JP2013242179A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. キャビティ層並びに前記キャビティ層を介して対向する第１及び第２のミラー層を有し、前記第１のミラー層側から前記第２のミラー層側に入射位置に応じて決定された波長の光を透過させる干渉フィルタ部と、
   前記干渉フィルタ部を透過した光が入射する受光面を有し、前記受光面に入射した光を検出する光検出基板と、
   前記キャビティ層から前記第１及び前記第２のミラー層の少なくとも一方に至っており、前記受光面と交差する所定の方向から見た場合に前記干渉フィルタ部を光学的に分離するセパレータと、を備える、分光センサ。
2. 前記セパレータは、前記キャビティ層から少なくとも前記第２のミラー層に至っている、請求項１記載の分光センサ。
3. 前記セパレータは、前記キャビティ層から前記第１及び前記第２のミラー層の両方に至っている、請求項２記載の分光センサ。
4. 前記干渉フィルタ部と前記光検出基板との間に配置され、前記干渉フィルタ部から前記光検出基板に進行する光を透過させる第１のカップリング層を更に備え、
   前記セパレータは、前記第２のミラー層を介して前記第１のカップリング層に至っている、請求項１〜３のいずれか一項記載の分光センサ。
5. 前記干渉フィルタ部に入射する光を透過させる光透過基板と、
   前記光透過基板と前記干渉フィルタ部との間に配置され、前記光透過基板から前記干渉フィルタ部に進行する光を透過させる第２のカップリング層と、を更に備え、
   前記セパレータは、前記第１のミラー層を介して前記第２のカップリング層に至っている、請求項１〜４のいずれか一項記載の分光センサ。
6. 前記キャビティ層と前記第２のカップリング層とは、同一の材料からなる、請求項５記載の分光センサ。
7. 前記第１のミラー層と前記第２のミラー層との間の前記所定の方向における距離は、変化しており、
   前記セパレータの前記受光面側の端部と前記受光面との間の前記所定の方向における距離は、一定となっており、
   前記セパレータの前記受光面と反対側の端部と前記受光面との間の前記所定の方向における距離は、一定となっている、請求項１〜６のいずれか一項記載の分光センサ。
8. 前記セパレータは、前記所定の方向から見た場合に前記受光面を横切るように延在している、請求項１〜７のいずれか一項記載の分光センサ。
9. 前記干渉フィルタ部と前記光検出基板との間に配置され、前記受光面に入射する光の反射を防止する反射防止膜を更に備える、請求項１〜８のいずれか一項記載の分光センサ。
10. 前記光検出基板の前記干渉フィルタ部側の表面には、前記受光面に入射する光の反射を防止する反射防止処理が施されている、請求項１〜８のいずれか一項記載の分光センサ。
11. 前記所定の方向は、前記受光面に垂直な方向である、請求項１〜１０のいずれか一項記載の分光センサ。