JP2015032678A - 炭化珪素半導体装置の製造方法、炭化珪素半導体装置の製造工程の管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、(a)炭化珪素の下地を準備する工程と、(b)下地上にカーボン保護膜20を形成する工程と、(c)下地およびカーボン保護膜に対し、熱処理を行う工程と、(d)工程(c)の後、カーボン保護膜をラマン分光法を用いて分析することで、下地上の温度を測定する工程とを備える。
【選択図】図1
Description
<ラマン分光法>
まず、本実施形態に関する炭化珪素半導体装置の製造方法において用いられる、ラマン分光法について簡単に説明する。
次に、本実施形態に関する炭化珪素半導体装置の製造方法について説明する。
上記実施形態では、炭化珪素基板表面にエタノールを熱分解する熱CVD法によりカーボン保護膜を形成したが、原料はエタノールに限定されず、メタン、アセチレンまたはプロパン等の炭化水素ガス、メタノールまたはプロパノール等のアルコールガス、ヒドロキシ酸、カルボン酸、ケトン、アルデヒド、フェノール、エステルまたはエーテルを気化させたもの、テトラヒドロフラン(THF)等の環状エーテル化合物を気化させたもの、または、一酸化炭素が用いられてもよい。
本実施形態によれば、炭化珪素半導体装置の製造方法が、(a)炭化珪素の下地を準備する工程と、(b)下地上にカーボン保護膜を形成する工程と、(c)下地およびカーボン保護膜に対し、熱処理を行う工程と、(d)工程(c)の後、カーボン保護膜をラマン分光法を用いて分析することで、下地上の温度を測定する工程とを備える。
実デバイス作製において活性化アニールの際の炭化珪素基板における実処理温度を測定し、その後の製造工程にフィードバックすることにより、イオン注入した不純物の活性化率のばらつきに起因したMOSFETの閾値電圧のばらつきおよびオン抵抗のばらつきを抑制することができる。
以下、具体的に本実施形態に関する炭化珪素半導体装置の製造方法を説明する。
本実施形態によれば、炭化珪素半導体装置の製造方法が、炭化珪素の下地を準備する工程として、(a1)炭化珪素基板1上にドリフト層2を形成する工程と、(a2)ドリフト層2表面に、不純物を注入する工程とを備える。
Claims (12)
- (a)炭化珪素の下地を準備する工程と、
(b)前記下地上にカーボン保護膜を形成する工程と、
(c)前記下地および前記カーボン保護膜に対し、熱処理を行う工程と、
(d)前記工程(c)の後、前記カーボン保護膜をラマン分光法を用いて分析することで、前記下地上の温度を測定する工程とを備えることを特徴とする、
炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(a)が、
(a1)前記炭化珪素基板上にドリフト層を形成する工程と、
(a2)前記ドリフト層表面に、不純物を注入する工程とを備え、
前記工程(b)が、前記ドリフト層上にカーボン保護膜を形成する工程であり、
前記工程(c)が、前記ドリフト層および前記カーボン保護膜に対し、前記不純物を活性化させるための熱処理を行う工程であり、
前記工程(d)が、前記工程(c)の後、前記カーボン保護膜をラマン分光法を用いて分析することで、前記ドリフト層上の温度を測定する工程であることを特徴とする、
請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(c)が、1500℃以上の温度で前記不純物を活性化させる工程であることを特徴とする、
請求項2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - (e)前記工程(d)における分析結果に基づいて、前記不純物の活性化率を算出する工程と、
(f)前記カーボン保護膜を除去する工程と、
(g)前記工程(f)の後、前記ドリフト層上にゲート酸化膜を形成する工程とをさらに備え、
前記ゲート酸化膜の厚さが、導出した前記不純物の活性化率に基づいて調整されることを特徴とする、
請求項2または3に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート酸化膜の厚さが、前記不純物の活性化率が基準値よりも高い場合には薄く、前記不純物の活性化率が基準値よりも低い場合には厚く調整されることを特徴とする、
請求項4に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記カーボン保護膜の厚さが、10nm以上、かつ、500nm以下であることを特徴とする、
請求項1〜5のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)が、熱CVD法を用いて、前記下地上に前記カーボン保護膜を形成する工程であることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)が、アルコールガスを原料とした熱CVD法を用いて、前記下地上に前記カーボン保護膜を形成する工程であることを特徴とする、
請求項1〜7のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)が、炭化水素ガスまたは環状エーテル化合物を原料とした熱CVD法を用いて、前記下地上に前記カーボン保護膜を形成する工程であることを特徴とする、
請求項1〜7のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)が、プラズマCVD法を用いて、前記下地上に前記カーボン保護膜を形成する工程であることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)が、スパッタ法を用いて、前記下地上に前記カーボン保護膜を形成する工程であることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜11のいずれかに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法の、前記工程(d)における分析結果を、前記炭化珪素半導体装置の製造工程または装置構成における設定パラメータにフィードバックさせることを特徴とする、
炭化珪素半導体装置の製造工程の管理方法。
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