JP2002310913A - 有機酸溶液中のスズの定量分析方法 - Google Patents
有機酸溶液中のスズの定量分析方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機酸溶液中のスズを分析するとき、有機酸
起因の成分の妨害を排除することができ、分析感度の向
上が可能となり、また、前処理を省略することができる
ため、前処理時におけるクロスコンタミネーションの虞
は全くなくなり、かつ前処理に要した時間分だけトータ
ルの分析処理時間が短縮できるようにした有機酸溶液中
のスズの定量分析方法提供する。 【解決手段】 有機酸溶液中のスズの定量分析を誘導結
合プラズマ発光分析装置を用いて行う分析方法であっ
て、上記誘導結合プラズマ発光分析装置の分析発光線の
波長を２３５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ及び２
８３．９９９ｎｍのいずれかに設定して分析を行うよう
にした。
起因の成分の妨害を排除することができ、分析感度の向
上が可能となり、また、前処理を省略することができる
ため、前処理時におけるクロスコンタミネーションの虞
は全くなくなり、かつ前処理に要した時間分だけトータ
ルの分析処理時間が短縮できるようにした有機酸溶液中
のスズの定量分析方法提供する。 【解決手段】 有機酸溶液中のスズの定量分析を誘導結
合プラズマ発光分析装置を用いて行う分析方法であっ
て、上記誘導結合プラズマ発光分析装置の分析発光線の
波長を２３５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ及び２
８３．９９９ｎｍのいずれかに設定して分析を行うよう
にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機酸溶液中の微
量のスズを定量分析する方法に関するものであって、特
には工業用試薬を用いた有機酸溶液中、または半導体試
薬を用いた有機酸溶液中の微量のスズの定量分析方法に
関する。
量のスズを定量分析する方法に関するものであって、特
には工業用試薬を用いた有機酸溶液中、または半導体試
薬を用いた有機酸溶液中の微量のスズの定量分析方法に
関する。
【０００２】
【従来技術】スズを含む重金属元素は、半導体素子特性
悪化の原因とされており、半導体産業においてはデバイ
ス製造における歩留りや製品の信頼性において、その工
程内での重金属不純物低減が重要である。不純物低減の
ためには、工程中で使用される有機酸溶液中の不純物濃
度管理が重要である。半導体基板や素子の製造工程で
は、例えばクエン酸等の有機酸溶液が使用されるため、
これらの不純物管理は重要である。
悪化の原因とされており、半導体産業においてはデバイ
ス製造における歩留りや製品の信頼性において、その工
程内での重金属不純物低減が重要である。不純物低減の
ためには、工程中で使用される有機酸溶液中の不純物濃
度管理が重要である。半導体基板や素子の製造工程で
は、例えばクエン酸等の有機酸溶液が使用されるため、
これらの不純物管理は重要である。
【０００３】また、有機酸溶液中の重金属不純物を分析
するためには、一般的に硫酸添加加熱分解等の前処理を
必要とし、有機酸溶液中の有機成分を分解の後、希硝酸
による残留不純物回収操作後に誘導結合プラズマ発光分
析（ＩＣＰ−ＡＥＳ）が行われる。
するためには、一般的に硫酸添加加熱分解等の前処理を
必要とし、有機酸溶液中の有機成分を分解の後、希硝酸
による残留不純物回収操作後に誘導結合プラズマ発光分
析（ＩＣＰ−ＡＥＳ）が行われる。
【０００４】通常、誘導結合プラズマ発光分析装置を用
いて有機酸溶液中の重金属不純物としてのスズの分析を
行うには、２７種類の発光線の波長（１８９．９３３ｎ
ｍ、２０３．９５０ｎｍ、２０６．８５８ｎｍ、２０
９．１４４ｎｍ、２０９．１５８ｎｍ、２０９．４３５
ｎｍ、２１４．８７３ｎｍ、２１４．９３１ｎｍ、２２
１．４９２ｎｍ、２２６．５９８ｎｍ、２２６．６０４
ｎｍ、２２８．２２４ｎｍ、２３３．４８０ｎｍ、２３
５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ、２４９．７７２
ｎｍ、２６１．４１８ｎｍ、２７９．０１９ｎｎｍ、２
８３．９９９ｎｍ、２９４．３６２ｎｍ、３０６．７７
６ｎｍ、３０９．４６９ｎｍ、３１０．２２３ｎｍ、３
３９．９０４ｎｍ、３９３．０３７ｎｍ、４０７．７７
２ｎｍ、４５１．１３０ｎｍ）の中から、感度の最も高
い波長（１８９．９３３ｎｍ）を選択して行われてい
る。
いて有機酸溶液中の重金属不純物としてのスズの分析を
行うには、２７種類の発光線の波長（１８９．９３３ｎ
ｍ、２０３．９５０ｎｍ、２０６．８５８ｎｍ、２０
９．１４４ｎｍ、２０９．１５８ｎｍ、２０９．４３５
ｎｍ、２１４．８７３ｎｍ、２１４．９３１ｎｍ、２２
１．４９２ｎｍ、２２６．５９８ｎｍ、２２６．６０４
ｎｍ、２２８．２２４ｎｍ、２３３．４８０ｎｍ、２３
５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ、２４９．７７２
ｎｍ、２６１．４１８ｎｍ、２７９．０１９ｎｎｍ、２
８３．９９９ｎｍ、２９４．３６２ｎｍ、３０６．７７
６ｎｍ、３０９．４６９ｎｍ、３１０．２２３ｎｍ、３
３９．９０４ｎｍ、３９３．０３７ｎｍ、４０７．７７
２ｎｍ、４５１．１３０ｎｍ）の中から、感度の最も高
い波長（１８９．９３３ｎｍ）を選択して行われてい
る。
【０００５】しかし、この波長帯は、残留有機物の波長
との干渉が大きく、分析値の信頼性に乏しいという欠点
があった。更に、前処理による有機成分の分解操作を必
要とするため、操作時のクロスコンタミネーションにも
注意を要する。
との干渉が大きく、分析値の信頼性に乏しいという欠点
があった。更に、前処理による有機成分の分解操作を必
要とするため、操作時のクロスコンタミネーションにも
注意を要する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】有機酸溶液中のスズを
誘導結合プラズマ発光分析法で分析するためには、通
常、前処理として試料溶液中に適量の硫酸を添加し、白
煙が出るまで加熱、蒸発乾固することで、複雑な有機成
分を分解した後に希硝酸で残留不純物を回収するという
操作を経て分析を行うが、このような前処理なしに分析
することができれば前処理時におけるクロスコンタミネ
ーションを未然に防ぐことが可能であり、かつ前処理に
要する時間を短縮することができる。
誘導結合プラズマ発光分析法で分析するためには、通
常、前処理として試料溶液中に適量の硫酸を添加し、白
煙が出るまで加熱、蒸発乾固することで、複雑な有機成
分を分解した後に希硝酸で残留不純物を回収するという
操作を経て分析を行うが、このような前処理なしに分析
することができれば前処理時におけるクロスコンタミネ
ーションを未然に防ぐことが可能であり、かつ前処理に
要する時間を短縮することができる。
【０００７】また、スズの分析は一般に、分析発光線の
波長をスズの発光強度の最も高い１８９．９３３ｎｍに
設定して行うが、有機酸溶液中のスズを分析する場合、
この波長での分析は、近接する干渉波長成分の影響で、
バックグラウンド信号強度の変動が大きく、分析値の信
頼性を低下させる大きな要因となっており、波長干渉の
少ない領域での分析が必要である。
波長をスズの発光強度の最も高い１８９．９３３ｎｍに
設定して行うが、有機酸溶液中のスズを分析する場合、
この波長での分析は、近接する干渉波長成分の影響で、
バックグラウンド信号強度の変動が大きく、分析値の信
頼性を低下させる大きな要因となっており、波長干渉の
少ない領域での分析が必要である。
【０００８】したがって、有機酸溶液、特に半導体製造
工程で使用される工業用試薬や半導体試薬を用いた有機
酸溶液中に含まれる微量のスズを定量分析することは上
記した従来の手法によっては困難なものであった。
工程で使用される工業用試薬や半導体試薬を用いた有機
酸溶液中に含まれる微量のスズを定量分析することは上
記した従来の手法によっては困難なものであった。
【０００９】本発明は、上記した問題点に鑑みなされた
もので、有機酸溶液中のスズを分析するとき、有機酸起
因の成分の妨害を排除することができ、分析感度の向上
が可能となり、また、前処理を省略することができるた
め、前処理時におけるクロスコンタミネーションの虞は
全くなくなり、かつ前処理に要した時間分だけトータル
の分析処理時間が短縮できるようにした有機酸溶液中の
スズの定量分析方法を提供することを目的とする。
もので、有機酸溶液中のスズを分析するとき、有機酸起
因の成分の妨害を排除することができ、分析感度の向上
が可能となり、また、前処理を省略することができるた
め、前処理時におけるクロスコンタミネーションの虞は
全くなくなり、かつ前処理に要した時間分だけトータル
の分析処理時間が短縮できるようにした有機酸溶液中の
スズの定量分析方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、有機酸溶液中のスズの定量分析を誘導結
合プラズマ発光分析装置を用いて行う分析方法であっ
て、上記誘導結合プラズマ発光分析装置の分析発光線の
波長を２３５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ及び２
８３．９９９ｎｍのいずれかに設定して分析を行うこと
を特徴とするものである。
め、本発明は、有機酸溶液中のスズの定量分析を誘導結
合プラズマ発光分析装置を用いて行う分析方法であっ
て、上記誘導結合プラズマ発光分析装置の分析発光線の
波長を２３５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ及び２
８３．９９９ｎｍのいずれかに設定して分析を行うこと
を特徴とするものである。
【００１１】上記スズを含む有機酸溶液としてはクエン
酸を含む溶液等があげられる。上記分析発光線の波長と
しては２８３．９９９ｎｍを選択して分析を行うことが
最も好ましい。また、上記有機酸溶液は、純水によって
５〜１５％の濃度に希釈された溶液とするのが好適であ
る。
酸を含む溶液等があげられる。上記分析発光線の波長と
しては２８３．９９９ｎｍを選択して分析を行うことが
最も好ましい。また、上記有機酸溶液は、純水によって
５〜１５％の濃度に希釈された溶液とするのが好適であ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００１３】本発明に用いる誘導結合プラズマ発光分析
装置としては、後述のパーキンエルマー社製ＯＰＴＩＭ
Ａ３００ＸＬなど、市販されている一般的なものを使用
すればよい。高濃度の有機酸溶液の分析では、溶液中に
含まれる有機物（炭素）の割合の増大から、誘導結合プ
ラズマ発光分析装置のプラズマトーチ内で蒸発、分解し
た有機物がトーチ内壁に付着し、プラズマの異常放電を
誘発する。また、低濃度の有機酸溶液の分析では、検出
下限が悪化する。よって、分析する溶液は５〜１５％、
例えば１０％程度まで純水で希釈することが好ましい。
装置としては、後述のパーキンエルマー社製ＯＰＴＩＭ
Ａ３００ＸＬなど、市販されている一般的なものを使用
すればよい。高濃度の有機酸溶液の分析では、溶液中に
含まれる有機物（炭素）の割合の増大から、誘導結合プ
ラズマ発光分析装置のプラズマトーチ内で蒸発、分解し
た有機物がトーチ内壁に付着し、プラズマの異常放電を
誘発する。また、低濃度の有機酸溶液の分析では、検出
下限が悪化する。よって、分析する溶液は５〜１５％、
例えば１０％程度まで純水で希釈することが好ましい。
【００１４】誘導結合プラズマ発光分析装置は直交軸型
トーチのものを用いることで、発光線の収率が向上し、
検出下限の改善がはかれる。
トーチのものを用いることで、発光線の収率が向上し、
検出下限の改善がはかれる。
【００１５】有機酸溶液中のスズを誘導結合プラズマ発
光分析装置で分析するとき、溶液濃度を５〜１５％、例
えば１０％程度にまで純水で希釈し、波長２３５．４８
４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ、２８３．９９９ｎｍのい
ずれか、特に波長２８３．９９９ｎｍで分析すること
で、分析値の信頼性を低下させる大きな要因となってい
たバックグラウンド信号の変動レベルを非常に小さくで
きる。これは、有機酸起因の成分による波長干渉が、２
８３．９９９ｎｍでは最も生じにくいことを意味する。
その結果、スズの検出下限の向上を計ることができる。
また、前述したような前処理を要しないため、分析まで
の時間を短縮することが可能である。
光分析装置で分析するとき、溶液濃度を５〜１５％、例
えば１０％程度にまで純水で希釈し、波長２３５．４８
４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ、２８３．９９９ｎｍのい
ずれか、特に波長２８３．９９９ｎｍで分析すること
で、分析値の信頼性を低下させる大きな要因となってい
たバックグラウンド信号の変動レベルを非常に小さくで
きる。これは、有機酸起因の成分による波長干渉が、２
８３．９９９ｎｍでは最も生じにくいことを意味する。
その結果、スズの検出下限の向上を計ることができる。
また、前述したような前処理を要しないため、分析まで
の時間を短縮することが可能である。
【００１６】スズ以外の金属（例えば、クロム、鉄、ニ
ッケル、銅、亜鉛等）は、波長干渉の影響は少なく、測
定上ほとんど問題がない。また、波長干渉によりスズの
検出に影響を与える有機酸としては、クエン酸（Ｃ6Ｈ8
Ｏ7）のほか、アスコルビン酸（Ｃ6Ｈ8Ｏ6）、リンゴ酸
（Ｃ4Ｈ6Ｏ5）、酒石酸（Ｃ4Ｈ6Ｏ6）などのカルボン酸
系の有機酸を挙げることができ、炭素数が多くなるほど
干渉の影響が大きくなる傾向がある。
ッケル、銅、亜鉛等）は、波長干渉の影響は少なく、測
定上ほとんど問題がない。また、波長干渉によりスズの
検出に影響を与える有機酸としては、クエン酸（Ｃ6Ｈ8
Ｏ7）のほか、アスコルビン酸（Ｃ6Ｈ8Ｏ6）、リンゴ酸
（Ｃ4Ｈ6Ｏ5）、酒石酸（Ｃ4Ｈ6Ｏ6）などのカルボン酸
系の有機酸を挙げることができ、炭素数が多くなるほど
干渉の影響が大きくなる傾向がある。
【００１７】
【実施例】以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的
に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもの
で限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもな
い。
に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもの
で限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもな
い。
【００１８】（実施例１〜３及び比較例１）試薬純度特
級のクエン酸（関東化学製 純度９８％）を濃度が１０
％になるように純水で希釈後、検量線作成用標準液とし
て関東化学製原子吸光分析用標準溶液（Ｓｎ １０００
ｐｐｍ）を添加して、クエン酸溶液中のスズ濃度が１０
ｐｐｂになるように調整した。
級のクエン酸（関東化学製 純度９８％）を濃度が１０
％になるように純水で希釈後、検量線作成用標準液とし
て関東化学製原子吸光分析用標準溶液（Ｓｎ １０００
ｐｐｍ）を添加して、クエン酸溶液中のスズ濃度が１０
ｐｐｂになるように調整した。
【００１９】また、スズの分析用標準溶液を添加しない
ものをブランク試料とした。これらの溶液を誘導結合プ
ラズマ発光分析装置（パーキンエルマー社製OPTIMA3000
XL直交軸型トーチ使用）により、スズの発光線の波長で
あり、発光強度がある程度高い波長である（ａ）１８
９．９３３ｎｍ（比較例１）、（ｂ）２３５．４８４ｎ
ｍ（実施例１）、（ｃ）２４２．１７０ｎｍ（実施例
２）、（ｄ）２８３．９９９ｎｍ（実施例３）にそれぞ
れ設定し分析し、図１（ａ）〜（ｄ）に示す検量線を得
た。
ものをブランク試料とした。これらの溶液を誘導結合プ
ラズマ発光分析装置（パーキンエルマー社製OPTIMA3000
XL直交軸型トーチ使用）により、スズの発光線の波長で
あり、発光強度がある程度高い波長である（ａ）１８
９．９３３ｎｍ（比較例１）、（ｂ）２３５．４８４ｎ
ｍ（実施例１）、（ｃ）２４２．１７０ｎｍ（実施例
２）、（ｄ）２８３．９９９ｎｍ（実施例３）にそれぞ
れ設定し分析し、図１（ａ）〜（ｄ）に示す検量線を得
た。
【００２０】図１の結果から、比較例１〔１８９．９３
３ｎｍ、図１（ａ）〕ではスズ濃度と発光強度との相関
は存在しないのに対し、実施例３〔２８３．９９９ｎ
ｍ、図１（ｄ）〕では最も高い相関を示し、実施例１
〔２３５．４８４ｎｍ、図１（ｂ）〕及び実施例２〔２
４２．１７０ｎｍ、図１（ｃ）〕では実施例３に次ぐ相
関を示すことがわかった。
３ｎｍ、図１（ａ）〕ではスズ濃度と発光強度との相関
は存在しないのに対し、実施例３〔２８３．９９９ｎ
ｍ、図１（ｄ）〕では最も高い相関を示し、実施例１
〔２３５．４８４ｎｍ、図１（ｂ）〕及び実施例２〔２
４２．１７０ｎｍ、図１（ｃ）〕では実施例３に次ぐ相
関を示すことがわかった。
【００２１】（実施例４〜６及び比較例２）各波長〔１
８９．９３３ｎｍ（比較例２）、２３５．４８４ｎｍ
（実施例４）、２４２．１７０ｎｍ（実施例５）、２８
３．９９９ｎｍ（実施例６）〕ごとにブランク試料を１
０回ずつ分析し、その平均値の３シグマ（標準偏差の３
倍）を得られた検量線（図１）に適用することにより、
スズ濃度の検出下限値を求めた。表１にその結果を示
す。
８９．９３３ｎｍ（比較例２）、２３５．４８４ｎｍ
（実施例４）、２４２．１７０ｎｍ（実施例５）、２８
３．９９９ｎｍ（実施例６）〕ごとにブランク試料を１
０回ずつ分析し、その平均値の３シグマ（標準偏差の３
倍）を得られた検量線（図１）に適用することにより、
スズ濃度の検出下限値を求めた。表１にその結果を示
す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１から明らかなように、スズ濃度の検出
下限は、波長が２８３．９９９ｎｍ（実施例６）であれ
ば最も低い値となり、また２４２．１７０ｎｍ（実施例
５）及び２３５．４８４ｎｍ（実施例４）がそれに次ぐ
低い値であるが、波長１８９．９３３ｎｍでは検出下限
が極めて高くなっていることがわかった。
下限は、波長が２８３．９９９ｎｍ（実施例６）であれ
ば最も低い値となり、また２４２．１７０ｎｍ（実施例
５）及び２３５．４８４ｎｍ（実施例４）がそれに次ぐ
低い値であるが、波長１８９．９３３ｎｍでは検出下限
が極めて高くなっていることがわかった。
【００２４】（実施例７〜９及び比較例３〜１１）２％
濃度の硝酸溶液、１０％濃度のクエン酸溶液（スズ添加
なし）及び１０％濃度のクエン酸溶液中に１０ｐｐｂの
スズを添加した溶液のそれぞれについて、スズの各波長
（１８９．９３３ｎｍ、２３５．４８４ｎｍ、２４２．
１７０ｎｍ、２８３．９９９ｎｍ）における発光スペク
トルを図２（ａ）〜（ｄ）に示す。
濃度の硝酸溶液、１０％濃度のクエン酸溶液（スズ添加
なし）及び１０％濃度のクエン酸溶液中に１０ｐｐｂの
スズを添加した溶液のそれぞれについて、スズの各波長
（１８９．９３３ｎｍ、２３５．４８４ｎｍ、２４２．
１７０ｎｍ、２８３．９９９ｎｍ）における発光スペク
トルを図２（ａ）〜（ｄ）に示す。
【００２５】図２（ａ）に示した波長１８９．９３３ｎ
ｍでは、２％硝酸溶液（比較例５）では何もピークは現
れないが、１０％クエン酸溶液（比較例４）では近接し
て干渉ピークが現れるため、スズを１０ｐｐｂ添加した
１０％クエン酸溶液（比較例３）と比較してもスペクト
ルにほとんど変化が見られない。これは、干渉成分のた
めバックグラウンド信号レベルが上昇し、スズの発光信
号がバックグラウンド中に埋もれていることを意味す
る。
ｍでは、２％硝酸溶液（比較例５）では何もピークは現
れないが、１０％クエン酸溶液（比較例４）では近接し
て干渉ピークが現れるため、スズを１０ｐｐｂ添加した
１０％クエン酸溶液（比較例３）と比較してもスペクト
ルにほとんど変化が見られない。これは、干渉成分のた
めバックグラウンド信号レベルが上昇し、スズの発光信
号がバックグラウンド中に埋もれていることを意味す
る。
【００２６】図２（ｂ）に示した波長２３５．４８４ｎ
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例７）では、何もピ
ークは現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例６）で
は干渉ピークが現れたもののそれ程高いピークではな
い。一方、スズを１０ｐｐｂ添加した１０％クエン酸溶
液（実施例７）の発光強度は低下しているが、干渉成分
の影響をそれ程受けないため、有機酸溶液中のスズの定
量分析として実用可能なものである。
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例７）では、何もピ
ークは現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例６）で
は干渉ピークが現れたもののそれ程高いピークではな
い。一方、スズを１０ｐｐｂ添加した１０％クエン酸溶
液（実施例７）の発光強度は低下しているが、干渉成分
の影響をそれ程受けないため、有機酸溶液中のスズの定
量分析として実用可能なものである。
【００２７】図２（ｃ）に示した波長２４２．１７０ｎ
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例９）では、ピーク
はほとんど現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例
８）では干渉ピークは多少現れるものの比較例６の場合
よりもさらに低いものである。一方、スズを１０ｐｐｂ
添加した１０％クエン酸溶液（実施例８）の発光強度は
実施例７同様低下しているが、同様に干渉成分の影響を
それ程受けないため、有機酸溶液中のスズの定量分析と
して実用可能なものである。
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例９）では、ピーク
はほとんど現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例
８）では干渉ピークは多少現れるものの比較例６の場合
よりもさらに低いものである。一方、スズを１０ｐｐｂ
添加した１０％クエン酸溶液（実施例８）の発光強度は
実施例７同様低下しているが、同様に干渉成分の影響を
それ程受けないため、有機酸溶液中のスズの定量分析と
して実用可能なものである。
【００２８】図２（ｄ）に示した波長２８３．９９９ｎ
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例１１）では、ピー
クはほとんど現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例
１０）では干渉成分はほとんど存在しない。また、スズ
を１０ｐｐｂ添加した１０％クエン酸溶液（実施例９）
の発光強度は高いため、検出感度は極めて高く、この波
長による有機酸溶液中のスズの定量分析の感度は最も良
好であることがわかった。
ｍにおいても、２％硝酸溶液（比較例１１）では、ピー
クはほとんど現れないが、１０％クエン酸溶液（比較例
１０）では干渉成分はほとんど存在しない。また、スズ
を１０ｐｐｂ添加した１０％クエン酸溶液（実施例９）
の発光強度は高いため、検出感度は極めて高く、この波
長による有機酸溶液中のスズの定量分析の感度は最も良
好であることがわかった。
【００２９】尚、この実験に使用したクエン酸中にはス
ズは検出限界以下の濃度しか含まれていない。以上のこ
とから、従来法のような前処理による有機成分の分解操
作を行わなくても信頼性が高く、感度の良い分析が可能
となった。
ズは検出限界以下の濃度しか含まれていない。以上のこ
とから、従来法のような前処理による有機成分の分解操
作を行わなくても信頼性が高く、感度の良い分析が可能
となった。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
有機酸溶液中のスズを分析するとき、有機酸起因の成分
の妨害を排除することができ、分析感度の向上が可能と
なり、また、前処理を省略することができるため、前処
理時におけるクロスコンタミネーションの虞は全くなく
なり、かつ前処理に要した時間分だけトータルの分析処
理時間が短縮できるという効果が達成される。
有機酸溶液中のスズを分析するとき、有機酸起因の成分
の妨害を排除することができ、分析感度の向上が可能と
なり、また、前処理を省略することができるため、前処
理時におけるクロスコンタミネーションの虞は全くなく
なり、かつ前処理に要した時間分だけトータルの分析処
理時間が短縮できるという効果が達成される。
【図１】 実施例１〜３及び比較例１の各波長における
スズ濃度と発光強度との関係をそれぞれ示すグラフであ
る。
スズ濃度と発光強度との関係をそれぞれ示すグラフであ
る。
【図２】 実施例７〜９及び比較例４〜１１の各波長に
おける発光強度を示すグラフである。
おける発光強度を示すグラフである。
Claims (4)
- 【請求項１】 有機酸溶液中のスズの定量分析を誘導結
合プラズマ発光分析装置を用いて行う分析方法であっ
て、上記誘導結合プラズマ発光分析装置の分析発光線の
波長を２３５．４８４ｎｍ、２４２．１７０ｎｍ及び２
８３．９９９ｎｍのいずれかに設定して分析を行うこと
を特徴とする分析方法。 - 【請求項２】 前記有機酸溶液が、クエン酸を含む溶液
である請求項１記載の分析方法。 - 【請求項３】 前記分析発光線の波長を２８３．９９９
ｎｍに設定して分析を行う請求項１又は２記載の分析方
法。 - 【請求項４】 前記有機酸溶液が、純水によって５〜１
５％の濃度に希釈された溶液である請求項１〜３のいず
れか１項記載の分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001120899A JP2002310913A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 有機酸溶液中のスズの定量分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001120899A JP2002310913A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 有機酸溶液中のスズの定量分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002310913A true JP2002310913A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18970867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001120899A Pending JP2002310913A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 有機酸溶液中のスズの定量分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002310913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003428A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Shimadzu Corp | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
| JP2017161486A (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 株式会社住化分析センター | 定量装置、定量方法、制御プログラム、および記録媒体 |
-
2001
- 2001-04-19 JP JP2001120899A patent/JP2002310913A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003428A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Shimadzu Corp | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
| JP2017161486A (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 株式会社住化分析センター | 定量装置、定量方法、制御プログラム、および記録媒体 |
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