JP2013242177A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. キャビティ層並びに前記キャビティ層を介して対向する第１及び第２のミラー層を有し、前記第１のミラー層側から前記第２のミラー層側に入射位置に応じて決定された波長の光を透過させる干渉フィルタ部と、
   前記干渉フィルタ部を透過した光が入射する受光面を有し、前記受光面に入射した光を検出する光検出基板と、を備え、
   前記干渉フィルタ部は、
   前記受光面と交差する所定の方向から見た場合に、前記受光面に対応する第１のフィルタ領域と、
   前記所定の方向から見た場合に、前記第１のフィルタ領域を包囲する環状の第２のフィルタ領域と、を有し、
   前記光検出基板が有する配線のパッド部は、前記所定の方向から見た場合に前記第２のフィルタ領域に含まれるように複数設けられており、
   前記第２のフィルタ領域には、前記パッド部を外部に露出させるための貫通孔が形成されており、
   前記パッド部のそれぞれには、前記貫通孔を介してワイヤが接続されている、分光センサ。
2. 前記貫通孔は、前記パッド部ごとに複数形成されている、請求項１記載の分光センサ。
3. 前記第１のフィルタ領域においては、前記第１のミラー層と前記第２のミラー層との間の前記所定の方向における距離が変化しており、
   前記第２のフィルタ領域においては、前記第１のミラー層と前記第２のミラー層との間の前記所定の方向における距離が一定となっている、請求項１又は２記載の分光センサ。
4. 少なくとも前記第２のフィルタ領域に入射する光を透過させる光学フィルタ部を更に備え、
   前記光学フィルタ部を透過する光の波長範囲と、前記第２のフィルタ領域を透過する光の波長範囲とは、互いに異なっている、請求項１〜３のいずれか一項記載の分光センサ。
5. 前記第１のフィルタ領域における前記キャビティ層と、前記第２のフィルタ領域における前記キャビティ層とは、連続して形成されている、請求項１〜４のいずれか一項記載の分光センサ。
6. 前記第１のフィルタ領域における前記第１のミラー層と、前記第２のフィルタ領域における前記第１のミラー層とは、連続して形成されており、
   前記第１のフィルタ領域における前記第２のミラー層と、前記第２のフィルタ領域における前記第２のミラー層とは、連続して形成されている、請求項１〜５のいずれか一項記載の分光センサ。
7. 前記第２のフィルタ領域は、前記受光面に平行な方向から見た場合に、前記第１のフィルタ領域を含んでいる、請求項１〜６のいずれか一項記載の分光センサ。
8. 前記所定の方向は、前記受光面に垂直な方向である、請求項１〜７のいずれか一項記載の分光センサ。