JP7015285B2 - 光検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有するファブリペロー干渉フィルタを備える光検出装置に関する。

特許文献１には、距離が可変とされた第一反射膜及び第二反射膜を有する干渉フィルタと、干渉フィルタを支持する基板と、干渉フィルタと基板との間に介在させられた接着層と、を備える光モジュールが記載されている。特許文献１記載の光モジュールにおいては、干渉フィルタと基板との間における熱膨張係数の差に起因して干渉フィルタに生じる応力を緩和するために、接着層にゲル状樹脂が用いられている。

特開２０１２－１７３３４７号公報

しかしながら、距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有するファブリペロー干渉フィルタと支持部材とを固定する場合、第１ミラーと第２ミラーとの距離を極めて精度良く制御する必要があることから、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間に、ゲル状樹脂からなる接着層を介在させただけでは、使用環境温度の変化等に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力の変動を十分に抑制することができず、その結果、ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性（ファブリペロー干渉フィルタによって透過させられる光の波長についての温度特性）を十分に改善することができないおそれがある。また、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との固定に、ゲル状樹脂からなる接着層を用いると、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態が不安定になるおそれがある。

そこで、本発明は、ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させることができる光検出装置を提供することを目的とする。

本発明の光検出装置は、距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有し、第１ミラーと第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち光透過領域の外側の部分が載置された載置面を有する支持部材と、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材とを接着する接着部材と、を備え、接着部材の弾性率は、支持部材の弾性率よりも小さく、ファブリペロー干渉フィルタの側面の少なくとも一部は、載置面の一部が側面の外側に配置されるように、載置面上に位置しており、接着部材は、側面、及び載置面の一部によって形成された隅部に配置され、側面、及び載置面の一部のそれぞれに接触している。

この光検出装置では、支持部材の弾性率よりも小さい弾性率を有する接着部材が、ファブリペロー干渉フィルタの側面、及び支持部材の載置面の一部によって形成された隅部に配置されており、ファブリペロー干渉フィルタの側面、及び支持部材の載置面の一部のそれぞれに接触している。これにより、例えば、ファブリペロー干渉フィルタの底面と支持部材の載置面との間に接着部材が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力を十分に接着部材に吸収させることができる。また、例えば、ファブリペロー干渉フィルタの底面と支持部材の載置面との間に接着部材が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタを安定した状態でより強固に支持部材上に保持することができる。よって、この光検出装置によれば、ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させることができる。

本発明の光検出装置では、接着部材は、隅部に配置された第１部分と、載置面と底面との間に配置された第２部分と、を含み、載置面に垂直な方向における第１部分の高さから、載置面に垂直な方向における第２部分の厚さを減じた値は、第２部分の厚さよりも大きくてもよい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力をより十分に接着部材に吸収させることができる。

本発明の光検出装置では、ファブリペロー干渉フィルタは、第１ミラー及び第２ミラーを支持する基板を更に有し、隅部に配置された接着部材は、側面において基板に接触していてもよい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力をより十分に接着部材に吸収させることができる。また、第１ミラー及び第２ミラーを支持する基板が接着部材によって外側から保持されるため、ファブリペロー干渉フィルタの保持状態をより安定させることができる。

本発明の光検出装置では、側面は、第１側面を含み、接着部材は、第１側面によって形成された隅部の全体に渡って連続するように、第１側面によって形成された隅部に配置され、第１側面に接触していてもよい。これにより、例えば、第１側面によって形成された隅部に複数の接着部材が断続的に配置されている場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力を均一に接着部材に吸収させることができる。

本発明の光検出装置では、側面は、光透過領域を挟んで互いに対向する第２側面及び第３側面を含み、接着部材は、第２側面によって形成された隅部、及び第３側面によって形成された隅部のそれぞれに配置され、第２側面及び第３側面のそれぞれに接触していてもよい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタをより安定した状態で支持部材上に保持することができる。

本発明の光検出装置では、側面は、角部を形成する第４側面及び第５側面を含み、接着部材は、第４側面によって形成された隅部、及び第５側面によって形成された隅部のそれぞれに配置され、第４側面及び第５側面のそれぞれに接触していてもよい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力が集中し易い角部において、当該応力を十分に接着部材に吸収させることができる。

本発明の光検出装置では、第４側面によって形成された隅部に配置された接着部材と、第５側面によって形成された隅部に配置された接着部材とは、互いに連続していてもよい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタと支持部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタに生じる応力が集中し易い角部において、当該応力をより十分に接着部材に吸収させることができる。

本発明によれば、ファブリペロー干渉フィルタにおける透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、支持部材上におけるファブリペロー干渉フィルタの保持状態を安定させることができる光検出装置を提供することが可能となる。

第１実施形態の光検出装置の断面図である。 図１の光検出装置のファブリペロー干渉フィルタの断面図である。 図１の光検出装置のうち、ファブリペロー干渉フィルタ、スペーサ及び接着部材を含む部分の平面図である。 図１の光検出装置のうち、ファブリペロー干渉フィルタ、スペーサ及び接着部材を含む部分の断面図である。 第２実施形態の光検出装置の断面図である。 図５の光検出装置のうち、ファブリペロー干渉フィルタ、第３層基板及び接着部材を含む部分の平面図である。 第２実施形態の光検出装置の変形例の断面図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［第１実施形態］
［光検出装置の構成］

図１に示されるように、光検出装置１Ａは、配線基板２と、光検出器３と、複数のスペーサ４と、複数の接着部材５と、ファブリペロー干渉フィルタ１０と、を備えている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、距離が可変とされた第１ミラー３１及び第２ミラー４１を有している。光検出装置１Ａは、分光スペクトルを得ることができる分光センサである。つまり、光検出装置１Ａにおいては、外部からファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１に光が入射すると、光透過領域１１における第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離に応じて、所定の波長を有する光が選択的に透過させられ、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１を透過した光が光検出器３によって検出される。

配線基板２には、光検出器３、及びサーミスタ等の温度補償用素子（図示省略）が実装されている。配線基板２の基板材料としては、例えば、シリコン、セラミック、石英、ガラス、プラスチック等を用いることができる。光検出器３は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１を透過した光を受光する受光部３ａを有している。光透過領域１１と受光部３ａとは、光透過領域１１を光が透過する方向Ａにおいて互いに対向している。光検出器３としては、例えば、赤外線検出器を用いることができる。その赤外線検出器としては、例えば、ＩｎＧａＡｓ等が用いられた量子型センサ、サーモパイル又はボロメータ等が用いられた熱型センサ等を用いることができる。なお、紫外、可視、近赤外の各波長域の光を検出する場合には、光検出器３として、例えば、シリコンフォトダイオード等を用いることができる。また、光検出器３には、１つの受光部３ａが設けられていてもよいし、或いは、複数の受光部３ａがアレイ状に設けられていてもよい。更に、複数の光検出器３が配線基板２に実装されていてもよい。

複数のスペーサ４は、配線基板２上に接着部材（図示省略）によって固定されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、複数のスペーサ４上に接着部材５によって固定されている。複数のスペーサ４は、配線基板２上においてファブリペロー干渉フィルタ１０を支持する支持部材として機能している。光検出器３は、複数のスペーサ４によって配線基板２とファブリペロー干渉フィルタ１０との間に形成された空間に配置されている。各スペーサ４の材料としては、例えば、シリコン、セラミック、石英、ガラス、プラスチック等を用いることができる。特に、ファブリペロー干渉フィルタ１０と各スペーサ４との間における熱膨張係数の差を緩和するために、各スペーサ４の材料は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の材料と比較して、熱膨張係数が同等であることが好ましい。なお、配線基板２及びスペーサ４は、一体として形成されていてもよい。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、複数のスペーサ４によってではなく、１つのスペーサ４によって支持されていてもよい。

ファブリペロー干渉フィルタ１０と各スペーサ４とを接着する接着部材５の材料としては、可撓性を有する樹脂材料（例えば、シリコーン系、ウレタン系、エポキシ系、アクリル系、ハイブリッド等の樹脂材料であって、導電性であっても或いは非導電性であってもよい）を用いることができる。その樹脂材料としては、ヤング率が１０００ＭＰａ未満の材料から選択されることが好ましく、ヤング率が１０ＭＰａ未満の材料から選択されることがより好ましい。また、その樹脂材料としては、ガラス転移温度が光検出装置１Ａの使用環境温度から外れた材料から選択されることが好ましい。例えば、接着部材５の材料として、シリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を用いれば、硬化後のヤング率は、１０ＭＰａ未満となり、ガラス転移温度は、使用環境温度（例えば、５～４０℃程度）よりも低い－５０～－４０℃程度となる。

ここで、ファブリペロー干渉フィルタ１０と各スペーサ４とを接着する接着部材５の弾性率は、スペーサ４の弾性率よりも小さい。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０と各スペーサ４とを接着する接着部材５の弾性率は、配線基板２と各スペーサ４とを接着する接着部材（図示省略）の弾性率よりも小さい。例えば、配線基板２と各スペーサ４とを接着する接着部材の材料として、エポキシ系の樹脂材料を含む接着剤を用いれば、硬化後のヤング率は、１００ＭＰａ以上となる。また、スペーサ４のヤング率は、シリコンからなる場合には１００ＧＰａ以上、セラミックからなる場合には１００ＧＰａ以上、ガラスからなる場合には１０ＧＰａ以上（一般的には７０～８０ＧＰａ）、プラスチックからなる場合には０．１ＧＰａ以上となる。なお、弾性率とは、ヤング率（縦弾性係数：引張・圧縮応力に対する歪みの関係）、横弾性係数（せん断応力に対する歪みの関係）、及び体積弾性率（一様圧縮下における圧力と体積歪みとの関係）を総称したものである。つまり、ヤング率は、弾性率の一具体例である。

光検出装置１Ａは、ＣＡＮパッケージ６を更に備えている。ＣＡＮパッケージ６は、上述した配線基板２、光検出器３、温度補償用素子（図示省略）、複数のスペーサ４、複数の接着部材５、及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容している。ＣＡＮパッケージ６は、ステム６１及びキャップ６２を有している。キャップ６２には、開口６２ａが設けられており、開口６２ａには、内側から板状の光透過部材６３が固定されている。光透過領域１１と開口６２ａとは、方向Ａにおいて互いに対向している。光透過部材６３の材料としては、光検出装置１Ａの測定波長範囲に対応した材料（例えば、ガラス、シリコン、ゲルマニウム等）を用いることができる。また、光透過部材６３の表面及び裏面の少なくとも一方に、光反射防止層が形成されていてもよい。また、光透過部材６３として、測定波長範囲の光のみを透過させるバンドパスフィルタが用いられていてもよい。

ステム６１には、配線基板２が固定されている。配線基板２に設けられた電極パッド、光検出器３の端子、温度補償用素子の端子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の端子１２，１３のそれぞれは、ステム６１を貫通する複数のリードピン９のそれぞれとワイヤ８によって電気的に接続されている。これにより、光検出器３、温度補償用素子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０のそれぞれに対する電気信号の入出力等が可能である。光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の端子１２，１３の直下にスペーサ４が配置されているため、ワイヤボンディングを確実に実施することができる。

以上のように構成された光検出装置１Ａにおいては、外部から開口６２ａ及び光透過部材６３を介してファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１に光が入射すると、光透過領域１１における第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離に応じて、所定の波長を有する光が選択的に透過させられる。第１ミラー３１及び第２ミラー４１を透過した光は、光検出器３の受光部３ａに入射して、光検出器３によって検出される。光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する電圧を変化させながら（すなわち、第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離を変化させながら）、第１ミラー３１及び第２ミラー４１を透過した光を光検出器３で検出することで、分光スペクトルを得ることができる。
［ファブリペロー干渉フィルタの構成］

図２に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、基板１４を備えている。基板１４の光入射側の表面１４ａには、反射防止層１５、第１積層体３０、犠牲層１６及び第２積層体４０がこの順序で積層されている。第１積層体３０と第２積層体４０との間には、枠状の犠牲層１６によって空隙（エアギャップ）Ｓが形成されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０においては、第２積層体４０に対して基板１４の反対側から光が入射する。そして、所定の波長を有する光は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の中央部に画定された光透過領域１１を透過する。

なお、基板１４は、例えばシリコン、石英、ガラス等からなる。基板１４がシリコンからなる場合には、反射防止層１５及び犠牲層１６は、例えば、酸化シリコンからなる。犠牲層１６の厚さは、中心透過波長（すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０が透過させ得る波長範囲の中心波長）の１／２の整数倍であることが好ましい。

第１積層体３０のうち光透過領域１１に対応する部分は、第１ミラー３１として機能する。第１積層体３０は、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。第１ミラー３１を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層のそれぞれの光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。

第２積層体４０のうち光透過領域１１に対応する部分は、空隙Ｓを介して第１ミラー３１と対向する第２ミラー４１として機能する。第２積層体４０は、第１積層体３０と同様に、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることで構成されている。第２ミラー４１を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層のそれぞれの光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。なお、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。

第２積層体４０において空隙Ｓに対応する部分には、第２積層体４０の表面４０ａから空隙Ｓに至る複数の貫通孔４０ｂが、均一に分布するように設けられている。複数の貫通孔４０ｂは、第２ミラー４１の機能に実質的に影響を与えない程度に形成されている。各貫通孔４０ｂの内径は、１００ｎｍ～５μｍである。また、複数の貫通孔４０ｂの開口面積は、第２ミラー４１の面積の０．０１～１０％を占めている。

ファブリペロー干渉フィルタ１０においては、第１ミラー３１及び第２ミラー４１は、基板１４に支持されている。そして、第１ミラー３１は、基板１４の光入射側に配置されている。第２ミラー４１は、空隙Ｓを介して第１ミラー３１の光入射側に配置されている。

第１ミラー３１には、光透過領域１１を囲むように第１電極１７が形成されている。また、第１ミラー３１には、光透過領域１１を含むように第２電極１８が形成されている。第１電極１７及び第２電極１８は、ポリシリコン層に不純物をドープして低抵抗化することで形成されている。第２電極１８の大きさは、光透過領域１１の全体を含む大きさであることが好ましいが、光透過領域１１の大きさと略同一であってもよい。

第２ミラー４１には、第３電極１９が形成されている。第３電極１９は、方向Ａにおいて、空隙Ｓを介して第１電極１７及び第２電極１８と対向している。第３電極１９は、ポリシリコン層に不純物をドープして低抵抗化することで形成されている。

ファブリペロー干渉フィルタ１０においては、第２電極１８は、方向Ａにおいて、第１電極１７に対して第３電極１９の反対側に位置している。すなわち、第１電極１７と第２電極１８とは、第１ミラー３１において同一平面上に配置されていない。第２電極１８は、第１電極１７よりも第３電極１９から離れている。

端子１２は、ファブリペロー干渉フィルタ１０に電圧を印加するためのものである。端子１２は、光透過領域１１を挟んで対向するように一対設けられている。各端子１２は、第２積層体４０の表面４０ａから第１積層体３０に至る貫通孔内に配置されている。各端子１２は、配線２１を介して、第１電極１７と電気的に接続されている。

端子１３は、ファブリペロー干渉フィルタ１０に電圧を印加するためのものである。端子１３は、光透過領域１１を挟んで対向するように一対設けられている。なお、一対の端子１２が対向する方向と、一対の端子１３が対向する方向とは、直交している。各端子１３は、配線２２を介して、第３電極１９と電気的に接続されている。また、第３電極１９は、配線２３を介して、第２電極１８とも電気的に接続されている。

第１積層体３０の表面３０ａには、トレンチ２６，２７が設けられている。トレンチ２６は、端子１３から方向Ａに沿って延びる配線２３を囲むように環状に延在している。トレンチ２６は、第１電極１７と配線２３とを電気的に絶縁している。トレンチ２７は、第１電極１７の内縁に沿って環状に延在している。トレンチ２７は、第１電極１７と第１電極１７の内側の領域とを電気的に絶縁している。各トレンチ２６，２７内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。

第２積層体４０の表面４０ａには、トレンチ２８が設けられている。トレンチ２８は、端子１２を囲むように環状に延在している。トレンチ２８の底面は、犠牲層１６に達している。トレンチ２８は、端子１２と第３電極１９とを電気的に絶縁している。トレンチ２８内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。

基板１４の光出射側の表面１４ｂには、反射防止層５１、第３積層体５２、中間層５３及び第４積層体５４がこの順序で積層されている。反射防止層５１及び中間層５３は、それぞれ、反射防止層１５及び犠牲層１６と同様の構成を有している。第３積層体５２及び第４積層体５４は、それぞれ、基板１４を基準として第１積層体３０及び第２積層体４０と対称の積層構造を有している。これらの反射防止層５１、第３積層体５２、中間層５３及び第４積層体５４によって、積層体５０が構成されている。積層体５０は、基板１４の光出射側に配置されており、基板１４の反りを抑制する機能を有している。

積層体５０には、光透過領域１１を含むように、例えば円柱状の開口５０ａが形成されている。開口５０ａは、光出射側に開口しており、開口５０ａの底面は、反射防止層５１に至っている。積層体５０の光出射側の表面５０ｂには、遮光層２９ａが形成されている。遮光層２９ａは、アルミニウム等からなる。遮光層２９ａの表面及び開口５０ａの内面には、保護層２９ｂが形成されている。保護層２９ｂは、例えば酸化アルミニウムからなる。なお、保護層２９ｂの厚さを１～１００ｎｍ（好ましくは、３０ｎｍ程度）にすることで、保護層２９ｂによる光学的な影響を無視することができる。

以上のように構成されたファブリペロー干渉フィルタ１０においては、端子１２，１３を介して第１電極１７と第３電極１９との間に電圧が印加されると、当該電圧に応じた静電気力が第１電極１７と第３電極１９との間に発生する。当該静電気力によって、第２ミラー４１は、基板１４に固定された第１ミラー３１側に引き付けられるように駆動される。この駆動によって、第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離が調整される。ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光の波長は、光透過領域１１における第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離に依存する。したがって、第１電極１７と第３電極１９との間に印加する電圧を調整することで、透過する光の波長を適宜選択することができる。このとき、第２電極１８は、電気的に接続された第３電極１９と同電位となる。したがって、第２電極１８は、光透過領域１１において第１ミラー３１及び第２ミラー４１を平坦に保つための補償電極として機能する。
［ファブリペロー干渉フィルタとスペーサとを接着する接着部材の構成］

図３及び図４を参照して、接着部材５の構成について、より詳細に説明する。なお、図３においては、ワイヤ８、ステム６１等が省略されており、図４においては、配線基板２、ワイヤ８、ステム６１等が省略されている。

図３に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、一対のスペーサ４Ａ，４Ｂによって支持されている。一方のスペーサ４Ａの載置面４ａには、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１のうち、光透過領域１１の外側の部分であって且つファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ａに沿った部分が載置されている。他方のスペーサ４Ｂの載置面４ａには、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１のうち、光透過領域１１の外側の部分であって且つファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ｂに沿った部分が載置されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、方向Ａから見た場合に矩形状の側面１０２を有している。側面１０２のうち、側面（第１側面、第２側面）１０２ａと側面（第１側面、第３側面）１０２ｂとは、光透過領域１１を挟んで互いに対向している。

側面１０２ａは、スペーサ４Ａの載置面４ａの一部が側面１０２ａの外側（方向Ａから見た場合に側面１０２の外側）に配置されるように、スペーサ４Ａの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ａと、スペーサ４Ａの載置面４ａのうち側面１０２ａの外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ１が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ａと共に角部１０３ａを形成する側面（第５側面）１０２ｃの角部１０３ａ側の一端部は、スペーサ４Ａの載置面４ａの一部が側面１０２ｃの外側に配置されるように、スペーサ４Ａの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｃの一端部と、スペーサ４Ａの載置面４ａのうち側面１０２ｃの一端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ２が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ａと共に角部１０３ｂを形成する側面（第５側面）１０２ｄの角部１０３ｂ側の一端部は、スペーサ４Ａの載置面４ａの一部が側面１０２ｄの外側に配置されるように、スペーサ４Ａの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｄの一端部と、スペーサ４Ａの載置面４ａのうち側面１０２ｄの一端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ３が形成されている。なお、上述した側面１０２ａ、側面１０２ｃの一端部、及び側面１０２ｄの一端部は、方向Ａから見た場合におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁の一部に相当する。

側面１０２ｂは、スペーサ４Ｂの載置面４ａの一部が側面１０２ｂの外側に配置されるように、スペーサ４Ｂの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｂと、スペーサ４Ｂの載置面４ａのうち側面１０２ｂの外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ４が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ｂと共に角部１０３ｃを形成する側面（第５側面）１０２ｃの角部１０３ｃ側の他端部は、スペーサ４Ｂの載置面４ａの一部が側面１０２ｃの外側に配置されるように、スペーサ４Ｂの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｃの他端部と、スペーサ４Ｂの載置面４ａのうち側面１０２ｃの他端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ５が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ｂと共に角部１０３ｄを形成する側面（第５側面）１０２ｄの角部１０３ｄ側の他端部は、スペーサ４Ｂの載置面４ａの一部が側面１０２ｄの外側に配置されるように、スペーサ４Ｂの載置面４ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｄの他端部と、スペーサ４Ｂの載置面４ａのうち側面１０２ｄの他端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ６が形成されている。なお、上述した側面１０２ｂ、側面１０２ｃの他端部、及び側面１０２ｄの他端部は、方向Ａから見た場合におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁の一部に相当する。

スペーサ４Ａの載置面４ａにおいては、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に接着部材５が配置されており、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、互いに連続している。つまり、スペーサ４Ａの載置面４ａに配置された接着部材５は、隅部Ｃ１の全体に渡って連続しており、各角部１０３ａ，１０３ｂを外側から覆っている。

スペーサ４Ｂの載置面４ａにおいては、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に接着部材５が配置されており、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、互いに連続している。つまり、スペーサ４Ｂの載置面４ａに配置された接着部材５は、隅部Ｃ４の全体に渡って連続しており、各角部１０３ｃ，１０３ｄを外側から覆っている。

図４に示されるように、スペーサ４Ａの載置面４ａに配置された接着部材５は、第１部分５ａ及び第２部分５ｂを含んでいる。第１部分５ａは、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に沿って配置された部分であり、各角部１０３ａ，１０３ｂを介して連続している。第２部分５ｂは、スペーサ４Ａの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された部分である。隅部Ｃ１において、第１部分５ａは、側面１０２ａ及びスペーサ４Ａの載置面４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ２において、第１部分５ａは、側面１０２ｃの一端部及びスペーサ４Ａの載置面４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ３において、第１部分５ａは、側面１０２ｄの一端部及びスペーサ４Ａの載置面４ａのそれぞれに接触している。つまり、スペーサ４Ａの載置面４ａに配置された接着部材５は、側面１０２及びスペーサ４Ａの載置面４ａのそれぞれに接触している。

同様に、スペーサ４Ｂの載置面４ａに配置された接着部材５は、第１部分５ａ及び第２部分５ｂを含んでいる。第１部分５ａは、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に沿って配置された部分であり、各角部１０３ｃ，１０３ｄを介して連続している。第２部分５ｂは、スペーサ４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された部分である。隅部Ｃ４において、第１部分５ａは、側面１０２ｂ及びスペーサ４Ｂの載置面４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ５において、第１部分５ａは、側面１０２ｃの他端部及びスペーサ４Ｂの載置面４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ６において、第１部分５ａは、側面１０２ｄの他端部及びスペーサ４Ｂの載置面４ａのそれぞれに接触している。つまり、スペーサ４Ｂの載置面４ａに配置された接着部材５は、側面１０２及びスペーサ４Ｂの載置面４ａのそれぞれに接触している。

各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３において、第１部分５ａのうち最も高い縁部５ｃは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至っている。つまり、スペーサ４Ａの載置面４ａに配置された接着部材５は、側面１０２において基板１４に接触している。同様に、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６において、第１部分５ａのうち最も高い縁部５ｃは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至っている。つまり、スペーサ４Ｂの載置面４ａに配置された接着部材５は、側面１０２において基板１４に接触している。

一例として、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨ、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２に垂直な方向における第１部分５ａの幅Ｗは、それぞれ、１０～１０００μｍである。なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さは、１００～１０００μｍである。載置面４ａのうち側面１０２の外側に張り出した部分の幅（側面１０２に垂直な方向における幅）は、１０～１０００μｍである。ここで、第１部分５ａの高さＨは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さの１／１０以上であり且つファブリペロー干渉フィルタ１０の厚さ未満であることが好ましい。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０において、底面１０１と基板１４の光出射側の表面１４ｂとの距離は、０．１～１０μｍであるから、第１部分５ａの高さＨを１０μｍ以上とすれば第１部分５ａのうち最も高い縁部５ｃをファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至らせることができる。また、接着部材５において、載置面４ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨから、載置面４ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さを減じた値（ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１からの縁部５ｃの高さに相当する）は、載置面４ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さよりも大きい。
［作用及び効果］

光検出装置１Ａでは、各スペーサ４Ａ，４Ｂの弾性率よりも小さい弾性率を有する接着部材５が、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置されており、ファブリペロー干渉フィルタの側面１０２、及び各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａの一部のそれぞれに接触している。これにより、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１と各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとの間に接着部材５が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材（各スペーサ４Ａ，４Ｂだけでなく、配線基板２、ステム６１、キャップ６２等）との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力を十分に接着部材５に吸収させることができる。また、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１と各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとの間に接着部材５が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０を安定した状態でより強固にスペーサ４Ａ，４Ｂ上に保持することができる。よって、光検出装置１Ａによれば、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、スペーサ４Ａ，４Ｂ上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態を安定させることができる。なお、接着部材５は、光検出装置１Ａを構成する他の部材（各スペーサ４Ａ，４Ｂだけでなく、ファブリペロー干渉フィルタ１０、配線基板２、ステム６１、キャップ６２等）の弾性率よりも小さい弾性率を有していることが好ましい。

ここで、接着部材５の弾性率が小さくなるほど、また、接着部材５の量（体積）が大きくなるほど、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性が改善される理由について説明する。まず、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に第２部分５ｂが介在させられていることで、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力が吸収され、結果として、ファブリペロー干渉フィルタ１０での応力の発生が抑制される。次に、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された第１部分５ａの量が大きくなるほど、ＣＡＮパッケージ６内で発生する熱応力（様々なエリア、方向から発生する応力）を十分に回収し得るようになるため（接着部材５による熱応力の吸収量＞ＣＡＮパッケージ６内での熱応力の発生量）、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性が改善される。

また、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された第１部分５ａが、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２を這い上がるようにフィレット状に形成されているため、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間だけでなく、側面１０２の外側からもファブリペロー干渉フィルタ１０が保持される。そのため、スペーサ４Ａ，４Ｂ上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態が安定する。このように、光検出装置１Ａにおける接着部材５の構成は、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性の改善と、スペーサ４Ａ，４Ｂ上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態の安定化と、の両立を実現し得るものである。

また、接着部材５において、載置面４ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨから、載置面４ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さを減じた値が、載置面４ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さよりも大きい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力をより十分に接着部材５に吸収させることができる。

なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２に垂直な方向における第１部分５ａの幅Ｗを、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨよりも大きくすると、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性の改善と、スペーサ４Ａ，４Ｂ上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態の安定化と、の両立をより確実に実現することができる。したがって、載置面４ａのうち側面１０２の外側に張り出した部分の幅全体に渡って、接着部材５が接触していることが好ましい。

また、光検出装置１Ａでは、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２において基板１４に接触している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力をより十分に接着部材５に吸収させることができる。また、第１ミラー３１及び第２ミラー４１を支持する基板１４が接着部材５によって外側から保持されるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態をより安定させることができる。

また、光検出装置１Ａでは、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ａによって形成された隅部Ｃ１の全体に渡って連続するように、隅部Ｃ１に配置されており、側面１０２ａに接触している。同様に、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ｂによって形成された隅部Ｃ４の全体に渡って連続するように、隅部Ｃ４に配置されており、側面１０２ｂに接触している。これにより、例えば、各隅部Ｃ１，Ｃ４に複数の接着部材５が断続的に配置されている場合、又は接着部材５が各隅部Ｃ１，Ｃ４の一部における１ヶ所のみに配置されている場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力を均一に接着部材５に吸収させることができる。

特に、接着部材５において第１部分５ａの高さＨ及び幅Ｗが均一であると、ＣＡＮパッケージ６内で発生する熱応力をより均一に接着部材５に吸収させることができる。このような接着部材５は、次のように形成される。すなわち、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａに、例えばシリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を均一な厚さで塗布し、その上に、ファブリペロー干渉フィルタ１０を載置し、その状態で、接着剤を例えば熱硬化させる。ファブリペロー干渉フィルタ１０を載置した際に、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に存在する接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の自重によって均一な厚さとなる。また、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に存在する接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２を這い上がり、均一な高さ及び幅となる。このようにして、高さＨ及び幅Ｗが均一な第１部分５ａを含む接着部材５が形成される。

なお、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａに、ファブリペロー干渉フィルタ１０を載置し、その後に、例えばシリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に沿って均一な厚さで塗布し、その後に、接着剤を例えば熱硬化させてもよい。この場合にも、接着剤を隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に沿って塗布した際に、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に接着剤が入り込み、当該接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の自重によって均一な厚さとなる。また、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に存在する接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２を這い上がり、均一な高さ及び幅となる。或いは、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａのうちファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１が載置される領域のみに、例えばシリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を塗布し、その後に、ファブリペロー干渉フィルタ１０を載置し、その後に、接着剤を例えば熱硬化させ、その後に、例えばシリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に沿って均一な厚さで塗布し、その後に、接着剤を例えば熱硬化させてもよい。この場合にも、ファブリペロー干渉フィルタ１０を載置した際に、各スペーサ４Ａ，４Ｂの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に存在する接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の自重によって均一な厚さとなる。また、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に存在する接着剤は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２において、均一な高さ及び幅となる。

また、光検出装置１Ａでは、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ａによって形成された隅部Ｃ１に配置されており、側面１０２ａに接触していている。更に、接着部材５が、光透過領域１１を挟んで側面１０２ａと対向するファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ｂによって形成された隅部Ｃ４に配置されており、側面１０２ｂに接触していている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０をより安定した状態でスペーサ４Ａ，４Ｂ上に保持することができる。

特に、接着部材５の材料として、極端に小さいヤング率（１０ＭＰａ未満のヤング率）を有する材料（例えば、シリコーン系の樹脂材料）が用いられている場合には、互いに対向する側面１０２ａ，１０２ｂのそれぞれによって形成される隅部Ｃ１，Ｃ４のそれぞれに接着部材５が配置されていても、ＣＡＮパッケージ６内で発生する熱応力によってファブリペロー干渉フィルタ１０に歪みが生じることが抑制され、むしろ、ＣＡＮパッケージ６内で発生する熱応力が接着部材５によって吸収される。

また、光検出装置１Ａでは、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５が、互いに連続しており、ファブリペロー干渉フィルタ１０の各角部１０３ａ，１０３ｂを外側から覆っている。同様に、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５が、互いに連続しており、ファブリペロー干渉フィルタ１０の各角部１０３ｃ，１０３ｄを外側から覆っている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ａを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力が集中し易い角部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ，１０３ｄにおいて、当該応力を十分に接着部材５に吸収させることができる。

また、光検出装置１Ａでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１全体に接着部材５が設けられていないため（特に、光透過領域１１に接着部材５が設けられていないため）、次の効果が奏される。すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過した光が接着部材５を透過しないため、光透過率の高い接着部材５を選択することが不要となり、接着部材５の選択の自由度が向上する。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過した光が接着部材５を透過しないため、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光が、周辺温度の変化に伴う接着部材５の光学特性（屈折率、透過率等）の変化による影響を受けない。また、硬化時における接着部材５の収縮、及び、使用時における周辺温度の変化に伴う接着部材５の膨張及び収縮によって発生する応力に起因して、ファブリペロー干渉フィルタ１０が歪んだり、傾いたりすることが抑制される。
［第２実施形態］
［光検出装置の構成］

図５に示されるように、光検出装置１Ｂは、ＳＭＤ（Surface Mount Device）として構成されている点で、上述した光検出装置１Ａと異なっている。光検出装置１Ｂは、光検出器３、温度補償用素子（図示省略）及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容するＳＭＤパッケージ７を備えている。ＳＭＤパッケージ７は、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４、第５層基板７５及び第６層基板７６を有している。

第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４、第５層基板７５及び第６層基板７６は、この順で積層されている。第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４及び第５層基板７５のそれぞれの中央部には、開口が設けられている。方向Ａから見た場合に、第３層基板７３の開口は、第２層基板７２の開口を含んでいる。方向Ａから見た場合に、第４層基板７４の開口は、第３層基板７３の開口を含んでいる。方向Ａから見た場合に、第５層基板７５の開口は、第４層基板７４の開口を含んでいる。これにより、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３及び第４層基板７４のそれぞれの表面の一部は、第５層基板７５の開口に露出している。

露出した第１層基板７１の表面には、光検出器３及び温度補償用素子（図示省略）が実装されている。第１層基板７１の裏面には、複数の電極パッド７７が設けられている。光検出器３の各端子、及び温度補償用素子の各端子は、第１層基板７１に設けられた配線によって、又は、ワイヤ８及び各基板７１，７２に設けられた配線によって、電極パッド７７と電気的に接続されている。

露出した第３層基板７３の表面には、ファブリペロー干渉フィルタ１０が接着部材５によって固定されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０の各端子１２、１３の上面は、第４層基板７４の上面と同等の高さにある。第４層基板７４の上面には、電極パッド７７と電気的に接続されたパッドが設けられており、各端子１２、１３は、ワイヤ８によって第４層基板７４の上面のパッドと接続されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０の各端子１２，１３は、ワイヤ８及び各基板７１，７２，７３、７４に設けられた配線によって、電極パッド７７と電気的に接続されている。第３層基板７３は、第１層基板７１及び第２層基板７２上においてファブリペロー干渉フィルタ１０を支持する支持部材として機能している。

第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４及び第５層基板７５の材料としては、例えば、セラミック、樹脂等を用いることができる。特に、ファブリペロー干渉フィルタ１０と第３層基板７３との間における熱膨張係数の差を緩和するために、第３層基板７３の材料は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の材料と比較して、熱膨張係数が同等であることが好ましい。

ファブリペロー干渉フィルタ１０と第３層基板７３とを接着する接着部材５の材料としては、可撓性を有する樹脂材料（例えば、シリコーン系、ウレタン系、エポキシ系、アクリル系、ハイブリッド等の樹脂材料であって、導電性であっても或いは非導電性であってもよい）を用いることができる。その樹脂材料としては、ヤング率が１０００ＭＰａ未満の材料から選択されることが好ましく、ヤング率が１０ＭＰａ未満の材料から選択されることがより好ましい。また、その樹脂材料としては、ガラス転移温度が光検出装置１Ｂの使用環境温度から外れた材料から選択されることが好ましい。例えば、接着部材５の材料として、シリコーン系の樹脂材料を含む接着剤を用いれば、硬化後のヤング率は、１０ＭＰａ未満となり、ガラス転移温度は、使用環境温度（例えば、５～４０℃程度）よりも低い－５０～－４０℃程度となる。

ここで、ファブリペロー干渉フィルタ１０と第３層基板７３とを接着する接着部材５の弾性率は、第３層基板７３の弾性率よりも小さい。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０と第３層基板７３とを接着する接着部材５の弾性率は、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４、第５層基板７５及び第６層基板７６を互いに接着する接着部材（図示省略）の弾性率よりも小さい。例えば、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４、第５層基板７５及び第６層基板７６を互いに接着する接着部材の材料として、エポキシ系の樹脂材料を含む接着剤を用いれば、硬化後のヤング率は、１００ＭＰａ以上となる。

第６層基板７６は、光透過基板７６ａ及び遮光層７６ｂを有している。光透過基板７６ａは、第５層基板７５上に接着部材（図示省略）によって固定されている。光透過基板７６ａの材料としては、光検出装置１Ｂの測定波長範囲に対応した材料（例えば、ガラス、シリコン、ゲルマニウム等）を用いることができる。遮光層７６ｂは、光透過基板７６ａの表面に形成されている。遮光層７６ｂの材料としては、遮光材料又は光吸収材料（例えば、アルミニウム等の金属、酸化クロム等の金属酸化物、黒色樹脂等）を用いることができる。遮光層７６ｂには、開口７６ｃが設けられている。光透過領域１１と開口７６ｃとは、方向Ａにおいて互いに対向している。なお、遮光層７６ｂは、光透過基板７６ａの裏面に形成されていてもよい。また、光透過基板７６ａの表面及び裏面の少なくとも一方に、光反射防止層が形成されていてもよい。また、光透過基板７６ａとして、測定波長範囲の光のみを透過させるバンドパスフィルタが用いられていてもよい。

以上のように構成された光検出装置１Ｂにおいては、外部から開口７６ｃ及び光透過基板７６ａを介してファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１に光が入射すると、光透過領域１１における第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離に応じて、所定の波長を有する光が選択的に透過させられる。第１ミラー３１及び第２ミラー４１を透過した光は、光検出器３の受光部３ａに入射して、光検出器３によって検出される。光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する電圧を変化させながら（すなわち、第１ミラー３１と第２ミラー４１との距離を変化させながら）、第１ミラー３１及び第２ミラー４１を透過した光を光検出器３で検出することで、分光スペクトルを得ることができる。
［ファブリペロー干渉フィルタと第３層基板とを接着する接着部材の構成］

図５及び図６を参照して、接着部材５の構成について、より詳細に説明する。なお、図６においては、第６層基板７６等が省略されている。

図５及び図６に示されるように、第３層基板７３の載置面７３ａには、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１のうち、光透過領域１１の外側の部分であって且つファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２に沿った部分が載置されている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、方向Ａから見た場合に矩形状の側面１０２を有している。側面１０２のうち、側面（第１側面、第２側面）１０２ａと側面（第１側面、第３側面）１０２ｂとは、光透過領域１１を挟んで互いに対向している。

側面１０２ａは、載置面７３ａの一部が側面１０２ａの外側（方向Ａから見た場合に側面１０２の外側）に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ａと、載置面７３ａのうち側面１０２ａの外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ１が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ａと共に角部１０３ａを形成する側面（第５側面）１０２ｃの角部１０３ａ側の一端部は、載置面７３ａの一部が側面１０２ｃの外側に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｃの一端部と、載置面７３ａのうち側面１０２ｃの一端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ２が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ａと共に角部１０３ｂを形成する側面（第５側面）１０２ｄの角部１０３ｂ側の一端部は、載置面７３ａの一部が側面１０２ｄの外側に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｄの一端部と、載置面７３ａのうち側面１０２ｄの一端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ３が形成されている。なお、上述した側面１０２ａ、側面１０２ｃの一端部、及び側面１０２ｄの一端部は、方向Ａから見た場合におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁の一部に相当する。

側面１０２ｂは、載置面７３ａの一部が側面１０２ｂの外側に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｂと、載置面７３ａのうち側面１０２ｂの外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ４が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ｂと共に角部１０３ｃを形成する側面（第５側面）１０２ｃの角部１０３ｃ側の他端部は、載置面７３ａの一部が側面１０２ｃの外側に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｃの他端部と、載置面７３ａのうち側面１０２ｃの他端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ５が形成されている。側面１０２のうち側面（第４側面）１０２ｂと共に角部１０３ｄを形成する側面（第５側面）１０２ｄの角部１０３ｄ側の他端部は、載置面７３ａの一部が側面１０２ｄの外側に配置されるように、載置面７３ａ上に位置している。これにより、側面１０２ｄの他端部と、載置面７３ａのうち側面１０２ｄの他端部の外側の部分（ファブリペロー干渉フィルタ１０が載置されずに、露出している部分）とで、隅部Ｃ６が形成されている。なお、上述した側面１０２ｂ、側面１０２ｃの他端部、及び側面１０２ｄの他端部は、方向Ａから見た場合におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁の一部に相当する。

接着部材５は、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置されている。各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、互いに連続している。つまり、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、隅部Ｃ１の全体に渡って連続しており、各角部１０３ａ，１０３ｂを外側から覆っている。同様に、接着部材５は、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置されている。各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、互いに連続している。つまり、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、隅部Ｃ４の全体に渡って連続しており、各角部１０３ｃ，１０３ｄを外側から覆っている。

各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、第１部分５ａ及び第２部分５ｂを含んでいる。第１部分５ａは、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に沿って配置された部分であり、各角部１０３ａ，１０３ｂを介して連続している。第２部分５ｂは、第３層基板７３の載置面７３ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された部分である。隅部Ｃ１において、第１部分５ａは、側面１０２ａ、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ２において、第１部分５ａは、側面１０２ｃの一端部、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ３において、第１部分５ａは、側面１０２ｄの一端部、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。つまり、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、側面１０２、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。

同様に、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、第１部分５ａ及び第２部分５ｂを含んでいる。第１部分５ａは、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に沿って配置された部分であり、各角部１０３ｃ，１０３ｄを介して連続している。第２部分５ｂは、第３層基板７３の載置面７３ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された部分である。隅部Ｃ４において、第１部分５ａは、側面１０２ｂ、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ５において、第１部分５ａは、側面１０２ｃの他端部、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。隅部Ｃ６において、第１部分５ａは、側面１０２ｄの他端部、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。つまり、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、側面１０２、載置面７３ａ及び第４層基板７４の開口の内面７４ａのそれぞれに接触している。

各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３において、第１部分５ａのうち最も高い側面１０２側の縁部５ｃは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至っている。つまり、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５は、側面１０２において基板１４に接触している。同様に、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６において、第１部分５ａのうち最も高い側面１０２側の縁部５ｃは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至っている。つまり、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５は、側面１０２において基板１４に接触している。なお、縁部５ｃの高さは、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び第４層基板７４の高さより低い。また、接着部材５において、載置面７３ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨから、載置面７３ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さを減じた値（ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１からの縁部５ｃの高さに相当する）は、載置面７３ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さよりも大きい。
［作用及び効果］

光検出装置１Ｂでは、第３層基板７３の弾性率よりも小さい弾性率を有する接着部材５が、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置されており、ファブリペロー干渉フィルタの側面１０２、及び第３層基板７３の載置面７３ａの一部のそれぞれに接触している。これにより、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１と第３層基板７３の載置面７３ａとの間に接着部材５が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ｂを構成する他の部材（第３層基板７３だけでなく、第１層基板７１、第２層基板７２、第４層基板７４、第５層基板７５、第６層基板７６等）との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力を十分に接着部材５に吸収させることができる。また、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１と第３層基板７３の載置面７３ａとの間に接着部材５が介在させられているだけの場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０を安定した状態でより強固に第３層基板７３上に保持することができる。よって、光検出装置１Ｂによれば、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、第３層基板７３上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態を安定させることができる。なお、接着部材５は、光検出装置１Ｂを構成する他の部材（第３層基板７３だけでなく、ファブリペロー干渉フィルタ１０、第１層基板７１、第２層基板７２、第４層基板７４、第５層基板７５、第６層基板７６等）の弾性率よりも小さい弾性率を有していることが好ましい。

また、接着部材５において、載置面７３ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨから、載置面７３ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さを減じた値が、載置面７３ａに垂直な方向における第２部分５ｂの厚さよりも大きい。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ｂを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力をより十分に接着部材５に吸収させることができる。

なお、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２に垂直な方向における第１部分５ａの幅Ｗを、第３層基板７３の載置面７３ａに垂直な方向における第１部分５ａの高さＨよりも大きくすると、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性の改善と、第３層基板７３上におけるファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態の安定化と、の両立をより確実に実現することができる。したがって、載置面７３ａのうち側面１０２の外側に張り出した部分の幅全体に渡って、接着部材５が接触していることが好ましい。

また、光検出装置１Ｂでは、隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２において基板１４に接触している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ｂを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力をより十分に接着部材５に吸収させることができる。また、第１ミラー３１及び第２ミラー４１を支持する基板１４が接着部材５によって外側から保持されるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態をより安定させることができる。

また、光検出装置１Ｂでは、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ａによって形成された隅部Ｃ１の全体に渡って連続するように、隅部Ｃ１に配置されており、側面１０２ａに接触している。同様に、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ｂによって形成された隅部Ｃ４の全体に渡って連続するように、隅部Ｃ４に配置されており、側面１０２ｂに接触している。これにより、例えば、各隅部Ｃ１，Ｃ４に複数の接着部材５が断続的に配置されている場合、又は接着部材５が各隅部Ｃ１，Ｃ４の一部における１ヶ所のみに配置されている場合に比べ、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ｂを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力を均一に接着部材５に吸収させることができる。

また、光検出装置１Ｂでは、接着部材５が、ファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ａによって形成された隅部Ｃ１に配置されており、側面１０２ａに接触していている。更に、接着部材５が、光透過領域１１を挟んで側面１０２ａと対向するファブリペロー干渉フィルタ１０の側面１０２ｂによって形成された隅部Ｃ４に配置されており、側面１０２ｂに接触していている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０をより安定した状態で第３層基板７３上に保持することができる。

また、光検出装置１Ｂでは、各隅部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３に配置された接着部材５が、互いに連続しており、ファブリペロー干渉フィルタ１０の各角部１０３ａ，１０３ｂを外側から覆っている。同様に、各隅部Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６に配置された接着部材５が、互いに連続しており、ファブリペロー干渉フィルタ１０の各角部１０３ｃ，１０３ｄを外側から覆っている。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出装置１Ｂを構成する他の部材との間における熱膨張係数の差に起因してファブリペロー干渉フィルタ１０に生じる応力が集中し易い角部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ，１０３ｄにおいて、当該応力を十分に接着部材５に吸収させることができる。

また、光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１全体に接着部材５が設けられていないため（特に、光透過領域１１に接着部材５が設けられていないため）、次の効果が奏される。すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過した光が接着部材５を透過しないため、光透過率の高い接着部材５を選択することが不要となり、接着部材５の選択の自由度が向上する。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過した光が接着部材５を透過しないため、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光が、周辺温度の変化に伴う接着部材５の光学特性（屈折率、透過率等）の変化による影響を受けない。また、硬化時における接着部材５の収縮、及び、使用時における周辺温度の変化に伴う接着部材５の膨張及び収縮によって発生する応力に起因して、ファブリペロー干渉フィルタ１０が歪んだり、傾いたりすることが抑制される。

また、光検出装置１Ｂでは、方向Ａにおけるファブリペロー干渉フィルタの両側に横長の空間（方向Ａに垂直な方向における幅が、方向Ａに平行な方向における幅よりも大きい空間）が設けられる。また、光検出装置１Ｂでは、方向Ａから見た場合に、方向Ａにおけるファブリペロー干渉フィルタの両側に設けられた空間の外縁が、ＳＭＤパッケージ７の内縁によって画定されている。また、光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光入射側に設けられた空間のほうが、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光出射側に設けられた空間よりも、方向Ａに垂直な方向における幅が大きい。その一方で、光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光出射側に設けられた空間のほうが、ファブリペロー干渉フィルタ１０の光入射側に設けられた空間よりも、方向Ａに平行な方向における幅が大きい。また、光検出装置１Ｂでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、ＳＭＤパッケージ７に設けられた配線を介して、ＳＭＤパッケージ７の底面に設けられた複数の電極パッド７７に電気的に接続されている。

以上により、光検出装置１Ｂを小型化することができる。また、方向Ａにおけるファブリペロー干渉フィルタの両側に横長の空間を設けることで、縦長の空間を設けた場合と比較して、第６層基板７６の開口７６ｃとファブリペロー干渉フィルタ１０との距離、及び、ファブリペロー干渉フィルタ１０と光検出器３との距離を小さく抑えることができる。そのため、開口７６ｃから光が多少斜めに入射したとしても、その入射光にファブリペロー干渉フィルタ１０の光透過領域１１を透過させて、その透過光を光検出器３の受光部３ａに入射させることができる。また、方向Ａにおけるファブリペロー干渉フィルタの両側に横長の空間を設けることで、縦長の空間を設けた場合と比較して、ＳＭＤパッケージ７を構成する部材の高さを低くして、ＳＭＤパッケージ７の体積を小さく抑えることができる。そのため、ファブリペロー干渉フィルタ１０とＳＭＤパッケージ７との間における熱膨張係数の違いに起因する応力の発生を抑制することができる。

以上、本発明の第１及び第２実施形態について説明したが、本発明は、上述した第１及び第２実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態では、接着部材５が、スペーサ４Ａの載置面４ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された第２部分５ｂを含んでいたが、接着部材５は、第１部分５ａを含んでいれば、第２部分５ｂを含んでいなくてもよい。同様に、第２実施形態では、接着部材５が、第３層基板７３の載置面７３ａとファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１との間に配置された第２部分５ｂを含んでいたが、接着部材５は、第１部分５ａを含んでいれば、第２部分５ｂを含んでいなくてもよい。接着部材５が第１部分５ａを含んでいれば、ファブリペロー干渉フィルタ１０における透過波長の温度特性を十分に改善することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の保持状態を安定させることができる。また、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。

また、第２実施形態では、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４及び第５層基板７５が互いに別体として形成されていたが、図７に示されるように、それらの基板が一体として形成されたものに相当する支持体（支持体）７０の載置面７０ａに、ファブリペロー干渉フィルタ１０の底面１０１が載置されていてもよい。この場合、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４及び第５層基板７５を互いに重ね合せて接着する場合と比較して、形成されたＳＭＤパッケージ７ごとの形状のばらつきが少ない。また、第１層基板７１、第２層基板７２、第３層基板７３、第４層基板７４、第５層基板７５及び第６層基板７６を互いに接着する接着部材が不要であるため、周辺温度の変化に伴う接着部材の膨張及び収縮に起因するＳＭＤパッケージ７の形状の変化が抑制される。また、外気に含まれる水分が接着部材５を介してＳＭＤパッケージ７の内部に侵入することを防ぐことができるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０とＳＭＤパッケージ７との間の接着部材５が水分の影響で劣化することを抑制することができる。したがって、この場合、より安定した形状のＳＭＤパッケージ７を得ることができる。

また、第１及び第２実施形態では、接着部材５の縁部５ｃがファブリペロー干渉フィルタ１０の基板１４の側面に至っていたが、接着部材５の縁部５ｃは、基板１４の側面に至らず、ファブリペロー干渉フィルタ１０の積層体５０の側面に至っていてもよい。つまり、接着部材５は、基板１４の側面に接触せず、積層体５０の側面に接触していてもよい。

１Ａ，１Ｂ…光検出装置、３…光検出器、４，４Ａ，４Ｂ…スペーサ（支持部材）、４ａ…載置面、５…接着部材、５ａ…第１部分、５ｂ…第２部分、１０…ファブリペロー干渉フィルタ、１１…光透過領域、１４…基板、３１…第１ミラー、４１…第２ミラー、７０…支持体（支持部材）、７０ａ…載置面、７３…第３層基板（支持部材）、７３ａ…載置面、１０１…底面、１０２…側面、１０２ａ…側面（第１側面、第２側面、第４側面）、１０２ｂ…側面（第１側面、第３側面、第４側面）、１０２ｃ，１０２ｄ…側面（第５側面）、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６…隅部。

Claims (6)

1. 距離が可変とされた第１ミラー及び第２ミラーを有し、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、
   前記光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち前記光透過領域の外側の部分が載置された第１載置面、及び、前記光検出器の底面が載置された第２載置面を有する支持体と、を備え、
   前記支持体には、前記ファブリペロー干渉フィルタと前記第２載置面との間の空間であって、前記光透過領域を光が透過する方向に垂直な方向における幅が、前記光透過領域を光が透過する前記方向に平行な方向における幅よりも大きい空間が設けられており、
   前記空間において、前記光検出器の端子は、前記支持体における前記空間側の表面に設けられたパッドと、第１ワイヤによって電気的に接続されており、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの端子には、配線の一部である第２ワイヤの一端が接続されており、
   前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記光透過領域を光が透過する前記方向から見た場合に対向する一対の側面を有し、
   前記光透過領域を光が透過する前記方向から見た場合に、前記一対の側面が対向する方向に平行であり且つ前記ファブリペロー干渉フィルタの中心を通るラインと前記第２ワイヤの他端との距離は、前記ラインと前記第２ワイヤの前記一端との距離よりも小さく、
   前記光透過領域を光が透過する前記方向から見た場合に、前記一対の側面のうち前記第２ワイヤの前記他端に近い方の側面と前記第２ワイヤの前記他端との距離は、前記一対の側面の間隔よりも小さい、光検出装置。
2. 前記光透過領域を光が透過する前記方向から見た場合に、前記パッドの少なくとも一部は、前記ファブリペロー干渉フィルタと重なっている、請求項１に記載の光検出装置。
3. 前記支持体は、一体として形成されている、請求項１又は２に記載の光検出装置。
4. 前記支持体は、複数の基板が積層されることで構成されており、
   前記複数の基板は、
   支持基板と、
   前記支持基板上に積層され、第１開口が形成された第１基板と、
   前記第１基板上に積層され、第２開口が形成された第２基板と、を含み、
   前記光透過領域を光が透過する前記方向から見た場合に、前記第２開口は、前記第１開口を含んでおり、
   前記第１載置面は、前記第１基板における前記第２基板側の表面のうち前記第２開口に露出した領域であり、
   前記第２載置面は、前記支持基板における前記第１基板側の表面のうち前記第１開口に露出した領域である、請求項１又は２に記載の光検出装置。
5. 前記支持体は、前記光透過領域を光が透過する前記方向において、前記第１載置面に対して前記第２載置面とは反対側に位置する面を有し、
   前記ファブリペロー干渉フィルタの前記端子は、前記面に設けられたパッドと、前記第２ワイヤによって電気的に接続されている、請求項１～４のいずれか一項に記載の光検出装置。
6. 前記支持体の底面には、電極パッドが設けられており、
   前記ファブリペロー干渉フィルタ及び前記光検出器のそれぞれは、前記支持体に設けられた配線を介して、前記電極パッドと電気的に接続されている、請求項１～５のいずれか一項に記載の光検出装置。

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