JP7388815B2 - 分光ユニット及び分光モジュール - Google Patents
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Description
[光検出装置]
[ファブリペロー干渉フィルタ]
[分光モジュール]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (22)
- 筐体と、
前記筐体に設けられた光入射部と、
前記筐体内に配置され、互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部を有するファブリペロー干渉フィルタと、を備え、
前記光入射部は、アパーチャが形成されたアパーチャ部と、前記アパーチャと前記ファブリペロー干渉フィルタとの間に配置されたバンドパスフィルタと、を有し、
前記アパーチャ部は、前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部の対向方向における前記アパーチャの長さを前記対向方向に垂直な方向における前記アパーチャの幅で除した値が0.5以上となるように、且つ前記アパーチャを通過した光の全てが前記バンドパスフィルタに入射するように、構成されており、
前記対向方向から見た場合に、前記アパーチャの外縁は、前記ファブリペロー干渉フィルタの光透過領域の外縁の内側に位置している、分光ユニット。 - 前記アパーチャ部は、前記アパーチャを通過して前記バンドパスフィルタを透過した前記光の全てが前記ファブリペロー干渉フィルタに入射するように、構成されている、請求項1に記載の分光ユニット。
- 前記筐体内に配置され、前記ファブリペロー干渉フィルタを透過した光を検出する光検出器を更に備える、請求項1又は2に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャの光入射開口及び光出射開口は、円形状を呈している、請求項1~3のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャの径は、前記光入射開口と前記光出射開口との間において一定である、請求項4に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャの径は、前記光入射開口から前記光出射開口に向かって一定の変化率で変化している、請求項4に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャの径は、前記光入射開口から前記光出射開口に向かって0以上の変化率で変化しており、
前記変化率は、前記光入射開口と前記光出射開口との間において連続しており、前記光入射開口と前記光出射開口との間の少なくとも一部において変化している、請求項4に記載の分光ユニット。 - 前記アパーチャ内の領域は、空間である、請求項1~7のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記筐体と別体で形成され、前記アパーチャ部が設けられたアパーチャ部材を更に備える、請求項1~8のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャ部材には、前記筐体を位置決めする位置決め部が設けられている、請求項9に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャ部材には、光源が配置される孔が形成されている、請求項9又は10に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャ部材は、前記筐体を収容するパッケージの少なくとも一部を構成している、請求項9~11のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記バンドパスフィルタは、前記筐体の一部を介して前記アパーチャ部から離間している、請求項9~12のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記バンドパスフィルタは、前記アパーチャ部に接触している、請求項9~12のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 前記アパーチャ部は、前記筐体と一体で形成されている、請求項1~8のいずれか一項に記載の分光ユニット。
- 筐体と、
前記筐体に設けられた光入射部と、
前記筐体内に配置され、互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部を有するファブリペロー干渉フィルタと、を備え、
前記光入射部は、アパーチャが形成されたアパーチャ部と、前記アパーチャと前記ファブリペロー干渉フィルタとの間に配置されたバンドパスフィルタと、を有し、
前記アパーチャ部は、前記筐体と別体で形成されており、前記アパーチャを通過した光の全てが前記バンドパスフィルタに入射するように、構成されており、
前記第1ミラー部及び前記第2ミラー部の対向方向から見た場合に、前記アパーチャの外縁は、前記ファブリペロー干渉フィルタの光透過領域の外縁の内側に位置している、分光ユニット。 - 請求項1~16のいずれか一項に記載の分光ユニットと、
光源と、
前記分光ユニットの前記筐体、及び前記光源を収容するパッケージと、を備え、
前記アパーチャの光入射開口及び前記光源の光出射部は、互いに隣り合うように前記パッケージの外表面に沿って配置されている、分光モジュール。 - 前記アパーチャの前記光入射開口及び前記光源の前記光出射部は、前記外表面に形成された凹部内に位置している、請求項17に記載の分光モジュール。
- 前記アパーチャは、前記凹部の第1部分の底面に形成されている、請求項18に記載の分光モジュール。
- 前記第1部分よりも深い前記凹部の第2部分の底面には、前記光源が配置される孔が形成されている、請求項19に記載の分光モジュール。
- 前記第2部分の前記底面と前記凹部の側面との間には、凹状の曲面が形成されている、請求項20に記載の分光モジュール。
- 前記対向方向から見た場合に、前記孔は、前記アパーチャを含む大きさを有している、請求項20又は21に記載の分光モジュール。
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