JPS63151838A - 発光分析装置 - Google Patents
発光分析装置Info
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- JPS63151838A JPS63151838A JP30025586A JP30025586A JPS63151838A JP S63151838 A JPS63151838 A JP S63151838A JP 30025586 A JP30025586 A JP 30025586A JP 30025586 A JP30025586 A JP 30025586A JP S63151838 A JPS63151838 A JP S63151838A
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
大発明ｊ十−高唐力洟真枯舎プラズマ介キ公キ公析装置
などの発光分析装置に関する。
などの発光分析装置に関する。
（ロ）従来技術とその問題点
一般に、発光分析装置、たとえば、高周波誘導結合プラ
ズマ（以下、ＩＣＰ）発光分光分析装置は、溶液試料を
霧化し、これをプラズマトーチに導いてプラズマ発光さ
せる。そして、このプラズマ光を分光して各波長に含ま
れるスペクトル強度を測定することにより、試料に含ま
れる元素の定性、定量分析等を行なう。
ズマ（以下、ＩＣＰ）発光分光分析装置は、溶液試料を
霧化し、これをプラズマトーチに導いてプラズマ発光さ
せる。そして、このプラズマ光を分光して各波長に含ま
れるスペクトル強度を測定することにより、試料に含ま
れる元素の定性、定量分析等を行なう。
この装置で定量分析を行なう場合には、まず、特定元素
の含有量が既知の標準試料を用いて特定元素の含有量と
スペクトル強度との関係を、示す検量線を予め作成して
おき、次に、未知試料のスペクトル強度を測定し、この
スペクトル強度と検量線とに基づいて未知試料の元素含
有量を算出する。
の含有量が既知の標準試料を用いて特定元素の含有量と
スペクトル強度との関係を、示す検量線を予め作成して
おき、次に、未知試料のスペクトル強度を測定し、この
スペクトル強度と検量線とに基づいて未知試料の元素含
有量を算出する。
ところで、単一の元素でもその元素固有の波長の異なる
スペクトル線が多数存在するので、各スペクトル線に対
して検量線を作成することができる。しかし、通常は、
定量結果の精度を考慮して、分析感度のよい特定波長の
スペクトル線を選定して検量線を作成している。ＩＣＰ
発光分光分析装置を用いて作成される検量線は、はとん
どの元素について直線的な関係を示すものの、Ｃａ５Ｍ
ｇ等のアルカリ上類の元素については、スペクトル線の
自己吸収によって、第３図（ａ）に示すように、分析感
度のよいスペクトル線はど特に高濃度領域において検量
線が曲がってくる。このような非線形の検量線を使用し
たのでは、直線近似ができないので分析精度が悪くなる
。したがって、このような場合、従来は、検量線を二次
式、三次式に当てはめて近似する方法を用いたり、ある
いは、分析者が定量結果の精度を見て、その都度、比較
的分析感度の低いスペクトル線についての検量線を選定
し直すなどしていた。ところが、二次式、三次式を用い
た近似では、依然として分析精度が悪く、また、分析者
が定量結果を見みてその都度検量線を選定するのでは、
定量分析が手間取りかつ煩雑になる。
スペクトル線が多数存在するので、各スペクトル線に対
して検量線を作成することができる。しかし、通常は、
定量結果の精度を考慮して、分析感度のよい特定波長の
スペクトル線を選定して検量線を作成している。ＩＣＰ
発光分光分析装置を用いて作成される検量線は、はとん
どの元素について直線的な関係を示すものの、Ｃａ５Ｍ
ｇ等のアルカリ上類の元素については、スペクトル線の
自己吸収によって、第３図（ａ）に示すように、分析感
度のよいスペクトル線はど特に高濃度領域において検量
線が曲がってくる。このような非線形の検量線を使用し
たのでは、直線近似ができないので分析精度が悪くなる
。したがって、このような場合、従来は、検量線を二次
式、三次式に当てはめて近似する方法を用いたり、ある
いは、分析者が定量結果の精度を見て、その都度、比較
的分析感度の低いスペクトル線についての検量線を選定
し直すなどしていた。ところが、二次式、三次式を用い
た近似では、依然として分析精度が悪く、また、分析者
が定量結果を見みてその都度検量線を選定するのでは、
定量分析が手間取りかつ煩雑になる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、定量分析の際に、分析対象元素とその含有量に適応
した検量線が人手を介することなく自動的に選定される
ようにして、常に、直線性のよい検量線に基づく定量分
析結果が得られるとともに、定量分析時の労力を軽減で
きるようにすることを目的とする。
て、定量分析の際に、分析対象元素とその含有量に適応
した検量線が人手を介することなく自動的に選定される
ようにして、常に、直線性のよい検量線に基づく定量分
析結果が得られるとともに、定量分析時の労力を軽減で
きるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段
本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。すなわち、本発明の発光分析装置は、各種元素につ
いて互いに異なる波長のスペクトル線に基づく検量線デ
ータが記憶された検量線メモリと、分析対象元素を予め
設定する設定器と、前記検量線の一つを用いて予備的に
求めた定量値と予め設定される規定値とを比較し、定量
値の規定値に対する大小に応じた判別結果を示す信号を
出力する結果判別回路と、この結果判別回路の判別結果
と前記設定器で設定された元素の両情報に基づいて前記
検量線メモリから分析対象元素についての適応した検量
線データを選択する検量線選択回路と、を備えている。
る。すなわち、本発明の発光分析装置は、各種元素につ
いて互いに異なる波長のスペクトル線に基づく検量線デ
ータが記憶された検量線メモリと、分析対象元素を予め
設定する設定器と、前記検量線の一つを用いて予備的に
求めた定量値と予め設定される規定値とを比較し、定量
値の規定値に対する大小に応じた判別結果を示す信号を
出力する結果判別回路と、この結果判別回路の判別結果
と前記設定器で設定された元素の両情報に基づいて前記
検量線メモリから分析対象元素についての適応した検量
線データを選択する検量線選択回路と、を備えている。
（ニ）作用
したがって、本発明の発光分析装置では、定量分析を行
なう分析対象元素について予め設定器で設定しておく。
なう分析対象元素について予め設定器で設定しておく。
是量分析が開始されると、まず、検量線選択回路は、ま
ず、予備的に分析対象元素についての最も分析感度のよ
い低濃度用のスペクトル線に基づく検量線を選択する。
ず、予備的に分析対象元素についての最も分析感度のよ
い低濃度用のスペクトル線に基づく検量線を選択する。
そして、この検量線を利用して未知試料の元素含有量を
算出した場合に得られる定量値が結果判別回路に入力さ
れる。結果判別回路は、この定量値と予め設定される規
格値とを比較し、定量値が規格値よりも大きい場合には
上記の検量線よりも幾分分析感度の低い高濃度用のスペ
クトル線に基づく検量線を選定するための判定結果の信
号を検量線選択回路に出力する。検量線選択回路は、結
果判別回路の判別結果と設定器で設定された元素の両情
報に基づいて検量線メモリから分析対象元素について先
に選定した低濃度用の検量線に代えて高濃度用のスペク
トル線に基づく検量線データを選択して読み出す。
算出した場合に得られる定量値が結果判別回路に入力さ
れる。結果判別回路は、この定量値と予め設定される規
格値とを比較し、定量値が規格値よりも大きい場合には
上記の検量線よりも幾分分析感度の低い高濃度用のスペ
クトル線に基づく検量線を選定するための判定結果の信
号を検量線選択回路に出力する。検量線選択回路は、結
果判別回路の判別結果と設定器で設定された元素の両情
報に基づいて検量線メモリから分析対象元素について先
に選定した低濃度用の検量線に代えて高濃度用のスペク
トル線に基づく検量線データを選択して読み出す。
−ＭしＡ）−ΔＢ；トシ本コＬ＋−Ａ糎±４つ２社中ニ
ダーν一一）いである一つの検ｍ線に基づいて予備的に
求めた定量値と、予め設定した規格値とを比較し、定量
値が規格値よりも大きい場合には、同じ元素についての
高濃度用のスペクトル線に基づく検量線に自動的に変更
されるので、常に、直線性のよい検量線に基づく定量分
析結果が得られることになる。
ダーν一一）いである一つの検ｍ線に基づいて予備的に
求めた定量値と、予め設定した規格値とを比較し、定量
値が規格値よりも大きい場合には、同じ元素についての
高濃度用のスペクトル線に基づく検量線に自動的に変更
されるので、常に、直線性のよい検量線に基づく定量分
析結果が得られることになる。
（ホ）実施例
第１図は本発明の実施例に係るＩＣＰ発光分析装置の要
部を示すブロック図である。同図において、符号ｌはＩ
ＣＰ発光分光分析装置の全体を示し、２はプラズマトー
チによりプラズマ光が発光される発光部、４は発光部２
で発光されたプラズマ光を分光するとともに、分光して
得られる各波長のスペクトル光を光電測光する分光測光
部である。
部を示すブロック図である。同図において、符号ｌはＩ
ＣＰ発光分光分析装置の全体を示し、２はプラズマトー
チによりプラズマ光が発光される発光部、４は発光部２
で発光されたプラズマ光を分光するとともに、分光して
得られる各波長のスペクトル光を光電測光する分光測光
部である。
６は各種元素について互いに異なる波長λ５、λ２、・
・・のスペクトル線に基づく検量線データが記憶された
検量線メモリ、８は分析対象元素を予め設定する設定器
、１０は分光測光部４で測光された特定元素のスペクト
ル強度と後述する検ｍ線選択回路１４で選択された検量
線とに基づいて未知試料の元素含有量を算出する定量値
算出回路である。また、Ｉ２は定量値算出回路ＩＯで算
出された定量値と予め設定される規定値とを比較し、定
量値の規定値に対する大小に応じた判別結果を示す信号
を出力する結果判別回路、１４は結果判別回路１２の判
別結果と設定器８で設定された元素の両情報に基づいて
検量線メモリ６から分析対象元素についての適応した検
量線データを選択する検量線選択回路である。
・・のスペクトル線に基づく検量線データが記憶された
検量線メモリ、８は分析対象元素を予め設定する設定器
、１０は分光測光部４で測光された特定元素のスペクト
ル強度と後述する検ｍ線選択回路１４で選択された検量
線とに基づいて未知試料の元素含有量を算出する定量値
算出回路である。また、Ｉ２は定量値算出回路ＩＯで算
出された定量値と予め設定される規定値とを比較し、定
量値の規定値に対する大小に応じた判別結果を示す信号
を出力する結果判別回路、１４は結果判別回路１２の判
別結果と設定器８で設定された元素の両情報に基づいて
検量線メモリ６から分析対象元素についての適応した検
量線データを選択する検量線選択回路である。
１６は定量値算出回路ＩＯで算出された定量値のデータ
を記憶する分析データメモリ、１８は定量値算出回路１
０で算出された定量値のデータを画像表示する表示器（
ＣＲＴ）、２０は分光測光部４と各メモリ６．１６を制
御する制御部である。
を記憶する分析データメモリ、１８は定量値算出回路１
０で算出された定量値のデータを画像表示する表示器（
ＣＲＴ）、２０は分光測光部４と各メモリ６．１６を制
御する制御部である。
次に、上記構成のＩＣＰ発光分光分析装置ｌの動作につ
いて、第２図に示すフローチャートを参照して説明する
。
いて、第２図に示すフローチャートを参照して説明する
。
定量分析を行なうにあたっては、各種の元素の含有量が
既知の標準試料を用いて互いに異なる波長λ１、λ７、
・・・のスペクトル線に基づく検量線を予め作成しくス
テップ■）、これらの検量線のデータを検量線メモリに
記憶しておく。また、定量分析の開始前には、分析対象
元素について設定器８で予め設定しておく（ステップ■
）。なお、この実施例では、Ｃａ、 Ｍ ｇ等のアルカ
リ土類に含まれる一つの元素を分析対象として設定する
ものとする。
既知の標準試料を用いて互いに異なる波長λ１、λ７、
・・・のスペクトル線に基づく検量線を予め作成しくス
テップ■）、これらの検量線のデータを検量線メモリに
記憶しておく。また、定量分析の開始前には、分析対象
元素について設定器８で予め設定しておく（ステップ■
）。なお、この実施例では、Ｃａ、 Ｍ ｇ等のアルカ
リ土類に含まれる一つの元素を分析対象として設定する
ものとする。
定量分析が開始されると、まず、検量線選択回路１４は
、第３図（ｃ）に示すように、分析対象元素についての
最も分析感度のよい低濃度用のスペクトル線（波長λυ
に基づく検量線のデータを予備的に選択して検量線メモ
リ６から読み出す（ステップ■）。そして、この検量線
データが定量値算出回路１０に送出されろ。一方、分析
対象元素の上記波長λ１のスペクトル光の強度が分光測
光部４で測定され、その測定値が同様に定量値算出回路
ＩＯに送出される。定量値算出回路ＩＯは、分光測光部
４からのスペクトル強度の測定値と低濃度用のスペクト
ル線（波長λＩ）に基づく検量線データとから元素含有
量を算出し、その定量値のデータを結果判別回路１２に
与える。結果判別回路１２は、定量値算出回路１０から
の定量値と予め設定器８で設定された規格値（たとえば
、１０ｐｐｍの値）とを比較する（ステップ■）。この
場合、アルカリ土類の分析において、低濃度用の検量線
（波長λ１）を高濃度領域でそのまま使用すると、第３
図（ａ）に示すように、高濃度領域で検量線が非線形と
なるので、定量値が規格値よりも大きいときには、先の
低濃度用の検量線に代えて第３図（ｂ）に示すような幾
分分析感度の低いスペクトル線（波長λ２）に基づく高
濃度用の検量線を使用する必要がある。そこで、結果判
別回路１２は、定量値が規格値よりも大きい場合には高
濃度用の検量線を選定するための判定結果の信号を検量
線選択回路１４に出力する。検量線選択回路１４は、結
果判別回路１２の判別結果と設定器８て設定された元素
の両情報に基づいて検量線メモリ６から先に選定した検
量線に代えて高濃度用のスペクトル線（波長λ、）に基
づく検量線データを選択して読み出す（ステ、ツブ■）
へまた−勾目知駆２０に上って分光測光部４の検出波長
が選択された検量線に対応するスペクトル光（波長λ２
）を測光するように固定される。そして、分光測光部４
からの測光値と、選択された高濃度用の検量線とに基づ
いて元素含有量が定量値算出回路ＩＯで算出される。
、第３図（ｃ）に示すように、分析対象元素についての
最も分析感度のよい低濃度用のスペクトル線（波長λυ
に基づく検量線のデータを予備的に選択して検量線メモ
リ６から読み出す（ステップ■）。そして、この検量線
データが定量値算出回路１０に送出されろ。一方、分析
対象元素の上記波長λ１のスペクトル光の強度が分光測
光部４で測定され、その測定値が同様に定量値算出回路
ＩＯに送出される。定量値算出回路ＩＯは、分光測光部
４からのスペクトル強度の測定値と低濃度用のスペクト
ル線（波長λＩ）に基づく検量線データとから元素含有
量を算出し、その定量値のデータを結果判別回路１２に
与える。結果判別回路１２は、定量値算出回路１０から
の定量値と予め設定器８で設定された規格値（たとえば
、１０ｐｐｍの値）とを比較する（ステップ■）。この
場合、アルカリ土類の分析において、低濃度用の検量線
（波長λ１）を高濃度領域でそのまま使用すると、第３
図（ａ）に示すように、高濃度領域で検量線が非線形と
なるので、定量値が規格値よりも大きいときには、先の
低濃度用の検量線に代えて第３図（ｂ）に示すような幾
分分析感度の低いスペクトル線（波長λ２）に基づく高
濃度用の検量線を使用する必要がある。そこで、結果判
別回路１２は、定量値が規格値よりも大きい場合には高
濃度用の検量線を選定するための判定結果の信号を検量
線選択回路１４に出力する。検量線選択回路１４は、結
果判別回路１２の判別結果と設定器８て設定された元素
の両情報に基づいて検量線メモリ６から先に選定した検
量線に代えて高濃度用のスペクトル線（波長λ、）に基
づく検量線データを選択して読み出す（ステ、ツブ■）
へまた−勾目知駆２０に上って分光測光部４の検出波長
が選択された検量線に対応するスペクトル光（波長λ２
）を測光するように固定される。そして、分光測光部４
からの測光値と、選択された高濃度用の検量線とに基づ
いて元素含有量が定量値算出回路ＩＯで算出される。
その定量値の算出結果は、分析データメモリ１６に送出
されて記憶されるとともに（ステップ■）、表示器１８
に表示される。
されて記憶されるとともに（ステップ■）、表示器１８
に表示される。
上記のステップ■において、結果判別回路１２で定量値
算出回路１０からの定量値と予め設定される規格値とを
比較した結果、定量値が規格値よりも小さい場合には、
検量線選択回路１４は、最初に選択された高濃度用のス
ペクトル線（波長λ１）に基づく検量線をそのまま選択
するので、検量線の選択変更はない。
算出回路１０からの定量値と予め設定される規格値とを
比較した結果、定量値が規格値よりも小さい場合には、
検量線選択回路１４は、最初に選択された高濃度用のス
ペクトル線（波長λ１）に基づく検量線をそのまま選択
するので、検量線の選択変更はない。
こうして、一つの試料についての定量分析が終了すると
（ステップ■）、次の試料の定量分析に移行しくステッ
プ■）、すべての未知試料についての定量分析が終了す
るまで上記と同様の同様が繰り返される。
（ステップ■）、次の試料の定量分析に移行しくステッ
プ■）、すべての未知試料についての定量分析が終了す
るまで上記と同様の同様が繰り返される。
このように、分析試料に含まれる特定元素の定量値と予
め設定した規格値とを比較し、定量値が規格値よりも大
きい場合には、同じ元素についての分析感度の低いスペ
クトル線に基づく検量線に自動的に変更されるので、ア
ルカリ土類の元素を定量分析する場合でも、常に、直線
性のよい検量線に基づく分析結果が得られることになる
。
め設定した規格値とを比較し、定量値が規格値よりも大
きい場合には、同じ元素についての分析感度の低いスペ
クトル線に基づく検量線に自動的に変更されるので、ア
ルカリ土類の元素を定量分析する場合でも、常に、直線
性のよい検量線に基づく分析結果が得られることになる
。
° なお、上記の実施例では、定量値算出回路ＩＯ１結
果判別回路１２および検量線選択回路１４を個別に設け
ているが、これらの各回路をすべてマイクロプロセッサ
に代えて同様の動作を行なうようにすることも可能であ
る。
果判別回路１２および検量線選択回路１４を個別に設け
ているが、これらの各回路をすべてマイクロプロセッサ
に代えて同様の動作を行なうようにすることも可能であ
る。
（へ）効果
以上のように本発明によれば、定量分析の際に、分析対
象元素とその含有量に適応した検量線が人手を介するこ
となく自動的に選定されるようになる。したがって、常
に、直線性のよい検量線に基づく定量分析結果が得られ
るので、特にアルカリ土類の定量分析を行なう場合の精
度が向上するとともに、定量分析時の労力の軽減が図れ
る等の優れた効果が発揮される。
象元素とその含有量に適応した検量線が人手を介するこ
となく自動的に選定されるようになる。したがって、常
に、直線性のよい検量線に基づく定量分析結果が得られ
るので、特にアルカリ土類の定量分析を行なう場合の精
度が向上するとともに、定量分析時の労力の軽減が図れ
る等の優れた効果が発揮される。
第１図は本発明の実施例に係るＩＣＰ発光分光分析装置
の要部を示すブロック図、第２図は同装置の動作を説明
するために供するフローチャート、第３図は検量線の特
性図である。 ■・・・ＩＣＰ発光分光分析装置、６・・・検量線メモ
リ、８・・・設定器、１２・・・結果判別回路、１４・
・・検量線選択回路。
の要部を示すブロック図、第２図は同装置の動作を説明
するために供するフローチャート、第３図は検量線の特
性図である。 ■・・・ＩＣＰ発光分光分析装置、６・・・検量線メモ
リ、８・・・設定器、１２・・・結果判別回路、１４・
・・検量線選択回路。
Claims (1)
- （１）各種元素について互いに異なる波長のスペクトル
線に基づく検量線データが記憶された検量線メモリと、 分析対象元素を予め設定する設定器と、 前記検量線の一つを用いて予備的に求めた定量値と予め
設定される規定値とを比較し、定量値の規定値に対する
大小に応じた判別結果を示す信号を出力する結果判別回
路と、 この結果判別回路の判別結果と前記設定器で設定された
元素の両情報に基づいて前記検量線メモリから分析対象
元素についての適応した検量線データを選択する検量線
選択回路と、 を備えることを特徴とする発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30025586A JPS63151838A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30025586A JPS63151838A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 発光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63151838A true JPS63151838A (ja) | 1988-06-24 |
Family
ID=17882581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30025586A Pending JPS63151838A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63151838A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003428A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Shimadzu Corp | 発光分光分析方法及び発光分光分析装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495692A (ja) * | 1972-05-08 | 1974-01-18 | ||
| JPS5427493A (en) * | 1977-08-03 | 1979-03-01 | Kawasaki Steel Co | Instrumental analysis |
| JPS56147042A (en) * | 1980-04-17 | 1981-11-14 | Olympus Optical Co Ltd | Method for conversion of concentration |
| JPS57142549A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Analyzer |
| JPS61202144A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-06 | Teijin Ltd | 反射光を用いた定量分析方法および定量分析装置 |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP30025586A patent/JPS63151838A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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