JP2015138967A - 突出銅終端柱を備えた基板 - Google Patents
突出銅終端柱を備えた基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015138967A JP2015138967A JP2014049102A JP2014049102A JP2015138967A JP 2015138967 A JP2015138967 A JP 2015138967A JP 2014049102 A JP2014049102 A JP 2014049102A JP 2014049102 A JP2014049102 A JP 2014049102A JP 2015138967 A JP2015138967 A JP 2015138967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- dielectric
- layer
- multilayer composite
- outer layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4007—Surface contacts, e.g. bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12042—LASER
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0296—Conductive pattern lay-out details not covered by sub groups H05K1/02 - H05K1/0295
- H05K1/0298—Multilayer circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/0332—Structure of the conductor
- H05K2201/0364—Conductor shape
- H05K2201/0367—Metallic bump or raised conductor not used as solder bump
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09372—Pads and lands
- H05K2201/09481—Via in pad; Pad over filled via
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】XY平面に延在するフィーチャ層を備える多層複合電子構造体100であって、フィーチャ層の各隣接する対が内側ビア層によって隔てられ、ビア層がXY平面に対して垂直なZ方向に隣接するフィーチャ層を連結するビア柱を備え、ビア柱が内側層誘電体内に埋め込まれ、この多層複合構造体100が、少なくとも1本の銅柱の一部が誘電体の外側層132の表面を越えて突き出るように、誘電体の外側層132内に部分的にだけ埋め込まれ、かつ終端部となる少なくとも1本の銅柱を備えている。
【選択図】図1(xv)
Description
本出願は、特許文献1および特許文献2の利益を主張する。
(i)基板を得るステップ;
(ii)銅ビアを露出させるために外側層を薄くするステップ;
(iii)薄くされた表面の上に銅の層をスパッタリングするステップ;
(iv)フォトレジストの最後から2番目のパターンを塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(v)外側フィーチャ層をパターンに電気メッキするステップ;
(vi)フォトレジストの最後から2番目のパターンを剥離するステップ;
(vii)銅柱の所望のパターンに対応するフォトレジストの最後のパターンを塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(viii)銅柱をフォトレジストの最後のパターンにパターンメッキするステップ;
(ix)フォトレジストの最後のパターンを剥離するステップ;
(x)シード層をエッチング除去するステップ;
(xi)誘電外側層を積層するステップ;
(xii)誘電外側層を平坦化するステップ;
(xiv)ビア柱の端部を所望の深さまで露出させるために誘電外側層をプラズマエッチングするステップ、および
(xv)銅柱にプリフラックス(OSP)を付加するステップを含む方法を目的とする。
(a)銅ビアの端部を露出させるために反対側面を薄くするステップ;
(b)銅シード層をスパッタリングするステップ;
(c)フォトレジスト層を塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(d)銅パッドをフォトレジストに電気メッキするステップ;
(e)前記フォトレジストを剥離するステップ;
(f)シード層を除去するステップ、および
(g)基板の上に半田マスクを堆積してかつその間に銅パッドをオーバーラップするステップを含む。
102、104、106 機能層
108 フィーチャ
110、112、114、116 誘電体
110 銅ビア
116 銅ビア
118 ビア
120 シード層
122 フォトレジスト層
124 銅パッド
126 フォトレジスト層
128 銅ビア柱
130 半田バンプ
132 半田マスク
134 銅シード層
136 フォトレジスト
138 銅パッド
140 半田マスク
150 有機ニス
300 プラズマエッチングステーション
302 真空槽
304 キャリア
306 基板
308 上側電極
312 吸気口
314 プラズマゾーン
402 銅パッド
404 誘電体
405 銅ビア柱
406 銅ビア柱
408 スケールバー
Claims (19)
- XY平面に延在するフィーチャ層を備える多層複合電子構造体であって、フィーチャ層の各隣接する対が内側ビア層によって隔てられ、前記ビア層が前記XY平面に対して垂直なZ方向に隣接するフィーチャ層を連結するビア柱を備え、前記ビア柱が内側層誘電体内に埋め込まれ、前記多層複合構造体が、各銅柱の一部が誘電体の外側層の表面を越えて突き出るように、前記誘電体の外側層内に部分的にだけ埋め込まれる銅柱の二次元配列を備える終端部の少なくとも1つの外側層を更に備える多層複合電子構造体。
- 前記銅柱の配列が前記誘電体の外側層の表面を越えて5〜50ミクロン突き出ることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記銅柱の配列が前記誘電体の外側層の表面を越えて10〜30ミクロン突き出ることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記誘電体の外側層がパッドの外側層を越えて少なくとも5ミクロン延出することを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記誘電体の外側層がパッドの外側層を越えて20ミクロン未満延出することを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記誘電体の外側層が下位誘電層を越えて少なくとも10ミクロン延出することを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記銅柱の断面積がICチップのチップバンプと両立する範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記銅柱の直径が60から110ミクロンまでの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記銅柱の直径が最低25ミクロンであることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 隣接する銅ビア柱の分離が最低15ミクロンであることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 外側層内の前記銅柱のピッチが、40ミクロンであることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記外側誘電体が、100ナノメートル未満の平滑性を有することを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記外側誘電体が、50ナノメートル未満の平滑性を有することを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 前記外側誘電体が、NX04H(セキスイ)、HBI−800TR67680(Taiyo)およびGX−13(味の素)からなる群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の多層複合電子構造体。
- 誘電体内に埋め込まれたビア柱の外側層を有する多層複合構造体の側面を終端する方法であって、以下のステップ、すなわち:
(i)基板を得るステップ;
(ii)前記銅ビアを露出させるために前記外側層を薄くするステップ;
(iii)前記薄くされた表面の上に銅の層をスパッタリングするステップ;
(iv)フォトレジストの最後から2番目のパターンを塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(v)外側フィーチャ層を前記パターンに電気メッキするステップ;
(vi)前記フォトレジストの最後から2番目のパターンを剥離するステップ;
(vii)銅柱の所望のパターンに対応するフォトレジストの最後のパターンを塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(viii)銅柱を前記フォトレジストの最後のパターンにパターンメッキするステップ;
(ix)前記フォトレジストの最後のパターンを剥離するステップ;
(x)前記シード層をエッチング除去するステップ;
(xi)誘電外側層を積層するステップ;
(xii)前記誘電外側層を平坦化するステップ;
(xiv)ビア柱の端部を所望の深さまで露出させるために前記誘電外側層をプラズマエッチングするステップ、および
(xv)前記銅柱にプリフラックス(OSP)を付加するステップを含む方法。 - 前記誘電外側層がフィルム誘電体および乾燥フィルム半田マスクからなる群から選択されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- プラズマエッチングのステップ(xiv)が、酸素、四フッ化炭素およびフッ素からなる群から選ばれるガスの少なくとも1つをイオン化するステップを含む低圧雰囲気でのイオン衝撃に曝露するステップを含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記基板の反対側面上に終端部を付加するステップ(xiii)を更に含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 請求項18に記載の方法であって、終端部を付加するステップが:
(a)前記銅ビアの端部を露出させるために前記反対側面を薄くするステップ;
(b)銅シード層をスパッタリングするステップ;
(c)フォトレジスト層を塗布して、露光してかつ現像するステップ;
(d)銅パッドを前記フォトレジストに電気メッキするステップ;
(e)前記フォトレジストを剥離するステップ;
(f)前記シード層を除去するステップ、および
(g)基板の上に半田マスクを堆積してかつその間に前記銅パッドをオーバーラップするステップを含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/163,084 | 2014-01-24 | ||
US14/163,084 US9642261B2 (en) | 2014-01-24 | 2014-01-24 | Composite electronic structure with partially exposed and protruding copper termination posts |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015138967A true JP2015138967A (ja) | 2015-07-30 |
JP6590179B2 JP6590179B2 (ja) | 2019-10-16 |
Family
ID=51964502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014049102A Active JP6590179B2 (ja) | 2014-01-24 | 2014-03-12 | 多層複合電子構造体の側面を終端する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9642261B2 (ja) |
JP (1) | JP6590179B2 (ja) |
KR (1) | KR101732471B1 (ja) |
CN (1) | CN104183566B (ja) |
TW (1) | TWI639215B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107864555A (zh) * | 2017-12-09 | 2018-03-30 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 一种柔性电路板 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9971970B1 (en) | 2015-04-27 | 2018-05-15 | Rigetti & Co, Inc. | Microwave integrated quantum circuits with VIAS and methods for making the same |
CN108305864B (zh) * | 2017-01-12 | 2020-08-18 | 珠海越亚半导体股份有限公司 | 端子 |
US11121301B1 (en) | 2017-06-19 | 2021-09-14 | Rigetti & Co, Inc. | Microwave integrated quantum circuits with cap wafers and their methods of manufacture |
US10622326B2 (en) | 2017-08-18 | 2020-04-14 | Industrial Technology Research Institute | Chip package structure |
TWI678782B (zh) * | 2017-08-18 | 2019-12-01 | 財團法人工業技術研究院 | 半導體封裝重佈線層結構 |
US10249567B2 (en) | 2017-08-18 | 2019-04-02 | Industrial Technology Research Institute | Redistribution layer structure of semiconductor package |
CN110536564B (zh) * | 2019-08-30 | 2022-04-22 | 宁波华远电子科技有限公司 | 一种凸台作为焊盘的电路板的制作方法 |
CN114025477A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-02-08 | 广州朗国电子科技股份有限公司 | 多层板及电子设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007005809A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Megic Corp | 線路デバイスの製造方法 |
JP2008042118A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | キャパシタ内蔵基板及びその製造方法と電子部品装置 |
US20110299259A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Yu-Ling Hsieh | Circuit board with conductor post structure |
JP2012204662A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 配線基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5089880A (en) * | 1989-06-07 | 1992-02-18 | Amdahl Corporation | Pressurized interconnection system for semiconductor chips |
JPH0719964B2 (ja) * | 1990-08-08 | 1995-03-06 | 日本電気株式会社 | 銀系配線セラミック基板 |
JP3780386B2 (ja) * | 1996-03-28 | 2006-05-31 | 株式会社村田製作所 | セラミック回路基板及びその製造方法 |
US5808360A (en) * | 1996-05-15 | 1998-09-15 | Micron Technology, Inc. | Microbump interconnect for bore semiconductor dice |
US6380096B2 (en) * | 1998-07-09 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | In-situ integrated oxide etch process particularly useful for copper dual damascene |
JP2000106482A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Sony Chem Corp | フレキシブル基板製造方法 |
US6867493B2 (en) * | 2000-11-15 | 2005-03-15 | Skyworks Solutions, Inc. | Structure and method for fabrication of a leadless multi-die carrier |
JP4312372B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2009-08-12 | 日本碍子株式会社 | 静電チャックおよびその製造方法 |
US6532143B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-03-11 | Intel Corporation | Multiple tier array capacitor |
TW527856B (en) * | 2001-02-16 | 2003-04-11 | Siemens Dematic Electronics As | Interconnection circuit and method of fabricating the same |
US6623844B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-09-23 | Kyocera Corporation | Multi-layer wiring board and method of producing the same |
US6889429B2 (en) * | 2001-03-26 | 2005-05-10 | Semiconductor Components Industries, L.L.C. | Method of making a lead-free integrated circuit package |
US6550666B2 (en) * | 2001-08-21 | 2003-04-22 | Advanpack Solutions Pte Ltd | Method for forming a flip chip on leadframe semiconductor package |
US6967405B1 (en) * | 2003-09-24 | 2005-11-22 | Yongsik Yu | Film for copper diffusion barrier |
US7350292B2 (en) * | 2004-03-19 | 2008-04-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method for affecting impedance of an electrical apparatus |
JP4718305B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2011-07-06 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP4668782B2 (ja) * | 2005-12-16 | 2011-04-13 | 新光電気工業株式会社 | 実装基板の製造方法 |
DE102006037878A1 (de) * | 2006-08-11 | 2008-02-14 | Haver & Boecker Ohg | Leuchtgewebe und Verfahren zur dessen Herstellung |
US7928590B2 (en) * | 2006-08-15 | 2011-04-19 | Qimonda Ag | Integrated circuit package with a heat dissipation device |
US7981508B1 (en) * | 2006-09-12 | 2011-07-19 | Sri International | Flexible circuits |
US7875810B2 (en) * | 2006-12-08 | 2011-01-25 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Electronic component-inspection wiring board and method of manufacturing the same |
JP4881211B2 (ja) * | 2007-04-13 | 2012-02-22 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法及び半導体装置の製造方法及び配線基板 |
TWI341554B (en) * | 2007-08-02 | 2011-05-01 | Enthone | Copper metallization of through silicon via |
KR20100065691A (ko) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | 삼성전기주식회사 | 금속범프를 갖는 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
JP5221315B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2013-06-26 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
DE102009035972B4 (de) * | 2009-08-04 | 2011-11-17 | W.C. Heraeus Gmbh | Cermethaltige Durchführung für eine medizinisch implantierbare Vorrichtung |
CN101807517B (zh) * | 2010-02-25 | 2011-09-21 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 形成铜互连mim电容器结构的方法 |
US20110267948A1 (en) | 2010-05-03 | 2011-11-03 | Koc Ali T | Techniques for communicating and managing congestion in a wireless network |
US9137903B2 (en) * | 2010-12-21 | 2015-09-15 | Tessera, Inc. | Semiconductor chip assembly and method for making same |
US8952540B2 (en) * | 2011-06-30 | 2015-02-10 | Intel Corporation | In situ-built pin-grid arrays for coreless substrates, and methods of making same |
JP5877673B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-03-08 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ |
KR20130089475A (ko) * | 2012-02-02 | 2013-08-12 | 삼성전자주식회사 | 회로 기판 및 이의 제조 방법과 이를 이용한 반도체 패키지 |
US9440135B2 (en) * | 2012-05-29 | 2016-09-13 | Zhuhai Advanced Chip Carriers & Electronic Substrate Solutions Technologies Co. Ltd. | Multilayer electronic structures with integral vias extending in in-plane direction |
US9269593B2 (en) | 2012-05-29 | 2016-02-23 | Zhuhai Advanced Chip Carriers & Electronic Substrate Solutions Technologies Co. Ltd. | Multilayer electronic structure with integral stepped stacked structures |
US9001520B2 (en) * | 2012-09-24 | 2015-04-07 | Intel Corporation | Microelectronic structures having laminated or embedded glass routing structures for high density packaging |
US8997342B2 (en) * | 2012-10-15 | 2015-04-07 | Zhuhai Advanced Chip Carriers & Electronic Substrate Solutions Technologies Co. Ltd. | Method of fabrication, a multilayer electronic structure and structures in accordance with the method |
US8866286B2 (en) * | 2012-12-13 | 2014-10-21 | Zhuhai Advanced Chip Carriers & Electronic Substrate Solutions Technologies Co. Ltd. | Single layer coreless substrate |
US8878353B2 (en) * | 2012-12-20 | 2014-11-04 | Invensas Corporation | Structure for microelectronic packaging with bond elements to encapsulation surface |
US20140353019A1 (en) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Deepak ARORA | Formation of dielectric with smooth surface |
US20150195912A1 (en) * | 2014-01-08 | 2015-07-09 | Zhuhai Advanced Chip Carriers & Electronic Substrate Solutions Technologies Co. Ltd. | Substrates With Ultra Fine Pitch Flip Chip Bumps |
-
2014
- 2014-01-24 US US14/163,084 patent/US9642261B2/en active Active
- 2014-03-12 JP JP2014049102A patent/JP6590179B2/ja active Active
- 2014-07-15 CN CN201410336713.5A patent/CN104183566B/zh active Active
- 2014-08-20 TW TW103128715A patent/TWI639215B/zh active
- 2014-09-29 KR KR1020140129878A patent/KR101732471B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007005809A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Megic Corp | 線路デバイスの製造方法 |
JP2008042118A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | キャパシタ内蔵基板及びその製造方法と電子部品装置 |
US20110299259A1 (en) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Yu-Ling Hsieh | Circuit board with conductor post structure |
JP2012204662A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 配線基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107864555A (zh) * | 2017-12-09 | 2018-03-30 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 一种柔性电路板 |
CN107864555B (zh) * | 2017-12-09 | 2024-02-09 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 一种柔性电路板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104183566B (zh) | 2018-03-20 |
TWI639215B (zh) | 2018-10-21 |
KR101732471B1 (ko) | 2017-05-04 |
US9642261B2 (en) | 2017-05-02 |
US20150214171A1 (en) | 2015-07-30 |
CN104183566A (zh) | 2014-12-03 |
JP6590179B2 (ja) | 2019-10-16 |
TW201530720A (zh) | 2015-08-01 |
KR20150088704A (ko) | 2015-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6590179B2 (ja) | 多層複合電子構造体の側面を終端する方法 | |
US10779417B2 (en) | Substrates with ultra fine pitch flip chip bumps | |
US9049791B2 (en) | Terminations and couplings between chips and substrates | |
JP4716819B2 (ja) | インターポーザの製造方法 | |
JP6090295B2 (ja) | 埋め込みチップを作製する方法 | |
JP6079993B2 (ja) | 多層穴を製作するためのプロセス | |
US9269593B2 (en) | Multilayer electronic structure with integral stepped stacked structures | |
US9949373B2 (en) | Interposer frame with polymer matrix and methods of fabrication | |
TW201506969A (zh) | 嵌入在聚合物電介質中的薄膜電容器 | |
JP6459107B2 (ja) | 多層電子支持構造体の製作方法 | |
KR101770148B1 (ko) | 폴리머 매트릭스를 가진 인터포저 프레임 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180327 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180627 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181218 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190904 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6590179 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |