JPH1078353A - 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 - Google Patents
分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法Info
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- JPH1078353A JPH1078353A JP23197296A JP23197296A JPH1078353A JP H1078353 A JPH1078353 A JP H1078353A JP 23197296 A JP23197296 A JP 23197296A JP 23197296 A JP23197296 A JP 23197296A JP H1078353 A JPH1078353 A JP H1078353A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単な構造にして光利用効率の高い分光装置を
実現する。 【解決手段】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを、前記波長が大小順に並ぶ
ようにして光軸方向に直列に配置すると共に、各ダイク
ロイックミラーの入射面が光軸に対して斜めになるよう
に配置してなるダイクロイックミラーアレイと、入射光
を平行光とし前記ダイクロイックミラーアレイの光軸方
向に入射させる平行光入射手段と、前記各ダイクロイッ
クミラーからの反射光を個別に受光する複数の受光素子
からなる光検出器を備える。
実現する。 【解決手段】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを、前記波長が大小順に並ぶ
ようにして光軸方向に直列に配置すると共に、各ダイク
ロイックミラーの入射面が光軸に対して斜めになるよう
に配置してなるダイクロイックミラーアレイと、入射光
を平行光とし前記ダイクロイックミラーアレイの光軸方
向に入射させる平行光入射手段と、前記各ダイクロイッ
クミラーからの反射光を個別に受光する複数の受光素子
からなる光検出器を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的簡単な構造
で分光することのできる分光装置に関し、特に光利用効
率の改善に関するものである。
で分光することのできる分光装置に関し、特に光利用効
率の改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】簡単な構造で分光する分光方式に、リニ
アバリアブルフィルタ（分光フィルタアレイ）をリニア
イメージセンサ上に配置し、上方から平行光を照射する
方式がある。この種の方式の一例として、図７に示すよ
うな市販のフィルタ付きイメージセンサがある。入射光
（平行光）１はリニアバリアブルフィルタ２によりその
波長分割数だけ位置的に分割され、リニアイメージセン
サ（例えば２５６チャネル）３で受光される。同図
（ｂ）はリニアイメージセンサ３の出力例である。
アバリアブルフィルタ（分光フィルタアレイ）をリニア
イメージセンサ上に配置し、上方から平行光を照射する
方式がある。この種の方式の一例として、図７に示すよ
うな市販のフィルタ付きイメージセンサがある。入射光
（平行光）１はリニアバリアブルフィルタ２によりその
波長分割数だけ位置的に分割され、リニアイメージセン
サ（例えば２５６チャネル）３で受光される。同図
（ｂ）はリニアイメージセンサ３の出力例である。
【０００３】図８に示すものは分光センサ（ミノルタ
製）の例である。受光部は短波長側（４００〜５００ｎ
ｍ）用と長波長側（５００〜７００ｎｍ）用の２列にな
っており、上部から入射光（測定光）１が入射するが、
短波長側の列にはバンドパスフィルタIとバンドパスフ
ィルタIIを通して４００〜５００ｎｍの波長の光が入射
し、長波長側の列にはバンドパスフィルタIとIIIを通し
て５００〜７００ｎｍの波長の光が入射する。
製）の例である。受光部は短波長側（４００〜５００ｎ
ｍ）用と長波長側（５００〜７００ｎｍ）用の２列にな
っており、上部から入射光（測定光）１が入射するが、
短波長側の列にはバンドパスフィルタIとバンドパスフ
ィルタIIを通して４００〜５００ｎｍの波長の光が入射
し、長波長側の列にはバンドパスフィルタIとIIIを通し
て５００〜７００ｎｍの波長の光が入射する。
【０００４】バンドパスフィルタ４を通過した光は遮光
板５の２列の窓を通して分光フィルタアレイ６に入る。
分光フィルタアレイ６によって各波長に分割された光は
分割受光素子アレイ７の各受光部に入射する。受光素子
アレイ７では光・電変換が行われ、光強度に対応した電
流が出力される。なお、これらの各素子は堆積しセラミ
ックパッケージ等に搭載される。
板５の２列の窓を通して分光フィルタアレイ６に入る。
分光フィルタアレイ６によって各波長に分割された光は
分割受光素子アレイ７の各受光部に入射する。受光素子
アレイ７では光・電変換が行われ、光強度に対応した電
流が出力される。なお、これらの各素子は堆積しセラミ
ックパッケージ等に搭載される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな分光素子においては次のような問題がある。全入射
光はまずリニアバリアブルフィルタ２の波長分割数分あ
るいは分割受光素子アレイ７の素子数分だけ位置的に分
割される。受光素子の１素子で受光されるのは、全入射
光のうち位置的に分割された光のうちの特定の波長範囲
の光のみであり、残りの大部分の波長範囲の光はフィル
タによって吸収されてしまい、光利用効率は著しく悪く
なってしまうという問題があった。
うな分光素子においては次のような問題がある。全入射
光はまずリニアバリアブルフィルタ２の波長分割数分あ
るいは分割受光素子アレイ７の素子数分だけ位置的に分
割される。受光素子の１素子で受光されるのは、全入射
光のうち位置的に分割された光のうちの特定の波長範囲
の光のみであり、残りの大部分の波長範囲の光はフィル
タによって吸収されてしまい、光利用効率は著しく悪く
なってしまうという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、このような点に鑑み、ダ
イクロイックミラーを用い、簡単な構造にして光利用効
率の高い分光装置を実現しようとするものである。本発
明の他の目的は、反射率の立ち上がり波長の異なる複数
のダイクロイックミラーからなるダイクロイックミラー
アレイを簡単に製作するダイクロイックミラーアレイの
製造方法を提供することにある。
イクロイックミラーを用い、簡単な構造にして光利用効
率の高い分光装置を実現しようとするものである。本発
明の他の目的は、反射率の立ち上がり波長の異なる複数
のダイクロイックミラーからなるダイクロイックミラー
アレイを簡単に製作するダイクロイックミラーアレイの
製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明の分光装置は、反射率の立ち上がり波長
が互いに異なる複数のダイクロイックミラーを、前記波
長が大小順に並ぶようにして光軸方向に直列に配置する
と共に、各ダイクロイックミラーの入射面が光軸に対し
て斜めになるように配置してなるダイクロイックミラー
アレイと、入射光を平行光とし前記ダイクロイックミラ
ーアレイの光軸方向に入射させる平行光入射手段と、前
記各ダイクロイックミラーからの反射光を個別に受光す
る複数の受光素子からなる光検出器を具備したことを特
徴とする。
るために本発明の分光装置は、反射率の立ち上がり波長
が互いに異なる複数のダイクロイックミラーを、前記波
長が大小順に並ぶようにして光軸方向に直列に配置する
と共に、各ダイクロイックミラーの入射面が光軸に対し
て斜めになるように配置してなるダイクロイックミラー
アレイと、入射光を平行光とし前記ダイクロイックミラ
ーアレイの光軸方向に入射させる平行光入射手段と、前
記各ダイクロイックミラーからの反射光を個別に受光す
る複数の受光素子からなる光検出器を具備したことを特
徴とする。
【０００８】
【作用】反射率の立ち上がり波長を少しずつずらし、入
射面の傾いた複数のダイクロイックミラーを光軸方向に
直列に配列する。このダイクロイックミラーに入射光を
入射すると、前記反射率の立ち上がり波長を境にして波
長分解された波長域の光がダイクロイックミラーから反
射される。ダイクロイックミラーを透過した光は次段の
ダイクロイックミラーに入射される。各ダイクロイック
ミラーでの反射光は光検出器の複数の受光素子で個別に
受光される。このようにして分光装置が実現できる。こ
の場合ダイクロイックミラーを透過した光はすべて次段
のダイクロイックミラーに入射されるようにして入射光
をすべて利用しているため、従来のものに比べて格段に
光利用効率の高い分光装置を実現することができる。
射面の傾いた複数のダイクロイックミラーを光軸方向に
直列に配列する。このダイクロイックミラーに入射光を
入射すると、前記反射率の立ち上がり波長を境にして波
長分解された波長域の光がダイクロイックミラーから反
射される。ダイクロイックミラーを透過した光は次段の
ダイクロイックミラーに入射される。各ダイクロイック
ミラーでの反射光は光検出器の複数の受光素子で個別に
受光される。このようにして分光装置が実現できる。こ
の場合ダイクロイックミラーを透過した光はすべて次段
のダイクロイックミラーに入射されるようにして入射光
をすべて利用しているため、従来のものに比べて格段に
光利用効率の高い分光装置を実現することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図において、１０はダイクロイックミ
ラーアレイ、２０は光検出器である。
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図において、１０はダイクロイックミ
ラーアレイ、２０は光検出器である。
【００１０】ダイクロイックミラーアレイ１０は、複数
のダイクロイックミラーＭ1，Ｍ2，Ｍ3（それぞれ第
１、第２、第３のダイクロイックミラーという）から構
成される。ダイクロイックミラーＭ1，Ｍ2，Ｍ3は入射
光軸方向に直列的に配列されているが、各ダイクロイッ
クミラーの入射面は入射光軸に対して４５度傾いてい
る。なお、入射光を平行光にすると共にダイクロイック
ミラーアレイ１０の光軸方向に適切に入射するための平
行光入射手段は図示を省略してある。
のダイクロイックミラーＭ1，Ｍ2，Ｍ3（それぞれ第
１、第２、第３のダイクロイックミラーという）から構
成される。ダイクロイックミラーＭ1，Ｍ2，Ｍ3は入射
光軸方向に直列的に配列されているが、各ダイクロイッ
クミラーの入射面は入射光軸に対して４５度傾いてい
る。なお、入射光を平行光にすると共にダイクロイック
ミラーアレイ１０の光軸方向に適切に入射するための平
行光入射手段は図示を省略してある。
【００１１】各ダイクロイックミラーの反射率特性は図
２に示すように互いに異なっている。第１のダイクロイ
ックミラーＭ1の反射率の立ち下がり波長をλ1、第２と
第３のダイクロイックミラーＭ2とＭ3の反射率の立ち下
がり波長をそれぞれλ2，λ3とすると、λ1＜λ2＜λ3
の関係にある。
２に示すように互いに異なっている。第１のダイクロイ
ックミラーＭ1の反射率の立ち下がり波長をλ1、第２と
第３のダイクロイックミラーＭ2とＭ3の反射率の立ち下
がり波長をそれぞれλ2，λ3とすると、λ1＜λ2＜λ3
の関係にある。
【００１２】光検出器２０は複数の受光素子ＰＤ1，Ｐ
Ｄ2，ＰＤ3を配列したもので、各受光素子はそれぞれダ
イクロイックミラーからの反射光を受光する。
Ｄ2，ＰＤ3を配列したもので、各受光素子はそれぞれダ
イクロイックミラーからの反射光を受光する。
【００１３】このような構成における動作を次に説明す
る。コリメートされた入射光を第１のダイクロイックミ
ラーＭ1の入射面に入射する。ここで、λ1以下の波長成
分が反射され光検出器２０の受光素子ＰＤ1に入射す
る。λ1以上の波長成分は透過し、第２のダイクロイッ
クミラーＭ2の入射面に入射する。
る。コリメートされた入射光を第１のダイクロイックミ
ラーＭ1の入射面に入射する。ここで、λ1以下の波長成
分が反射され光検出器２０の受光素子ＰＤ1に入射す
る。λ1以上の波長成分は透過し、第２のダイクロイッ
クミラーＭ2の入射面に入射する。
【００１４】第２のダイクロイックミラーＭ2によりλ2
以下の波長成分は反射され、λ2以上の波長成分は透過
する。反射した波長成分の光は受光素子ＰＤ2に入射さ
れ、透過した波長成分の光は第３のダイクロイックミラ
ーＭ3に入射する。以下同様にして、各ダイクロイック
ミラー面から波長選択され出射された光は光検出器２０
の受光素子で受光され、透過した光は次段のダイクロイ
ックミラーへ入射される。
以下の波長成分は反射され、λ2以上の波長成分は透過
する。反射した波長成分の光は受光素子ＰＤ2に入射さ
れ、透過した波長成分の光は第３のダイクロイックミラ
ーＭ3に入射する。以下同様にして、各ダイクロイック
ミラー面から波長選択され出射された光は光検出器２０
の受光素子で受光され、透過した光は次段のダイクロイ
ックミラーへ入射される。
【００１５】このようにして、簡単な構成により入射光
を各ダイクロイックミラーにより分光することができ、
更に入射光はすべて利用される構造となっているため光
利用効率の高い分光装置を実現することができる。
を各ダイクロイックミラーにより分光することができ、
更に入射光はすべて利用される構造となっているため光
利用効率の高い分光装置を実現することができる。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、各種の変更や変形をなし得るものである。
例えば、ダイクロイックミラーアレイ１０が図２に示す
ものとは長波長側と短波長側で反射率が反対の特性とな
る構造であってもよい。ただし、その場合は、ダイクロ
イックミラーの配列順序を図１のものとは逆にする必要
がある。
のではなく、各種の変更や変形をなし得るものである。
例えば、ダイクロイックミラーアレイ１０が図２に示す
ものとは長波長側と短波長側で反射率が反対の特性とな
る構造であってもよい。ただし、その場合は、ダイクロ
イックミラーの配列順序を図１のものとは逆にする必要
がある。
【００１７】また、平行光入射手段（図示せず）とダイ
クロイックミラーアレイ１０を同一の基板（透明な基板
であり、例えばガラス基板等が利用される）上に形成す
るようにしてもよい。また、各ダイクロイックミラーか
らの出射光を集光光学系を介して光検出器２０で受光す
るようにしてもよい。
クロイックミラーアレイ１０を同一の基板（透明な基板
であり、例えばガラス基板等が利用される）上に形成す
るようにしてもよい。また、各ダイクロイックミラーか
らの出射光を集光光学系を介して光検出器２０で受光す
るようにしてもよい。
【００１８】なお、ダイクロイックミラーアレイ１０の
製造方法の一例を示せば次の通りである。図３に示すよ
うに、反射率の立ち上がり波長の異なる複数のダイクロ
イックミラー面を波長の大小順に積層し、これを斜め
（例えば４５度）に板状に切り出す。この板状に切り出
したアレイを横にすれば図１に示すダイクロイックミラ
ーアレイとなる。
製造方法の一例を示せば次の通りである。図３に示すよ
うに、反射率の立ち上がり波長の異なる複数のダイクロ
イックミラー面を波長の大小順に積層し、これを斜め
（例えば４５度）に板状に切り出す。この板状に切り出
したアレイを横にすれば図１に示すダイクロイックミラ
ーアレイとなる。
【００１９】図４は本発明の他の実施例図である。図１
と異なるところは各ダイクロイックミラーアレイの後段
にそれぞれ分光器３０1，３０2，３０3を挿入した点で
ある。各分光器の出力は受光器２０1，２０2，２０3で
個別に受光する。このような構成により、より広い波長
範囲を高分解能で同時に同じ入射光から分解することが
できる。
と異なるところは各ダイクロイックミラーアレイの後段
にそれぞれ分光器３０1，３０2，３０3を挿入した点で
ある。各分光器の出力は受光器２０1，２０2，２０3で
個別に受光する。このような構成により、より広い波長
範囲を高分解能で同時に同じ入射光から分解することが
できる。
【００２０】図５は図４の原理に基づいた一実施例を示
す構成図である。測定対象５１からの光をレンズ５２に
より平行光にしてダイクロイックミラーアレイ１０に入
射する。まず第１のダイクロイックミラーＭ1で反射し
た波長λ（＜λ1）の光が分光器３０1に入る。
す構成図である。測定対象５１からの光をレンズ５２に
より平行光にしてダイクロイックミラーアレイ１０に入
射する。まず第１のダイクロイックミラーＭ1で反射し
た波長λ（＜λ1）の光が分光器３０1に入る。
【００２１】分光器３０1は、第１のレンズ３１、入射
スリット３２、第２のレンズ３３、回折格子３４、第３
のレンズ３５から構成されている。第１のレンズ３１は
ダイクロイックミラーＭ1からの平行光を絞る。結像位
置（測定対象の実像面）にはスリット３２が置かれてい
る。スリット３２は測定対象と共役の位置にある。スリ
ット３２上の像は再び第２のレンズ３３により平行光と
なり回折格子３４に入射し、ここで回折した光は第３の
レンズ３５で絞られ受光器２０1上に集束する。
スリット３２、第２のレンズ３３、回折格子３４、第３
のレンズ３５から構成されている。第１のレンズ３１は
ダイクロイックミラーＭ1からの平行光を絞る。結像位
置（測定対象の実像面）にはスリット３２が置かれてい
る。スリット３２は測定対象と共役の位置にある。スリ
ット３２上の像は再び第２のレンズ３３により平行光と
なり回折格子３４に入射し、ここで回折した光は第３の
レンズ３５で絞られ受光器２０1上に集束する。
【００２２】受光器２０1は複数の受光素子を２次元状
に配列したものである。前記スリット３２を測定対象と
共役の位置に置いているため、この２次元状配列の受光
器２０1を用いることにより１次元画像分光が可能とな
る。例えば測定対象の横方向（空間軸）Ａ−Ｂは受光器
２０1の縦方向Ａ’−Ｂ’となり、２次元状配列の横方
向に波長のスペクトル分解が得られる。なお、他のダイ
クロイックミラーについても同様の分光器および受光器
がそれぞれ設けられる。
に配列したものである。前記スリット３２を測定対象と
共役の位置に置いているため、この２次元状配列の受光
器２０1を用いることにより１次元画像分光が可能とな
る。例えば測定対象の横方向（空間軸）Ａ−Ｂは受光器
２０1の縦方向Ａ’−Ｂ’となり、２次元状配列の横方
向に波長のスペクトル分解が得られる。なお、他のダイ
クロイックミラーについても同様の分光器および受光器
がそれぞれ設けられる。
【００２３】図６は更に他の実施例図である。測定対象
５１からの光はレンズ５２により平行光となった後再び
レンズ５３で絞られ、スリット５４上に結像する。スリ
ット５４上の測定対象の実像は次のレンズ５５により平
行光となってダイクロイックミラーＭ1に入射する。
５１からの光はレンズ５２により平行光となった後再び
レンズ５３で絞られ、スリット５４上に結像する。スリ
ット５４上の測定対象の実像は次のレンズ５５により平
行光となってダイクロイックミラーＭ1に入射する。
【００２４】ダイクロイックミラーＭ1からの反射光
は、回折格子３４とレンズ３５より構成された分光器３
０11に入る。回折格子３４で回折した光は図５の場合と
同様にレンズ３５を通って受光器２０1上に集束する。
このような構成においては、スリット５４の幅は１種類
しか選べないが、図５の実施例と同様に１次元画像分光
が可能である。なお、他のダイクロイックミラーについ
ても同様の個別に分光器が用いられる。
は、回折格子３４とレンズ３５より構成された分光器３
０11に入る。回折格子３４で回折した光は図５の場合と
同様にレンズ３５を通って受光器２０1上に集束する。
このような構成においては、スリット５４の幅は１種類
しか選べないが、図５の実施例と同様に１次元画像分光
が可能である。なお、他のダイクロイックミラーについ
ても同様の個別に分光器が用いられる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、位
置的に波長分解を達成するものの入射光を素子数で分割
してはおらず、そのためほぼ総ての入射光が波長分解さ
れた上で受光され、飛躍的に明るい分光アレイ素子が実
現でき、光利用効率の高い分光装置を容易に得ることが
できる。また、各ダイクロイックミラーの後段に個別に
分光器を置くことにより、より広い波長範囲を容易に高
分解能で分解することができる。また、本発明のダイク
ロイックミラーアレイ製造方法によれば、簡単な方法で
ダイクロイックミラーアレイを製作することができ、実
用に供してその効果は大きい。
置的に波長分解を達成するものの入射光を素子数で分割
してはおらず、そのためほぼ総ての入射光が波長分解さ
れた上で受光され、飛躍的に明るい分光アレイ素子が実
現でき、光利用効率の高い分光装置を容易に得ることが
できる。また、各ダイクロイックミラーの後段に個別に
分光器を置くことにより、より広い波長範囲を容易に高
分解能で分解することができる。また、本発明のダイク
ロイックミラーアレイ製造方法によれば、簡単な方法で
ダイクロイックミラーアレイを製作することができ、実
用に供してその効果は大きい。
【図１】本発明に係る分光装置の一実施例を示す構成図
【図２】ダイクロイックミラーの反射率特性を示す図
【図３】ダイクロイックミラーアレイの製造方法を説明
するための図
するための図
【図４】本発明の他の実施例を示す構成図
【図５】図４の原理に基づく一実施例構成図
【図６】図４の原理に基づく他の実施例構成図
【図７】従来のリニア分光素子の一例を示す図
【図８】従来の分光センサの一例を示す図である。
１０ ダイクロイックミラーアレイ ２０ 光検出器 ２０1 受光器 ３０1，３０2，３０3，３０11 分光器 ３１，３３，３５，５２，５３，５５ レンズ ３２，５４ スリット ３４ 回折格子 ５１ 測定対象 Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3 ダイクロイックミラー ＰＤ1，ＰＤ2，ＰＤ3， 受光素子
Claims (7)
- 【請求項１】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを、前記波長が大小順に並ぶ
ようにして光軸方向に直列に配置すると共に、各ダイク
ロイックミラーの入射面が光軸に対して斜めになるよう
に配置してなるダイクロイックミラーアレイと、 入射光を平行光とし前記ダイクロイックミラーアレイの
光軸方向に入射させる平行光入射手段と、 前記各ダイクロイックミラーからの反射光を個別に受光
する複数の受光素子からなる光検出器を具備した分光装
置。 - 【請求項２】前記平行光入射手段と前記ダイクロイック
ミラーアレイを同一の基板上に形成したことを特徴とす
る請求項１記載の分光装置。 - 【請求項３】前記光検出器は、マイクロレンズを用いた
光学系を介して前記ダイクロイックミラーからの出射光
を受光するように構成されたことを特徴とする請求項１
記載の分光装置。 - 【請求項４】前記ダイクロイックミラーからの出射光を
別々の分光器により更に分光し、その後に光検出器で受
光するように構成したことを特徴とする請求項１記載の
分光装置。 - 【請求項５】前記平行光入射手段は、測定対象またはそ
の実像面に置かれたスリットからの出射光を平行にする
ように構成されたことを特徴とする請求項４記載の分光
装置。 - 【請求項６】前記各ダイクロイックミラーの後段に置か
れた各分光器の入射スリットが測定対象の実像面に位置
していることを特徴とする請求項４記載の分光装置。 - 【請求項７】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを、前記波長が大小順に並ぶ
ようにして光軸方向に直列に配置すると共に、各ダイク
ロイックミラーの入射面が光軸に対して斜めになるよう
に配置してなるダイクロイックミラーアレイと、 入射光を前記ダイクロイックミラーアレイの光軸方向に
入射させる平行光入射手段と、 前記各ダイクロイックミラーからの反射光を個別に受光
する複数の受光素子からなる光検出器を備えた分光装置
において、前記ダイクロイックミラーアレイは、 反射率の立ち上がり波長の異なる複数のダイクロイック
ミラー面をその波長の大小順に積層し、その後斜めに板
状に切り出すことにより製作されるようにしたことを特
徴とする分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23197296A JPH1078353A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23197296A JPH1078353A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1078353A true JPH1078353A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16931944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23197296A Pending JPH1078353A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1078353A (ja) |
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-
1996
- 1996-09-02 JP JP23197296A patent/JPH1078353A/ja active Pending
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