JP2004170214A

JP2004170214A - センサ装置及びその製造方法

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Publication number: JP2004170214A
Application number: JP2002335571A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tsukamoto; 武塚本
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2002-11-19
Filing date: 2002-11-19
Publication date: 2004-06-17

Abstract

【課題】接着剤の窓部へのはみ出しを防止しつつフィルタの接着強度及び装置内の気密性を確保することが可能なセンサ装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】赤外線入射窓部５を塞ぐように接着剤１１を介してフィルタ６が取り付けられたケース４内に、赤外線検出素子２を収納する赤外線センサ装置１において、フィルタ６の端面から離れた所定の位置でケース４とフィルタ６とが接触するように、ケース４とフィルタ６の少なくとも一方に突起部１３が形成され、当該突起部１３、ケース４、及びフィルタ６からなる空間を、接着剤１１の溜まり部１４とした。
本センサ装置１は、突起部１３にて接着剤１１を遮断することにより、フィルタ６の窓部へのはみ出しを防止できる。又、溜まり部１４に十分な接着剤１１を保持できるので、フィルタ６の接着強度と装置１内の気密性を確保できる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検出対象を透過するフィルタを備えるケース内に、被検出対象を検出する検出素子を配置する構造を有するセンサ装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被検出対象を透過するフィルタを備えるケース内に被検出対象を検出する検出素子を配置したセンサ装置として、例えば赤外線センサ装置がある。
【０００３】
特許文献１に記載される赤外線センサ装置は、ケースの赤外線入射窓部の周囲の所定の範囲に接着剤を塗布し、当該接着剤を介してフィルタをケースに取り付けた構造を有しており、当該ケース内にフィルタを透過した赤外線を検出する赤外線検出素子を備えている。この、ケース内には、不活性ガスが封入されている。
【０００４】
赤外線センサ装置におけるフィルタとしては、例えばシリコン基板にＺｎＳ及びＧｅ等の薄膜を蒸着した多層膜を用いている。従って、赤外線センサ装置におけるケースへのフィルタの接着は、上述の多層膜の耐熱温度の関係より樹脂系の接着剤を使用している。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２２０４１３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載される赤外線センサ装置の場合、接着剤の塗布量が多い場合には、ケースとフィルタとの間の十分な接着力と装置内の気密性は得られるものの、接着剤がケースとフィルタの対向する接着面からはみ出す場合がある。この場合、接着剤が窓部に露出したフィルタの赤外線透過面の一部を覆ってしまうため、赤外線検出素子の視野が確保されず、赤外線検出の感度が低下するという問題がある。
【０００７】
また、接着剤の塗布量が少ない場合には、フィルタの接着強度が低下すると共に装置内の気密性が不十分となり、装置内に空気が侵入し、赤外線検出素子が酸素による酸化や湿気による変質により劣化する恐れがある。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑み、接着剤の窓部へのはみ出しを防止しつつフィルタの接着強度及び装置内の気密性を確保することが可能なセンサ装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する為に請求項１に記載のセンサ装置は、被検出対象を導入する窓部を有するケースと、当該窓部を塞ぐようにケースに接着材を介して取り付けられ、被検出対象を透過させるフィルタと、ケース内に収納されフィルタを透過した被検出対象を検出する検出素子とを備えたセンサ装置であって、フィルタの端面から離れた所定の位置において、ケースとフィルタ表面とが接触するように、フィルタ及びケースの少なくとも一方に突起部が形成され、当該突起部、フィルタ表面、及びケースからなる空間に接着剤が配置されることを特徴とする。
【００１０】
このように、ケースとフィルタの少なくとも一方に突起部が形成され、この突起部を接触部として、フィルタの端面から離れた所定の位置において、ケースとフィルタ表面とが接触する。そして、突起部、ケース、フィルタ表面との間には、空間が形成される。従って、上記空間内に接着剤を配置することができるため、ケースとフィルタとの間に十分な接着剤介すことができ、ケースに対するフィルタの接着強度も確保することができるとともに、センサ装置内の気密性を確保できる。
【００１１】
また、ケースとフィルタ表面とが直接接触する突起部を有するので、ケースへのフィルタの接着の際に、当該突起部にて接着剤が遮断される。従って、被検出対象の透過面であるフィルタの窓部への接着剤のはみ出しを防止できる。
【００１２】
さらに、上述の空間は、その一端が突起部により閉じているが、フィルタ端面側は開口している。従って、フィルタをケースに配置させた後でも、当該開口部より空間へ接着材を注入することができるため、工程設計の自由度が向上する。
【００１３】
請求項２に記載のように、突起部及び空間は、窓部の形状に対応して環状に形成されることが好ましい。このように、突起部が環状に形成されれば、フィルタの窓部側全域に渡って接着剤のはみ出しを防止できると共に、センサ装置内の気密性を確保できる。また、それと共に、空間も環状に形成されれば、接着剤を介したケースとフィルタ表面との間の面積が増加するので、フィルタの接着強度が向上する。
【００１４】
請求項３に記載のように、突起部は、ケースの窓部を形成する端部が、フィルタ方向に所定の角度折曲されたものでも良い。この場合も、所定の角度に折曲したケースを突起部とし、フィルタと接触させることで、ケースとフィルタ表面との間に一端が開口した空間を形成することができる。
【００１５】
また、請求項４に記載のように、ケースは、突起部を挟んで窓部の反対方向に、突起部に隣接するする凹部と、当該凹部に連通する溝部とを備えても良い。この場合も、ケースとフィルタとが突起部を介して接触した際、突起部に隣接しケースに形成された凹部と溝部により、ケースとフィルタとの間に一端が開口した空間を形成することができる。
【００１６】
請求項５に記載のように、ケースとフィルタの少なくとも一方の接触面に接触面溝部を備えても良い。ケースとフィルタの接触面の内、少なくとも一方に溝部を形成すれば、空間から接触部である突起部を通過して接着剤がフィルタの窓部にはみ出ようとする場合にも、当該接触面溝部に接着剤を収納し、窓部への接着剤のはみ出しを抑制することができる。
【００１７】
請求項６に記載のように、検出素子は、被検出対象として赤外線を検出しても良い。
【００１８】
また、センサ装置の製造方法は、請求項７に記載のように、被検出対象を導入する窓部を有するケースに、当該窓部を塞ぐように被検出対象を透過するフィルタを取り付ける際、フィルタの端面から離れた所定の位置において、ケースとフィルタ表面とが接触するように、ケース及びフィルタの少なくとも一方に突起部が形成され、当該突起部、ケース、及びフィルタ表面からなる空間に、接着剤を配置することにより、フィルタをケースに接着するフィルタ接着工程を備えるセンサ装置の製造方法であって、空間を構成するケース表面に予め接着剤を塗布し、その後、フィルタを突起部を介してケースに接触させることによって、フィルタをケースに接着させても良いし、請求項８に記載のように、フィルタが突起部を介してケースに接触するように配置された後、空間に接着剤が注入されることにより、フィルタがケースに接着されても良い。ケースとフィルタとの間には、一端が開口され接着剤を保持できる空間が形成される。従って、いずれの方法を用いても、フィルタをケースに好適に接着させることができるので、工程設計の自由度が向上する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１の実施の形態）
本実施の形態におけるセンサ装置の一例として、図１に赤外線センサ装置の断面図を示す。
【００２０】
図１に示すように、赤外線センサ装置１は、赤外線を検出する赤外線検出素子２と、当該素子２を搭載する台座３と、台座３の外周部に密着固定され、その内部に素子２を収納するケース４と、ケース４に形成された赤外線入射窓部５を覆うように取り付けられた赤外線透過フィルタ６（以下フィルタと言う）とから構成される。
【００２１】
赤外線検出素子２は、図示されないセンサ素子と回路素子とにより構成される。センサ素子は、例えばマイクロマシニング技術を用いて形成された薄膜メンブレン構造を有する半導体基板としてのシリコン基板と、当該シリコン基板上に形成されたｎ型ポリシリコン膜とアルミ薄膜とが対になった２種類の異なるゼーベック係数をもつ複数の熱電対群と、その上面の所定の範囲に形成された金黒等の赤外線吸収膜とにより構成される。尚、熱電対の数としては数十程度である。また、本実施の形態においては、上述のようにサーモパイル型のセンサ素子の例を示したが、それ以外の熱型素子である焦電型やボロメータ型のセンサ素子であっても良いし、量子型のセンサ素子であっても良い。
【００２２】
センサ素子が上述した構成を有することにより、図１のフィルタ６を通して入射された赤外線を、センサ素子の赤外線吸収膜が吸収し、生じた熱により熱電対群において起電力が生じる。この起電力が回路素子にて電気信号に変換されて、ボンディングワイヤ７と外部出力端子８を通してセンサ信号として外部に出力される。
【００２３】
台座３は、金属材料からなり、例えばＦｅにＡｕ等のメッキを施したものが用いられる。この台座３の所定の位置に貫通孔が形成されており、外部出力端子８はこの貫通孔においてシール材９により台座３に固定されている。また、台座３の外周部１０には、ケース４が例えばシール溶接により密着固定されている。
【００２４】
台座３上に固定されるケース４も、金属材料からなり、例えばＦｅにＮｉ等のメッキを施すことで、ケース内面での赤外線の乱反射を一定に抑えている。また、ケース４の上部中央付近には、例えば所定の大きさを有する略円形の赤外線入射窓部５が形成されており、この赤外線入射窓部５を覆うように例えば略正方形のフィルタ６が接着剤１１を介してケース４に気密に取り付けられている。尚、ケース４とフィルタ６の接着構造の詳細については後述する。
【００２５】
フィルタ６は、例えばシリコン基板にＺｎＳ、Ｇｅ等の薄膜を複数層蒸着したものが用いられる。従って、このフィルタ６をケース４に接着する接着剤１１としては、フィルタ６の多層膜の耐熱温度の点から、例えばエポキシ樹脂系接着剤のような樹脂系の接着剤１１が使用される。
【００２６】
このように、本実施の形態における赤外線センサ装置１は、台座３、ケース４、及びフィルタ６により形成される気密に閉じた内部空間１２を有し、この空間１２内に赤外線検出素子２を設けている。そして、この空間１２内には、赤外線検出素子２の劣化を防ぐために、窒素等の不活性ガスが封入されている。
【００２７】
次に、ケース４とフィルタ６との間の接着構造について、図１を用いて説明する。
【００２８】
図１の破線部内に示されるように、赤外線入射窓部５を形成しているケース４の端部を、全周に渡ってフィルタ６の配置側に向けて略９０度折曲させる。これにより、ケース４の端部は、他のケース４の内面部分よりもフィルタ６方向に突出することとなる。従って、ケース４の端部を突起部１３とし、環状に形成された突起部１３を介してケース４とフィルタ６とが接触する。また、突起部１３は、フィルタ６表面と、フィルタ６の端面から離れた所定の位置において接触するので、ケース４の内面とフィルタ６の表面との間に、接着剤１１の溜まり部１４としての環状の空間を形成することができる。
【００２９】
従って、当該溜まり部１４に、所望量の接着剤１１を保持することができ、ケース４内面とフィルタ６表面とが、その溜まり部１４に保持された接着剤１１によって接着されるので、ケース４とフィルタ６の接着性が確保される。また、突起部１３により一端が閉じられた溜まり部１４内に接着剤が保持されるので、赤外線センサ装置１の内部空間１２の気密性も確保される。
【００３０】
さらに、フィルタ６をケース４に接着する際に、フィルタ６の赤外線透過面側への接着剤１１のはみ出しを突起部１３にて抑制できるので、赤外線検出素子２の視野を確保することができる。尚、フィルタ６の赤外線透過面とは、赤外線入射窓部５に露出したフィルタ６の部分（窓部）である。
【００３１】
次に、本実施の形態における赤外線センサ装置１の製造方法の概略を、図１を用いて説明する。
【００３２】
先ず、外部出力端子８が貫通固定された台座３上に、赤外線検出素子２を図示されない接着剤により接着する。そして、赤外線検出素子２の図示されない電極と外部出力端子８とを、ボンディングワイヤ７により導電接続する。
【００３３】
また、ケース４において、接着剤１１の溜まり部１４となる部分に、予め接着剤１１を塗布し、その後フィルタ６を配置して接着する。この際、フィルタ６と接触するケース４の突起部１３からフィルタ６の赤外線透過面側へ接着剤１１がはみ出ないように注意する。尚、フィルタ６の接着工程は、赤外線検出素子２の接着工程と並行して行われても良いし、その前後に行われても良い。
【００３４】
そして、赤外線検出素子２が搭載された台座３の外周部１０に、フィルタ６の接着されたケース４が接触するように配置され、例えば窒素等の不活性ガスを封入しつつシール溶接により密着固定がなされることで、赤外線センサ装置１が形成される。
【００３５】
しかしながら、本実施の形態においては、ケース４とフィルタ６との間に、ケース４の突起部１３を接触部として接着剤１１の溜まり部１４を備えている。従って、ケース４にフィルタ６を配置した後でも、溜まり部１４の開口側から接着剤１１を注入することができ、ケース４にフィルタ６を接着させることができる。従って、フィルタ接着工程のタイミングを調整することができるので、赤外線センサ装置１の製造工程の工程設計の自由度が向上する。この場合、予めフィルタ６がケース４の突起部１３に接触した状態で接着剤１１を溜まり部１４に注入するので、フィルタ６の赤外線透過面側への接着剤１１のはみ出しをより効果的に防ぐことができる。尚、溜まり部１４からフィルタ６の赤外線透過面側への接着剤１１のはみ出しを抑制するために、ケース４の溜まり部１４形成面に突起部１３の高さよりも低く接着剤１１を塗布し、フィルタ６を配置した後に、再度溜まり部１４に接着剤１１を注入しても良い。また、赤外線センサ装置１内の気密性を向上させるために、ケース４へのフィルタ６の接着工程の際に、フィルタ６の端面と溜まり部１４を構成するケース４の内面との間にも接着剤１１が塗布されると良い。また、その範囲における塗布を、溜まり部１４への接着剤１１の塗布或いは注入の後に、別途行っても良い。
【００３６】
また、図２に示すように、ケース４の突起部１３の端面（フィルタ６との接触面）に接触面溝部１５を形成しても良い。尚、図２は、図１の破線部に対応した赤外線センサ装置１の拡大断面図である。このように、ケース４の接触面に接触面溝部１５を設けると、例えば予めケース４側の溜まり部１４に接着剤１１を塗布した後、フィルタ６をケース４に配置し接着させる際、接着剤１１が接触部である突起部１３を通してフィルタ６の赤外線透過面側にはみ出そうな場合に、当該接触面溝部１５に、はみ出そうな接着剤１１を収納することができる。従って、フィルタ６における赤外線検出素子２の視野を確保することができる。尚、この接触面溝部１５は、ケース４の突起部１３の接触面ではなく、フィルタ６側のケース４との接触面に設けられても良い。また、ケース４とフィルタ６の両接触面に夫々設けられても良い。
【００３７】
また、本実施の形態において、ケース４の赤外線入射窓部５を形成する側の端部を略９０度折り曲げ、当該端部を突起部１３としてフィルタ６の表面と接触させる例を示したが、ケース４の端部が略９０度以外の所定の角度に折り曲げられ、端面の一部（角部含む）のみがフィルタ６と接触しても良い。
【００３８】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を図３に基づいて説明する。尚、図３（ａ）は赤外線センサ装置１の上方から見た平面図であり、図３（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面における断面図である。尚、図３（ｂ）は図１の破線部に対応している。
【００３９】
第２の実施の形態における赤外線センサ装置１は、第１の実施の形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
【００４０】
第２の実施の形態において、第１の実施の形態と異なる点は、ケース４に凹部とそれに連通する溝部を設け、当該凹部を接着剤１１の溜まり部１４とする点である。
【００４１】
図３（ａ）に示すように、ケース４は赤外線入射窓部５を形成する端部から離れた所定の位置に、例えば環状に形成された凹部１６と、当該凹部１６に連通する溝部１７（図３（ａ）においては４箇所）とを備えている。この凹部１６と溝部１７は、フィルタ６がケース４に配置される際、ケース４とフィルタ６の間に空間を提供し、少なくとも溝部１７の一部が、フィルタ６の端面よりも赤外線入射窓部５の反対方向に位置するように形成されている。また、図３（ｂ）に示すように、ケース４において、凹部１６の形成領域よりも赤外線入射窓部５側のケース４の部分が、凹部１６及び溝部１７よりもフィルタ６方向に突出した突起部１３となる。
【００４２】
従って、本実施の形態における赤外線センサ装置１も、ケース４の突起部１３に連通する凹部１６と、フィルタ６とにより構成される接着剤１１の溜まり部１４を備えるので、所望の量の接着剤１１をケース４とフィルタ６との間に保持することができる。従って、ケース４とフィルタ６との間の接着強度を確保できると共に、赤外線センサ装置１の内部空間１２に対する気密性を確保することができる。
【００４３】
また、ケース４に形成された突起部１３により、フィルタ６の赤外線透過面側への接着剤１１のはみ出しを抑制できるので、赤外線検出素子２の視野を確保できる。
【００４４】
また、フィルタ６をケース４に配置した後でも、溝部１７を介して溜まり部１４を構成する凹部１６に接着剤１１を注入することができるので、工程設計の自由度が向上する。
【００４５】
尚、図３（ａ）に示すように、溝部１７は、ケース４に環状に形成された凹部１６に対して４箇所で連通する例を示したが、特に４箇所に限定されるものではない。従って、例えば環状に形成された凹部１６の全周に渡って連通する１つの大きな溝であっても良いし、複数の溝であっても良い。しかしながら、フィルタ６をケース４に配置後、溜まり部１４に接着剤１１を注入する場合、溜まり部１４内の空気の逃げ道が形成されているほうが、溜まり部１４の隅々まで接着剤１１を注入することができる。従って、溝部１７は接着剤１１の注入箇所以外にも空気の逃げ道として溝部１７を有していると良い。
【００４６】
また、凹部１６と溝部１７は一連の形状であっても良い。溝部１７も一種の凹部１６であるので、凹部１６がフィルタ６の端面を挟むように形成されれば良い。しかしながら、ケース４の内面側表面に対して、凹部１６の方が溝部１７よりも深く形成されると、接着剤１１の注入時に、溝部１７を介して凹部１６に接着剤１１が導入されやすく好ましい。
【００４７】
また、本実施の形態において、溜まり部１４は、突起部１３、凹部１６、及びフィルタ６表面から構成される例を示したが、溝部１７が構成要素として含まれても良い。溝部１７の一部がフィルタ６の端面よりも赤外線入射窓部５側に形成されていれば、フィルタ６をケース４に配置した後でも、溝部１７より溜まり部１４へ接着剤１１を注入することができる。
【００４８】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態を図４（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。尚、図４（ａ），（ｂ）は、共に図１の破線部に対応した赤外線センサ装置１の拡大断面図である。
【００４９】
第３の実施の形態における赤外線センサ装置１は、第１の実施の形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
【００５０】
第３の実施の形態において、第１の実施の形態と異なる点は、フィルタ６側に突起部１３を形成した点である。
【００５１】
図４（ａ）に示すように、フィルタ６の端面から所定の位置に、突起部１３が形成されている。この突起部１３は、シリコン基板からなるフィルタ６を、例えば選択的にエッチングすることにより環状に形成される。従って、フィルタ６は、当該突起部１３を接触部としてケース４と接触することができ、当該突起部１３、端面から突起部１３までのフィルタ６表面、及びフィルタ６に対向するケース４の内面との間に空間を形成でき、接着剤１１の溜まり部１４とすることができる。
【００５２】
従って、本実施の形態における赤外線センサ装置１も、ケース４とフィルタ６の間の溜まり部１４に、所望の量の接着剤１１を保持することができるので、ケース４とフィルタ６との間の接着強度を確保できるとともに、赤外線センサ装置１の内部空間１２に対する気密性を確保することができる。
【００５３】
また、溜まり部１４の一部を、ケース４と接触するフィルタ６の突起部１３が構成するので、当該突起部１３によりフィルタ６の赤外線透過面側への接着剤１１のはみ出しを抑制することができる。
【００５４】
また、本実施の形態において、接着剤１１の溜まり部１４も、一端が開口しているので、フィルタ６をケース４に配置した後でも、当該開口部から溜まり部１４に接着剤１１を注入することにより、フィルタ６をケース４に接着することができる。
【００５５】
尚、フィルタ６の突起部１３は、環状に形成されず、図４（ｂ）に示すように、フィルタ６の赤外線透過面も含めた１つの大きな突起であっても良い。
【００５６】
以上本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されず、種々変更して実施する事ができる。
【００５７】
本実施の形態において、フィルタの配置は、ケースの内面側の例を示したが、ケースの外面側に配置されても良い。
【００５８】
また、本実施の形態において、ケースとフィルタの一方に突起部を有する例を示したが、ケースとフィルタの両方に突起部を形成したものを組み合わせて用いても良い。
【００５９】
また、本実施の形態において、センサ装置の例として赤外線センサ装置を示したが、それ以外にも、例えば湿度センサとガスセンサの集積化されたエアクオリティセンサ等の、ケースにフィルタを備え、ケース内に被検出対象を検出する検出素子を備えた構造を有するセンサ装置であれば適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における赤外線センサ装置の断面図である。
【図２】図１の破線部に対応する変形例を示す拡大断面図である。
【図３】第２実施形態における赤外線センサ装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面における断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）共に、図１の破線部に対応する第３実施形態を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１・・・赤外線センサ装置、４・・・ケース、５・・・赤外線入射窓部、６・・・フィルタ、１１・・・接着剤、１３・・・突起部、１４・・・溜まり部

Claims

被検出対象を導入する窓部を有するケースと、
当該窓部を塞ぐように前記ケースに接着剤を介して取り付けられ、前記被検出対象を透過させるフィルタと、
前記ケース内に収納され前記フィルタを透過した前記被検出対象を検出する検出素子とを備えたセンサ装置であって、
前記フィルタの端面から離れた所定の位置において、前記ケースと前記フィルタ表面とが接触するように、前記フィルタ及び前記ケースの少なくとも一方に突起部が形成され、当該突起部、前記フィルタ表面、及び前記ケースからなる空間に前記接着剤が配置されることを特徴とするセンサ装置。
前記突起部及び前記空間は、前記窓部の形状に対応して環状に形成されることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
前記突起部として、前記ケースの前記窓部を形成する端部が、前記フィルタ方向に所定の角度折曲されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置。
前記ケースは、前記突起部を挟んで前記窓部の反対方向に、前記突起部に隣接する凹部と、当該凹部に連通する溝部とを有することを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載のセンサ装置。
前記ケースと前記フィルタの少なくとも一方の接触面に、接触面溝部を備えることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載のセンサ装置。
前記検出素子は、前記被検出対象として赤外線を検出することを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載のセンサ装置。
被検出対象を導入する窓部を有するケースに、当該窓部を塞ぐように前記被検出対象を透過するフィルタを取り付ける際、前記フィルタの端面から離れた所定の位置において、前記ケースと前記フィルタ表面とが接触するように、前記ケース及び前記フィルタの少なくとも一方に突起部が形成され、当該突起部、前記ケース、及び前記フィルタ表面からなる空間に、接着剤を配置することにより、前記フィルタを前記ケースに接着するフィルタ接着工程を備えるセンサ装置の製造方法であって、
前記空間を構成する前記ケース表面に予め前記接着剤を塗布し、その後、前記フィルタを前記突起部を介して前記ケースに接触させることによって、前記フィルタを前記ケースに接着させることを特徴とするセンサ装置の製造方法。
被検出対象を導入する窓部を有するケースに、当該窓部を塞ぐように前記被検出対象を透過するフィルタを取り付ける際、前記フィルタの端面から離れた所定の位置において、前記ケースと前記フィルタ表面とが接触するように、前記ケース及び前記フィルタの少なくとも一方に突起部が形成され、当該突起部、前記ケース、及び前記フィルタ表面からなる空間に、接着剤を配置することにより、前記フィルタを前記ケースに接着するフィルタ接着工程を備えるセンサ装置の製造方法であって、
前記フィルタが前記突起部を介して前記ケースに接触するように配置された後、前記空間に前記接着剤が注入されることにより、前記フィルタが前記ケースに接着されることを特徴とするセンサ装置の製造方法。