JP2013036766A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の赤外線検出素子の一態様は、第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有し、前記第２面から前記第１面に向かうように第１凹部を有し、前記第１凹部と対向する場所の前記第１面の側に赤外線を検出する赤外線検出部を有する第１基板と、第３面及び前記第３面の反対側の第４面を有し、前記第１凹部と向かい合う場所の前記第４面から前記第３面に向かうように第２凹部を有する第２基板と、前記第２面と前記第４面との間に配置される接着膜と、を有し、前記第２凹部の側壁が前記第４面と交差する第２外周部は前記第１凹部の側壁が前記第２面と交差する第１外周部を囲むことを特徴とする。
本発明の赤外線検出素子の一態様は、第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有し、前記第２面から前記第１面に向かうように第１凹部を有し、前記第１凹部と対向する場所の前記第１面の側に赤外線を検出する赤外線検出部を有する第１基板と、第３面及び前記第３面の反対側の第４面を有し、前記第１凹部と向かい合う場所の前記第４面から前記第３面に向かうように第２凹部を有する第２基板と、前記第２面と前記第４面との間に配置される接着膜と、を有し、前記第２凹部の側壁が前記第４面と交差する第２外周部は前記第１凹部の側壁が前記第２面と交差する第１外周部を囲むことを特徴とする。
Claims (7)
- 第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有し、前記第２面から前記第１面に向かうように第１凹部を有し、前記第１凹部と対向する場所の前記第１面の側に赤外線を検出する赤外線検出部を有する第１基板と、
第３面及び前記第３面の反対側の第４面を有し、前記第１凹部と向かい合う場所の前記第４面から前記第３面に向かうように第２凹部を有する第２基板と、
前記第２面と前記第４面との間に配置される接着膜と、
を有し、
前記第２凹部の側壁が前記第４面と交差する第２外周部は前記第１凹部の側壁が前記第２面と交差する第１外周部を囲むことを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項１に記載の赤外線検出素子であって、
前記第２凹部の前記側壁は前記第４面に対して斜面となっていることを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項１または２に記載の赤外線検出素子であって、
前記第１基板には複数の前記第１凹部及び前記赤外線検出部が設置され、
１つの前記第２凹部と向かい合う場所に複数の前記第１凹部が位置することを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項１〜３のいずれか一項に記載の赤外線検出素子であって、
前記第２基板は側面を有し前記第２凹部と前記側面との間に溝部を有することを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項１〜４のいずれか一項に記載の赤外線検出素子であって、
前記第２基板は複数の前記第２凹部を有し、複数の前記第２凹部の間に溝部を有することを特徴とする赤外線検出素子。 - 請求項１〜５のいずれか一項に記載の赤外線検出素子であって、
前記第２凹部の底部は前記第１凹部と前記第２凹部とに囲まれた空洞部を前記第３面から遮蔽することを特徴とする赤外線検出素子。 - 赤外線を検出する光検出部を備える電子機器であって、
前記光検出部に請求項１〜６のいずれか一項に記載の赤外線検出素子を備えることを特徴とする電子機器。
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