を有するチャック本体と、
   チャック本体の下面に面する上面を有するチャックベースと、
   チャック本体の下面とチャックベースの上面を接合する接合材と、
   静電チャックの外部の環境に接合材の視線の露出を防止するように配置された保護要素を含み、保護要素は、チャック本体の下面とチャックベースの上面の間に配置され、接合材を囲む保護シールを含み、保護シールは、エラストマーを含む静電チャック。
6. 保護シールは、チャックベースとチャック本体の間に形成された凹部内に配置される請求項５記載の静電チャック。
7. 凹部は、チャック本体の下面と、チャックベースの上面に形成された段差によって画定される請求項５記載の静電チャック。
8. 凹部は、チャック本体の上面と、チャックベースの下面に形成された段差によって画定される請求項７記載の静電チャック。
9. 凹部は、チャック本体の下面に形成された第１段差と、チャックベースの上面に形成された第２段差によって画定される請求項７記載の静電チャック。
10. 保護要素は、チャック本体及びチャックベースを貫通して形成されたリフトピン孔の周囲に配置された３以上の保護シールを更に含む請求項５記載の静電チャック。
11. 処理チャンバ用の静電チャックであって、
    上で基板を支持するように構成された上面と、上面と反対側の下面を有するチャック本体と、
    チャック本体の下面に面する上面を有するチャックベースと、
    チャック本体の下面とチャックベースの上面を接合する接合材と、
    静電チャックの外部の環境に接合材の視線の露出を防止するように配置された保護要素を含み、保護要素は、チャック本体とチャックベースのうちの少なくとも１つの中に形成された保護構造を含み、接合材を覆う静電チャック。
12. 保護構造は、チャックベースに向かってチャック本体の下面から延び、接合材の縁部領域を囲む連続リップを含む請求項１１記載の静電チャック。
13. 処理チャンバ用の静電チャックであって、
    上で基板を支持するように構成された上面と、上面と反対側の下面を有するチャック本体と、
    チャック本体の下面に面する上面を有するチャックベースと、
    チャック本体の下面とチャックベースの上面を接合する接合材と、
    静電チャックの外部の環境に接合材の視線の露出を防止するように配置された保護要素を含み、保護要素は、接合材内に配置された耐食性フィラーを含む静電チャック。
14. 凹部は、第１コンポーネントの第１面と、第２コンポーネントの第２面に形成された段差によって画定される請求項２記載の装置。
15. 凹部は、第１コンポーネントの第１面に形成された第１段差と、第２コンポーネントの第２面に形成された第２段差によって画定される請求項２記載の装置。