JP2011146662A - SiC半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SiC基板1の表面層に不純物のドーピングを行なう工程と、不純物がドーピングされたSiC基板の表面に、不活性ガス雰囲気中でカーボン膜2を堆積する工程と、カーボン膜が堆積されたSiC基板をアニール処理する工程と、アニール処理されたSiC基板に堆積されているカーボン膜を除去する工程とを含むことを特徴とするSiC半導体素子の製造方法。好ましくはカーボン膜は水素濃度が5at%以下であること。カーボン膜を堆積する工程はECRスパッタ法、RFスパッタ法、DCスパッタ法、およびイオンビームスパッタ法のうちのいずれかの方法を用いてカーボン膜を堆積すること。カーボン膜を除去する工程は、水素プラズマ、硫化フッ素プラズマ、フッ化カーボンプラズマ、窒素プラズマを用いてカーボン膜を除去する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の半導体素子の製造方法を説明するための図である。本発明のSiC半導体素子の製造方法は、SiC基板の表面層に不純物のドーピングを行なう工程[図1(b)]と、前記不純物がドーピングされたSiC基板の表面に、不活性ガス雰囲気中でカーボン膜を堆積する工程[図1(c)]と、前記カーボン膜が堆積されたSiC基板をアニール処理する工程[図1(d)]と、前記アニール処理されたSiC基板に堆積されたカーボン膜を除去する工程[図1(e)]とを含むことを特徴とする。
40keV 2.0E14/cm2
20keV 2.0E14/cm2
2)DCスパッタ法:アルゴンガス圧1Pa、DC電圧500V
3)RFスパッタ法:アルゴンガス圧1Pa、RFパワー:800W
次に、ECRスパッタ法、RFスパッタ法、DCスパッタ法それぞれの方法で堆積したカーボン膜をアルゴン中1900℃にて30分アニールを行った。この基板を酸素ガス圧0.1Pa、マイクロ波パワー800Wの条件で酸素アッシングをした。酸素アッシングを行う時間は、以下の手法で決定した。イオン注入していないSiC基板に同一条件でカーボンを成膜し、この基板を同一の条件でアニールを行った。この基板に対して徐々に酸素アッシングを行い、抵抗を調べ、抵抗が消失した時間で酸素アッシング時間を決定した。このアッシング時間を用い、イオン注入した基板上のカーボン膜を除去してSiC半導体素子を作製した。
第2の実施形態では、第1の実施形態において酸素イオンによるアッシングを行ってカーボン膜を除去する態様に代えて、H2、SF6などの硫化フッ素系のガス、CF4などフッ化水素系のガス、N2を用い、カーボン膜のエッチングを行うことによりカーボン膜を除去する。
2 カーボン膜
10 スパッタ装置
11 真空容器
11a ガス入り口
11b 排気口
12a カソード側の電極板
12b アノード側の電極板
13 平板ターゲット
14 Arイオン(Arプラズマ雰囲気)
20 ECRスパッタ装置
21 マイクロ波発生装置
22 コイル
23 仕切窓
24 プラズマ室
25 原料物質(ターゲット)
26 電源
27 導波管
28 成膜チャンバ(成膜室)
Claims (8)
- SiC基板の表面層に不純物のドーピングを行なう工程と、
前記不純物がドーピングされたSiC基板の表面に、不活性ガス雰囲気中でカーボン膜を堆積する工程と、
前記カーボン膜が堆積されたSiC基板をアニール処理する工程と、
前記アニール処理されたSiC基板に堆積されているカーボン膜を除去する工程と
を含むことを特徴とするSiC半導体素子の製造方法。 - 前記カーボン膜は、水素濃度が5at%以下であることを特徴とする請求項1に記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記カーボン膜を堆積する工程は、ECRスパッタ法を用いてカーボン膜を堆積させることを特徴とする請求項1または2に記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記堆積されるカーボン膜は、結晶性のカーボン膜であることを特徴とする請求項3に記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記カーボン膜を除去する工程は、H2プラズマによるエッチングを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記カーボン膜を除去する工程は、硫化フッ素プラズマによるエッチングを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記カーボン膜を除去する工程は、フッ化カーボンプラズマによるエッチングを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記カーボン膜を除去する工程は、窒素プラズマによるエッチングを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
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