JP2009036645A - 熱履歴測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測温体の測温部位に水素化アモルファスカーボンを含む熱履歴測定部を設け、前記被測温体に熱履歴を与えた後、前記熱履歴測定部における前記水素化アモルファスカーボンについて、ラマン分光分析によって測定されるGバンドシフトの変化に基づいて、前記被測温体の最高熱履歴温度を求めることを特徴とする熱履歴測定方法。
【選択図】なし
Description
本発明の方法は、熱履歴を受ける被測温体に設けた熱履歴測定部が含むDLCについて、ラマン分光分析によって測定されるGバンドシフトの変化に基づいて、前記被測温体の最高熱履歴温度を求める方法である。
(1)予め、所定の温度に加熱して熱履歴を受けた水素含有量既知のDLC膜について、ラマン分光分析によってラマンスペクトルのGバンドシフトを測定し、Gバンドシフトと熱履歴温度との関係を示す検量線を作成する。
(2)被測温体における熱履歴を測定したい部位(測温部位)に、検量線を作成したDLC膜と同じ水素含有量のDLC膜を、プラズマCVD法によって成膜して熱履歴測定部を設ける。
(3)DLC膜を成膜した被測温体に、熱履歴を与える。例えば、クラッチプレートにおいては、実際にクラッチに組み込んで、そのクラッチを使用して変速操作等の動作を行って、摺動面等に摩擦熱による熱履歴を与える。
(4)熱履歴を受けた被測温体のDLC膜のラマンスペクトルを測定し、Gバンドシフトを求める。求められたGバンドシフトに基づいて、前記の検量線から被測温体の最高熱履歴温度を求める。
検量線の作成
ここで、DLCについて測定されるラマンスペクトルのGバンドシフトの測定例について具体的に説明する。
まず、下記表1に示す条件下、誘導結合高周波プラズマCVD装置を用いて、表面に、水素含有量が30.1原子%であるDLC膜(DLC I)、水素含有量が17.1原子%であるDLC膜(DLC II)を成膜した試験片を作製した。
図6に示すクラッチプレート41の摺動面42に、プラズマCVD法によって、検量線の作成時に試験片の表面に形成したものと同じ膜厚:3μm、水素含有量:17.1原子%のDLC膜を成膜した。
DLC膜を摺動面に成膜したクラッチプレート41を、実際にクラッチに組み込み、SAE#2に準拠したテスト(JASO規格試験M348−2002)に供した。
クラッチを分解して熱履歴を受けたクラッチプレート41を取り出し、そのクラッチプレート41の摺動面に設けたDLC膜に、レーザーラマン分光装置(日本分光(株)製、NRS−2100)を用いて、前記の検量線の作成時と同じ測定条件で、アルゴンレーザを照射して、ラマンスペクトルを測定した。
次に、図4に示すGバンドシフトと熱履歴温度の関係(検量線)から、1535.1cm−1のGバンドシフトに該当する最高熱履歴温度を求めた。その結果、クラッチプレートの最高熱履歴温度は200℃以下であったことが分かった。
42 摺動面
Claims (5)
- 被測温体の測温部位に水素化アモルファスカーボンを含む熱履歴測定部を設け、前記被測温体に熱履歴を与えた後、前記熱履歴測定部における前記水素化アモルファスカーボンについて、ラマン分光分析によって測定されるGバンドシフトの変化に基づいて、前記被測温体の最高熱履歴温度を求めることを特徴とする熱履歴測定方法。
- 前記水素化アモルファスカーボンの水素含有量が17〜30原子%であることを特徴とする請求項1に記載の熱履歴の測定方法。
- 前記被測温体が、200〜400℃の温度域で最高熱履歴温度に到達する測温部位を有するものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱履歴測定方法。
- 前記被測温体の摺動部または可動部に前記熱履歴測定部を配設することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の熱履歴測定方法。
- 前記被測温体が、自動車に装備される可動部材または摺動部材であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の熱履歴測定方法。
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JP2015032678A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-02-16 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法、炭化珪素半導体装置の製造工程の管理方法 |
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