JP2016211860A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有し、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、
   前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち前記光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有する支持部材と、
   前記ファブリペロー干渉フィルタと前記支持部材とを接着する接着部材と、を備え、
   前記接着部材の弾性率は、前記支持部材の弾性率よりも小さく、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの側面の少なくとも一部は、前記載置面の一部が前記側面の外側に配置されるように、前記載置面上に位置しており、
   前記接着部材は、前記側面、及び前記載置面の前記一部によって形成された隅部に配置され、前記側面、及び前記載置面の前記一部のそれぞれに接触している、光検出装置。
2. 前記接着部材は、前記隅部に配置された第１部分と、前記載置面と前記底面との間に配置された第２部分と、を含み、
   前記載置面に垂直な方向における前記第１部分の高さから、前記載置面に垂直な方向における前記第２部分の厚さを減じた値は、前記第２部分の前記厚さよりも大きい、請求項１記載の光検出装置。
3. 前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記第１ミラー及び前記第２ミラーを支持する基板を更に有し、
   前記隅部に配置された前記接着部材は、前記側面において前記基板に接触している、請求項１又は２記載の光検出装置。
4. 前記側面は、第１側面を含み、
   前記接着部材は、前記第１側面によって形成された前記隅部の全体に渡って連続するように、前記第１側面によって形成された前記隅部に配置され、前記第１側面に接触している、請求項１〜３のいずれか一項記載の光検出装置。
5. 前記側面は、前記光透過領域を挟んで互いに対向する第２側面及び第３側面を含み、
   前記接着部材は、前記第２側面によって形成された前記隅部、及び前記第３側面によって形成された前記隅部のそれぞれに配置され、前記第２側面及び前記第３側面のそれぞれに接触している、請求項１〜４のいずれか一項記載の光検出装置。
6. 前記側面は、角部を形成する第４側面及び第５側面を含み、
   前記接着部材は、前記第４側面によって形成された前記隅部、及び前記第５側面によって形成された前記隅部のそれぞれに配置され、前記第４側面及び前記第５側面のそれぞれに接触している、請求項１〜５のいずれか一項記載の光検出装置。
7. 前記第４側面によって形成された前記隅部に配置された前記接着部材と、前記第５側面によって形成された前記隅部に配置された前記接着部材とは、互いに連続している、請求項６記載の光検出装置。
8. 基板と、距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーと、を有し、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、
   前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち前記光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有する支持部材と、
   前記ファブリペロー干渉フィルタと前記支持部材とを接着する接着部材と、を備え、
   前記接着部材は、前記載置面と前記底面との間の領域の外に配置された第１部分と、前記載置面と前記底面との間の前記領域に配置された第２部分と、を含み、
   前記基板の厚さ方向における前記第１部分の厚さは、前記基板の厚さ方向における前記第２部分の厚さよりも大きい、光検出装置。
9. 前記光透過領域を光が透過する方向から見た場合に、前記第１部分は、前記第２部分の外側に配置されている、請求項８記載の光検出装置。
10. 前記接着部材は、前記光透過領域を光が透過する方向から見た場合に、前記第２部分の内側に配置された第３部分を更に含む、請求項９記載の光検出装置。
11. 前記基板の厚さ方向に垂直な方向における前記第１部分の幅は、前記基板の厚さ方向に垂直な方向における前記第３部分の幅よりも大きい、請求項１０記載の光検出装置。
12. 前記基板の厚さ方向における前記第１部分の厚さは、前記基板の厚さ方向における前記第３部分の厚さよりも大きい、請求項１０又は１１記載の光検出装置。
13. 前記接着部材の弾性率は、前記支持部材の弾性率よりも小さい、請求項８〜１２のいずれか一項記載の光検出装置。