JP2007003428A - 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 各測定波長に関し、前記目的元素に応じた共存元素の干渉に基づく測定精度を算出し、次いで各測定波長に関し、前記算出された測定精度に基づき、共存元素の干渉に基づく干渉後濃度測定領域を決定する。目的元素の濃度が前記干渉後濃度測定領域に含まれる測定波長のうち、算出された測定精度が最も高い測定波長による定量分析値を選択する発光分光分析方法とする。この定量分析方法により、自動的に最適な測定波長が選択されるため、測定が一回で終了する。
【選択図】 図2
Description
このとき、測定波長Lを用いて測定した試料の濃度が0.6ppmであったとする。この値は設定されている切換濃度の1.0ppm以下であるために、測定波長Lを用いて測定が実行されてしまう。しかし、この測定波長Lでは分光干渉の影響を受けて測定精度が低下し、濃度測定領域が狭くなっているため、分光干渉の影響がなく、より高精度な分析が可能な測定波長Hを用いて測定を行う方が好ましい。
試料を励起して該試料に含まれる目的元素に固有の波長を有する光を放出させ、その光を分光測定して取得したスペクトルに基づき前記目的元素の定量分析を行う発光分光分析方法において、
種々の元素毎に、それぞれが所定の濃度測定領域を有し、該濃度測定領域が相互に重なり合う複数の測定波長を予め設定しておき、
分析対象試料について取得したスペクトルと分析目的元素に応じて、各測定波長について共存元素の干渉に基づく測定精度を算出し、
各測定波長について、前記算出された測定精度に基づき、前記濃度測定領域を補正した干渉後濃度測定領域を決定し、
前記目的元素の濃度が前記干渉後濃度測定領域に含まれる測定波長のうち、算出された測定精度が最も高い測定波長による定量分析値を選択する
ことを特徴とする。
試料を励起して該試料に含まれる目的元素に固有の波長を有する光を放出させ、その光を分光測定して取得したスペクトルに基づき前記目的元素の定量分析を行う発光分光分析装置において、
種々の元素毎に、複数の測定波長及び該測定波長による濃度測定領域が保存された測定波長データベースと、
分析対象試料について取得したスペクトルと分析目的元素に応じて、各測定波長について共存元素の干渉に基づく測定精度を算出する測定精度算出手段と、
各測定波長について、前記算出された測定精度に基づき、前記濃度測定領域を補正した干渉後濃度測定領域を決定する干渉後濃度測定領域決定手段と、
前記目的元素の濃度が前記干渉後濃度測定領域に含まれる測定波長のうち、算出された測定精度が最も高い測定波長による定量分析値を選択する測定波長選択手段と、
を含むことを特徴とする。
なお、本例では測定波長は4つとしているが、本発明においては、設定される測定波長の個数は限定されない。また、濃度測定領域が略同一であるような複数の測定波長が設定されていても構わない。
この構成によれば、分析者が分析したい目的元素を設定すると、データベースからその目的元素のスペクトルに影響を与える共存元素が明らかになる。従って、分析者が想定していない共存元素が存在していたとしても、しかも、その共存元素が複数あったとしても、測定精度の算出をより正確に行うことが可能となる。
次にデータ処理部20は、スペクトルデータメモリ201に保存されているデータの中で測定波長におけるスペクトル強度を取得し、これに対しバックグラウンド補正を行うことによって、バックグラウンドノイズを除いた強度値を算出する。
次にデータ処理部20は、スペクトルデータメモリ201に保存されているデータの中で、補正用波長におけるスペクトル強度を取得し、これに対し上記と同様の手法でバックグラウンド補正を行うことによってバックグラウンドノイズを差し引いた強度値を算出する。
その後データ処理部20は、バックグラウンド補正後の共存元素の強度値に前記干渉補正係数を乗じることにより、測定波長においてバックグラウンド補正後の目的元素の強度値に含まれる干渉量を算出する。それから、求めた干渉量に所定の係数を乗じ、その値とバックグラウンド補正後の目的元素の強度値とから、測定精度を算出する。
11…オートサンプラ
12…集光レンズ
13…スリット
14…回折格子
15…マルチチャンネル型検出器
20…データ処理部
201…スペクトルデータメモリ
202…波長データベース
203…測定精度算出手段
204…干渉後濃度測定領域決定手段
205…測定波長選択手段
206…測定波長データベース
21…制御部
22…パーソナルコンピュータ
23…入力部
24…表示部
Claims (2)
- 試料を励起して該試料に含まれる目的元素に固有の波長を有する光を放出させ、その光を分光測定して取得したスペクトルに基づき前記目的元素の定量分析を行う発光分光分析方法において、
種々の元素毎に、それぞれが所定の濃度測定領域を有し、該濃度測定領域が相互に重なり合う複数の測定波長を予め設定しておき、
分析対象試料について取得したスペクトルと分析目的元素に応じて、各測定波長について共存元素の干渉に基づく測定精度を算出し、
各測定波長について、前記算出された測定精度に基づき、前記濃度測定領域を補正した干渉後濃度測定領域を決定し、
前記目的元素の濃度が前記干渉後濃度測定領域に含まれる測定波長のうち、算出された測定精度が最も高い測定波長による定量分析値を選択する
ことを特徴とする発光分光分析方法。 - 試料を励起して該試料に含まれる目的元素に固有の波長を有する光を放出させ、その光を分光測定して取得したスペクトルに基づき前記目的元素の定量分析を行う発光分光分析装置において、
種々の元素毎に、複数の測定波長及び該測定波長による濃度測定領域が保存された測定波長データベースと、
分析対象試料について取得したスペクトルと分析目的元素に応じて、各測定波長について共存元素の干渉に基づく測定精度を算出する測定精度算出手段と、
各測定波長について、前記算出された測定精度に基づき、前記濃度測定領域を補正した干渉後濃度測定領域を決定する干渉後濃度測定領域決定手段と、
前記目的元素の濃度が前記干渉後濃度測定領域に含まれる測定波長のうち、算出された測定精度が最も高い測定波長による定量分析値を選択する測定波長選択手段と、
を含むことを特徴とする発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005185949A JP4754888B2 (ja) | 2005-06-27 | 2005-06-27 | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
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2005
- 2005-06-27 JP JP2005185949A patent/JP4754888B2/ja active Active
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