JP3189653B2 - 赤外線センサの製造方法 - Google Patents

赤外線センサの製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は非接触型温度検知や
人体検知などを行う際に用いられる赤外線センサの製造
方法に係り、詳しくは、赤外線フィルタとケース体の開
口窓とを接着固定する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の赤外線センサのうちには図6で
要部構造のみを簡略化して示すようなものがあり、第1
従来例であるところの赤外線センサは、平面視矩形状と
された平板形状の赤外線フィルタ1と、この赤外線フィ
ルタ1の外表面を外部に向かって露出させる平面視矩形
状の開口窓2が段部3を介して形成され、かつ、内部に
はセンサ素子(図示せず)が配設される金属製のケース
体4とを具備している。そして、この際における赤外線
フィルタ1は内外表面上に絶縁層(図示せず)が被着形
成されたものであり、この赤外線フィルタ1の端面はカ
ーボンを含有したエポキシ系樹脂などのような導電接着
剤5を用いることによって段部3の内側面に対して接着
固定されている。
【0003】また、他の赤外線フィルタとしては図7で
要部構造を示すようなものがあり、第2従来例としての
赤外線センサは、上記同様の赤外線フィルタ1と、この
赤外線フィルタ1を収納する平面視矩形状の開口窓6が
形成されたケース体7とを具備している。そして、この
際における赤外線センサを構成する赤外線フィルタ1
は、導電接着剤5を用いたうえで開口窓6の端面に対し
て接着固定されている。なお、これら赤外線フィルタ1
及び段部3、開口窓6それぞれの平面視形状が矩形状に
限られることはなく、例えば、円形状などであってもよ
いことは勿論である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、第1及び第
2従来例に係る赤外線センサを製造する場合、第1及び
第2従来例に係る赤外線センサを構成する赤外線フィル
タ1の端面と、段部3の内側面または開口窓6の端面と
を導電接着剤5でもって接着固定する際には、これらの
内側面や端面で挟まれることによって形成された隙間S
内に周知のディスペンサ(図示せず)を用いたうえで導
電接着剤5を直接的に注入したり、ケース体4(7)の
内表面上に粘度の低い導電接着剤5を予め塗布しておい
たうえ、導電接着剤5の自己流動性を利用することによ
って隙間S内に流し込んだりすることが行われる。な
お、ここで、注入用としての導電接着剤5を作製する際
にはハイストラクチュアなカーボンをエポキシ系樹脂に
含有させる一方、流し込み用としての粘度が低い導電接
着剤5を作製する際にはエポキシ系樹脂に対してロース
トラクチュアなカーボンを含有させるのが一般的であ
る。
【0005】しかしながら、導電接着剤5を直接的に注
入することによっての接着固定を行う場合には、ディス
ペンサに対する隙間Sの位置精度を確保する必要がある
都合上、接着装置(図示せず)の構成が複雑となって費
用が高くつくという不都合が生じる。そして、位置精度
が不十分であれば、赤外線フィルタ1の表面上にまで導
電接着剤5が付着することになり、センサ機能の低下を
招くことになる。
【0006】一方、粘度の低い導電接着剤5の流し込み
による接着固定を行う場合には、ディスペンサの使用に
伴う不都合が生じないものの、作業時条件によっては導
電接着剤5が隙間S内に流れ込まないことも起こりかね
ず、赤外線センサにおける封止状態が不十分となってし
まう。さらに、十分な封止状態を確保すべく多量の導電
接着剤5を使用した場合には、赤外線フィルタ1の表面
上にまで導電接着剤5がにじみだして付着することにな
りかねず、やはりセンサ機能が低下することになってい
た。
【0007】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであって、導電接着剤の自己流動性を利用しな
がらの流し込みによって十分な封止状態を確保すること
ができ、センサ機能の低下を招く恐れがない赤外線セン
の製造方法の提供を目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
赤外線センサの製造方法は、平板形状の赤外線フィルタ
と、この赤外線フィルタの外表面を外部に向かって露出
させる開口窓が段部を介して形成されたケース体とを具
備しており、かつ、赤外線フィルタの端面と段部の内側
面とが接着固定されたものであって、段部が形成された
ケース体の内表面上には段部の内側面でもって開口した
凹溝部が形成されており、この凹溝部に沿ってケース体
の内表面上に塗布された導電接着剤を赤外線フィルタの
端面と段部の内側面とで挟まれた隙間に向かって導入
ることを特徴としている。そして、請求項2に係る赤外
線センサを構成する赤外線フィルタ及び段部のそれぞれ
はともに平面視矩形状に形成され、凹溝部は段部の角部
と対応する位置に形成されており、この凹溝部に沿って
導電接着剤を導入する
【0009】また、請求項3に係る赤外線センサの製造
方法は、平板形状の赤外線フィルタと、この赤外線フィ
ルタを収納する開口窓が形成されたケース体とを具備し
ており、かつ、赤外線フィルタの端面と開口窓の端面と
が接着固定されたものであって、開口窓の端面に沿うケ
ース体の内表面上には開口窓の端面でもって開口した凹
溝部が形成されており、この凹溝部に沿ってケース体の
内表面上に塗布された導電接着剤を赤外線フィルタの端
面と開口窓の端面とで挟まれた隙間に向かって導入する
ことを特徴としている。さらに、請求項4に係る赤外線
センサの製造方法は、赤外線センサを構成する赤外線フ
ィルタ及び開口窓のそれぞれはともに平面視矩形状に形
成され、凹溝部は開口窓の角部と対応する位置に形成さ
れており、この凹溝部に沿って導電接着剤を導入する
【0010】一方、請求項5に係る赤外線センサの製造
方法は、平板形状の赤外線フィルタと、この赤外線フィ
ルタを収納する開口窓が形成されたケース体とを具備し
ており、かつ、赤外線フィルタの端面と開口窓の端面と
が接着固定されたものであって、開口窓の端面に沿うケ
ース体の所定位置には開口窓の端面でもって開口したス
リット部が形成されており、このスリット部に沿って
ース体の内表面上に塗布された導電接着剤を赤外線フィ
ルタの端面と開口窓の端面とで挟まれた隙間に向かって
導入することを特徴としている。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【0012】図1は第1実施形態に係る赤外線センサの
製造方法で製造される赤外線センサの要部構造を分解し
て示す断面図、図2はその要部を拡大して示す説明図で
あり、図3は第2実施形態に係る赤外線センサの製造方
法で製造される赤外線センサの要部構造を分解して示す
断面図、図4はその要部を拡大して示す説明図、図5は
その要部の変形例を示す説明図である。なお、これら赤
外線センサの全体構造は従来例と基本的に異ならないの
で、図1ないし図5において図6及び図7と互いに同一
もしくは相当する部品、部分には同一符号を付し、ここ
での詳しい説明は省略する。
【0013】第1実施形態に係る赤外線センサの製造方
法で製造される赤外線センサは、図6で示す第1従来例
と対応したものであり、平板形状の赤外線フィルタ1
と、この赤外線フィルタ1の外表面を外部に向かって露
出させる開口窓2が段部3を介して形成され、かつ、内
部にはセンサ素子(図示せず)が配設される金属製のケ
ース体4とを具備している。そして、これら赤外線フィ
ルタ1、開口窓2及び段部3のそれぞれはともに平面視
矩形状とされたものであり、赤外線フィルタ1の端面と
段部3の内側面とは導電接着剤5を用いることによって
接着固定されている。なお、これら赤外線フィルタ1及
び段部3、開口窓6それぞれの平面視形状が矩形状に限
られることはなく、例えば、円形状などであってもよい
ことは勿論である。
【0014】また、この際、段部3が形成されたケース
体4の内表面上には段部3の内側面でもって開口した凹
溝部10が形成されており、これらの凹溝部10はケー
ス体4の内表面上に塗布された粘度の低い導電接着剤、
例えば、ローストラクチュアなカーボンをエポキシ系樹
脂に含有させてなる導電接着剤5を赤外線フィルタ1の
端面と段部3の内側面とで挟まれた隙間Sに向かって導
入するものとなっている。そして、これら凹溝部10の
それぞれは、段部3が赤外線フィルタ1と相似の平面視
矩形状を有していることに伴って段部3の角部と対応す
る位置ごとに形成されたうえ、導電接着剤5を赤外線フ
ィルタ1の端面角部へと向かって導入するものとなって
いる。
【0015】ところで、凹溝部10の個数や形成位置が
限定される必然性はなく、図示していないが、平面視矩
形状を有する段部3の辺部それぞれと直交する位置ごと
に凹溝部10を形成しておくことも可能である。さら
に、図示省略しているが、各凹溝部10の横断面形状が
矩形状ではなくて半円形状や三角形状であってもよく、
また、各凹溝部10の底面深さが開口面である段部3の
内側面へと近づくほど深くなってもよいことは勿論であ
る。しかしながら、図1及び図2で示すように、段部3
の角部と対応する位置ごとに凹溝部10を形成しておけ
ば、赤外線フィルタ1及び段部3の角部同士間の隙間S
が最も狭くなりがちという加工及び組み立て上の理由か
ら最も好都合となる。
【0016】すなわち、この実施形態に係る赤外線セン
サの製造方法を採用した場合、ケース体4の内表面上に
塗布された粘度の低い導電接着剤5は選択的に凹溝部1
0内へと流れ込むことになり、各凹溝部10に沿って流
れた導電接着剤5は開口部分、つまり、段部3の内側面
に開口した各凹溝部10の開口部分にまで到達したう
え、表面張力の作用を受けながら赤外線フィルタ1の端
面へと向かって膨れ出す。そして、導電接着剤5は膨れ
出したうえで赤外線フィルタ1の端面に接触することに
なり、赤外線フィルタ1の端面に接触した導電接着剤5
は赤外線フィルタ1の端面及び段部3の内側面で挟まれ
た隙間S内へと引き込まれる。その結果、隙間S内は流
れ込んだ導電接着剤5によって完全に満たされているこ
とになり、赤外線フィルタ1の端面と段部3の内側面と
は導電接着剤5を用いたうえで完全に接着固定されてい
ることになる。
【0017】つぎに、本発明の第2実施形態に係る赤外
線センサについて説明する。
【0018】第2実施形態に係る赤外線センサの製造方
法で製造される赤外線センサは、図7で示す第2従来例
と対応した構造を有しており、上記同様の赤外線フィル
タ1と、この赤外線フィルタ1を収納し、かつ、その外
表面を外部に向かって露出させる平面視矩形状の開口窓
6が形成されたケース体7とを具備している。そして、
この際における赤外線フィルタ1の端面と開口窓6の端
面とは、粘度の低い導電接着剤5を用いることによって
接着固定されている。また、ここでの開口窓6に沿うケ
ース体4の内表面上には開口窓6の端面でもって開口し
た凹溝部11が形成されており、これらの凹溝部11は
ケース体4の内表面上に塗布された粘度の低い導電接着
剤5を赤外線フィルタ1の端面と開口窓6の端面とで挟
まれた隙間Sに向かって導入するものとなっている。
【0019】すなわち、この実施形態に係る赤外線セン
サの製造方法で製造される赤外線センサは、赤外線フィ
ルタ1及び開口窓6のそれぞれがともに平面視矩形状を
有することになっているので、これらの凹溝部11はケ
ース体4の内表面上における開口窓6の角部と対応する
位置ごとに形成されている。しかしながら、これら凹溝
部11の個数や形成位置、その横断面形状が上記に限定
されないことは、第1実施形態に係る赤外線センサの場
合と同様である。ところで、この実施形態においては、
開口窓6の端面でもって開口した凹溝部11を開口窓6
に沿うケース体4の内表面上に形成しているが、図5の
変形例で示すように、これらの凹溝部11に代わるスリ
ット部12を形成しておいてもよく、スリット部12に
よっても凹溝部11と同様の作用が得られることは勿論
である。
【0020】そして、この第2実施形態に係る赤外線セ
ンサの製造方法を採用した場合にも、ケース体4の内表
面上に塗布された導電接着剤5は選択的に凹溝部11
(またはスリット部12)内へと流れ込み、各凹溝部1
0の開口部分にまで到達した導電接着剤5は表面張力の
作用を受けることによって赤外線フィルタ1の端面及び
開口窓6の端面で挟まれた隙間S内へと引き込まれるこ
とになる。その結果、隙間S内は流れ込んだ導電接着剤
5によって完全に満たされており、赤外線フィルタ1の
端面と開口窓6の端面とは導電接着剤5を用いたうえで
完全に接着固定されたことになる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る赤外
線センサの製造方法によれば、自己流動性を有する導電
接着剤はケース体の凹溝部またはスリット部を選択して
流れ込むことになり、凹溝部またはスリット部に沿って
流れたうえで隙間内を完全に満たすことになる。したが
って、導電接着剤の自己流動性を利用しながらの流し込
みによって接着固定された赤外線フィルタとケース体と
の十分な封止状態を確保することが可能となり、センサ
機能の低下というような不都合が発生することを防止で
きるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る赤外線センサの要部構造を
分解して示す断面図である。
【図2】その要部を拡大して示す説明図である。
【図3】第2実施形態に係る赤外線センサの要部構造を
分解して示す断面図である。
【図4】その要部を拡大して示す説明図である。
【図5】その要部の変形例を示す説明図である。
【図6】第1従来例に係る赤外線センサの要部構造を簡
略化して示す断面図である。
【図7】第2従来例に係る赤外線センサの要部構造を示
す断面図である。
【符号の説明】
1 赤外線フィルタ 2 開口窓 3 段部 4 ケース体 5 導電接着剤 10 凹溝部 S 隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01J 1/02 - 1/04 G01J 5/02 H01L 23/02 - 23/04 H01L 31/00 - 31/02 H01L 31/08 H01L 37/00 - 37/02

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平板形状の赤外線フィルタと、この赤外
    線フィルタの外表面を外部に向かって露出させる開口窓
    が段部を介して形成されたケース体とを具備しており、
    かつ、赤外線フィルタの端面と段部の内側面とが接着固
    定されてなる赤外線センサの製造方法であって、 段部が形成されたケース体の内表面上には段部の内側面
    でもって開口した凹溝部が形成されており、この凹溝部
    に沿ってケース体の内表面上に塗布された導電接着剤を
    赤外線フィルタの端面と段部の内側面とで挟まれた隙間
    に向かって導入することを特徴とする赤外線センサの製
    造方法
  2. 【請求項2】 赤外線フィルタ及び段部のそれぞれはと
    もに平面視矩形状に形成され、凹溝部は段部の角部と対
    応する位置に形成されており、この凹溝部に沿って導電
    接着剤を導入することを特徴とする請求項1記載の赤外
    線センサの製造方法
  3. 【請求項3】 平板形状の赤外線フィルタと、この赤外
    線フィルタを収納する開口窓が形成されたケース体とを
    具備しており、かつ、赤外線フィルタの端面と開口窓の
    端面とが接着固定されてなる赤外線センサの製造方法
    あって、 開口窓の端面に沿うケース体の内表面上には開口窓の端
    面でもって開口した凹溝部が形成されており、この凹溝
    に沿ってケース体の内表面上に塗布された導電接着剤
    を赤外線フィルタの端面と開口窓の端面とで挟まれた隙
    間に向かって導入することを特徴とする赤外線センサ
    製造方法
  4. 【請求項4】 赤外線フィルタ及び開口窓のそれぞれは
    ともに平面視矩形状に形成され、凹溝部は開口窓の角部
    と対応する位置に形成されており、この凹溝部に沿って
    導電接着剤を導入することを特徴とする請求項3記載の
    赤外線センサの製造方法
  5. 【請求項5】 平板形状の赤外線フィルタと、この赤外
    線フィルタを収納する開口窓が形成されたケース体とを
    具備しており、かつ、赤外線フィルタの端面と開口窓の
    端面とが接着固定されてなる赤外線センサの製造方法
    あって、 開口窓の端面に沿うケース体の所定位置には開口窓の端
    面でもって開口したスリット部が形成されており、この
    スリット部に沿ってケース体の内表面上に塗布された導
    電接着剤を赤外線フィルタの端面と開口窓の端面とで挟
    まれた隙間に向かって導入することを特徴とする赤外線
    センサの製造方法
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6348650B1 (en) * 1999-03-24 2002-02-19 Ishizuka Electronics Corporation Thermopile infrared sensor and process for producing the same
US6874377B2 (en) 1999-11-10 2005-04-05 Honeywell International Inc. Sensor package for flush mounting of a sensor
US6795260B2 (en) 1999-12-09 2004-09-21 Contraves Space Ag Optical unit and its use
KR100492575B1 (ko) * 2002-08-17 2005-06-03 엘지전자 주식회사 좁은 수광각을 갖는 써모파일 적외선 센서
JP2004170214A (ja) * 2002-11-19 2004-06-17 Denso Corp センサ装置及びその製造方法
JP4525000B2 (ja) * 2003-05-09 2010-08-18 ソニー株式会社 光学装置、レンズ鏡筒及び撮像装置
JP4824461B2 (ja) * 2006-04-28 2011-11-30 日立マクセル株式会社 カメラモジュール
GB2449596B (en) 2006-03-22 2011-04-20 Murata Manufacturing Co Infrared sensor and method for manufacturing infrared sensor
JP4456628B2 (ja) * 2007-11-22 2010-04-28 パナソニック電工株式会社 熱線センサ付き自動スイッチ
JP5093324B2 (ja) * 2010-10-08 2012-12-12 カシオ計算機株式会社 固体撮像素子ユニット及びその製造方法並びに撮像装置
WO2014010370A1 (ja) * 2012-07-10 2014-01-16 株式会社村田製作所 光学センサおよびその製造方法
CN104614086B (zh) * 2015-03-06 2017-05-03 上海新微技术研发中心有限公司 气压式温度传感器及其制作方法
DE102020205708A1 (de) 2020-05-06 2021-11-11 Deere & Company Sensoranordnung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2080614B (en) * 1980-07-16 1984-07-04 Philips Electronic Associated Bolometric detector
JPS6348424A (ja) * 1986-08-18 1988-03-01 Horiba Ltd 光学的検出器における窓材の取り付け方法
JPH0695050B2 (ja) * 1987-08-06 1994-11-24 松下電器産業株式会社 赤外線透過窓の封着方法
JPH051946A (ja) * 1991-06-25 1993-01-08 Murata Mfg Co Ltd 焦電型赤外線センサの製造方法
JPH05248941A (ja) * 1992-03-03 1993-09-28 Fujitsu Ltd 電子冷却型赤外線検知器
JP3047379B2 (ja) * 1992-12-30 2000-05-29 株式会社堀場製作所 赤外線検出器
DE9419603U1 (de) * 1994-12-05 1995-02-02 Opto Tech Corp Ebene Weitwinkel-Montagestruktur für Infrarotwärmesensorelemente

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