JP2004109032A

JP2004109032A - 温度計測方法および温度計測装置

Info

Publication number: JP2004109032A
Application number: JP2002274743A
Authority: JP
Inventors: Yoko Naka; 中　庸行; Tsukasa Satake; 佐竹　司
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2002-09-20
Filing date: 2002-09-20
Publication date: 2004-04-08
Anticipated expiration: 2022-09-20
Also published as: JP4146697B2

Abstract

【課題】顕微ラマン分光光度計の周囲温度などに起因するハード的な測定誤差、および試料の違いによる測定誤差がある場合でも、ラマン分光光度計を用いて測定したラマンスペクトルから精度良く温度を算出できる顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象試料５にレーザ光２を照射したときに得られるラマンスペクトルから測定対象試料５の温度Ｔを求める温度測定方法であって、測定対象試料５を測定したときに得られる特定波数におけるラマンスペクトルＬｓの位置または形状から読み取った値ν，Ｉ，ω，Ａを独立変数として重回帰分析することで、測定対象試料５の温度Ｔを求める。
【選択図】　　　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微ラマン分光光度計を用いて測定対象試料の温度を測定する温度計測方法および温度計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平７−３１８４２６号公報
【特許文献２】特開２００１−８５４８９号公報
【特許文献３】特開２００１−６６１９７号公報
従来より、シリコンウェーハなど半導体結晶よりなる試料の温度を測定する方法として、顕微ラマン分光光度計を用い、試料にレーザ光を照射したときに得られるラマンスペクトルから、測定対象試料の温度を求めることが行われている。図６は従来の顕微ラマン分光光度計によって測定できるラマンスペクトルの一例を示すものである。図６において、Ｌ_０は照射したレーザ光のスペクトル、Ｌｓ，Ｌａはレーザ光Ｌ_０の照射に伴って生じるラマン散乱光のスペクトルであって、Ｌｓはストークス線、Ｌａはアンチストークス線である。
【０００３】
前記ラマンスペクトルを用いて、測定対象試料の温度を測定する一つの方法としては、前記アンチストークス線Ｌａとストークス線Ｌｓとの強度比（Ｉａ／Ｉｓ）を用いる方法（例えば、特許文献１参照）がある。これは、測定対象試料の温度を２つの光Ｌａ，Ｌｓの強度比（Ｉａ／Ｉｓ）が熱平衡を仮定したボルツマン分布に従うことから算出する方法である。
【０００４】
しかしながら、ラマン分光法は強度の安定性と再現性が良くないことが欠点であり、アンチストークス線Ｌａとストークス線Ｌｓとの強度比（Ｉａ／Ｉｓ）からの算出では、ラマンスペクトル強度のバラツキが大きいため算出される温度の精度が悪くならざるを得なかった。つまり、アンチストークス線Ｌａは、ストークス線Ｌｓよりも強度が極めて小さいため正確な強度を測定する場合、ある程度時間が必要である。また、ストークス線Ｌｓとアンチストークス線Ｌａとの強度比（Ｉａ／Ｉｓ）は、温度に対して指数関数的に変化する。したがって、とりわけ高温領域での温度測定は著しく精度が低下するという問題がある。
【０００５】
測定対象試料の温度を測定する別の方法としては、前記ストークス線Ｌｓのピーク位置の波数シフト量に基づいて算出する方法（例えば、特許文献２参照）も考えられている。すなわち、試料としての物体に波数ν_０のレーザ光Ｌ_０を照射したときに生ずるラマン散乱光スペクトルＬｓ，Ｌａは、波数ν_０±Δνの部分に強いピーク（ラマンシフト）を持つものであり、このラマンシフトΔνの大きさが試料温度の変化に伴って幾らか変動することを利用したものである。
【０００６】
一方、ラマン散乱光Ｌｓ，Ｌａのピーク位置からの温度算出では、前記ラマンスペクトルのピーク位置の変動量ｄν（測定対象試料５が２０℃，１００℃のときのラマンシフトをそれぞれΔν_２０，Δν_１００とするとｄν＝Δν_１００−Δν_２０である）が極めて僅かであると共に、温度変化に敏感であることから、高分解能の分光器を用いる必要がある。しかし、分光器は、一般に、周囲の温度影響を受けやすく、同一試料５を測定してもばらつきが生じることは避けられなかった。このため、試料５を交換した際に算出される温度絶対値の再現性が悪かった。
【０００７】
そこで、前記ピーク位置（ν_０＋Δν）のずれを補正するために、前記特許文献３に示す公報では、測定対象試料に励起用のレーザ光とは別途に照射するプラズマラインと呼ばれる微小な光を照射してこれを検出し、このプラズマラインからのラマンスペクトルの位置によって温度測定を行なうことを提案している。
【０００８】
図７は、ストークス線Ｌｓの波数に近い波数を有するレーザ光として、例えばアルゴンレーザを試料に別途照射してプラズマラインｐを検出した場合のスペクトルを示す図である。図７において、符号ａ〜ｆで表わされる曲線は試料を温度調整器によってそれぞれ１００℃、２００℃、３００℃、４００℃、５００℃、６００℃に保持したときに得られるラマンスペクトル（ストークス線）を示し、ｐはプラズマラインである。
【０００９】
図７に示すように、プラズマラインｐは試料の温度にかかわらず一定の位置（波数νｐ）に表れる。すなわち、このプラズマラインｐの波数νｐを基準にしてラマンスペクトルａ〜ｆの波数シフト量νを求めることにより、前記分光光度計の周囲温度および／または光学的な誤差の影響を少なくして、測定精度を向上させている。
【００１０】
図８は１００℃〜６００℃までの温度範囲において、１００℃間隔でそれぞれ４回測定したときのピーク位置のプラズマラインｐからの位置（以降、波数シフト量νとする）を、それぞれ◇印（１回目）、□印（２回目）、△印（３回目）、×印（４回目）で示している。また、横軸は温度調整器の指示値である。図８が示すように、プラズマラインによる波数補正を用いれば非常に再現性良く温度を測定できることが分かる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記誤差の影響は測定対象試料の分光器の温度影響だけでなく、試料のちがいによって生じる光軸のわずかなずれなど、種々の誤差要因が関係するものであるから、特許文献３に示す方法で精度の高い波数シフト量νの検出を行ったとしても、温度の測定精度を十分に向上させることはできなかった。
【００１２】
図９は、図８における◇印（１回目）のデータから波数シフト量νと温度Ｔとの関係を二次関数で表わした検量線を作成し、温度を算出したときの測定温度と温度調整器の指示温度とのずれ量（測定誤差）を示す図である。図９が示すように、高温側において最大で２０．０℃（３％程度）の測定誤差が見受けられ、通常の温度測定では±１％程度の精度が要求されることを考えると、この値は比較的大きいことが分かる。
【００１３】
本発明は上述の事柄を考慮に入れてなされたものであって、その目的は、顕微ラマン分光光度計の周囲温度などに起因するハード的な測定誤差、および試料の違いによる測定誤差がある場合でも、ラマン分光光度計を用いて測定したラマンスペクトルから精度良く温度を算出できる温度計測方法および温度計測装置を提供する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の温度計測方法は、測定対象試料にレーザ光を照射したときに得られるラマンスペクトルから測定対象試料の温度を求める温度測定方法であって、測定対象試料を測定したときに得られる特定波数におけるラマンスペクトルの位置または形状から読み取った値を独立変数として重回帰分析することで、測定対象試料の温度を求めることを特徴としている（請求項１）。
【００１５】
すなわち、ラマンスペクトルの波数シフト量（すなわちピーク位置）のみならず、その形状から読み取った値を独立変数として用いることにより、一つのラマンスペクトルから得られる情報量を多くすることができる。そして、複数の独立変数を用いて重回帰分析することで誤差を小さくすることができ、それだけ、測定対象試料の温度をより正確に求めることができる。なお、前記ラマンスペクトルの波数シフト量とは、ラマンスペクトルの波長のシフト量の逆数を示すものであるが、この波数シフト量は波長または周波数のシフト量として扱うことも可能である。
【００１６】
前記ラマンスペクトルを近似する近似関数を求める場合には、従来の温度算出方法で用いられるラマンスペクトルへのカーブフィッティングの適用を行うことで、ラマンスペクトルの形状を捉えやすくなり、この近似関数を用いて、ラマンスペクトルの波数シフト量、半値幅、ピーク強度、バンド面積などの各量を容易に求めることができ、これらを用いた重回帰分析を行いやすくなる。
【００１７】
前記値が特定波数におけるラマンスペクトルの波数シフト量、半値幅、ピーク強度、バンド面積のうち少なくとも２つである場合（請求項２）には、ラマンスペクトルの形状を的確に捉えてこれを数値化し、重回帰分析に用いることができる。つまり、試料表面状態の差や試料交換に伴う光学的誤差がある場合でも、従来のアンチストークス／ストークス強度比やシフト量から算出する場合よりも高い精度で温度を算出することができる。
【００１８】
本発明の温度計測装置は、測定対象試料にレーザ光を照射するレーザ照射手段と、レーザ光の照射に伴って測定対象試料から生じる光を分光するための分光手段と、前記分光手段で分光されたラマンスペクトルのピーク位置の波数を検出するための検出手段とを備え、かつ、前記検出手段において検出されたピーク位置の波数を特定スペクトルのピーク位置の波数と比較してその波数シフト量を求め、この波数シフト量から測定対象試料の温度を求める温度計測装置であって、前記ラマンスペクトルの形状を示す値を前記波数シフト量と共に用いて重回帰分析することで、測定対象試料の温度を求めることを特徴としている。（請求項３）
【００１９】
前記値が特定波数におけるラマンスペクトルの半値幅、ピーク強度、バンド面積のうち少なくとも１つである場合（請求項４）には、半値幅、ピーク強度、バンド面積に相関性のない波数シフト量を、半値幅、ピーク強度、バンド面積のうちの少なくとも１つと共に重回帰分析に用いることで、計算の簡略化と測定精度の向上を両立することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の温度測定方法を実施するための顕微ラマン分光光度計の構成を概略的に示す図であって、図１において、１はレーザ光源で、例えば波長４９６５Åのレーザ２を発する。３はハーフミラーで、その一方の側には対物レンズ４を介して試料５が設けられる。この試料５は温度調節機能を備えた試料保持部６によって所定の状態に保持される。７はハーフミラー３の他方の側（試料５と対向する側）に設けられる分光器で、試料５表面において発生したラマン散乱光を分光するもので、その出射側にはラマンスペクトルを測定するためのＣＣＤ検出器８が設けられている。
【００２１】
ＣＣＤ検出器８により検出された電気信号は信号処理部９に送られた後、演算装置１０によって、予め求められている後述の検量線から温度Ｔを検出することができる。
【００２２】
なお、本例の場合は、通常のラマン測定では除去されるプラズマラインｐを基準として用いるため、通常は用いられる光学フィルタをレーザ光源１とハーフミラー３の光路から除去しているが、レイリー散乱光位置を基準として用いた場合には、前述のように光学フィルタを除去する必要はない。また、前記レーザ光源１にはこのプラズマラインｐを検出するために、別途の例えばアルゴンレーザなどの微弱レーザ光を照射するためのレーザ光源を設けている。そして、本例のプラズマラインｐは後述の波数シフト量νの基準となるものであり、試料の温度に影響されない波数の微弱レーザ光のスペクトルである。
【００２３】
上記構成の顕微ラマン分光光度計を用いて、例えばシリコンウェーハの温度を測定する場合、試料保持部６にシリコンウェーハを測定対象試料５として保持させる。その状態でレーザ光源１からレーザ光２を発する。このレーザ光２は、ハーフミラー３および対物レンズ４を経てシリコンウェーハ５の表面に集光される。このレーザ光２の照射によってシリコンウェーハ５においてラマン散乱光が生じ、このラマン散乱光は、ハーフミラー３を経て分光器７に導入され、ＣＣＤ検出器８に受光され、ラマンスペクトルが測定される。
【００２４】
そして、前記ラマンスペクトルは、コンピュータなどの演算装置１０に入力され、ラマンスペクトルの曲線近似（カーブフィッティング）を行うことにより、ラマンスペクトルについての後述する近似関数Ｆ（ν）を求める。すなわち、ラマンスペクトルを曲線近似する関数を求めるステップを有する。この曲線近似については、例えばガウス分布関数やローレンツ関数などが用いられる。次いで、求められた近似関数Ｆ（ν）を用いてシリコンウェーハ５の温度Ｔを求めることができる。
【００２５】
図２はカーブフィッティングによって求められた近似関数Ｆ（ν）をプロットした曲線の一例を示す図である。ここで、演算装置１０は測定したラマンスペクトル（ストークス線Ｌｓ）を一旦近似関数Ｆ（ν）に変換しているので、このラマンスペクトルに含まれるノイズによる影響をカーブフィッティングの段階でキャンセルすることができる。なお、以下の説明においては近似関数Ｆ（ν）をプロットした曲線をストークス線Ｌｓとして説明する。
【００２６】
顕微ラマン分光光度計の装置全体が周囲温度などにより影響を受けている場合、図２に示すように、前記近似関数における近似曲線に加えてプラズマラインｐ’の位置も、仮想線に示すようにアルゴンレーザの波数から求められる本来の位置ｐより前記周囲温度に見合う分だけずれている。
【００２７】
そこで、前記プラズマラインの本来の位置ｐと温度影響によってずれた位置ｐ’とのずれ量Δｐに基づいて前記近似関数Ｆ（ν）を調整して、近似曲線（ストークス線Ｌｓ）の形状を補正（波数方向に平行移動）することにより、温度影響を補償した近似関数Ｆ（ν）に基づく近似曲線Ｌｓを求めることができる。
【００２８】
本発明の顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定方法は、波数シフト量ν（プラズマラインｐの波数との差）に加えて、前記半値幅ω、ピーク強度Ｉ、バンド面積Ａのうち少なくとも何れか１つを独立変数として用いて重回帰分析することで、測定対象試料５の温度を求めるものである。したがって、演算装置１０は近似関数を用いて必要に応じて、近似曲線Ｌａの半値幅ω、ピーク強度Ｉ、バンド面積Ａの計算を行なう。
【００２９】
また、ラマンスペクトルのピーク強度Ｉは、測定対象試料５の交換などに伴う光学配置の僅かなずれや測定対象試料５の表面状態によって大きく変動するものであり、それぞれの測定対象試料５でバラツキの少ないピーク強度Ｉを測定することは困難である。
【００３０】
そこで、本発明ではラマンスペクトルのピーク強度Ｉが顕著に異なる場合には、重回帰分析を行って温度を算出する際に、予め基準となる任意の温度（例えば２０℃）で測定対象試料５にレイリー光を照射して生じるラマンスペクトルのピーク強度Ｉ_２０（２０℃のときのピーク強度Ｉ）を測定し、このピーク強度Ｉ_２０で規格化することができる。さらに、バンド面積Ｓはピーク強度Ｉで規格化した値を用いて検量線を作成し、温度算出時にもそれらの値を用いれば、スペクトル強度Ｉの絶対値が大きく異なる場合でも精度良く温度を算出できる。
【００３１】
図３は波数シフト量νに加えて、半値幅ωを独立変数として用いて重回帰分析する場合に、１００℃〜６００℃までの温度範囲において、１００℃間隔でそれぞれ４回測定したときに、１回目のデータで波数シフト量νと半値幅ωの値から、重回帰分析するための検量線を求める例を示す図である。図３には、１回目のデータを基に求めた検量線を用いて、それぞれ、記号◇（１回目），□（２回目），△（３回目），×（４回目）で１〜４回目のデータを用いて求めた試料の測定温度Ｔと、温度調節機能付き試料保持部６の設定温度との差を求めた誤差の大きさを示している。
【００３２】
なお、本例の場合、検量線は以下の式（１）に示すように表すことができる。
Ｔ＝ｆ（ν，ω）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…　式（１）
【００３３】
また、前記式（１）をより具体的に表すと、例えば式（２）のような一次式の和とすることができる。この場合、１回目の各値ν，ωに対する温度Ｔの値から検量線を構成する各係数ａ_０〜ａ_２の値を求めることができる。
Ｔ＝ａ_０＋ａ_１ν＋ａ_２ω　　　　　　　　　　　　　　　　…　式（２）
【００３４】
図４は波数シフト量νに加えて、半値幅ω、ピーク強度Ｉを独立変数として用いた場合の誤差の大きさを示す図である。その他は図３と同じであるが、本例の場合の検量線は以下の式（３）に示すようになり、より詳細には、例えば式（４）に示すように１次式の和によって表すことができる。
Ｔ＝ｆ（ν，ω，Ｉ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　…　式（３）
Ｔ＝ａ_０＋ａ_１ν＋ａ_２ω＋ａ_３Ｉ　　　　　　　　　　　　…　式（４）
【００３５】
さらに、図５は波数シフト量νに加えて、バンド面積Ａを独立変数として用いた場合の誤差の大きさを示す図であり、その他は図３，４と同じである。本例の場合の検量線は以下の式（５）に示すようになり、より詳細には、例えば式（６）に示すように１次式の和によって表すことができる。
Ｔ＝ｆ（ν，Ａ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…　式（５）
Ｔ＝ａ_０＋ａ_１ν＋ａ_４Ａ　　　　　　　　　　　　　　　　…　式（６）
【００３６】
図３〜図５が示すように、前記重回帰分析を用いた検量線の式（２），式（４），式（５）を用いた試料の測定温度Ｔと、温度調節機能付き試料保持部６の設定温度との差は、何れの場合においても、飛躍的に小さくなることが分かる。本例の場合、温度Ｔの絶対値のずれは、図３では最大で７．０℃、図４では５．７℃、図５では７．３℃となっていることが分かる。これは図９に示す波数シフト量νのみの検量線から算出した温度のずれの約１／３であり、１００〜６００℃の範囲でほぼ１％の精度となっていることが分かる。
【００３７】
上述の式（２），（４），（６）では、波長シフト量（波数シフト量）νに加えて前記半値幅ω、ピーク強度Ｉ、バンド面積Ａのうち１つまたは２つを一次関数の独立変数として用いて重回帰分析することで、いわば、係数ａ_１〜ａ_４を重み付けとしているが、本発明はこの点に限定されるものではない。すなわち、各独立変数ν，ω，Ｉ，Ａを２次関数以上の高次の関数で表わして、測定対象試料５に合わせたより精度の高い検量線を設定するようにしてもよい。これはとりわけ測定対象試料５の材質が分かっている場合に有用である。
【００３８】
また、前記半値幅ω、ピーク強度Ｉ、バンド面積Ａは何れも、近似曲線Ｌｓの形状に関係する量であるから、互いに幾らかの相関性があるが、波数シフト量νはこれらの量ω，Ｉ，Ａに相関性がないと考えられる。したがって、より精度の高い測定を行うためには、波数シフト量νとこれらの量ω，Ｉ，Ａのうちの１つ以上の量を用いて重回帰分析することが好ましい。加えて、前記式（１），（３），（５）に示した検量線は各量ω，Ｉ，Ａが互いに補完するような式とすることも可能である。
【００３９】
さらに、本例ではストークス線Ｌｓの波高値Ｉｓをピーク強度Ｉとしたり、このストークス線Ｌｓの波数シフト量ν，半値幅ω，バンド面積Ａを重回帰分析の独立変数とする例を示しており、一般的にストークス線Ｌｓはアンチストークス線Ｌａに比べてピーク強度Ｉｓが強いので、測定誤差を少なくするために有用であるが、本発明はこの点に限定されるものではない。すなわち、ストークス線Ｌｓに変えてアンチストークス線Ｌａ（図６参照）の波数シフト量ν，ピーク強度Ｉ，半値幅ω，バンド面積Ａを重回帰分析の独立変数としてもよい。この場合、分光器７はアンチストークス線Ｌａを検出できる波数領域の光を分光するものである。
【００４０】
加えて、前記分光器７を２つ設けるなどして、前記ストークス線Ｌｓとアンチストークス線Ｌａの両方が検出される２つの波数領域の光を分光できる構成とすることにより、アンチストークス線Ｌａのピーク強度Ｉａとストークス線Ｌｓのピーク強度Ｉｓの比（Ｉａ／Ｉｓ）を重回帰分析のための独立変数とすることも可能である。また、ストークス線Ｌｓとアンチストークス線Ｌａの両方の波数シフト量ν，半値幅ω，バンド面積Ａをそれぞれ求めて、両方共重回帰分析のための独立変数として用いることで、更なる精度の向上を図ることも可能である。
【００４１】
前記波数シフト量ν，半値幅ω，バンド面積Ａ，ピーク強度Ｉは何れも、ラマンスペクトルの形状を表わす種々の量の一例であるが、本発明はこれらの量に限定されるものではない。たとえば、半値幅ωとして、上述した半値全幅（ＦＷＨＭ：ｆｕｌｌ　ｗｉｄｔｈ　ａｔ　ｈａｌｆ　ｍａｘｉｍｕｍ　）のみならず、半値半幅（ＨＷＨＭ：ｈａｌｆ　ｗｉｄｔｈ　ａｔ　ｈａｌｆ　ｍａｘｉｍｕｍ　）を用いることも可能である。バンド面積Ａはピーク強度Ｉで除算されることにより、規格化されていることが望ましいが、バンド面積Ａをそのまま用いてもよい。
【００４２】
上述の各例においては、温度の測定対象試料としてシリコンウェーハを用いる例を示しているが、測定対象試料としては、半導体結晶やその他のラマン散乱を起こしやすい結晶であればその種類を限定する必要はない。また、レーザ光２の波長は上記４９６５Åに限られるものではなく、任意のものに設定できる。さらに、基準となる位置をプラズマラインｐの位置ではなく、レイリー散乱光の検出位置を用いてもよい。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定方法によれば、測定対象試料交換に伴う光学的なずれや試料表面の違いによる誤差の影響を受けることなく、試料の温度を精度良く算出することができる。また、周囲温度によって変化するラマンスペクトルのピーク位置（波数シフト量）、半値幅、ピーク強度、あるいはバンド面積を変数として考慮して温度を算出することで、分光光度計の測定誤差によって生じるスペクトル強度のバラツキの影響あるいは試料交換によって生じるスペクトルシフトの影響を軽減し、温度絶対値のずれやバラツキの少ないデータが取得できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定方法に用いる装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】シリコンウェーハにおけるラマンスペクトルの一例を示す図である。
【図３】波数シフト量と半値幅を独立変数として重回帰分析したときの測定結果を示す図である。
【図４】波数シフト量と半値幅とピーク強度を独立変数として重回帰分析したときの測定結果を示す図である。
【図５】波数シフト量とバンド面積を独立変数として重回帰分析したときの測定結果を示す図である。
【図６】レイリー光とラマンスペクトルの関係を示す図である。
【図７】プラズマラインと各温度におけるラマンスペクトルの関係を示す図である。
【図８】従来における温度変化に伴うラマンスペクトルのピーク位置とプラズマラインとの間隔の変化を示す図である。
【図９】従来の顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定方法による測定結果を示す図である。
【符号の説明】
２…レーザ光、５…測定対象試料、Ａ…バンド面積、Ｆ（ν）…近似関数、Ｉ…ピーク強度、Ｌｓ…ラマンスペクトル、ｐ…プラズマライン、Ｔ…温度、ω…半値幅。

Claims

測定対象試料にレーザ光を照射したときに得られるラマンスペクトルから測定対象試料の温度を求める温度測定方法であって、
測定対象試料を測定したときに得られる特定波数におけるラマンスペクトルの位置または形状から読み取った値を独立変数として重回帰分析することで、測定対象試料の温度を求めることを特徴とする温度計測方法。
前記値が特定波数におけるラマンスペクトルの波数シフト量、半値幅、ピーク強度、バンド面積のうち少なくとも２つである請求項１に記載の温度計測方法。
測定対象試料にレーザ光を照射するレーザ照射手段と、
レーザ光の照射に伴って測定対象試料から生じる光を分光するための分光手段と、
前記分光手段で分光されたラマンスペクトルのピーク位置の波数を検出するための検出手段とを備え、かつ、
前記検出手段において検出されたピーク位置の波数を特定スペクトルのピーク位置の波数と比較してその波数シフト量を求め、この波数シフト量から測定対象試料の温度を求める温度計測装置であって、
前記ラマンスペクトルの形状を示す値を前記波数シフト量と共に用いて重回帰分析することで、測定対象試料の温度を求めることを特徴とする温度計測装置。
前記値が特定波数におけるラマンスペクトルの半値幅、ピーク強度、バンド面積のうち少なくとも１つである請求項３に記載の温度計測装置。