JPH1062246A - 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 - Google Patents
分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法Info
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- JPH1062246A JPH1062246A JP21865896A JP21865896A JPH1062246A JP H1062246 A JPH1062246 A JP H1062246A JP 21865896 A JP21865896 A JP 21865896A JP 21865896 A JP21865896 A JP 21865896A JP H1062246 A JPH1062246 A JP H1062246A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ダイクロイックミラーを用い、簡単な構造にし
て光利用効率の高い分光装置を実現する。 【解決手段】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを前記波長の大小順に配列し
てなるダイクロイックミラーアレイと、このダイクロイ
ックミラーアレイと対向配置され、入射光および前記各
ダイクロイックミラーからの反射光を反射して前記ダイ
クロイックミラーに入射させる平面鏡と、前記入射光を
平行光とすると共に所定の角度で前記平面鏡に入射させ
る平行光入射手段と、前記各ダイクロイックミラーを透
過した光を個別に受光する複数の受光素子からなる受光
素子アレイを備える。
て光利用効率の高い分光装置を実現する。 【解決手段】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを前記波長の大小順に配列し
てなるダイクロイックミラーアレイと、このダイクロイ
ックミラーアレイと対向配置され、入射光および前記各
ダイクロイックミラーからの反射光を反射して前記ダイ
クロイックミラーに入射させる平面鏡と、前記入射光を
平行光とすると共に所定の角度で前記平面鏡に入射させ
る平行光入射手段と、前記各ダイクロイックミラーを透
過した光を個別に受光する複数の受光素子からなる受光
素子アレイを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、比較的簡単な構造
で分光することのできる分光装置に関し、特に光利用効
率の改善に関するものである。
で分光することのできる分光装置に関し、特に光利用効
率の改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】簡単な構造で分光する方式に、リニアバ
リアブルフィルタ（分光フィルタアレイ）をリニアイメ
ージセンサ上に配置し、上方から平行光を照射する方式
がある。この種の方式の一例として、図７に示すような
市販のフィルタ付きイメージセンサがある。入射光（平
行光）１はリニアバリアブルフィルタ２によりその波長
分割数だけ位置的に分割され、リニアイメージセンサ
（例えば２５６チャネル）３で受光される。同図（ｂ）
はリニアイメージセンサ３の出力例である。
リアブルフィルタ（分光フィルタアレイ）をリニアイメ
ージセンサ上に配置し、上方から平行光を照射する方式
がある。この種の方式の一例として、図７に示すような
市販のフィルタ付きイメージセンサがある。入射光（平
行光）１はリニアバリアブルフィルタ２によりその波長
分割数だけ位置的に分割され、リニアイメージセンサ
（例えば２５６チャネル）３で受光される。同図（ｂ）
はリニアイメージセンサ３の出力例である。
【０００３】図８に示すものは他の応用例としての分光
センサ（ミノルタ製）である。受光部は短波長側（４０
０〜５００ｎｍ）用と長波長側（５００〜７００ｎｍ）
用の２列になっており、上部から入射光（測定光）１が
入射するが、短波長側の列にはバンドパスフィルタIと
バンドパスフィルタIIを通して４００〜５００ｎｍの波
長の光が入射し、長波長側の列にはバンドパスフィルタ
IとIIIを通して５００〜７００ｎｍの波長の光が入射す
る。
センサ（ミノルタ製）である。受光部は短波長側（４０
０〜５００ｎｍ）用と長波長側（５００〜７００ｎｍ）
用の２列になっており、上部から入射光（測定光）１が
入射するが、短波長側の列にはバンドパスフィルタIと
バンドパスフィルタIIを通して４００〜５００ｎｍの波
長の光が入射し、長波長側の列にはバンドパスフィルタ
IとIIIを通して５００〜７００ｎｍの波長の光が入射す
る。
【０００４】バンドパスフィルタ４を通過した光は遮光
板５の２列の窓を通して分光フィルタアレイ６に入る。
分光フィルタアレイ６によって各波長に分割された光は
分割受光素子アレイ７の各受光部に入射し、電流として
出力される。なお、これらの各素子は堆積しセラミック
パッケージ等に搭載される。
板５の２列の窓を通して分光フィルタアレイ６に入る。
分光フィルタアレイ６によって各波長に分割された光は
分割受光素子アレイ７の各受光部に入射し、電流として
出力される。なお、これらの各素子は堆積しセラミック
パッケージ等に搭載される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな分光素子においては次のような問題がある。全入射
光はまずリニアバリアブルフィルタ２の波長分割数分あ
るいは分割受光素子アレイ７の素子数分だけ位置的に分
割される。受光素子の１素子で受光されるのは、全入射
光のうち位置的に分割された光のうちの特定の波長範囲
の光のみであり、残りの大部分の波長範囲の光はフィル
タによって吸収されてしまい、光利用効率は著しく悪く
なってしまうという問題があった。
うな分光素子においては次のような問題がある。全入射
光はまずリニアバリアブルフィルタ２の波長分割数分あ
るいは分割受光素子アレイ７の素子数分だけ位置的に分
割される。受光素子の１素子で受光されるのは、全入射
光のうち位置的に分割された光のうちの特定の波長範囲
の光のみであり、残りの大部分の波長範囲の光はフィル
タによって吸収されてしまい、光利用効率は著しく悪く
なってしまうという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、このような点に鑑み、ダ
イクロイックミラーを用い、簡単な構造にして光利用効
率の高い分光装置を実現しようとするものである。本発
明の他の目的は、反射率の立ち上がり波長の異なる複数
のダイクロイックミラーからなるダイクロイックミラー
アレイを簡単に製作するダイクロイックミラーアレイの
製造方法を提供することにある。
イクロイックミラーを用い、簡単な構造にして光利用効
率の高い分光装置を実現しようとするものである。本発
明の他の目的は、反射率の立ち上がり波長の異なる複数
のダイクロイックミラーからなるダイクロイックミラー
アレイを簡単に製作するダイクロイックミラーアレイの
製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明の分光装置は、反射率の立ち上がり波長
が互いに異なる複数のダイクロイックミラーを前記波長
の大小順に配列してなるダイクロイックミラーアレイ
と、このダイクロイックミラーアレイと対向配置され、
入射光および前記各ダイクロイックミラーからの反射光
を反射して前記ダイクロイックミラーに入射させる平面
鏡と、前記入射光を平行光とすると共に所定の角度で前
記平面鏡に入射させる平行光入射手段と、前記各ダイク
ロイックミラーを透過した光を個別に受光する複数の受
光素子からなる受光素子アレイを備えたことを特徴とす
る。
るために本発明の分光装置は、反射率の立ち上がり波長
が互いに異なる複数のダイクロイックミラーを前記波長
の大小順に配列してなるダイクロイックミラーアレイ
と、このダイクロイックミラーアレイと対向配置され、
入射光および前記各ダイクロイックミラーからの反射光
を反射して前記ダイクロイックミラーに入射させる平面
鏡と、前記入射光を平行光とすると共に所定の角度で前
記平面鏡に入射させる平行光入射手段と、前記各ダイク
ロイックミラーを透過した光を個別に受光する複数の受
光素子からなる受光素子アレイを備えたことを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複数の
ダイクロイックミラーを波長の大小順に配列したダイク
ロイックミラーアレイを用意し、このダイクロイックミ
ラーに斜めに入射光を入射する。入射光のうち当該ダイ
クロイックミラーの反射率の立ち上がり波長以上のもの
は反射し、該波長以下のものは透過する。反射した光は
対向面で反射して再び次段のダイクロイックミラーに入
射する。以降反射と入射を次々と繰り返す。透過光は個
別に受光素子で受光する。
ダイクロイックミラーを波長の大小順に配列したダイク
ロイックミラーアレイを用意し、このダイクロイックミ
ラーに斜めに入射光を入射する。入射光のうち当該ダイ
クロイックミラーの反射率の立ち上がり波長以上のもの
は反射し、該波長以下のものは透過する。反射した光は
対向面で反射して再び次段のダイクロイックミラーに入
射する。以降反射と入射を次々と繰り返す。透過光は個
別に受光素子で受光する。
【０００９】このような構成によれば、入射光は波長分
解されるものの、ダイクロイックミラーで反射された光
は次々と次段のダイクロイックミラーに入射され利用さ
れるので、光利用効率の高い分光装置を容易に実現する
ことができる。
解されるものの、ダイクロイックミラーで反射された光
は次々と次段のダイクロイックミラーに入射され利用さ
れるので、光利用効率の高い分光装置を容易に実現する
ことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図において、１１は入射光、１２は平
面鏡、１３は複数のダイクロイックミラーから成るダイ
クロイックミラーアレイであり、１３ａは第１のダイク
ロイックミラー、１３ｂは第２のダイクロイックミラ
ー、１３ｃは第３のダイクロイックミラーである。１４
は複数の受光素子１４ａ，１４ｂ，１４ｃを所定の間隔
で配列して成る受光素子アレイである。なお、入射光１
１は、図示しない平行光入射手段により、平行光となっ
て平面鏡１２に斜めに（例えば４５度の角度で）入射す
る。
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図において、１１は入射光、１２は平
面鏡、１３は複数のダイクロイックミラーから成るダイ
クロイックミラーアレイであり、１３ａは第１のダイク
ロイックミラー、１３ｂは第２のダイクロイックミラ
ー、１３ｃは第３のダイクロイックミラーである。１４
は複数の受光素子１４ａ，１４ｂ，１４ｃを所定の間隔
で配列して成る受光素子アレイである。なお、入射光１
１は、図示しない平行光入射手段により、平行光となっ
て平面鏡１２に斜めに（例えば４５度の角度で）入射す
る。
【００１１】図２はダイクロイックミラーの反射率特性
を示すものである。ダイクロイックミラー１３ａ，１３
ｂ，１３ｃの反射率の立ち上がり波長はそれぞれλ1，
λ2，λ3である。
を示すものである。ダイクロイックミラー１３ａ，１３
ｂ，１３ｃの反射率の立ち上がり波長はそれぞれλ1，
λ2，λ3である。
【００１２】このような構成における動作を次に説明す
る。平行光入射手段によりコリメートされた入射光１１
は平面鏡１２に対し斜めに入射する。平面鏡１２によっ
て反射した光は第１のダイクロイックミラー１３ａに入
射する。この第１のダイクロイックミラー１３ａによ
り、波長λ1以下の波長域の波長は透過し、λ1以上の波
長域の波長は反射される。
る。平行光入射手段によりコリメートされた入射光１１
は平面鏡１２に対し斜めに入射する。平面鏡１２によっ
て反射した光は第１のダイクロイックミラー１３ａに入
射する。この第１のダイクロイックミラー１３ａによ
り、波長λ1以下の波長域の波長は透過し、λ1以上の波
長域の波長は反射される。
【００１３】透過したλ1以下の波長域の光は受光素子
アレイ１４に入射する。他方、反射されたλ1以上の波
長域の波長は再び平面鏡１２で折り返され、第２のダイ
クロイックミラー１３ｂに入射する。ここで、またλ2
以下の波長域の波長は透過し、λ2以上の波長域の波長
は反射する。以降ダイクロイックミラー１３ｃにおいて
も同様に透過および反射が行われる。
アレイ１４に入射する。他方、反射されたλ1以上の波
長域の波長は再び平面鏡１２で折り返され、第２のダイ
クロイックミラー１３ｂに入射する。ここで、またλ2
以下の波長域の波長は透過し、λ2以上の波長域の波長
は反射する。以降ダイクロイックミラー１３ｃにおいて
も同様に透過および反射が行われる。
【００１４】平面鏡１２とダイクロイックミラーアレイ
１３との間隔、平行光の入射角、ダイクロイックミラー
アレイ１３の素子ピッチをそれぞれ適切に合わせれば、
一般にｉ番目のダイクロイックミラーからはλi以上λ
i+1以下の波長域の平行光が出射されることになる。こ
のようにしてダイクロイックミラーにより入射光を分光
することができる。
１３との間隔、平行光の入射角、ダイクロイックミラー
アレイ１３の素子ピッチをそれぞれ適切に合わせれば、
一般にｉ番目のダイクロイックミラーからはλi以上λ
i+1以下の波長域の平行光が出射されることになる。こ
のようにしてダイクロイックミラーにより入射光を分光
することができる。
【００１５】以上のような構成によれば、簡単な構造で
ありながらも、リニアバリアブルフィルタを使用する従
来の分光装置とは異なり、全入射光成分が利用可能とな
り、光利用効率に優れた分光装置を実現することができ
る。
ありながらも、リニアバリアブルフィルタを使用する従
来の分光装置とは異なり、全入射光成分が利用可能とな
り、光利用効率に優れた分光装置を実現することができ
る。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、各種の変更や変形をなし得る。例えば、ダ
イクロイックミラーアレイ１３の反射率特性は、図３に
示すように、図２とは長波長側、短波長側で対称となる
ようにしたものであってもよく、同様の機能を果たすこ
とができる。ただし、入射される波長の順序は逆にな
る。
のではなく、各種の変更や変形をなし得る。例えば、ダ
イクロイックミラーアレイ１３の反射率特性は、図３に
示すように、図２とは長波長側、短波長側で対称となる
ようにしたものであってもよく、同様の機能を果たすこ
とができる。ただし、入射される波長の順序は逆にな
る。
【００１７】また、平面鏡１２は基板（例えばガラス基
板）の片面に鏡面を形成したものでもよい。同様に、ダ
イクロイックミラーアレイ１３もガラス等の基板上に形
成したものでもよい。なお、この２枚の基板は間に空間
を介在させて所定の間隔で面と面が向き合うように対向
配置させるが、同一基板の両面に平面鏡とダイクロイッ
クミラーアレイを形成した構造としてもよい。
板）の片面に鏡面を形成したものでもよい。同様に、ダ
イクロイックミラーアレイ１３もガラス等の基板上に形
成したものでもよい。なお、この２枚の基板は間に空間
を介在させて所定の間隔で面と面が向き合うように対向
配置させるが、同一基板の両面に平面鏡とダイクロイッ
クミラーアレイを形成した構造としてもよい。
【００１８】また、平面鏡１２をダイクロイックミラー
アレイ１５に置き換え、図４に示すように、各ダイクロ
イックミラーアレイから出射光を取り出すようにしても
よい。このとき、２枚のダイクロイックミラーアレイ１
３と１５の反射率特性は、図５に示すように波長を平行
にずらす。これにより各ダイクロイックミラーアレイの
波長分解能の２倍の分解能が得られる。
アレイ１５に置き換え、図４に示すように、各ダイクロ
イックミラーアレイから出射光を取り出すようにしても
よい。このとき、２枚のダイクロイックミラーアレイ１
３と１５の反射率特性は、図５に示すように波長を平行
にずらす。これにより各ダイクロイックミラーアレイの
波長分解能の２倍の分解能が得られる。
【００１９】ただし、この場合の各ダイクロイックミラ
ーの反射率の立ち上がり波長は次の関係にある。ダイク
ロイックミラー１５ａ，１５ｂ，１５ｃの反射率の立ち
上がり波長をλ 1，λ2，λ3、ダイクロイックミラー１
３ａ，１３ｂ，１３ｃの反射率の立ち上がり波長を
λ11，λ21，λ31とすると、 λ1＜λ11＜λ2＜λ21＜λ3＜λ31 である。
ーの反射率の立ち上がり波長は次の関係にある。ダイク
ロイックミラー１５ａ，１５ｂ，１５ｃの反射率の立ち
上がり波長をλ 1，λ2，λ3、ダイクロイックミラー１
３ａ，１３ｂ，１３ｃの反射率の立ち上がり波長を
λ11，λ21，λ31とすると、 λ1＜λ11＜λ2＜λ21＜λ3＜λ31 である。
【００２０】また、ダイクロイックミラーアレイ１３と
１５は、別々の基板に形成し所定の間隔で対向配置させ
たものであるが、同一基板の両面に各アレイを形成した
構造であってもよい。
１５は、別々の基板に形成し所定の間隔で対向配置させ
たものであるが、同一基板の両面に各アレイを形成した
構造であってもよい。
【００２１】さらに、各ダイクロイックミラーは平面状
に並んでいる必要はない。図６に示すように、ダイクロ
イックミラーアレイ１６の各ダイクロイックミラー１６
ａ，１６ｂ，１６ｃはそれぞれ表面が傾斜していてもよ
い。また、各ダイクロイックミラーからの出射光は直接
受光素子で受光するのではなく、集光光学系を介して受
光する構造としてもよい。
に並んでいる必要はない。図６に示すように、ダイクロ
イックミラーアレイ１６の各ダイクロイックミラー１６
ａ，１６ｂ，１６ｃはそれぞれ表面が傾斜していてもよ
い。また、各ダイクロイックミラーからの出射光は直接
受光素子で受光するのではなく、集光光学系を介して受
光する構造としてもよい。
【００２２】また、ダイクロイックミラーアレイは成膜
時に遮光位置を段階的にずらし各ダイクロイックミラー
の膜圧を変化させることによって製作するようにしても
よい。
時に遮光位置を段階的にずらし各ダイクロイックミラー
の膜圧を変化させることによって製作するようにしても
よい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ァルタを用いないため、位置的に波長分解を達成しつつ
も入射光を素子数で分割しておらず、そのためほぼ総て
の入射光が波長分解された上で受光され、飛躍的に明る
い分光アレイ素子が実現でき、光利用効率の高い分光装
置を容易に得ることができる。
ァルタを用いないため、位置的に波長分解を達成しつつ
も入射光を素子数で分割しておらず、そのためほぼ総て
の入射光が波長分解された上で受光され、飛躍的に明る
い分光アレイ素子が実現でき、光利用効率の高い分光装
置を容易に得ることができる。
【図１】本発明に係る分光装置の一実施例を示す構成図
【図２】ダイクロイックミラーアレイの反射率特性を示
す図
す図
【図３】本発明の他の実施例におけるダイクロイックミ
ラーアレイの反射率特性を示す図
ラーアレイの反射率特性を示す図
【図４】本発明の他の実施例を示す構成図
【図５】図４に示す実施例におけるダイクロイックミラ
ーアレイの反射率特性を示す図
ーアレイの反射率特性を示す図
【図６】ダイクロイックミラーアレイの構造の一例を示
す図
す図
【図７】従来のリニア分光素子の一例を示す図
【図８】従来の分光センサの一例を示す図である。
１１ 入射光 １２ 平面鏡 １３，１５ ダイクロイックミラーアレイ １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ ダ
イクロイックミラー １４ 受光素子アレイ １４ａ，１４ｂ，１４ｃ 受光素子
イクロイックミラー １４ 受光素子アレイ １４ａ，１４ｂ，１４ｃ 受光素子
Claims (8)
- 【請求項１】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを前記波長の大小順に配列し
てなるダイクロイックミラーアレイと、 このダイクロイックミラーアレイと対向配置され、入射
光および前記各ダイクロイックミラーからの反射光を反
射して前記ダイクロイックミラーに入射させる平面鏡
と、 前記入射光を平行光とすると共に所定の角度で前記平面
鏡に入射させる平行光入射手段と、 前記各ダイクロイックミラーを透過した光を個別に受光
する複数の受光素子からなる受光素子アレイを具備した
分光装置。 - 【請求項２】前記平面鏡およびダイクロイックミラーア
レイはそれぞれ基板上に形成されたことを特徴とする請
求項１記載の分光装置。 - 【請求項３】前記平面鏡を、反射率の立ち上がり波長が
前記ダイクロイックミラーアレイとは異なる複数のダイ
クロイックミラーからなるダイクロイックミラーアレイ
とし、その２つのダイクロイックミラーアレイは各反射
光が相手側のダイクロイックミラーに入射するように対
向配置されると共に、２つのダイクロイックミラーアレ
イからの出射光が受光素子で受光されるように構成した
ことを特徴とする請求項１記載の分光装置。 - 【請求項４】前記各基板は平面であることを特徴とする
請求項２または請求項３記載の分光装置。 - 【請求項５】前記２枚の基板は間に空間を有するように
して対向配置されたことを特徴とする請求項２または請
求項３記載の分光装置。 - 【請求項６】前記２枚の基板に形成された平面鏡とダイ
クロイックミラーアレイ、または２つのダイクロイック
ミラーアレイを、同一基板の両面に形成したことを特徴
とする請求項１または３記載の分光装置。 - 【請求項７】前記ダイクロイックミラーは、その表面が
対向面に対して傾斜していることを特徴とする請求項１
または請求項３記載の分光装置。 - 【請求項８】反射率の立ち上がり波長が互いに異なる複
数のダイクロイックミラーを前記波長の大小順に配列し
てなるダイクロイックミラーアレイと、 このダイクロイックミラーアレイと対向配置され、入射
光および前記各ダイクロイックミラーからの反射光を反
射して前記ダイクロイックミラーに入射させる平面鏡
と、 前記入射光を平行光とすると共に所定の角度で前記平面
鏡に入射させる平行光入射手段と、 前記各ダイクロイックミラーを透過した光を個別に受光
する複数の受光素子からなる受光素子アレイを具備した
分光装置において、 前記ダイクロイックミラーアレイは、成膜時に遮光位置
をずらし膜圧を順次変化させることにより形成されるよ
うにしたことを特徴とする分光装置のダイクロイックミ
ラーアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21865896A JPH1062246A (ja) | 1996-08-20 | 1996-08-20 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21865896A JPH1062246A (ja) | 1996-08-20 | 1996-08-20 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062246A true JPH1062246A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16723401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21865896A Pending JPH1062246A (ja) | 1996-08-20 | 1996-08-20 | 分光装置および分光装置のダイクロイックミラーアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062246A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000015483A (ko) * | 1998-08-29 | 2000-03-15 | 윤종용 | 칼라 필터 휠 시스템 및 이를 이용한 칼라화상 형성장치 |
| WO2003016842A1 (fr) * | 2001-08-13 | 2003-02-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectrometre et procede de separation spectrale |
| EP1428014A1 (en) * | 2001-08-28 | 2004-06-16 | Becton Dickinson and Company | Fluorescence detection instrument with reflective transfer legs for color decimation |
| WO2005029018A1 (ja) * | 2003-09-17 | 2005-03-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光装置 |
| EP1602902A1 (en) * | 2003-02-28 | 2005-12-07 | Hamamatsu Photonics K. K. | Spectroscope |
| JP2013253807A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Nikon Corp | 分光装置 |
| CN114544562A (zh) * | 2020-11-26 | 2022-05-27 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种滤光器 |
-
1996
- 1996-08-20 JP JP21865896A patent/JPH1062246A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000015483A (ko) * | 1998-08-29 | 2000-03-15 | 윤종용 | 칼라 필터 휠 시스템 및 이를 이용한 칼라화상 형성장치 |
| WO2003016842A1 (fr) * | 2001-08-13 | 2003-02-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectrometre et procede de separation spectrale |
| JPWO2003016842A1 (ja) * | 2001-08-13 | 2004-12-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光装置及び分光方法 |
| US7038778B2 (en) * | 2001-08-13 | 2006-05-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectrometer and spectrally separating method |
| JP4515089B2 (ja) * | 2001-08-13 | 2010-07-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光装置及び分光方法 |
| EP1428014A4 (en) * | 2001-08-28 | 2009-08-12 | Becton Dickinson Co | FLUORESCENCE INDEX INSTRUMENT WITH REFLECTIVE TRANSMISSION SLIPS FOR COLOR DECIMATION |
| EP1428014A1 (en) * | 2001-08-28 | 2004-06-16 | Becton Dickinson and Company | Fluorescence detection instrument with reflective transfer legs for color decimation |
| EP1602902A1 (en) * | 2003-02-28 | 2005-12-07 | Hamamatsu Photonics K. K. | Spectroscope |
| EP1602902A4 (en) * | 2003-02-28 | 2008-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | SPECTROSCOPE |
| US7466419B2 (en) | 2003-02-28 | 2008-12-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectral instrument |
| WO2005029018A1 (ja) * | 2003-09-17 | 2005-03-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光装置 |
| US7623243B2 (en) | 2003-09-17 | 2009-11-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic device |
| EP1666857A4 (en) * | 2003-09-17 | 2010-07-07 | Hamamatsu Photonics Kk | SPECTROSCOPIC DEVICE |
| EP1666857A1 (en) * | 2003-09-17 | 2006-06-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic device |
| JP2013253807A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Nikon Corp | 分光装置 |
| CN114544562A (zh) * | 2020-11-26 | 2022-05-27 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种滤光器 |
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