JP2015101083A5 - - Google Patents

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特許文献1には、キャビティに顆粒状樹脂Rを均一の厚さで過不足無く供給する方法が次のように記載されている(図1参照)。まず、下型18のキャビティ18aの開口に対応した形状の開口を上下に有する矩形フレーム枠11の下部の開口を離型フィルム12で被覆し、矩形フレーム枠11の下面で吸着して凹状収容部13を作製する(a)。この凹状収容部13を載置台14に載せ、フィーダ15から顆粒状樹脂Rを離型フィルム12上で均一の厚さとなるように供給する(b)。その後、顆粒状樹脂Rを収容した凹状収容部13を、矩形フレーム枠11で囲まれた離型フィルム12の部分がキャビティ18aの真上にくるようにして下型18の型面に載置し(c)、矩形フレーム枠11の下面での離型フィルム12の吸着を解除した後、離型フィルム12を、その上にある顆粒状樹脂Rと共にキャビティ18a内に吸引して引き込む(d)。これによって、均一の厚さの顆粒状樹脂Rがキャビティ18a内に供給される。その後、顆粒状樹脂Rを加熱溶融し(e)、この溶融樹脂Rmをキャビティ18a内に含む下型18と、電子部品20を装着した基板21を、その装着面を下方に向けた状態で取り付けた上型19とを型締めすることにより、電子部品20を溶融樹脂Rmに浸漬すると共に溶融樹脂Rmを樹脂加圧用のキャビティ底面部材18bにより押圧する(f)。溶融樹脂Rmが固化した後に上型19と下型18を型開きすることにより、電子部品20の樹脂封止成形品が得られる(g)。
この方法では、図2に示すように、矩形フレーム枠11の開口より大きいサイズの矩形の離型フィルム12の対向する二辺12a、12bをそれぞれグリップ(把持部材)25で把持し、これらのグリップ25を離型フィルム12の面内にて互いに反対方向に引っ張った(すなわち、同一平面内で一方向(図2中ではX方向)に引っ張った)後、矩形フレーム枠11の下面に吸着し、矩形フレーム枠11に装着することにより、凹収容部13を作製している。
従来の圧縮成形の手順を説明する概略図。 従来の圧縮成形装置における離型フィルムの張設方法を説明する平面概略図(a)、及び側面概略図(b)。 本発明の一実施例に係る圧縮成形装置の概略構成図。 同実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。 同実施例の樹脂材料供給装置における樹脂材料供給方法を説明するフローチャート。 同実施例の樹脂材料供給装置において、離型フィルムをグリップにより張設し(a)、張力を調整し(b)、フレーム枠を離型フィルム上に配置し(c)、その後フレーム枠を接触させて配置した状態(d)、及びグリップに張設した離型フィルムにフレーム枠の全重量が負荷されるようにした状態(e)を示す説明図。 同実施例の矩形の離型フィルムにかかる力を図示した平面概略図。 本発明の別の実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。 同実施例の樹脂材料供給装置における凹状収容部の作製方法を説明するフローチャート。 同実施例の樹脂材料供給装置において、離型フィルムをグリップにより張設し(a)、フレーム枠を離型フィルム上に配置し(b)、フレーム枠を接触させて配置し(c)、その後張力を調整した状態(d)を示す説明図。 同実施例において、円形の離型フィルムにかかる力を図示した平面概略図。 本発明の別の実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。
図7(a)は、図6(d)の離型フィルム37にかかる力を示す平面図であり、図7(b)は、図6(e)の離型フィルム37にかかる力を示す平面図である。図7では、離型フィルム37がグリップ41〜44によって把持されている部分を二鎖線で、フレーム枠36の外周縁を点線で示している。図7(a)、(b)に示すように、本実施例の樹脂材料供給装置30では、凹状収容部35の下面を形成する離型フィルム37に、その面内で、互いに対向する二点において、反対方向に等しい力がかかる。そのため、矩形の離型フィルム37は対向する二辺それぞれにおいて均一の力で互いに反対方向に引っ張られ、シワが無くなる。
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KR1020140161813A KR101704884B1 (ko) 2013-11-28 2014-11-19 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법 및 공급 장치
CN201410670898.3A CN104708752B (zh) 2013-11-28 2014-11-20 压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6049597B2 (ja) * 2013-11-28 2016-12-21 Towa株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給機構、並びに圧縮成形方法及び圧縮成形装置
JP6456254B2 (ja) * 2015-06-16 2019-01-23 アピックヤマダ株式会社 フィルム搬送装置及びフィルム搬送方法並びに樹脂モールド装置
JP6080907B2 (ja) * 2015-06-25 2017-02-15 Towa株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給装置及び方法、圧縮成形装置、並びに樹脂成形品製造方法
JP6672103B2 (ja) * 2016-08-01 2020-03-25 Towa株式会社 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法
JP6423399B2 (ja) * 2016-09-27 2018-11-14 アピックヤマダ株式会社 樹脂成形方法、フィルム搬送装置および樹脂成形装置
JP6298871B1 (ja) * 2016-10-21 2018-03-20 Towa株式会社 樹脂材料供給装置、樹脂材料供給方法、樹脂成形装置、及び樹脂成形品製造方法
JP6270969B2 (ja) * 2016-11-22 2018-01-31 Towa株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給機構、並びに圧縮成形方法及び圧縮成形装置
JP6774865B2 (ja) * 2016-12-13 2020-10-28 アピックヤマダ株式会社 枠体治具、樹脂供給治具及びその計量方法、モールド樹脂の計量装置及び方法、樹脂供給装置、樹脂供給計量装置及び方法、並びに樹脂モールド装置及び方法
JP6236561B1 (ja) * 2017-04-27 2017-11-22 信越エンジニアリング株式会社 ワーク貼り合わせ装置及びワーク貼り合わせ方法
JP6165372B1 (ja) * 2017-01-10 2017-07-19 信越エンジニアリング株式会社 ワーク搬送装置及びワーク搬送方法
CN109230725B (zh) * 2017-11-01 2024-06-04 郑州大学 一种矩形单元张膜装置
KR102504837B1 (ko) 2018-07-23 2023-02-28 삼성전자 주식회사 이형 필름 공급 장치를 포함하는 수지 성형 장치
RU2707898C1 (ru) * 2019-04-26 2019-12-02 Линар Салихзанович Сабитов Трехгранная решетчатая опора

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0785899B2 (ja) * 1989-02-20 1995-09-20 積水化学工業株式会社 熱成形性複合シートのプレス方法
JP3413356B2 (ja) * 1997-12-25 2003-06-03 住友化学工業株式会社 多層成形品の製造に用いる金型装置
JP4253393B2 (ja) * 1999-03-10 2009-04-08 Towa株式会社 半導体ウェーハの樹脂被覆方法及び金型
JP4479063B2 (ja) * 2000-06-15 2010-06-09 トヨタ自動車株式会社 車両のフードヒンジ構造
JP4268389B2 (ja) * 2002-09-06 2009-05-27 Towa株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置
JP4262468B2 (ja) * 2002-10-30 2009-05-13 アピックヤマダ株式会社 樹脂モールド方法、樹脂モールド装置およびこれに用いる支持治具
JP4336499B2 (ja) * 2003-01-09 2009-09-30 Towa株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置
JP5004410B2 (ja) * 2004-04-26 2012-08-22 Towa株式会社 光素子の樹脂封止成形方法および樹脂封止成形装置
JP2007251094A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Towa Corp 半導体チップの樹脂封止成形装置
JP2009083438A (ja) * 2007-10-03 2009-04-23 Towa Corp 電子部品の圧縮成形方法
KR101000776B1 (ko) * 2008-07-24 2010-12-15 세크론 주식회사 전자 부품 몰딩 장치
JP5153509B2 (ja) * 2008-08-08 2013-02-27 Towa株式会社 電子部品の圧縮成形方法及び金型装置
JP5877083B2 (ja) * 2012-02-14 2016-03-02 住友重機械工業株式会社 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JP6071216B2 (ja) * 2012-02-28 2017-02-01 Towa株式会社 樹脂封止用材料の製造方法及び樹脂封止装置
JP5774523B2 (ja) * 2012-03-01 2015-09-09 Towa株式会社 圧縮成形用型、圧縮成形装置及び圧縮成形方法
JP6039198B2 (ja) * 2012-03-07 2016-12-07 Towa株式会社 樹脂封止電子部品の製造方法及び樹脂封止電子部品の製造装置
JP6049597B2 (ja) * 2013-11-28 2016-12-21 Towa株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給機構、並びに圧縮成形方法及び圧縮成形装置

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