JP2015099239A5 - - Google Patents

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本発明の一態様の光学フィルターデバイスは、第1の反射膜と、前記第1の反射膜に対向する第2の反射膜と、前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間の距離を変更するギャップ変更部と、を含む波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターからの光が入射するバンドパスフィルターと、を含み、前記バンドパスフィルターは、複数の波長帯域の光を透過させ、前記複数の波長帯域のうちの1つと、前記複数の波長帯域のうちの他の1つは異なることを特徴とする。
上記の本発明に係る光学フィルターデバイスは、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を有する波長可変干渉フィルターと、前記一対の反射膜の光軸上に設けられたバンドパスフィルターと、を備え、前記バンドパスフィルターは、光を透過させる複数の透過波長帯域を含む光学特性を備え、かつ前記各透過波長帯域がそれぞれ異なることを特徴とする。

Claims (12)

  1. 第1の反射膜と、
    前記第1の反射膜に対向する第2の反射膜と、
    前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間の距離を変更するギャップ変更部と、
    を含む波長可変干渉フィルターと、
    前記波長可変干渉フィルターからの光が入射するバンドパスフィルターと、
    を含み、
    前記バンドパスフィルターは、複数の波長帯域の光を透過させ、
    前記複数の波長帯域のうちの1つと、前記複数の波長帯域のうちの他の1つは異なることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  2. 請求項1に記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記複数の波長帯域の各々の幅は、前記波長可変干渉フィルターから光の半値幅よりも小さいことを特徴とする光学フィルターデバイス。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記複数の波長帯域のうちの1つと、前記複数の波長帯域のうちの1つに隣り合う前記複数の波長帯域のうちの他の1つと、の間隔は、前記波長可変干渉フィルターからの光の半値幅の半分よりも大きいことを特徴とする光学フィルターデバイス。
  4. 請求項1から請求項3のいずれかに記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記バンドパスフィルターは、複数個配置されていることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  5. 第1の反射膜と、
    前記第1の反射膜に対向する第2の反射膜と、
    前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間の距離を変更するギャップ変更部と、
    を含む波長可変干渉フィルターと、
    前記波長可変干渉フィルターへの光が通過するバンドパスフィルターと、
    を含み、
    前記バンドパスフィルターは、複数の波長帯域の光を透過させ、
    前記複数の波長帯域のうちの1つと、前記複数の波長帯域のうちの他の1つは異なることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  6. 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記バンドパスフィルターは、誘電体多層膜を含むことを特徴とする光学フィルターデバイス。
  7. 請求項1から請求項6のいずれかに記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記バンドパスフィルターの前記複数の波長帯域以外の波長帯域における光の透過
    率は10%以下であることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  8. 請求項1から請求項7のいずれかに記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記波長可変干渉フィルターは、前記第1の反射膜及び前記第2の反射膜のいずれか一方が設けられた基板を備え、
    前記バンドパスフィルターは、前記基板に設けられていることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  9. 請求項1から請求項8のいずれかに記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体を含むことを特徴とする光学フィルターデバイス。
  10. 請求項9に記載の光学フィルターデバイスにおいて、
    前記筐体は、光を透過させる部材を備え、
    前記バンドパスフィルターは、前記部材に設けられていることを特徴とする光学フィルターデバイス。
  11. 請求項1から請求項10のいずれかに記載の光学フィルターデバイスと、
    前記光学フィルターデバイスから光を受光する受光部と、
    を含むことを特徴とする光学モジュール。
  12. 請求項1から請求項10のいずれかに記載の光学フィルターデバイスと、
    前記光学フィルターデバイスを制御する制御部と、
    を含むことを特徴とする電子機器。
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