JP3047379B2 - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
- Publication number
- JP3047379B2 JP3047379B2 JP5341291A JP34129193A JP3047379B2 JP 3047379 B2 JP3047379 B2 JP 3047379B2 JP 5341291 A JP5341291 A JP 5341291A JP 34129193 A JP34129193 A JP 34129193A JP 3047379 B2 JP3047379 B2 JP 3047379B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- window material
- solder
- infrared detector
- joined
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、人体などから発せら
れる赤外線を検出する赤外線検出器に関する。
れる赤外線を検出する赤外線検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記赤外線検出器の一つに、例えば実開
平２−１１８８４２号公報に示される焦電型赤外線検出
器がある。これを図３および図４を用いて説明すると、
図３において、１は鉄やニッケルあるいはコバールなど
の金属よりなる下部開放型の筒状の容器で、その上面部
２のほぼ中央には開口部３が形成されている。４は開口
部３を容器１の上方から閉塞するように設けられた赤外
線透過窓材（以下、単に窓材という）で、図４に示すよ
うに、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体を母材５と
し、この母材５の両面に波長選択性多層膜（以下、単に
多層膜という）６を形成してなるもので、その周側面の
ほぼ全体と開口部３の周辺部とを、絶縁性樹脂接着剤７
を用いて上面部２の上方から容器１に接合されている。
８は補助的に設けられる導電性樹脂接着剤である。
平２−１１８８４２号公報に示される焦電型赤外線検出
器がある。これを図３および図４を用いて説明すると、
図３において、１は鉄やニッケルあるいはコバールなど
の金属よりなる下部開放型の筒状の容器で、その上面部
２のほぼ中央には開口部３が形成されている。４は開口
部３を容器１の上方から閉塞するように設けられた赤外
線透過窓材（以下、単に窓材という）で、図４に示すよ
うに、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体を母材５と
し、この母材５の両面に波長選択性多層膜（以下、単に
多層膜という）６を形成してなるもので、その周側面の
ほぼ全体と開口部３の周辺部とを、絶縁性樹脂接着剤７
を用いて上面部２の上方から容器１に接合されている。
８は補助的に設けられる導電性樹脂接着剤である。
【０００３】９は窓材４に対して受光部電極１０，１１
を臨ませるようにして容器１内に収容された赤外線検出
素子で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系の酸化
物セラミックス）よりなる。この赤外線検出素子９は、
スペーサ１２を介してセラミックなどよりなる回路基板
１３上に設けられている。そして、回路基板１３の下面
側にはＦＥＴ（電界効果トランジスタ）１４や高抵抗１
５などからなる回路が設けられているとともに、複数の
リードピン１６が突設されている。これらのリードピン
１６は、容器１の下部開放部を閉塞するステム１７を貫
通して容器１の外部に延設されている。
を臨ませるようにして容器１内に収容された赤外線検出
素子で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系の酸化
物セラミックス）よりなる。この赤外線検出素子９は、
スペーサ１２を介してセラミックなどよりなる回路基板
１３上に設けられている。そして、回路基板１３の下面
側にはＦＥＴ（電界効果トランジスタ）１４や高抵抗１
５などからなる回路が設けられているとともに、複数の
リードピン１６が突設されている。これらのリードピン
１６は、容器１の下部開放部を閉塞するステム１７を貫
通して容器１の外部に延設されている。
【０００４】このように構成された焦電型赤外線検出器
においては、例えば人体から発せられた赤外線が窓材４
を通過して赤外線検出素子９の受光部電極１０，１１に
入射すると、リードピン１６からは所定の信号が出力さ
れる。そして、上記従来の赤外線検出器においては、窓
材４の母材５としてシリコン、ゲルマニウムなどの半導
体を用いるとともに、窓材４と容器１との接合に、銀、
銅などの金属フィラーを合成樹脂接着剤に分散混入させ
てなる導電性樹脂接着剤８を用いているので、窓材４と
容器１との間を導通させることができ、好都合である。
においては、例えば人体から発せられた赤外線が窓材４
を通過して赤外線検出素子９の受光部電極１０，１１に
入射すると、リードピン１６からは所定の信号が出力さ
れる。そして、上記従来の赤外線検出器においては、窓
材４の母材５としてシリコン、ゲルマニウムなどの半導
体を用いるとともに、窓材４と容器１との接合に、銀、
銅などの金属フィラーを合成樹脂接着剤に分散混入させ
てなる導電性樹脂接着剤８を用いているので、窓材４と
容器１との間を導通させることができ、好都合である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、焦
電型赤外線検出器においては、容器１内の回路のインピ
ーダンスが例えば１０11Ωというように極めて大きいと
ころから、温度や湿度などの環境の変化に対して、容器
１内の気密性を維持する必要がある。しかしながら、上
述のように、容器１の所定の箇所への窓材４の接着を樹
脂接着剤７，８によって行った従来の焦電型赤外線検出
器においては、過酷な環境の下における試験では、外気
や水分が透過するなどして容器１内に侵入するのを回避
することができず、このため、内部回路における絶縁性
が低下せざるを得ず、信頼性に限界があった。
電型赤外線検出器においては、容器１内の回路のインピ
ーダンスが例えば１０11Ωというように極めて大きいと
ころから、温度や湿度などの環境の変化に対して、容器
１内の気密性を維持する必要がある。しかしながら、上
述のように、容器１の所定の箇所への窓材４の接着を樹
脂接着剤７，８によって行った従来の焦電型赤外線検出
器においては、過酷な環境の下における試験では、外気
や水分が透過するなどして容器１内に侵入するのを回避
することができず、このため、内部回路における絶縁性
が低下せざるを得ず、信頼性に限界があった。
【０００６】なお、上述のような耐環境性は、焦電型赤
外線検出器のみならず、容器１内に熱電堆型赤外線検出
素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他の赤外線
検出器においても同様である。
外線検出器のみならず、容器１内に熱電堆型赤外線検出
素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他の赤外線
検出器においても同様である。
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、長期にわたって良好な気密性を維持すること
ができる赤外線検出器を提供することを目的としてい
る。
たもので、長期にわたって良好な気密性を維持すること
ができる赤外線検出器を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明においては、赤外線透過材料よりなる母材
に波長選択性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、その
上面が赤外線検出素子を収容した容器の上面に形成され
た開口部を囲む上面部と同じ高さとなるよう前記開口部
に対して接合した赤外線検出器であって、前記窓材にお
ける母材の断面部分から母材下面の視野角に寄与しない
部分にわたり、かつ、前記容器の内側に向けてハンダ可
能な金属層を形成するとともに、前記容器の内側にある
窓材接合予定部分をメッキまたはスパッタリングにより
ハンダ可能な表面状態となるよう表面処理し、前記金属
層と前記表面処理が施されている前記窓材接合予定部分
とを前記容器の内側においてハンダにより封着して前記
窓材を前記容器に接合している。
め、この発明においては、赤外線透過材料よりなる母材
に波長選択性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、その
上面が赤外線検出素子を収容した容器の上面に形成され
た開口部を囲む上面部と同じ高さとなるよう前記開口部
に対して接合した赤外線検出器であって、前記窓材にお
ける母材の断面部分から母材下面の視野角に寄与しない
部分にわたり、かつ、前記容器の内側に向けてハンダ可
能な金属層を形成するとともに、前記容器の内側にある
窓材接合予定部分をメッキまたはスパッタリングにより
ハンダ可能な表面状態となるよう表面処理し、前記金属
層と前記表面処理が施されている前記窓材接合予定部分
とを前記容器の内側においてハンダにより封着して前記
窓材を前記容器に接合している。
【０００９】
【作用】上記構成の赤外線検出器における赤外線透過窓
材は、その上面が赤外線検出素子を収容した容器の上面
に形成された開口部を囲む上面部と同じ高さとなるよう
に設けられている。
材は、その上面が赤外線検出素子を収容した容器の上面
に形成された開口部を囲む上面部と同じ高さとなるよう
に設けられている。
【００１０】そして、窓材における少なくとも母材の断
面部分にハンダ可能な金属層が形成されるとともに、容
器における窓材の少なくとも接合予定部分をメッキまた
はスパッタリングによりハンダ可能な表面状態となるよ
う表面処理を施し、金属層と前記表面処理が施されてい
る接合予定部分とをハンダにより封着して前記窓材を前
記容器に接合しているから、気密性が向上するととも
に、窓材と容器との電気的な結合が確実に行われるの
で、電磁気に対するシールド性が向上する。
面部分にハンダ可能な金属層が形成されるとともに、容
器における窓材の少なくとも接合予定部分をメッキまた
はスパッタリングによりハンダ可能な表面状態となるよ
う表面処理を施し、金属層と前記表面処理が施されてい
る接合予定部分とをハンダにより封着して前記窓材を前
記容器に接合しているから、気密性が向上するととも
に、窓材と容器との電気的な結合が確実に行われるの
で、電磁気に対するシールド性が向上する。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の一実施例を、図面を参照し
ながら説明する。なお、以下の各図において、図３およ
び図４に示す符号と同一の符号は、同一物または相当物
を示す。
ながら説明する。なお、以下の各図において、図３およ
び図４に示す符号と同一の符号は、同一物または相当物
を示す。
【００１２】図１は、焦電型赤外線検出器の一例を示
し、図２はその要部を示す。図１、図２において、窓材
４は、その上面が容器１の上面に開設された開口部３を
囲む上面部２と同じ高さ（面一）となるように設けられ
ているとともに、窓材４における母材５の上下両面に形
成された多層膜６Ａ，６Ｂによって挟まれる断面部分５
ａおよび下側の多層膜６Ｂにおける視野角に寄与しない
部分６ｂに、ハンダ可能な金属層２２が形成されてい
る。この場合、視野角に寄与しない部分６ｂとは、赤外
線検出素子９の受光部電極１０，１１の外縁と母材５の
上側の多層膜６Ａとを結ぶ視野角規定ライン２３よりも
外縁側の部分のことをいう。２２は多層膜６Ａ，６Ｂに
よって挟まれる断面部分（側面部）５ａのみならず、下
側の多層膜６Ｂの視野角に寄与しない部分６ｂにも形成
されたハンダ可能な金属層である。この金属層２２は、
母材５の側面部５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂ
の全周に形成される。また、２４は容器１における窓材
４の接合予定部分で、ハンダ可能な表面状態に表面処理
が施されている。なお、接合予定部分２４の表面処理
は、ハンダ部分２５に対応する部分のみを部分的に行っ
てもよいが、容器全体を一括して表面処理するようにし
てもよい。そして、２５は金属層２２と容器１における
接合予定部分２４との間に施されるハンダ部分である。
このハンダ部分２５も、窓材４および視野角に寄与しな
い部分６ｂの全周に施されている。
し、図２はその要部を示す。図１、図２において、窓材
４は、その上面が容器１の上面に開設された開口部３を
囲む上面部２と同じ高さ（面一）となるように設けられ
ているとともに、窓材４における母材５の上下両面に形
成された多層膜６Ａ，６Ｂによって挟まれる断面部分５
ａおよび下側の多層膜６Ｂにおける視野角に寄与しない
部分６ｂに、ハンダ可能な金属層２２が形成されてい
る。この場合、視野角に寄与しない部分６ｂとは、赤外
線検出素子９の受光部電極１０，１１の外縁と母材５の
上側の多層膜６Ａとを結ぶ視野角規定ライン２３よりも
外縁側の部分のことをいう。２２は多層膜６Ａ，６Ｂに
よって挟まれる断面部分（側面部）５ａのみならず、下
側の多層膜６Ｂの視野角に寄与しない部分６ｂにも形成
されたハンダ可能な金属層である。この金属層２２は、
母材５の側面部５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂ
の全周に形成される。また、２４は容器１における窓材
４の接合予定部分で、ハンダ可能な表面状態に表面処理
が施されている。なお、接合予定部分２４の表面処理
は、ハンダ部分２５に対応する部分のみを部分的に行っ
てもよいが、容器全体を一括して表面処理するようにし
てもよい。そして、２５は金属層２２と容器１における
接合予定部分２４との間に施されるハンダ部分である。
このハンダ部分２５も、窓材４および視野角に寄与しな
い部分６ｂの全周に施されている。
【００１３】次に、窓材４の製作手順および窓材４の容
器１への接合手順の一例について説明する。
器１への接合手順の一例について説明する。
【００１４】窓材４の母材５は、シリコン（Ｓｉ）また
はゲルマニウム（Ｇｅ）のような半導体よりなり、例え
ば直径１０１．６ｍｍ（４インチ）、厚さ０．３８ｍｍ
のウェハ状に切り出す。
はゲルマニウム（Ｇｅ）のような半導体よりなり、例え
ば直径１０１．６ｍｍ（４インチ）、厚さ０．３８ｍｍ
のウェハ状に切り出す。
【００１５】公知の蒸着法を用いて、前記ウェハの両面
に高屈折率物質としてのＧｅと低屈折率物質としての硫
化亜鉛（ＺｎＳ）とを数十層重畳する。これによって、
ウェハの表面に波長選択性を有する多層膜が形成され、
光学フィルタが得られる。この場合、多層膜における光
学膜厚や蒸着層数を適宜設定することにより、所望の波
長選択性を有する光学フィルタが得られることはいうま
でもない。
に高屈折率物質としてのＧｅと低屈折率物質としての硫
化亜鉛（ＺｎＳ）とを数十層重畳する。これによって、
ウェハの表面に波長選択性を有する多層膜が形成され、
光学フィルタが得られる。この場合、多層膜における光
学膜厚や蒸着層数を適宜設定することにより、所望の波
長選択性を有する光学フィルタが得られることはいうま
でもない。
【００１６】多層膜が形成されたウェハ（光学フィル
タ）を、ダイシング装置を用い回転刃を高速回転させて
切断することにより、数ｍｍ角のペレット、すなわち、
窓材４に形成する。この小片形状に切断された窓材４
は、図２に示すように、母材５の上下両面が多層膜６
Ａ，６Ｂに挟まれた所謂サンドウィッチ形状を呈してい
る。
タ）を、ダイシング装置を用い回転刃を高速回転させて
切断することにより、数ｍｍ角のペレット、すなわち、
窓材４に形成する。この小片形状に切断された窓材４
は、図２に示すように、母材５の上下両面が多層膜６
Ａ，６Ｂに挟まれた所謂サンドウィッチ形状を呈してい
る。
【００１７】そして、母材５の露出している断面部分５
ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂは、そのままの状
態ではハンダに対する濡れ性がない。そこで、この断面
部分５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂにメッキま
たはスパッタリングによって表面処理を行い、これを金
属層２２とするのである。
ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂは、そのままの状
態ではハンダに対する濡れ性がない。そこで、この断面
部分５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂにメッキま
たはスパッタリングによって表面処理を行い、これを金
属層２２とするのである。
【００１８】前記メッキによる表面処理としては、例え
ばニッケル−リン系、ニッケル−ホウ素系、パラジウム
−リン系のものが金属層２２の付着強度が強く安定して
いる。そして、ハンダに対する濡れ性を一層向上させる
には、前記いずれかによるメッキ後、金メッキで仕上げ
るのもよい。
ばニッケル−リン系、ニッケル−ホウ素系、パラジウム
−リン系のものが金属層２２の付着強度が強く安定して
いる。そして、ハンダに対する濡れ性を一層向上させる
には、前記いずれかによるメッキ後、金メッキで仕上げ
るのもよい。
【００１９】また、前記スパッタリングによって表面処
理を行う場合、例えばニッケル、クローム、銅、金など
の金属をスパッリングによって単層または多層膜として
組み合わせることにより、ハンダに対して濡れ性の良好
なハンダ可能な金属層２２を得ることができる。
理を行う場合、例えばニッケル、クローム、銅、金など
の金属をスパッリングによって単層または多層膜として
組み合わせることにより、ハンダに対して濡れ性の良好
なハンダ可能な金属層２２を得ることができる。
【００２０】なお、上記メッキまたはスパッリングによ
る表面処理で用いる素材またはその組合せは、上記した
ものに限られるものではなく、要するに前記母材５の露
出している断面部分５ａと視野角に寄与しない部分６ｂ
にハンダに対する濡れ性が優れた金属層２２が形成され
ておればよい。
る表面処理で用いる素材またはその組合せは、上記した
ものに限られるものではなく、要するに前記母材５の露
出している断面部分５ａと視野角に寄与しない部分６ｂ
にハンダに対する濡れ性が優れた金属層２２が形成され
ておればよい。
【００２１】一方、前記窓材４が接合される容器１は、
これをハンダに対する濡れ性の良好な金属素材（例えば
ニッケル、コバールなど）をプレス加工によって成形す
るのが好ましいが、ハンダに対する濡れ性が不十分な金
属素材（例えば鉄など）を用いてもよい。どちらの場
合、少なくとも窓材４の接合予定部分２４については、
ハンダ可能な表面状態に表面処理が施されてあればよ
い。この表面処理についても、上記母材５の露出してい
る断面部分５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂの表
面処理に適用されるメッキまたはスパッタリングを同様
に採用すればよい。また、容器全体にこれら表面処理を
施してもよい。
これをハンダに対する濡れ性の良好な金属素材（例えば
ニッケル、コバールなど）をプレス加工によって成形す
るのが好ましいが、ハンダに対する濡れ性が不十分な金
属素材（例えば鉄など）を用いてもよい。どちらの場
合、少なくとも窓材４の接合予定部分２４については、
ハンダ可能な表面状態に表面処理が施されてあればよ
い。この表面処理についても、上記母材５の露出してい
る断面部分５ａおよび視野角に寄与しない部分６ｂの表
面処理に適用されるメッキまたはスパッタリングを同様
に採用すればよい。また、容器全体にこれら表面処理を
施してもよい。
【００２２】上述のようにして形成された窓材４を容器
１の接合予定部分２４に、例えば錫−鉛系のハンダを熱
溶融させることによって、両者を接合するのである。そ
の場合、窓材４の側面部５ａおよび視野角に寄与しない
部分６ｂに形成された金属層２２と容器１における接合
予定部分２４との間にハンダ部分２５が形成されるよう
にするのがよい。そして、このとき、使用するハンダと
しては、ペースト状のクリームハンダ、糸状ハンダ、ペ
レット状の固形ハンダなどがある。また、前記錫−鉛系
のハンダの他、銀を適宜混入したハンダを用いてもよい
ことはいうまでもない。
１の接合予定部分２４に、例えば錫−鉛系のハンダを熱
溶融させることによって、両者を接合するのである。そ
の場合、窓材４の側面部５ａおよび視野角に寄与しない
部分６ｂに形成された金属層２２と容器１における接合
予定部分２４との間にハンダ部分２５が形成されるよう
にするのがよい。そして、このとき、使用するハンダと
しては、ペースト状のクリームハンダ、糸状ハンダ、ペ
レット状の固形ハンダなどがある。また、前記錫−鉛系
のハンダの他、銀を適宜混入したハンダを用いてもよい
ことはいうまでもない。
【００２３】この実施例においては、窓材４は、容器１
の上面に開設された開口部３を囲む上面部２と同じ高さ
（面一）となるように設けられる。金属層２２と容器１
の接合予定部分２４との間に、例えば錫−鉛系のハンダ
を熱溶融させることによって、窓材４と容器１とを接合
するのである。その場合、窓材４の側部断面部分５ａお
よび多層膜６Ｂにおける視野角に寄与しない部分６ｂに
わたって形成された金属層２２と容器１の接合予定部分
２４とにわたってハンダ部分２５が形成される。
の上面に開設された開口部３を囲む上面部２と同じ高さ
（面一）となるように設けられる。金属層２２と容器１
の接合予定部分２４との間に、例えば錫−鉛系のハンダ
を熱溶融させることによって、窓材４と容器１とを接合
するのである。その場合、窓材４の側部断面部分５ａお
よび多層膜６Ｂにおける視野角に寄与しない部分６ｂに
わたって形成された金属層２２と容器１の接合予定部分
２４とにわたってハンダ部分２５が形成される。
【００２４】上述のように構成された赤外線検出器にお
いては、窓材４と容器１とが接合され、しかも、窓材４
側に、ハンダの濡れ性のよい金属層２２が窓材４の側部
断面部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角に寄与し
ない部分６ｂにわたって形成されているので、ハンダ部
分２５と窓材４との接合面積が大きい。したがって、窓
材４は、容器１の上面に開設された開口部３を囲む上面
部２と同じ高さ（面一）となるように設けられている
が、窓材４と容器１とがより強固かつ確実に接合される
上に、従来の焦電型赤外線検出器に比べて、容器１の気
密性が向上する。更に、窓材４と容器１との電気的な結
合がハンダ部分２５を介して確実に行われるので、電磁
気に対するシールドが良好に行われる。
いては、窓材４と容器１とが接合され、しかも、窓材４
側に、ハンダの濡れ性のよい金属層２２が窓材４の側部
断面部分５ａおよび多層膜６Ｂにおける視野角に寄与し
ない部分６ｂにわたって形成されているので、ハンダ部
分２５と窓材４との接合面積が大きい。したがって、窓
材４は、容器１の上面に開設された開口部３を囲む上面
部２と同じ高さ（面一）となるように設けられている
が、窓材４と容器１とがより強固かつ確実に接合される
上に、従来の焦電型赤外線検出器に比べて、容器１の気
密性が向上する。更に、窓材４と容器１との電気的な結
合がハンダ部分２５を介して確実に行われるので、電磁
気に対するシールドが良好に行われる。
【００２５】この発明は、母材５の片面にのみ多層膜が
形成された窓材４にも適用できることはいうまでもな
い。
形成された窓材４にも適用できることはいうまでもな
い。
【００２６】また、この発明は、容器１内に熱電堆型赤
外線検出素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他
の赤外線検出器にも適用できることはいうまでもない。
外線検出素子を収容した熱電堆型赤外線検出器やその他
の赤外線検出器にも適用できることはいうまでもない。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、窓材と容器との接合が緊密に行われるので、従
来の合成樹脂接着剤による窓材と容器との接着に比べ、
気密性が大幅に向上するとともに、窓材の母材と容器と
が、母材の断面部分に形成されたハンダ可能な金属層と
容器においてハンダ可能な表面状態となるよう表面処理
が施されている接合予定部分とをハンダにより封着する
ことで電気的に結合されるので、電磁気に対するシール
ド性が向上する。したがって、長期間にわたって安定に
動作する赤外線検出器を得ることができる。
よれば、窓材と容器との接合が緊密に行われるので、従
来の合成樹脂接着剤による窓材と容器との接着に比べ、
気密性が大幅に向上するとともに、窓材の母材と容器と
が、母材の断面部分に形成されたハンダ可能な金属層と
容器においてハンダ可能な表面状態となるよう表面処理
が施されている接合予定部分とをハンダにより封着する
ことで電気的に結合されるので、電磁気に対するシール
ド性が向上する。したがって、長期間にわたって安定に
動作する赤外線検出器を得ることができる。
【図１】この発明の一実施例に係る焦電型赤外線検出器
の一例を示す断面図である。
の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示す焦電型赤外線検出器の要部を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
【図３】従来例の焦電型赤外線検出器を示す断面図であ
る。
る。
【図４】図３に示す焦電型赤外線検出器の要部を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
１…容器、３…開口部、４…赤外線透過窓材、５…母
材、５ａ…母材の断面部分、６Ａ，６Ｂ…波長選択性多
層膜、６ｂ…視野角に寄与しない部分、９…赤外線検出
素子、２２…金属層、２４…接合予定部分、２５…ハン
ダ部分。
材、５ａ…母材の断面部分、６Ａ，６Ｂ…波長選択性多
層膜、６ｂ…視野角に寄与しない部分、９…赤外線検出
素子、２２…金属層、２４…接合予定部分、２５…ハン
ダ部分。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高田 秀次 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (56)参考文献 特開 昭64−39528（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−35317（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−164430（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 赤外線透過材料よりなる母材に波長選択
性多層膜を形成した赤外線透過窓材を、その上面が赤外
線検出素子を収容した容器の上面に形成された開口部を
囲む上面部と同じ高さとなるよう前記開口部に対して接
合した赤外線検出器であって、前記窓材における母材の
断面部分から母材下面の視野角に寄与しない部分にわた
り、かつ、前記容器の内側に向けてハンダ可能な金属層
を形成するとともに、前記容器の内側にある窓材接合予
定部分をメッキまたはスパッタリングによりハンダ可能
な表面状態となるよう表面処理し、前記金属層と前記表
面処理が施されている前記窓材接合予定部分とを前記容
器の内側においてハンダにより封着して前記窓材を前記
容器に接合したことを特徴とする赤外線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5341291A JP3047379B2 (ja) | 1992-12-30 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36107092 | 1992-12-30 | ||
| JP4-361070 | 1992-12-30 | ||
| JP5341291A JP3047379B2 (ja) | 1992-12-30 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249709A JPH06249709A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3047379B2 true JP3047379B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=26576939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5341291A Expired - Fee Related JP3047379B2 (ja) | 1992-12-30 | 1993-12-11 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3047379B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08178746A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Ngk Insulators Ltd | 遠赤外線感知器 |
| JP3189653B2 (ja) * | 1995-12-12 | 2001-07-16 | 株式会社村田製作所 | 赤外線センサの製造方法 |
| JP2010177298A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
| JP6671860B2 (ja) | 2015-04-28 | 2020-03-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| JP6713589B1 (ja) * | 2020-03-04 | 2020-06-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132337Y2 (ja) * | 1981-04-08 | 1986-09-20 | ||
| JPS6135317A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤外線透過窓の封着方法 |
| JPH0695050B2 (ja) * | 1987-08-06 | 1994-11-24 | 松下電器産業株式会社 | 赤外線透過窓の封着方法 |
-
1993
- 1993-12-11 JP JP5341291A patent/JP3047379B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06249709A (ja) | 1994-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6498422B1 (en) | Electronic component such as an saw device and method for producing the same | |
| US4737742A (en) | Unit carrying surface acoustic wave devices | |
| US6844606B2 (en) | Surface-mount package for an optical sensing device and method of manufacture | |
| WO2006120862A1 (ja) | 赤外線センサおよびその製造方法 | |
| JP3047379B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
| JP3210795B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
| US5545849A (en) | Electronic component device and its manufacturing method | |
| JPH09311072A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JP3304193B2 (ja) | 赤外線検出器における窓材およびその接合方法 | |
| JP3495246B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ | |
| JPH09178549A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JP3223461B2 (ja) | 焦電素子 | |
| JPH06201454A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPH11211555A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPH10178330A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH10170337A (ja) | ゲルマニウム赤外線透過窓、その製造方法およびそれを用いた赤外線センサ用気密封止パッケージ | |
| JPH104152A (ja) | 電子部品 | |
| KR19990072152A (ko) | 표면 음파로 동작하는 전기 소자 및 제조 방법 | |
| JPH0422277Y2 (ja) | ||
| JP2003032071A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JP3285765B2 (ja) | 光半導体素子収納用パッケージ | |
| JP2000171294A (ja) | シリコン赤外線透過窓、その製造方法および赤外線検知素子用気密パッケージ | |
| JPH0884042A (ja) | パッケージ部材 | |
| JPH05326734A (ja) | 光機能素子用チップキャリア | |
| JP3285768B2 (ja) | 光半導体素子収納用パッケージ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |