JPH05326734A - 光機能素子用チップキャリア - Google Patents
光機能素子用チップキャリアInfo
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- JPH05326734A JPH05326734A JP4228120A JP22812092A JPH05326734A JP H05326734 A JPH05326734 A JP H05326734A JP 4228120 A JP4228120 A JP 4228120A JP 22812092 A JP22812092 A JP 22812092A JP H05326734 A JPH05326734 A JP H05326734A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気信号が減衰したり、電気信号に雑音が混
入する恐れがなく、他の光学系とも組み合わせ易い小型
で気密性に優れる光機能素子用チップキャリアを実現す
る。 【構成】 光機能素子6の電極とチップキャリアの電極
3が、接合されるように、また光機能素子6の受発光部
をカバー1側に向けて、カバー1の固定された絶縁物2
と絶縁物4と電極3と金属のシールリング12で構成さ
れる筒に、光機能素子6を低融点合金7により固定す
る。更に金属のシールリング12に金属の蓋13を溶接
した。電極同士を重ねて固定しているので、電気信号へ
の雑音の混入が避けられ、小型化が図られる。更に光機
能素子6は、絶縁物2を介してほぼ直接カバー1に接合
された状態なので、光機能素子6とカバー1の距離の精
度が高く、他の光学系と組み合わせることが容易であ
る。また溶接による封止なので気密性に優れる。
入する恐れがなく、他の光学系とも組み合わせ易い小型
で気密性に優れる光機能素子用チップキャリアを実現す
る。 【構成】 光機能素子6の電極とチップキャリアの電極
3が、接合されるように、また光機能素子6の受発光部
をカバー1側に向けて、カバー1の固定された絶縁物2
と絶縁物4と電極3と金属のシールリング12で構成さ
れる筒に、光機能素子6を低融点合金7により固定す
る。更に金属のシールリング12に金属の蓋13を溶接
した。電極同士を重ねて固定しているので、電気信号へ
の雑音の混入が避けられ、小型化が図られる。更に光機
能素子6は、絶縁物2を介してほぼ直接カバー1に接合
された状態なので、光機能素子6とカバー1の距離の精
度が高く、他の光学系と組み合わせることが容易であ
る。また溶接による封止なので気密性に優れる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フォトダイオードやレ
ーザダイオード、そしてミラー等の光機能素子を保護す
る光機能素子用チップキャリアに関するものである。
ーザダイオード、そしてミラー等の光機能素子を保護す
る光機能素子用チップキャリアに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のチップキャリアとして、日経エレ
クトロニクス(1991.8.19.、no.53
4,、p.100、101)の記事「半導体レーザを含
む光学系をアクチュエータに載せた薄型光ピック・アッ
プ」に記載されたレーザカプラ用フラットパッケージが
挙げられる。光機能素子であるレーザカプラ106の内
蔵されたフラットパッケージの構造を図7に示す。同図
において、(a)は断面図であり(b)は斜視図であ
る。レーザカプラ106は、構成する部品の内、集積回
路を一体化したフォトダイオード以外の部品を省略して
描いてある。フラットパッケージの内部のレーザカプラ
106と、外部の接触は光学的にはカバー101によっ
て、電気的にはボンディングワイヤー107と電極10
3によって取られている。フラットパッケージは、電極
103と、放熱板105、カバー101、そして壁を成
す絶縁物104と絶縁物102で構成されている。レー
ザカプラ106は、カバー101を固定する前に、放熱
板105上に固定し、ボンディングワイヤー107を張
ることで実装する。そしてカバー101を合成樹脂接着
剤で固定することで封止する。
クトロニクス(1991.8.19.、no.53
4,、p.100、101)の記事「半導体レーザを含
む光学系をアクチュエータに載せた薄型光ピック・アッ
プ」に記載されたレーザカプラ用フラットパッケージが
挙げられる。光機能素子であるレーザカプラ106の内
蔵されたフラットパッケージの構造を図7に示す。同図
において、(a)は断面図であり(b)は斜視図であ
る。レーザカプラ106は、構成する部品の内、集積回
路を一体化したフォトダイオード以外の部品を省略して
描いてある。フラットパッケージの内部のレーザカプラ
106と、外部の接触は光学的にはカバー101によっ
て、電気的にはボンディングワイヤー107と電極10
3によって取られている。フラットパッケージは、電極
103と、放熱板105、カバー101、そして壁を成
す絶縁物104と絶縁物102で構成されている。レー
ザカプラ106は、カバー101を固定する前に、放熱
板105上に固定し、ボンディングワイヤー107を張
ることで実装する。そしてカバー101を合成樹脂接着
剤で固定することで封止する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
光機能素子用チップキャリアは、ボンディングワイヤー
107によって電気信号を伝送しているため、信号が減
衰したり雑音が混入する恐れがあった。またボンディン
グするために、レーザカプラ106上の電極(図示して
いない)と、光機能素子用チップキャリアの電極103
を、並列に設けなければならないので、従来の光機能素
子用チップキャリアは、面積が大きくなるという課題も
あった。更にレーザカプラ106とカバー101の距離
は、絶縁物104やレーザカプラ106自身の製作固定
精度により、変動が大きく、他の光学系と組み合わせる
場合の障害となっていた。
光機能素子用チップキャリアは、ボンディングワイヤー
107によって電気信号を伝送しているため、信号が減
衰したり雑音が混入する恐れがあった。またボンディン
グするために、レーザカプラ106上の電極(図示して
いない)と、光機能素子用チップキャリアの電極103
を、並列に設けなければならないので、従来の光機能素
子用チップキャリアは、面積が大きくなるという課題も
あった。更にレーザカプラ106とカバー101の距離
は、絶縁物104やレーザカプラ106自身の製作固定
精度により、変動が大きく、他の光学系と組み合わせる
場合の障害となっていた。
【0004】本発明の目的は、電気信号が減衰したり、
電気信号に雑音が混入することのない上に、他の光学系
と組み合わせ易く、小型な光機能素子用チップキャリア
を提供することにある。
電気信号に雑音が混入することのない上に、他の光学系
と組み合わせ易く、小型な光機能素子用チップキャリア
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の光機能素子用チ
ップキャリアは、前記の課題を解決するために、光機能
素子をフリップチップ実装するための電極パッドと、フ
リップチップ実装したときに光機能素子の入出力光が通
過する開口を備えた絶縁体板を底板として、筒状の絶縁
体側壁を前記電極パッドが前記絶縁体側壁の内部にくる
ように設け、かつ前記絶縁体側壁の前記絶縁体底板が接
着されている底面と反対側の底面に、金属の蓋を溶接す
るための金属のシールリングを設け、更に前記絶縁体底
板の前記光機能素子の実装されていない面に、光を透過
する材料で作られたカバーを固定していることを特徴と
する構成である。
ップキャリアは、前記の課題を解決するために、光機能
素子をフリップチップ実装するための電極パッドと、フ
リップチップ実装したときに光機能素子の入出力光が通
過する開口を備えた絶縁体板を底板として、筒状の絶縁
体側壁を前記電極パッドが前記絶縁体側壁の内部にくる
ように設け、かつ前記絶縁体側壁の前記絶縁体底板が接
着されている底面と反対側の底面に、金属の蓋を溶接す
るための金属のシールリングを設け、更に前記絶縁体底
板の前記光機能素子の実装されていない面に、光を透過
する材料で作られたカバーを固定していることを特徴と
する構成である。
【0006】あるいは、本発明の光機能素子用チップキ
ャリアは、前記の課題を解決するために、電極パッドと
開口を備えた絶縁体板に、光機能素子を、この光機能素
子の入出力光が前記絶縁体板の前記開口を透過するフリ
ップチップ実装し、前記光機能素子と、前記絶縁体板の
前記光機能素子の実装されている面を樹脂で覆い、かつ
前記絶縁体の前記光機能素子の実装されていない面に、
光を透過する材料で作られたカバーが固定されているこ
とを特徴とする構成である。この構成ではチップキャリ
アに光機能素子が内蔵されている。
ャリアは、前記の課題を解決するために、電極パッドと
開口を備えた絶縁体板に、光機能素子を、この光機能素
子の入出力光が前記絶縁体板の前記開口を透過するフリ
ップチップ実装し、前記光機能素子と、前記絶縁体板の
前記光機能素子の実装されている面を樹脂で覆い、かつ
前記絶縁体の前記光機能素子の実装されていない面に、
光を透過する材料で作られたカバーが固定されているこ
とを特徴とする構成である。この構成ではチップキャリ
アに光機能素子が内蔵されている。
【0007】
【作用】本発明の光機能素子用チップキャリアは、光機
能素子の電極と直接、光機能素子用チップキャリアの電
極を低融点合金または導電性ペーストで固定するので、
伝送距離が短く、ゆえに電気信号が減衰したり、電気信
号に雑音が混入する恐れがない。また光機能素子とカバ
ー間に介存する材料が少ないので、光機能素子とカバー
の距離の精度が得られ易く、他の光学系とも組み合わせ
易い。更に電極同士を重ねるので、小型な光機能素子用
チップキャリアを実現できる。
能素子の電極と直接、光機能素子用チップキャリアの電
極を低融点合金または導電性ペーストで固定するので、
伝送距離が短く、ゆえに電気信号が減衰したり、電気信
号に雑音が混入する恐れがない。また光機能素子とカバ
ー間に介存する材料が少ないので、光機能素子とカバー
の距離の精度が得られ易く、他の光学系とも組み合わせ
易い。更に電極同士を重ねるので、小型な光機能素子用
チップキャリアを実現できる。
【0008】また請求項1の本発明では更に、シールリ
ングに金属の蓋を溶接することで封止するので、気密性
の高い光機能素子用チップキャリアを実現できる。
ングに金属の蓋を溶接することで封止するので、気密性
の高い光機能素子用チップキャリアを実現できる。
【0009】
【実施例】本発明の光機能素子用チップキャリアの第一
実施例を、図1に基づいて以下に説明する。図1は構造
を示す断面図である。
実施例を、図1に基づいて以下に説明する。図1は構造
を示す断面図である。
【0010】本発明例に係る光機能素子用チップキャリ
アは、カバー1の固定された絶縁物2と絶縁物4と電極
3と金属のシールリング12で構成される筒に、光機能
素子6を、光機能素子6の電極(図示していない)と電
極3が、対応する電極同士接合されるように、受発光部
(図示していない)をカバー1側に向けて、低融点合金
7により固定し、更に金属の蓋13を溶接したものであ
る。ボンディングワイヤーを用いず、低融点合金7で電
極同士を固定するフリップチップ実装を採用しているの
で、浮遊容量による電気信号の減衰や、電磁波による雑
音の混入が避けられる。また電極同士を重ねることで小
型化が図られる。
アは、カバー1の固定された絶縁物2と絶縁物4と電極
3と金属のシールリング12で構成される筒に、光機能
素子6を、光機能素子6の電極(図示していない)と電
極3が、対応する電極同士接合されるように、受発光部
(図示していない)をカバー1側に向けて、低融点合金
7により固定し、更に金属の蓋13を溶接したものであ
る。ボンディングワイヤーを用いず、低融点合金7で電
極同士を固定するフリップチップ実装を採用しているの
で、浮遊容量による電気信号の減衰や、電磁波による雑
音の混入が避けられる。また電極同士を重ねることで小
型化が図られる。
【0011】フリップチップ実装による電極同士の固定
には、低融点合金の代わりに、銀ペーストやクリーム半
田などの導電性ペーストを用いることもできる。
には、低融点合金の代わりに、銀ペーストやクリーム半
田などの導電性ペーストを用いることもできる。
【0012】更に通常、電極3の厚さと低融点合金7の
厚さは、絶縁物2の厚さに比較すれば無視できるほど薄
く、光機能素子6は、絶縁物2を介して、ほぼ直接、カ
バー1に接合された状態なので、光機能素子6とカバー
1の距離の精度が得られ易い。したがって他の光学系と
組み合わせることも容易である。その上、金属のシール
リング12に金属の蓋13を溶接しているので気密性も
高い。
厚さは、絶縁物2の厚さに比較すれば無視できるほど薄
く、光機能素子6は、絶縁物2を介して、ほぼ直接、カ
バー1に接合された状態なので、光機能素子6とカバー
1の距離の精度が得られ易い。したがって他の光学系と
組み合わせることも容易である。その上、金属のシール
リング12に金属の蓋13を溶接しているので気密性も
高い。
【0013】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
二実施例を図2に基づいて以下に説明する。なお第一実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
二実施例を図2に基づいて以下に説明する。なお第一実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
【0014】本実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アは第一実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋13が金属の蓋15のようになってい
る。即ち、第一実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アの金属の蓋13に圧力を加えて金属の蓋15のように
変形し、光機能素子6に密着させることにより製造でき
る。金属の蓋15が光機能素子6に密着する構造である
ので、放熱に優れている。
アは第一実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋13が金属の蓋15のようになってい
る。即ち、第一実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アの金属の蓋13に圧力を加えて金属の蓋15のように
変形し、光機能素子6に密着させることにより製造でき
る。金属の蓋15が光機能素子6に密着する構造である
ので、放熱に優れている。
【0015】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
三実施例を図3に基づいて以下に説明する。なお第一実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
三実施例を図3に基づいて以下に説明する。なお第一実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
【0016】本実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アは第一実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋13が金属の蓋14のように凹凸のある
形になっている。この金属の蓋14と金属の蓋13を比
較しても明らかなように、より広い表面積を有している
ので、放熱に優れている。
アは第一実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋13が金属の蓋14のように凹凸のある
形になっている。この金属の蓋14と金属の蓋13を比
較しても明らかなように、より広い表面積を有している
ので、放熱に優れている。
【0017】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
四実施例を図4に基づいて以下に説明する。なお第三実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
四実施例を図4に基づいて以下に説明する。なお第三実
施例と同一の機能を有する部材には同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
【0018】本実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アは第三実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋14が金属の蓋16になっている。即
ち、光機能素子と密着できるとともに、凹凸のある形状
となっている。
アは第三実施例に係る光機能素子用チップキャリアと異
なり、金属の蓋14が金属の蓋16になっている。即
ち、光機能素子と密着できるとともに、凹凸のある形状
となっている。
【0019】本実施例の光機能素子用チップキャリアは
第三実施例の光機能素子用チップキャリアの金属の蓋1
4を金属の蓋16のように変形し、光機能素子6に密着
させることにより製造できる。金属の蓋16が光機能素
子6に密着しているので、放熱に優れている。
第三実施例の光機能素子用チップキャリアの金属の蓋1
4を金属の蓋16のように変形し、光機能素子6に密着
させることにより製造できる。金属の蓋16が光機能素
子6に密着しているので、放熱に優れている。
【0020】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
五実施例を図5に基づいて以下に説明する。
五実施例を図5に基づいて以下に説明する。
【0021】本実施例に係る光機能素子用チップキャリ
アは、図5に示すような断面を有し、カバー1の固定さ
れた絶縁物2と電極3で構成される筒に、光機能素子6
を、光機能素子6の電極(図示していない)と電極3
が、電極同士接合されるように、そして光機能素子6の
受発光部(図示していない)をカバー1側に向けて、低
融点合金7により固定し、更に樹脂5で固めたものであ
る。このようにボンディングワイヤーを用いず、半田等
の低融点合金または銀ペーストやクリーム半田等の導電
性ペーストで電極同士を固定する実装をフリップチップ
実装と呼ぶが、このフリップチップ実装を採用すると、
ボンディングワイヤーの浮遊容量等による電気信号の減
衰や、電磁波による雑音の混入が避けられる。
アは、図5に示すような断面を有し、カバー1の固定さ
れた絶縁物2と電極3で構成される筒に、光機能素子6
を、光機能素子6の電極(図示していない)と電極3
が、電極同士接合されるように、そして光機能素子6の
受発光部(図示していない)をカバー1側に向けて、低
融点合金7により固定し、更に樹脂5で固めたものであ
る。このようにボンディングワイヤーを用いず、半田等
の低融点合金または銀ペーストやクリーム半田等の導電
性ペーストで電極同士を固定する実装をフリップチップ
実装と呼ぶが、このフリップチップ実装を採用すると、
ボンディングワイヤーの浮遊容量等による電気信号の減
衰や、電磁波による雑音の混入が避けられる。
【0022】また電極同士を重ね併せることで小型化が
図られる。更に電極3の厚さと低融点合金7の厚さは、
絶縁物2の厚さに比べて無視できるほど薄く、光機能素
子6は絶縁物2を介して、ほとんど直接、カバー1に接
合された状態なので、光機能素子6とカバー1の距離の
精度が得られ易い。ゆえに他の光学系と組み合わせるこ
とも容易である。図6はこの第五実施例の外形の例を示
す斜視図である。
図られる。更に電極3の厚さと低融点合金7の厚さは、
絶縁物2の厚さに比べて無視できるほど薄く、光機能素
子6は絶縁物2を介して、ほとんど直接、カバー1に接
合された状態なので、光機能素子6とカバー1の距離の
精度が得られ易い。ゆえに他の光学系と組み合わせるこ
とも容易である。図6はこの第五実施例の外形の例を示
す斜視図である。
【0023】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
六実施例を図8に基づいて以下に説明する。この光機能
素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用チ
ップキャリアにおいて、金属箔17を光機能素子6と金
属の蓋13の間に挟んでから、金属の蓋13を金属のシ
ールリング12に溶接したものである。金属箔の代わり
にビニールやポリイミドなどの有機物の薄膜を用いるこ
ともできる。光機能素子6と金属の蓋13が金属箔17
を通して接しているので放熱に優れている。また金属の
蓋13の接合部分にも負荷がかからないので、封止の信
頼性が高い。
六実施例を図8に基づいて以下に説明する。この光機能
素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用チ
ップキャリアにおいて、金属箔17を光機能素子6と金
属の蓋13の間に挟んでから、金属の蓋13を金属のシ
ールリング12に溶接したものである。金属箔の代わり
にビニールやポリイミドなどの有機物の薄膜を用いるこ
ともできる。光機能素子6と金属の蓋13が金属箔17
を通して接しているので放熱に優れている。また金属の
蓋13の接合部分にも負荷がかからないので、封止の信
頼性が高い。
【0024】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
七実施例を図9に基づいて以下に説明する。この光機能
素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用チ
ップキャリアにおいて、縮緬状の金属箔18を光機能素
子6と金属の蓋13の間に挟んでから、金属の蓋13を
金属のシールリング12に溶接したものである。光機能
素子6と金属の蓋13が縮緬状の金属箔18を通して接
しているので放熱に優れている。
七実施例を図9に基づいて以下に説明する。この光機能
素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用チ
ップキャリアにおいて、縮緬状の金属箔18を光機能素
子6と金属の蓋13の間に挟んでから、金属の蓋13を
金属のシールリング12に溶接したものである。光機能
素子6と金属の蓋13が縮緬状の金属箔18を通して接
しているので放熱に優れている。
【0025】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
八実施例を図10に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、熱硬化樹脂8で光機能素子6
と金属の蓋13の間を満たした後、金属の蓋13を金属
のシールリング12に溶接し、さらに、熱を加えて、熱
硬化樹脂8を硬化させたものである。熱硬化樹脂8は、
硬化させる前は液体なので、光機能素子6と金属の蓋1
3の間隔や、光機能素子6の形状に左右されない。ま
た、放熱にも優れている。
八実施例を図10に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、熱硬化樹脂8で光機能素子6
と金属の蓋13の間を満たした後、金属の蓋13を金属
のシールリング12に溶接し、さらに、熱を加えて、熱
硬化樹脂8を硬化させたものである。熱硬化樹脂8は、
硬化させる前は液体なので、光機能素子6と金属の蓋1
3の間隔や、光機能素子6の形状に左右されない。ま
た、放熱にも優れている。
【0026】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
九実施例を図11に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、導電性ペースト9で光機能素
子6と金属の蓋13の間を満たした後、金属の蓋13を
金属のシールリング12に溶接し、熱を加えて、導電性
ペースト9を硬化させたものである。
九実施例を図11に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、導電性ペースト9で光機能素
子6と金属の蓋13の間を満たした後、金属の蓋13を
金属のシールリング12に溶接し、熱を加えて、導電性
ペースト9を硬化させたものである。
【0027】導電性ペーストは、熱硬化樹脂に比較して
熱伝導性が高いが、電極3に接触すると、絶縁不良を生
じるので、製作時に注意を要する。
熱伝導性が高いが、電極3に接触すると、絶縁不良を生
じるので、製作時に注意を要する。
【0028】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
十実施例を図12に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、紫外線硬化樹脂19で絶縁物
4と光機能素子6の間を満たし、これを紫外線で硬化さ
せた後、導電性ペースト20で光機能素子6と金属の蓋
13の間を満たし、金属の蓋13を金属のシールリング
12に溶接し、熱を加えて、導電性ペースト20を硬化
させたものである。紫外線硬化樹脂19により、電極3
が保護されているので、絶縁不良の心配が無い。
十実施例を図12に基づいて以下に説明する。この光機
能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子用
チップキャリアにおいて、紫外線硬化樹脂19で絶縁物
4と光機能素子6の間を満たし、これを紫外線で硬化さ
せた後、導電性ペースト20で光機能素子6と金属の蓋
13の間を満たし、金属の蓋13を金属のシールリング
12に溶接し、熱を加えて、導電性ペースト20を硬化
させたものである。紫外線硬化樹脂19により、電極3
が保護されているので、絶縁不良の心配が無い。
【0029】本発明の光機能素子用チップキャリアの第
十一実施例を図13に基づいて以下に説明する。この光
機能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子
用チップキャリアにおいて、紫外線硬化樹脂19で絶縁
物4と光機能素子6の間を満たし、これを紫外線で硬化
させた後、粒状の半田で光機能素子6と金属の蓋13の
間を満たし、金属の蓋13を金属のシールリング12に
溶接し、さらに、熱を加えて粒状の半田を融解して、半
田21としたものである。紫外線硬化樹脂19により、
電極3が保護されているので、絶縁不良の心配が無い。
半田は、導電性ペーストよりも熱伝導率が高いので、第
十一実施例は、第十実施例よりもへ放熱に優れている。
十一実施例を図13に基づいて以下に説明する。この光
機能素子用チップキャリアは、第一実施例の光機能素子
用チップキャリアにおいて、紫外線硬化樹脂19で絶縁
物4と光機能素子6の間を満たし、これを紫外線で硬化
させた後、粒状の半田で光機能素子6と金属の蓋13の
間を満たし、金属の蓋13を金属のシールリング12に
溶接し、さらに、熱を加えて粒状の半田を融解して、半
田21としたものである。紫外線硬化樹脂19により、
電極3が保護されているので、絶縁不良の心配が無い。
半田は、導電性ペーストよりも熱伝導率が高いので、第
十一実施例は、第十実施例よりもへ放熱に優れている。
【0030】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の光機能素子
用チップキャリアを用いれば、小型で設置場所を取らな
い上に、電気信号が減衰したり、電気信号に雑音が混入
する恐れがなく、また他の光学系とも組み合わせ易い。
用チップキャリアを用いれば、小型で設置場所を取らな
い上に、電気信号が減衰したり、電気信号に雑音が混入
する恐れがなく、また他の光学系とも組み合わせ易い。
【図1】本発明の光機能素子用チップキャリアの第一実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図2】本発明の光機能素子用チップキャリアの第二実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図3】本発明の光機能素子用チップキャリアの第三実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図4】本発明の光機能素子用チップキャリアの第四実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図5】本発明の光機能素子用チップキャリアの第五実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図6】本発明の光機能素子用チップキャリアの第五実
施例を示す斜視図である。
施例を示す斜視図である。
【図7】従来の光機能素子用チップキャリアを示す説明
図であり、(a)は構造を示す断面図、(b)は斜視図
である。
図であり、(a)は構造を示す断面図、(b)は斜視図
である。
【図8】本発明の光機能素子用チップキャリアの第六実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図9】本発明の光機能素子用チップキャリアの第七実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図10】本発明の光機能素子用チップキャリアの第八
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図11】本発明の光機能素子用チップキャリアの第九
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図12】本発明の光機能素子用チップキャリアの第十
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図13】本発明の光機能素子用チップキャリアの第十
一実施例を示す断面図である。
一実施例を示す断面図である。
1 カバー 2 絶縁物 3 電極 4 絶縁物 5 樹脂 6 光機能素子 7 低融点合金 8 熱硬化樹脂 9 導電性ペースト 12 金属のシールリング 13 金属の蓋 14 金属の蓋 15 金属の蓋 16 金属の蓋 17 金属箔 18 縮緬状の金属箔 19 紫外線硬化樹脂 20 導電性ペースト 21 半田 101 カバー 102 絶縁物 103 電極 104 絶縁物 105 放熱板 106 レーザカプラ 107 ボンディングワイヤー
Claims (2)
- 【請求項1】 光機能素子をフリップチップ実装するた
めの電極パッドと、フリップチップ実装したときに光機
能素子の入出力光が通過する開口を備えた絶縁体板を底
板として、筒状の絶縁体側壁を前記電極パッドが前記絶
縁体側壁の内部にくるように設け、かつ前記絶縁体側壁
の前記絶縁体底板が接着されている底面と反対側の底面
に、金属の蓋を溶接するための金属のシールリングを設
け、更に前記絶縁体底板の前記光機能素子の実装されて
いない面に、光を透過する材料で作られたカバーを固定
していることを特徴とする光機能素子用チップキャリ
ア。 - 【請求項2】 電極パッドと開口を備えた絶縁体板に、
光機能素子を、この光機能素子の入出力光が前記絶縁体
板の前記開口を通過するようにフリップチップ実装し、
前記光機能素子と、前記絶縁体板の前記光機能素子の実
装されている面を樹脂で覆い、かつ前記絶縁体板の前記
光機能素子の実装されていない面に、光を透過する材料
で作られたカバーが固定されていることを特徴とする光
機能素子用チップキャリア。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4228120A JPH0810732B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-08-27 | 光機能素子用チップキャリア |
CA002092165A CA2092165C (en) | 1992-03-23 | 1993-03-22 | Chip carrier for optical device |
EP93104758A EP0562550B1 (en) | 1992-03-23 | 1993-03-23 | Chip carrier for optical device |
US08/035,949 US5357056A (en) | 1992-03-23 | 1993-03-23 | Chip carrier for optical device |
DE69312358T DE69312358T2 (de) | 1992-03-23 | 1993-03-23 | Chipträger für optische Vorrichtung |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6481892 | 1992-03-23 | ||
JP4-64818 | 1992-03-23 | ||
JP4228120A JPH0810732B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-08-27 | 光機能素子用チップキャリア |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05326734A true JPH05326734A (ja) | 1993-12-10 |
JPH0810732B2 JPH0810732B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=13269214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4228120A Expired - Lifetime JPH0810732B2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-08-27 | 光機能素子用チップキャリア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0810732B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007300032A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Hitachi Cable Ltd | 光モジュール及びその製造方法 |
WO2022230339A1 (ja) * | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置 |
-
1992
- 1992-08-27 JP JP4228120A patent/JPH0810732B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007300032A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Hitachi Cable Ltd | 光モジュール及びその製造方法 |
WO2022230339A1 (ja) * | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0810732B2 (ja) | 1996-01-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960716 |