JP3210795B2 - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、人体などから発せら
れる赤外線を検出する赤外線検出器に関する。
れる赤外線を検出する赤外線検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記赤外線検出器の一つに、例えば実開
平２−１１８８４２号公報に示される焦電型赤外線検出
器がある。これを図７および図８を用いて説明すると、
図７において、１は鉄やニッケルあるいはコバールなど
の金属よりなる下部開放型の筒状の容器で、その上面部
２のほぼ中央には開口部３が形成されている。４は開口
部３を容器１の上方から閉塞するように設けられた赤外
線透過窓材（以下、単に窓材という）で、図８に示すよ
うに、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体を母材５と
し、この母材５の両面に波長選択性多層膜（以下、単に
多層膜という）６を形成してなるもので、その周側面の
ほぼ全体と開口部３の周辺部とを、絶縁性樹脂接着剤７
を用いて上面部２の上方から容器１に接合されている。
８は補助的に設けられる導電性樹脂接着剤である。
平２−１１８８４２号公報に示される焦電型赤外線検出
器がある。これを図７および図８を用いて説明すると、
図７において、１は鉄やニッケルあるいはコバールなど
の金属よりなる下部開放型の筒状の容器で、その上面部
２のほぼ中央には開口部３が形成されている。４は開口
部３を容器１の上方から閉塞するように設けられた赤外
線透過窓材（以下、単に窓材という）で、図８に示すよ
うに、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体を母材５と
し、この母材５の両面に波長選択性多層膜（以下、単に
多層膜という）６を形成してなるもので、その周側面の
ほぼ全体と開口部３の周辺部とを、絶縁性樹脂接着剤７
を用いて上面部２の上方から容器１に接合されている。
８は補助的に設けられる導電性樹脂接着剤である。
【０００３】９は窓材４に対して受光部電極１０，１１
を臨ませるようにして容器１内に収容された赤外線検出
素子で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系の酸化
物セラミックス）よりなる。この赤外線検出素子９は、
スペーサ１２を介してセラミックなどよりなる回路基板
１３上に設けられている。そして、回路基板１３の下面
側にはＦＥＴ（電界効果トランジスタ）１４や高抵抗１
５などからなる回路が設けられているとともに、複数の
リードピン１６が突設されている。これらのリードピン
１６は、容器１の下部開放部を閉塞するステム１７を貫
通して容器１の外部に延設されている。
を臨ませるようにして容器１内に収容された赤外線検出
素子で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系の酸化
物セラミックス）よりなる。この赤外線検出素子９は、
スペーサ１２を介してセラミックなどよりなる回路基板
１３上に設けられている。そして、回路基板１３の下面
側にはＦＥＴ（電界効果トランジスタ）１４や高抵抗１
５などからなる回路が設けられているとともに、複数の
リードピン１６が突設されている。これらのリードピン
１６は、容器１の下部開放部を閉塞するステム１７を貫
通して容器１の外部に延設されている。
【０００４】このように構成された焦電型赤外線検出器
においては、例えば人体から発せられた赤外線が窓材４
を通過して赤外線検出素子９の受光部電極１０，１１に
入射すると、リードピン１６からは所定の信号が出力さ
れる。そして、上記従来の赤外線検出器においては、窓
材４の母材５としてシリコン、ゲルマニウムなどの半導
体を用いるとともに、窓材４と容器１との接合に、銀、
銅などの金属フィラーを合成樹脂接着剤に分散混入させ
てなる導電性樹脂接着剤８を用いているので、窓材４と
容器１との間を導通させることができ、好都合である。
においては、例えば人体から発せられた赤外線が窓材４
を通過して赤外線検出素子９の受光部電極１０，１１に
入射すると、リードピン１６からは所定の信号が出力さ
れる。そして、上記従来の赤外線検出器においては、窓
材４の母材５としてシリコン、ゲルマニウムなどの半導
体を用いるとともに、窓材４と容器１との接合に、銀、
銅などの金属フィラーを合成樹脂接着剤に分散混入させ
てなる導電性樹脂接着剤８を用いているので、窓材４と
容器１との間を導通させることができ、好都合である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、焦
電型赤外線検出器においては、容器１内の回路のインピ
ーダンスが例えば１０11Ωというように極めて大きいと
ころから、温度や湿度などの環境の変化に対して、容器
１内の気密性を維持する必要がある。しかしながら、上
述のように、容器１の所定の箇所への窓材４の接着を樹
脂接着剤７，８によって行った従来の焦電型赤外線検出
器においては、過酷な環境の下における試験では、外気
や水分が透過するなどして容器１内に侵入するのを回避
することができず、このため、内部回路における絶縁性
が低下せざるを得ず、信頼性に限界があった。
電型赤外線検出器においては、容器１内の回路のインピ
ーダンスが例えば１０11Ωというように極めて大きいと
ころから、温度や湿度などの環境の変化に対して、容器
１内の気密性を維持する必要がある。しかしながら、上
述のように、容器１の所定の箇所への窓材４の接着を樹
脂接着剤７，８によって行った従来の焦電型赤外線検出
器においては、過酷な環境の下における試験では、外気
や水分が透過するなどして容器１内に侵入するのを回避
することができず、このため、内部回路における絶縁性
が低下せざるを得ず、信頼性に限界があった。
【０００６】なお、上述のような耐環境性は、焦電型赤
外線検出器のみならず、容器１内に熱電堆型赤外線検出
素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他の赤外線
検出器においても同様である。
外線検出器のみならず、容器１内に熱電堆型赤外線検出
素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他の赤外線
検出器においても同様である。
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、長期にわたって良好な気密性を維持すること
ができる赤外線検出器を提供することを目的としてい
る。
たもので、長期にわたって良好な気密性を維持すること
ができる赤外線検出器を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明においては、赤外線透過材料よりなる母材
に波長選択性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、赤外
線検出素子を収容した容器に形成された開口部に対して
接合し、前記窓材の上面が容器の上面に開設された前記
開口部を囲む上面部と同じ高さとなるように設けられて
いる赤外線検出器において、前記窓材における母材の切
断部分にハンダ付け可能な金属層を形成するとともに、
前記母材の下側の多層膜の視野角に寄与しない部分にハ
ンダ付け可能な金属層を形成し、また、前記窓材を、平
面視において前記開口部よりも小さく形成し、さらに、
前記容器の開口部を囲む側壁面部が面一となるように
し、ハンダ可能な表面状態に表面処理が施された容器の
所定箇所と前記両金属層との間に施されるハンダのみに
よって窓材を容器に接合し、保持する。
め、この発明においては、赤外線透過材料よりなる母材
に波長選択性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、赤外
線検出素子を収容した容器に形成された開口部に対して
接合し、前記窓材の上面が容器の上面に開設された前記
開口部を囲む上面部と同じ高さとなるように設けられて
いる赤外線検出器において、前記窓材における母材の切
断部分にハンダ付け可能な金属層を形成するとともに、
前記母材の下側の多層膜の視野角に寄与しない部分にハ
ンダ付け可能な金属層を形成し、また、前記窓材を、平
面視において前記開口部よりも小さく形成し、さらに、
前記容器の開口部を囲む側壁面部が面一となるように
し、ハンダ可能な表面状態に表面処理が施された容器の
所定箇所と前記両金属層との間に施されるハンダのみに
よって窓材を容器に接合し、保持する。
【０００９】
【作用】上記構成の赤外線検出器においては、容器に形
成された開口部を閉鎖するための窓材における母材の切
断部分にハンダ付け可能な金属層が形成されるととも
に、多層膜の視野角に寄与しない部分にハンダ付け可能
な金属層を形成し、容器の所定箇所と前記両金属層との
間に施されるハンダによって窓材を容器に接合している
ので、ハンダと前記両金属層との接合強度が大きく、し
たがって、容器の気密性が向上するとともに、窓材と容
器との電気的な結合が確実に行われるので、電磁気に対
するシールドが良好に行われる。
成された開口部を閉鎖するための窓材における母材の切
断部分にハンダ付け可能な金属層が形成されるととも
に、多層膜の視野角に寄与しない部分にハンダ付け可能
な金属層を形成し、容器の所定箇所と前記両金属層との
間に施されるハンダによって窓材を容器に接合している
ので、ハンダと前記両金属層との接合強度が大きく、し
たがって、容器の気密性が向上するとともに、窓材と容
器との電気的な結合が確実に行われるので、電磁気に対
するシールドが良好に行われる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を、図面を参照しな
がら説明する。なお、以下の各図において、図７および
図８に示した符号と同一の符号は、同一物または相当物
を示している。
がら説明する。なお、以下の各図において、図７および
図８に示した符号と同一の符号は、同一物または相当物
を示している。
【００１１】図１および図２は、この発明に係る焦電型
赤外線検出器の一例を示し、これらの図に示される窓材
４は、その上面が容器１の上面に開設された開口部３を
囲む上面部２と同じ高さ（面一）となるように設けられ
ている。そして、１８は窓材４における母材５の上下両
面に形成される多層膜６Ａ，６Ｂによって挟まれる切断
部分５ａに形成されたハンダ付け可能な金属層で、母材
５の全周にわたって形成される。また、本実施例では、
前記窓材４を、平面視において前記開口部３よりも小さ
く形成し、さらに、前記容器１の開口部３を囲む側壁面
部３ａが面一となるようにしてある。
赤外線検出器の一例を示し、これらの図に示される窓材
４は、その上面が容器１の上面に開設された開口部３を
囲む上面部２と同じ高さ（面一）となるように設けられ
ている。そして、１８は窓材４における母材５の上下両
面に形成される多層膜６Ａ，６Ｂによって挟まれる切断
部分５ａに形成されたハンダ付け可能な金属層で、母材
５の全周にわたって形成される。また、本実施例では、
前記窓材４を、平面視において前記開口部３よりも小さ
く形成し、さらに、前記容器１の開口部３を囲む側壁面
部３ａが面一となるようにしてある。
【００１２】また、１９は母材５の下側の多層膜６Ｂに
おける視野角に寄与しない部分６ｂに形成されたハンダ
付け可能な金属層である。この場合、視野角に寄与しな
い部分６ｂとは、赤外線検出素子９の受光部電極１０，
１１の外縁と母材５の上側の多層膜６Ａとを結ぶ視野角
規定ライン２０よりも外縁側の部分のことをいう。２１
は窓材４を容器１に接合するためのハンダ部分で、ハン
ダ付け可能な表面状態に表面処理が施された容器１の接
合予定部分２２と窓材４の前記金属層１８，１９とにわ
たって施される。そして、このハンダ部分２１のみによ
って窓材４が容器１に接合され、保持される。
おける視野角に寄与しない部分６ｂに形成されたハンダ
付け可能な金属層である。この場合、視野角に寄与しな
い部分６ｂとは、赤外線検出素子９の受光部電極１０，
１１の外縁と母材５の上側の多層膜６Ａとを結ぶ視野角
規定ライン２０よりも外縁側の部分のことをいう。２１
は窓材４を容器１に接合するためのハンダ部分で、ハン
ダ付け可能な表面状態に表面処理が施された容器１の接
合予定部分２２と窓材４の前記金属層１８，１９とにわ
たって施される。そして、このハンダ部分２１のみによ
って窓材４が容器１に接合され、保持される。
【００１３】次に、窓材４の製作手順および窓材４の容
器１への接合手順の一例について説明する。
器１への接合手順の一例について説明する。
【００１４】窓材４の母材５は、シリコン（Ｓｉ）また
はゲルマニウム（Ｇｅ）のような半導体よりなり、例え
ば直径１０１．６ｍｍ（４インチ）、厚さ０．３８ｍｍ
のウェハ状態に切り出す。
はゲルマニウム（Ｇｅ）のような半導体よりなり、例え
ば直径１０１．６ｍｍ（４インチ）、厚さ０．３８ｍｍ
のウェハ状態に切り出す。
【００１５】公知の蒸着法を用いて、前記ウェハの両面
に高屈折率物質としてのＧｅと低屈折率物質としての硫
化亜鉛（ＺｎＳ）とを数１０層重畳する。これによっ
て、ウェハの表面に波長選択性を有する多層膜が形成さ
れ、光学フィルタが得られる。この場合、多層膜におけ
る光学膜厚や蒸着層数を適宜設定することにより、所望
の波長選択性を有する光学フィルタが得られることはい
うまでもない。
に高屈折率物質としてのＧｅと低屈折率物質としての硫
化亜鉛（ＺｎＳ）とを数１０層重畳する。これによっ
て、ウェハの表面に波長選択性を有する多層膜が形成さ
れ、光学フィルタが得られる。この場合、多層膜におけ
る光学膜厚や蒸着層数を適宜設定することにより、所望
の波長選択性を有する光学フィルタが得られることはい
うまでもない。
【００１６】多層膜が形成されたウェハ（光学フィル
タ）を、ダイシング装置を用いて切断することにより、
数ｍｍ角のペレット、すなわち、窓材４に形成する。こ
の小片形状に切断された窓材４は、図２に示すように、
母材５の上下両面が多層膜６Ａ，６Ｂに挟まれた所謂サ
ンドウィッチ形状を呈している。
タ）を、ダイシング装置を用いて切断することにより、
数ｍｍ角のペレット、すなわち、窓材４に形成する。こ
の小片形状に切断された窓材４は、図２に示すように、
母材５の上下両面が多層膜６Ａ，６Ｂに挟まれた所謂サ
ンドウィッチ形状を呈している。
【００１７】そして、母材５の露出している切断部分５
ａおよび多層膜６Ａ，６Ｂは、そのままの状態ではハン
ダに対する濡れ性がない。そこで、この実施例において
は、前記切断部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角
に寄与しない部分６ｂにメッキまたはスパッタリングに
よって表面処理を行い、金属層１８，１９を形成するの
である。
ａおよび多層膜６Ａ，６Ｂは、そのままの状態ではハン
ダに対する濡れ性がない。そこで、この実施例において
は、前記切断部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角
に寄与しない部分６ｂにメッキまたはスパッタリングに
よって表面処理を行い、金属層１８，１９を形成するの
である。
【００１８】前記メッキによる表面処理としては、例え
ばニッケル−リン系、ニッケル−ホウ素系、パラジウム
−リン系のものが金属層１８，１９の付着強度が強く安
定している。そして、ハンダに対する濡れ性を一層向上
させるには、前記いずれかによるメッキ後、金メッキで
仕上げるのもよい。
ばニッケル−リン系、ニッケル−ホウ素系、パラジウム
−リン系のものが金属層１８，１９の付着強度が強く安
定している。そして、ハンダに対する濡れ性を一層向上
させるには、前記いずれかによるメッキ後、金メッキで
仕上げるのもよい。
【００１９】また、前記スパッタリングによって表面処
理を行う場合、例えばニッケル、クローム、銅、金など
の金属をスパッタリングによって単層膜または多層膜と
して組み合わせることにより、ハンダに対して濡れ性の
良好な金属層１８を得ることができる。
理を行う場合、例えばニッケル、クローム、銅、金など
の金属をスパッタリングによって単層膜または多層膜と
して組み合わせることにより、ハンダに対して濡れ性の
良好な金属層１８を得ることができる。
【００２０】なお、上記メッキまたはスパッタリングに
よる表面処理で用いる素材またはその組合せは、上記し
たものに限られるものではなく、要するに、少なくとも
前記母材５の露出している切断部分５ａおよび多層膜６
Ｂにおける視野角に寄与しない部分６ｂに、ハンダに対
する濡れ性が優れた金属層１８，１９が形成されておれ
ばよい。
よる表面処理で用いる素材またはその組合せは、上記し
たものに限られるものではなく、要するに、少なくとも
前記母材５の露出している切断部分５ａおよび多層膜６
Ｂにおける視野角に寄与しない部分６ｂに、ハンダに対
する濡れ性が優れた金属層１８，１９が形成されておれ
ばよい。
【００２１】一方、前記窓材４が接合される容器１は、
これをハンダに対する濡れ性の良好な金属素材（例えば
ニッケル、コバールなど）をプレス加工によって成形す
るのが好ましいが、ハンダに対する濡れ性が不十分な金
属素材（例えば鉄など）を用いてもよい。どちらの場合
も、少なくとも窓材４の接合予定部分２２については、
ハンダ付け可能な表面状態に表面処理が施されてあれば
よい。この表面処理についても、上記母材５の露出して
いる切断部分５ａの表面処理に適用されるメッキまたは
スパッタリングを同様に採用すればよい。なお、接合予
定部分２２の表面処理は、ハンダ部分２１に対応する部
分のみを部分的に行ってもよいが、容器１の表裏全面を
一括して表面処理するようにしてもよい。
これをハンダに対する濡れ性の良好な金属素材（例えば
ニッケル、コバールなど）をプレス加工によって成形す
るのが好ましいが、ハンダに対する濡れ性が不十分な金
属素材（例えば鉄など）を用いてもよい。どちらの場合
も、少なくとも窓材４の接合予定部分２２については、
ハンダ付け可能な表面状態に表面処理が施されてあれば
よい。この表面処理についても、上記母材５の露出して
いる切断部分５ａの表面処理に適用されるメッキまたは
スパッタリングを同様に採用すればよい。なお、接合予
定部分２２の表面処理は、ハンダ部分２１に対応する部
分のみを部分的に行ってもよいが、容器１の表裏全面を
一括して表面処理するようにしてもよい。
【００２２】上述のようにして形成された窓材４は、容
器１の上面に開設された開口部３を囲む上面部２と同じ
高さ（面一）となるように設けられる。容器１の接合予
定部分２２に、例えば錫−鉛系のハンダを熱溶融させる
ことによって、窓材４を容器１に接合するのである。そ
の場合、窓材４の側部切断部分５ａおよび多層膜６Ｂに
おける視野角に寄与しない部分６ｂにそれぞれ形成され
た金属層１８，１９と容器１の接合予定部分２２との間
にハンダ部分２１が形成されるようにするのがよい。そ
して、このとき使用するハンダとしては、ペースト状の
クリームハンダ、糸状ハンダ、ペレット状の固形ハンダ
などがある。また、前記錫−鉛系のハンダの他、銀を適
宜混入したハンダを用いてもよいことはいうまでもな
い。
器１の上面に開設された開口部３を囲む上面部２と同じ
高さ（面一）となるように設けられる。容器１の接合予
定部分２２に、例えば錫−鉛系のハンダを熱溶融させる
ことによって、窓材４を容器１に接合するのである。そ
の場合、窓材４の側部切断部分５ａおよび多層膜６Ｂに
おける視野角に寄与しない部分６ｂにそれぞれ形成され
た金属層１８，１９と容器１の接合予定部分２２との間
にハンダ部分２１が形成されるようにするのがよい。そ
して、このとき使用するハンダとしては、ペースト状の
クリームハンダ、糸状ハンダ、ペレット状の固形ハンダ
などがある。また、前記錫−鉛系のハンダの他、銀を適
宜混入したハンダを用いてもよいことはいうまでもな
い。
【００２３】上述のように構成された赤外線検出器にお
いては、窓材４と容器１とが接合され、しかも、窓材４
の側部切断部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角に
寄与しない部分６ｂにそれぞれ濡れ性のよい金属層１
８，１９が形成されているので、窓材４とハンダ部分２
１との接合強度が大きく、したがって、従来の焦電型赤
外線検出器に比べて、窓材４と容器１とが強固かつ確実
に接合される。そのため、容器１の気密性が大幅に向上
するとともに、ハンダ部分２１を介して窓材４の母材５
と容器１とが電気的に結合されるので、電磁気に対する
シールドが良好に行われる。
いては、窓材４と容器１とが接合され、しかも、窓材４
の側部切断部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角に
寄与しない部分６ｂにそれぞれ濡れ性のよい金属層１
８，１９が形成されているので、窓材４とハンダ部分２
１との接合強度が大きく、したがって、従来の焦電型赤
外線検出器に比べて、窓材４と容器１とが強固かつ確実
に接合される。そのため、容器１の気密性が大幅に向上
するとともに、ハンダ部分２１を介して窓材４の母材５
と容器１とが電気的に結合されるので、電磁気に対する
シールドが良好に行われる。
【００２４】そして、上述の実施例では、窓材４が容器
１の開口部３内に収まるように設けられているので、検
出器本来の視野角を損なうことがないといった利点があ
る。
１の開口部３内に収まるように設けられているので、検
出器本来の視野角を損なうことがないといった利点があ
る。
【００２５】この発明は、上述の実施例に限られるもの
ではなく、種々に変形して実施することができる。例え
ば図３および図４は、窓材４を容器１の内側に設けた例
をそれぞれ示し、図３に示すものでは、金属層１８とと
もに形成される金属層１９を下側の多層膜６Ｂの視野角
に寄与しない部分６ｂにのみ設けているが、図４に示す
ものでは、金属層１９を上下両側の多層膜６Ａ，６Ｂの
視野角に寄与しない部分６ａ，６ｂにそれぞれ設けてい
る。
ではなく、種々に変形して実施することができる。例え
ば図３および図４は、窓材４を容器１の内側に設けた例
をそれぞれ示し、図３に示すものでは、金属層１８とと
もに形成される金属層１９を下側の多層膜６Ｂの視野角
に寄与しない部分６ｂにのみ設けているが、図４に示す
ものでは、金属層１９を上下両側の多層膜６Ａ，６Ｂの
視野角に寄与しない部分６ａ，６ｂにそれぞれ設けてい
る。
【００２６】また、図５および図６は、窓材４を容器１
の外側に設けた例を示し、図５に示すものでは、金属層
１８とともに形成される金属層１９を上側の多層膜６Ａ
の視野角に寄与しない部分６ａにのみ設けているが、図
６に示すものでは、金属層１９を上下両側の多層膜６
Ａ，６Ｂの視野角に寄与しない部分６ａ，６ｂにそれぞ
れ設けている。
の外側に設けた例を示し、図５に示すものでは、金属層
１８とともに形成される金属層１９を上側の多層膜６Ａ
の視野角に寄与しない部分６ａにのみ設けているが、図
６に示すものでは、金属層１９を上下両側の多層膜６
Ａ，６Ｂの視野角に寄与しない部分６ａ，６ｂにそれぞ
れ設けている。
【００２７】図３〜図６に示したいずれの実施例におい
ても、図１および図２に示した実施例と同様の効果を奏
することはいうまでもない。また、これら図３〜図６の
実施例においては、受光部電極１０，１１の外縁と容器
１の開口部３に臨む上面部２の上端とを結ぶライン２０
が視野角規定ラインであり、金属層１９はこのライン２
０より外縁側に形成されることが好ましい。このように
することにより、検出器本来の視野角を損なうことがな
く、視野角を最大限に利用できる。
ても、図１および図２に示した実施例と同様の効果を奏
することはいうまでもない。また、これら図３〜図６の
実施例においては、受光部電極１０，１１の外縁と容器
１の開口部３に臨む上面部２の上端とを結ぶライン２０
が視野角規定ラインであり、金属層１９はこのライン２
０より外縁側に形成されることが好ましい。このように
することにより、検出器本来の視野角を損なうことがな
く、視野角を最大限に利用できる。
【００２８】なお、この発明は、母材５の片面にのみ多
層膜が形成された窓材４にも同様に適用できることはい
うまでもない。また、この発明は、容器１内に熱電堆型
赤外線検出素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその
他の赤外線検出器にも適用できることはいうまでもな
い。
層膜が形成された窓材４にも同様に適用できることはい
うまでもない。また、この発明は、容器１内に熱電堆型
赤外線検出素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその
他の赤外線検出器にも適用できることはいうまでもな
い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ハンダと窓材との接合強度が大きく、したがって、
従来の焦電型赤外線検出器に比べて、窓材と容器とが強
固かつ確実に接合される。そのため、容器の気密性が大
幅に向上するとともに、ハンダ部分を介して窓材の母材
と容器とが電気的に結合されるので、電磁気に対するシ
ールド性が向上する。したがって、長期間にわたって安
定に動作する赤外線検出器を得ることができる。
ば、ハンダと窓材との接合強度が大きく、したがって、
従来の焦電型赤外線検出器に比べて、窓材と容器とが強
固かつ確実に接合される。そのため、容器の気密性が大
幅に向上するとともに、ハンダ部分を介して窓材の母材
と容器とが電気的に結合されるので、電磁気に対するシ
ールド性が向上する。したがって、長期間にわたって安
定に動作する赤外線検出器を得ることができる。
【図１】この発明の一実施例に係る焦電型赤外線検出器
の一例を示す断面図である。
の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示す焦電型赤外線検出器の要部を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
【図３】窓材の他の取付け態様を示す要部拡大断面図で
ある。
ある。
【図４】窓材の他の取付け態様を示す要部拡大断面図で
ある。
ある。
【図５】窓材の他の取付け態様を示す要部拡大断面図で
ある。
ある。
【図６】窓材の他の取付け態様を示す要部拡大断面図で
ある。
ある。
【図７】従来例の焦電型赤外線検出器を示す断面図であ
る。
る。
【図８】図７に示す焦電型赤外線検出器の要部を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
１…容器、３…開口部、４…赤外線透過窓材、５…母
材、５ａ…母材の切断部分、６Ａ，６Ｂ…波長選択性多
層膜、６ａ，６ｂ…多層膜の視野角に寄与しない部分、
９…赤外線検出素子、１８，１９…金属層、２１…ハン
ダ部分。
材、５ａ…母材の切断部分、６Ａ，６Ｂ…波長選択性多
層膜、６ａ，６ｂ…多層膜の視野角に寄与しない部分、
９…赤外線検出素子、１８，１９…金属層、２１…ハン
ダ部分。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−243909（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−285623（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−249709（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−147971（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−248949（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−55724（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−39528（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−189802（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−35317（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−79464（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−127530（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−118842（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−46341（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 1/02 - 1/04 G01J 5/02 G01V 9/04 G02B 5/28 H01L 31/00 - 31/02 H01L 31/08 H01L 37/00 - 37/02
Claims (1)
- 【請求項１】 赤外線透過材料よりなる母材に波長選択
性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、赤外線検出素子
を収容した容器に形成された開口部に対して接合し、前
記窓材の上面が容器の上面に開設された前記開口部を囲
む上面部と同じ高さとなるように設けられている赤外線
検出器において、前記窓材における母材の切断部分にハ
ンダ付け可能な金属層を形成するとともに、前記母材の
下側の多層膜の視野角に寄与しない部分にハンダ付け可
能な金属層を形成し、また、前記窓材を、平面視におい
て前記開口部よりも小さく形成し、さらに、前記容器の
開口部を囲む側壁面部が面一となるようにし、ハンダ可
能な表面状態に表面処理が施された容器の所定箇所と前
記両金属層との間に施されるハンダのみによって窓材を
容器に接合し、保持することを特徴とする赤外線検出
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34129093A JP3210795B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34129093A JP3210795B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159234A JPH07159234A (ja) | 1995-06-23 |
| JP3210795B2 true JP3210795B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=18344915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34129093A Expired - Fee Related JP3210795B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3210795B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2011069649A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外センサモジュール及び赤外センサモジュールの製造方法 |
| US20120298867A1 (en) * | 2009-12-09 | 2012-11-29 | Panasonic Corporation | Infrared frame detector |
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| JP6671860B2 (ja) | 2015-04-28 | 2020-03-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| JP6713589B1 (ja) * | 2020-03-04 | 2020-06-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
-
1993
- 1993-12-11 JP JP34129093A patent/JP3210795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07159234A (ja) | 1995-06-23 |
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