JP6758097B2 - シリコン酸化層形成方法 - Google Patents
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- SiC基板の表面側にシリコン酸化層を形成するシリコン酸化層形成方法であって、
SiC基板の表面に、このSiC基板中のシリコン原子の昇華、脱離を防止するカーボン膜を堆積により成膜する成膜工程と、
カーボン膜が成膜されたSiC基板を酸素含有雰囲気にて1200℃〜1900℃の温度でアニールするアニール工程とを含むことを特徴とするシリコン酸化層形成方法。 - 前記アニール工程にて、前記カーボン膜を除去して前記シリコン酸化層を露出させることを特徴とする請求項1記載のシリコン酸化層形成方法。
- 請求項1又は2記載のシリコン酸化層形成方法であって、前記成膜工程にて、真空チャンバ内にSiC基板とカーボン製のターゲットとを配置し、ターゲットに電力投入してスパッタリングするものにおいて、
前記ターゲットに投入する電力密度を25mW/mm2以下に設定することを特徴とする請求項1又は2記載のシリコン酸化層形成方法。
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