JP6472016B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法について説明する。図1A〜1Dは、本発明の実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造途中の状態を示す断面図である。まず、図1Aに示すように、所定の結晶面を結晶軸に対して例えば4°程度傾けた面を主面とする炭化珪素の四層周期六方晶(4H−SiC)基板(4°オフ基板)11上にn型SiCエピタキシャル膜12を成長させた炭化珪素(SiC)基板10を用意する。n型SiCエピタキシャル膜12のドナー密度および厚さは、それぞれ、例えば1.0×1016/cm3および5μm程度であってもよい。次に、例えば有機溶剤による薬液洗浄や、洗浄液として過酸化水素(H2O2)からなる混合溶液を用いた洗浄(いわゆるRCA洗浄)など、一般的な洗浄方法によってSiC基板10を洗浄する。
次に、カーボン保護膜14を除去した後のSiC基板10の表面粗さRaについて検証した。上述した実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法にしたがい、異なる成膜条件でSiC基板10の表面にカーボン保護膜14を成膜し、例示した上記諸条件で活性化熱処理を行った試料(SiCウェハ)1〜5をそれぞれ5つずつ作製した。試料1〜5では、電極間距離を60mmとし、スパッタリング装置のチャンバー内のガス圧力、および、カーボンターゲットに供給する電力の放電電力密度を種々変更することで、カーボン保護膜14の成膜速度を設定している。そして、これらの試料1〜5について、それぞれ活性化熱処理後にカーボン保護膜14を除去し、原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)を用いてSiC基板10の表面粗さRaを評価した。表面粗さRaの評価は、各試料1〜5ともに、1つのSiC基板10あたり3箇所(1箇所につき5μm四方の範囲で測定)の測定を、5つのSiC基板10に対して行った。
11 4H−SiC基板
12 n型SiCエピタキシャル膜
13 イオン注入
14 カーボン保護膜
Claims (1)
- 炭化珪素からなる半導体基板に不純物をイオン注入する注入工程と、
炭素からなるターゲットを用いたスパッタリングにより、前記半導体基板の、前記イオン注入された側の表面に炭素からなる保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記保護膜が形成された状態のまま、前記半導体基板を1400℃以上1900℃以下の温度で熱処理する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後、前記保護膜を除去する除去工程と、
を含み、
前記保護膜形成工程では、
前記ターゲットと前記半導体基板との間のガス雰囲気の圧力を0.6Pa以上3.0Pa以下とし、
前記ターゲットに供給する電力の放電電力密度を1.0mW/mm2以上21.0mW/mm2以下とし、
前記ターゲットと前記半導体基板との距離を5mm以上60mm以下とし、
前記ガス雰囲気をアルゴンガス雰囲気とし、
かつ、前記半導体基板の温度を30℃以下に保った状態で、前記保護膜を形成し、
前記除去工程の後の前記半導体基板の、前記イオン注入された側の表面の表面粗さRaを0.3nm以下にすることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。
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