JPH051946A - 焦電型赤外線センサの製造方法 - Google Patents
焦電型赤外線センサの製造方法Info
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- JPH051946A JPH051946A JP3181781A JP18178191A JPH051946A JP H051946 A JPH051946 A JP H051946A JP 3181781 A JP3181781 A JP 3181781A JP 18178191 A JP18178191 A JP 18178191A JP H051946 A JPH051946 A JP H051946A
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- optical filter
- infrared sensor
- pyroelectric infrared
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学フィルタをキャンの窓部に取り付けると
同時に、両者を電気的に導通させることを可能にして、
製造工程を簡略化する。 【構成】 導体からなるキャン１の底部の、光学フィル
タ２を取り付けるべき窓部１ａの周縁に導電性接着剤３
を塗布し、その上から窓部１ａを覆うように光学フィル
タ２を載置した後、導電性接着剤３を硬化させることに
より、光学フィルタ２をキャン１に接着固定して、窓部
１ａを密封するとともに、光学フィルタ２とキャン１と
を電気的に導通させる。
同時に、両者を電気的に導通させることを可能にして、
製造工程を簡略化する。 【構成】 導体からなるキャン１の底部の、光学フィル
タ２を取り付けるべき窓部１ａの周縁に導電性接着剤３
を塗布し、その上から窓部１ａを覆うように光学フィル
タ２を載置した後、導電性接着剤３を硬化させることに
より、光学フィルタ２をキャン１に接着固定して、窓部
１ａを密封するとともに、光学フィルタ２とキャン１と
を電気的に導通させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、焦電型赤外線センサ
の製造方法に関し、詳しくは、キャンへの光学フィルタ
の取り付け方法に特徴を有する焦電型赤外線センサの製
造方法に関する。
の製造方法に関し、詳しくは、キャンへの光学フィルタ
の取り付け方法に特徴を有する焦電型赤外線センサの製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の焦電型赤外線センサを示
す斜視図であり、図７は、その回路構成を示す図であ
る。図６に示すように、この焦電型赤外線センサ２１を
製造するにあたっては、まず、上面に電極２６が形成さ
れた基板２２を、端子２７を有する金属製のステム２８
上に載置し、クリームはんだ（図示せず）を所定の位置
に塗布した後、焦電体２３ａに電極２３ｂを形成した焦
電素子２３、該焦電素子２３と並列に接続される抵抗チ
ップ（リーク用抵抗）２４及びＦＥＴ２５を基板２２上
に配設し、リフローすることにより、ステムピン２７
ａ，抵抗チップ２４，ＦＥＴ２５を電極２６にはんだ付
けする。それから、目的の波長を通すシリコン系材料な
どからなる光学フィルタ（窓）２９を取り付けた金属製
のキャン３０をステム２８に溶接することにより、各素
子が配設された基板２２をステム２８とキャン３０によ
り形成される空間内に封止することにより焦電型赤外線
センサ２１が組み立てられる。
す斜視図であり、図７は、その回路構成を示す図であ
る。図６に示すように、この焦電型赤外線センサ２１を
製造するにあたっては、まず、上面に電極２６が形成さ
れた基板２２を、端子２７を有する金属製のステム２８
上に載置し、クリームはんだ（図示せず）を所定の位置
に塗布した後、焦電体２３ａに電極２３ｂを形成した焦
電素子２３、該焦電素子２３と並列に接続される抵抗チ
ップ（リーク用抵抗）２４及びＦＥＴ２５を基板２２上
に配設し、リフローすることにより、ステムピン２７
ａ，抵抗チップ２４，ＦＥＴ２５を電極２６にはんだ付
けする。それから、目的の波長を通すシリコン系材料な
どからなる光学フィルタ（窓）２９を取り付けた金属製
のキャン３０をステム２８に溶接することにより、各素
子が配設された基板２２をステム２８とキャン３０によ
り形成される空間内に封止することにより焦電型赤外線
センサ２１が組み立てられる。
【０００３】しかし、上記の光学フィルタ２９は半導体
であって、電荷をためる可能性があり、もし電荷が光学
フィルタ２９にたまると赤外線センサとしての特性を劣
化させたり、誤動作の原因になったりするおそれがある
ため、アースと接続するキャン３０に電気的に接続する
ようにしている。
であって、電荷をためる可能性があり、もし電荷が光学
フィルタ２９にたまると赤外線センサとしての特性を劣
化させたり、誤動作の原因になったりするおそれがある
ため、アースと接続するキャン３０に電気的に接続する
ようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そして、上記従来の焦
電型赤外線センサ２１において、キャンの窓部に光学フ
ィルタを取り付けるにあたっては、図８，図９に示すよ
うに、まず、キャン３０の底部の窓部３０ａの周囲に接
着剤３１を塗布し、図１０，図１１に示すように、該接
着剤３１の上に光学フィルタ２９を載置した後、接着剤
３１を硬化させることにより、キャン３０の窓部３０ａ
に光学フィルタ２９を接着固定する。それから、図１
２，図１３に示すように、光学フィルタ２９の周囲に導
電ペースト３２を塗布し、これを硬化させることによ
り、光学フィルタ２９とキャン３０とを電気的に導通さ
せている。
電型赤外線センサ２１において、キャンの窓部に光学フ
ィルタを取り付けるにあたっては、図８，図９に示すよ
うに、まず、キャン３０の底部の窓部３０ａの周囲に接
着剤３１を塗布し、図１０，図１１に示すように、該接
着剤３１の上に光学フィルタ２９を載置した後、接着剤
３１を硬化させることにより、キャン３０の窓部３０ａ
に光学フィルタ２９を接着固定する。それから、図１
２，図１３に示すように、光学フィルタ２９の周囲に導
電ペースト３２を塗布し、これを硬化させることによ
り、光学フィルタ２９とキャン３０とを電気的に導通さ
せている。
【０００５】このように、上記従来の焦電型赤外線セン
サ２１では、光学フィルタ２９をキャン３０に固定し、
かつ両者を電気的に導通させるために、接着剤３１を塗
布し、その上に光学フィルタ２９を載置して、接着剤を
硬化させる工程（接着工程）の後に、さらに、導電ペー
スト３２を塗布して、これを硬化させる工程（電気的接
続工程）を必要とし、製造工程が複雑になって、製造コ
ストの増大を招くという問題点がある。
サ２１では、光学フィルタ２９をキャン３０に固定し、
かつ両者を電気的に導通させるために、接着剤３１を塗
布し、その上に光学フィルタ２９を載置して、接着剤を
硬化させる工程（接着工程）の後に、さらに、導電ペー
スト３２を塗布して、これを硬化させる工程（電気的接
続工程）を必要とし、製造工程が複雑になって、製造コ
ストの増大を招くという問題点がある。
【０００６】この発明は上記問題点を解決するものであ
り、光学フィルタをキャンの窓部に取り付けると同時
に、両者を電気的に導通させることが可能で、製造工程
を簡略化して製造コストを低減することができる焦電型
赤外線センサの製造方法を提供することを目的とする。
り、光学フィルタをキャンの窓部に取り付けると同時
に、両者を電気的に導通させることが可能で、製造工程
を簡略化して製造コストを低減することができる焦電型
赤外線センサの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の焦電型赤外線センサの製造方法は、電極
が形成された基板上に、焦電素子、抵抗チップ、ＦＥＴ
などの素子を配設し、該素子を光学フィルタを取り付け
たキャンで封止してなる焦電型赤外線センサの製造方法
において、導体からなるキャンの底部の、光学フィルタ
を取り付けるべき窓部の周囲に導電性接着剤を塗布し、
その上から窓部を覆うように光学フィルタを載置した
後、該導電性接着剤を硬化させることにより、該光学フ
ィルタをキャンに接着固定して、該窓部を密封するとと
もに、該光学フィルタとキャンとを電気的に導通させる
ことを特徴とする。
に、この発明の焦電型赤外線センサの製造方法は、電極
が形成された基板上に、焦電素子、抵抗チップ、ＦＥＴ
などの素子を配設し、該素子を光学フィルタを取り付け
たキャンで封止してなる焦電型赤外線センサの製造方法
において、導体からなるキャンの底部の、光学フィルタ
を取り付けるべき窓部の周囲に導電性接着剤を塗布し、
その上から窓部を覆うように光学フィルタを載置した
後、該導電性接着剤を硬化させることにより、該光学フ
ィルタをキャンに接着固定して、該窓部を密封するとと
もに、該光学フィルタとキャンとを電気的に導通させる
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】この発明の焦電型赤外線センサの製造方法にお
いては、キャンの窓部の周囲に塗布された導電性接着剤
により、光学フィルタがキャンに接着固定され、窓部が
密封されるとともに、導電性接着剤を介して、光学フィ
ルタとキャンとが電気的に導通する。
いては、キャンの窓部の周囲に塗布された導電性接着剤
により、光学フィルタがキャンに接着固定され、窓部が
密封されるとともに、導電性接着剤を介して、光学フィ
ルタとキャンとが電気的に導通する。
【０００９】したがって、従来の製造方法では二つの工
程で行われていた、光学フィルタのキャンへの接着と、
光学フィルタとキャンとの電気的接続とを、一つの工程
で行うことが可能になり、製造工程を簡略化して、製造
コストを低減することができる。
程で行われていた、光学フィルタのキャンへの接着と、
光学フィルタとキャンとの電気的接続とを、一つの工程
で行うことが可能になり、製造工程を簡略化して、製造
コストを低減することができる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。この実施例にかかる焦電型赤外線センサの構造
は、図６に示した従来の焦電型赤外線センサ２１と同様
であるため、この実施例では、発明の特徴部分であるキ
ャンの窓部に光学フィルタを取り付ける工程について図
１〜図５を参照しつつ詳しく説明する。この発明の焦電
型赤外線センサにおいて、キャン１の底部には、図１に
示すように、光学フィルタ２（図４，図５）を取り付け
るべき長方形の窓部１ａが形成されている。この窓部１
ａに光学フィルタ２を取り付ける場合、まず、図２，図
３に示すように、キャン１の底部の窓部１ａの周囲に、
例えば、エポキシ系接着剤に導電材料であるカーボン粉
末を適量配合してなる導電性接着剤３を塗布する。そし
て、図４，図５に示すように、長方形の光学フィルタ２
を、窓部１ａを覆い、かつ周辺部が、上記導電性接着剤
３上に載るようにキャン１の底部に配設する。それか
ら、導電性接着剤３を硬化させ、光学フィルタ２をキャ
ン１に接着固定して、窓部１ａを密封するとともに、導
電性接着剤３により、光学フィルタ２とキャン１とを電
気的に導通させる。
する。この実施例にかかる焦電型赤外線センサの構造
は、図６に示した従来の焦電型赤外線センサ２１と同様
であるため、この実施例では、発明の特徴部分であるキ
ャンの窓部に光学フィルタを取り付ける工程について図
１〜図５を参照しつつ詳しく説明する。この発明の焦電
型赤外線センサにおいて、キャン１の底部には、図１に
示すように、光学フィルタ２（図４，図５）を取り付け
るべき長方形の窓部１ａが形成されている。この窓部１
ａに光学フィルタ２を取り付ける場合、まず、図２，図
３に示すように、キャン１の底部の窓部１ａの周囲に、
例えば、エポキシ系接着剤に導電材料であるカーボン粉
末を適量配合してなる導電性接着剤３を塗布する。そし
て、図４，図５に示すように、長方形の光学フィルタ２
を、窓部１ａを覆い、かつ周辺部が、上記導電性接着剤
３上に載るようにキャン１の底部に配設する。それか
ら、導電性接着剤３を硬化させ、光学フィルタ２をキャ
ン１に接着固定して、窓部１ａを密封するとともに、導
電性接着剤３により、光学フィルタ２とキャン１とを電
気的に導通させる。
【００１１】そして、図６に示した、従来の焦電型赤外
線センサ２１の場合と同様に、光学フィルタ３を取り付
けたキャン１をステム２８に溶接して、各素子が配設さ
れた基板２２を、キャン１とステム２８との間に形成さ
れる空間に封止することにより、焦電型赤外線センサが
製造される（図６参照）。
線センサ２１の場合と同様に、光学フィルタ３を取り付
けたキャン１をステム２８に溶接して、各素子が配設さ
れた基板２２を、キャン１とステム２８との間に形成さ
れる空間に封止することにより、焦電型赤外線センサが
製造される（図６参照）。
【００１２】上述のように、この発明の焦電型赤外線セ
ンサの製造方法においては、キャン１の窓部１ａの周囲
に塗布された導電性接着剤３により、光学フィルタ２が
キャン１に接着固定されると同時に、導電性接着剤３を
介してキャン１と光学フィルタ２とが電気的に接続する
ため、光学フィルタ２のキャン１への接着固定と、光学
フィルタ２とキャン１を電気的接続が一つの工程で行わ
れるため、従来例においては不可欠であった導電ペース
トを塗布硬化する工程を省略して製造工程を簡略化する
ことができる。
ンサの製造方法においては、キャン１の窓部１ａの周囲
に塗布された導電性接着剤３により、光学フィルタ２が
キャン１に接着固定されると同時に、導電性接着剤３を
介してキャン１と光学フィルタ２とが電気的に接続する
ため、光学フィルタ２のキャン１への接着固定と、光学
フィルタ２とキャン１を電気的接続が一つの工程で行わ
れるため、従来例においては不可欠であった導電ペース
トを塗布硬化する工程を省略して製造工程を簡略化する
ことができる。
【００１３】上記実施例では、導電性接着剤として、エ
ポキシ系の接着剤にカーボン粉末を配合した接着剤を用
いた場合について説明したが、この発明においては、導
電性接着剤の種類に特に制約はなく、導電材料としてカ
ーボン粉末の代りに金属粉末を配合した接着剤など、種
々の導電性接着剤を用いることが可能である。
ポキシ系の接着剤にカーボン粉末を配合した接着剤を用
いた場合について説明したが、この発明においては、導
電性接着剤の種類に特に制約はなく、導電材料としてカ
ーボン粉末の代りに金属粉末を配合した接着剤など、種
々の導電性接着剤を用いることが可能である。
【００１４】
【発明の効果】上述のように、この発明の焦電型赤外線
センサの製造方法は、キャンの窓部の周囲に塗布した導
電性接着剤により、光学フィルタをキャンに接着固定す
ると同時に、導電性接着剤を介してキャンと光学フィル
タを電気的に導通させるようにしているので、従来例に
おいては不可欠であった導電ペーストを塗布硬化する工
程を省略して、製造工程を簡略化することが可能にな
り、製造コストを低減することができる。
センサの製造方法は、キャンの窓部の周囲に塗布した導
電性接着剤により、光学フィルタをキャンに接着固定す
ると同時に、導電性接着剤を介してキャンと光学フィル
タを電気的に導通させるようにしているので、従来例に
おいては不可欠であった導電ペーストを塗布硬化する工
程を省略して、製造工程を簡略化することが可能にな
り、製造コストを低減することができる。
【図１】この発明の一実施例にかかる焦電型赤外線セン
サのキャンの構造を示す平面図である。
サのキャンの構造を示す平面図である。
【図２】この発明の一実施例にかかる焦電型赤外線セン
サの製造方法の一工程を示す平面図である。
サの製造方法の一工程を示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】この発明の一実施例にかかる焦電型赤外線セン
サの製造方法の一工程を示す平面図である。
サの製造方法の一工程を示す平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】従来例及びこの発明の焦電型赤外線センサの構
造を示す分解斜視図である。
造を示す分解斜視図である。
【図７】従来例及びこの発明の一実施例にかかる焦電型
赤外線センサの回路構成を示す図である。
赤外線センサの回路構成を示す図である。
【図８】従来の焦電型赤外線センサの製造方法の一工程
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図９】図８のIX−IX線断面図である。
【図１０】従来の焦電型赤外線センサの製造方法の一工
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図１１】図１０のXI−XI線断面図である。
【図１２】従来の焦電型赤外線センサの製造方法の一工
程を示す平面図である。
程を示す平面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線断面図である。
１ キャン １ａ 窓部 ２ 光学フィルタ ３ 導電性接着剤 ２２ 基板 ２８ ステム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 電極が形成された基板上に、焦電素子、
抵抗チップ、ＦＥＴなどの素子を配設し、該素子を光学
フィルタを取り付けたキャンで封止してなる焦電型赤外
線センサの製造方法において、導体からなるキャンの底
部の、光学フィルタを取り付けるべき窓部の周囲に導電
性接着剤を塗布し、その上から窓部を覆うように光学フ
ィルタを載置した後、該導電性接着剤を硬化させること
により、該光学フィルタをキャンに接着固定して、該窓
部を密封するとともに、該光学フィルタとキャンとを電
気的に導通させることを特徴とする焦電型赤外線センサ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181781A JPH051946A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 焦電型赤外線センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181781A JPH051946A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 焦電型赤外線センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH051946A true JPH051946A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=16106775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3181781A Withdrawn JPH051946A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 焦電型赤外線センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051946A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0863697A2 (de) * | 1997-03-05 | 1998-09-09 | Elektro-Mechanik Gmbh | Sensorgehäuse für einen gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlichen optischen Sensor |
| EP0779503B1 (en) * | 1995-12-12 | 2004-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Infrared sensor |
| EP1887331A1 (en) * | 2005-05-11 | 2008-02-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Infrared sensor and its manufacturing process |
-
1991
- 1991-06-25 JP JP3181781A patent/JPH051946A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0779503B1 (en) * | 1995-12-12 | 2004-02-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Infrared sensor |
| EP0863697A2 (de) * | 1997-03-05 | 1998-09-09 | Elektro-Mechanik Gmbh | Sensorgehäuse für einen gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlichen optischen Sensor |
| EP0863697A3 (de) * | 1997-03-05 | 1999-08-11 | Elektro-Mechanik Gmbh | Sensorgehäuse für einen gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlichen optischen Sensor |
| EP1887331A1 (en) * | 2005-05-11 | 2008-02-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Infrared sensor and its manufacturing process |
| EP1887331A4 (en) * | 2005-05-11 | 2011-12-07 | Murata Manufacturing Co | INFRARED SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |