JP2015029083A - 化学的機械的研磨スラリー組成物およびそれを使用した銅のための方法およびシリコン貫通ビア適用 - Google Patents
化学的機械的研磨スラリー組成物およびそれを使用した銅のための方法およびシリコン貫通ビア適用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015029083A JP2015029083A JP2014131159A JP2014131159A JP2015029083A JP 2015029083 A JP2015029083 A JP 2015029083A JP 2014131159 A JP2014131159 A JP 2014131159A JP 2014131159 A JP2014131159 A JP 2014131159A JP 2015029083 A JP2015029083 A JP 2015029083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- slurry composition
- chemical mechanical
- polishing
- cmp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
- H01L21/3212—Planarisation by chemical mechanical polishing [CMP]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/04—Aqueous dispersions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/06—Other polishing compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
- C09K13/04—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid
- C09K13/06—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid with organic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】銅基材を研磨するための新規な化学的機械的研磨(CMP)スラリー組成物およびそのCMP組成物を使用する方法であって、このCMPスラリー組成物は、ICチップのナノ構造のバルク銅の層を研磨する場合に、高いおよび調節可能な除去速度および低い欠陥を有するより優れた平坦化送達し、CMPスラリー組成物は、高い銅膜除去速度を要求するシリコン貫通ビア(TSV)CMP法のために好適な(Ti、TiN、Ta、TaN、およびSi等の)他の材料に対して銅研磨への高い選択性をまた提供する。
【選択図】図1
Description
(a)二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化ジルコニウムおよび酸化チタンと、(b)脂肪族のカルボン酸からなる群から選択される少なくとも1種の研削剤と、(c)アンモニウム塩、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩、有機アミン化合物および第四級アンモニウム塩からなる群から選択される少なくとも1種の基本的な化合物と、(d)クエン酸、シュウ酸、酒石酸、グリシン、α−アラニンおよびヒスチジンからなる群から選択される少なくとも1種の研磨促進化合物と、(e)ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、トリアゾール、イミダゾールおよびトリルトリアゾールからなる群から選択される少なくとも1種の耐腐食剤と、(t)過酸化水素と、(g)水とを含む研磨組成物を教示する。
a)研削剤と、
b)キレート剤と、
c)腐食防止剤と、
d)銅除去速度加速剤および全欠陥低減剤としてのコリン塩と、
e)有機アミンと、
f)酸化剤と、
g)殺生剤と、
h)実質的に液体キャリアーである、残余と、
を含み、
ここで、該研磨スラリー組成物のpHは、5.0〜8.0である、
銅およびTSV化学的機械的研磨(CMP)スラリー組成物を提供する。
a)研磨パッドを提供することと、
b)以下の成分
1)研削剤と、
2)キレート剤と、
3)腐食防止剤と、
4)銅除去速度加速剤および全欠陥低減剤としてのコリン塩と、
5)有機アミンと、
6)酸化剤と、
7)殺生剤と、
8)実質的に液体キャリアーである、残余と、
を含む化学的機械的研磨スラリー組成物を提供することと、
c)半導体基材の表面と研磨パッドおよび化学的機械的研磨スラリー組成物とを接触させることと、
d)該半導体基材の該表面を研磨することと、
の各ステップを含み、
ここで、該研磨スラリー組成物のpHは、5.0〜8.0であり、
除去材料を含む表面の少なくとも一部分が、研磨パッドおよび化学的機械的研磨スラリー組成物の両方と接触している、
半導体基材の表面から銅または銅を含む材料の除去材料を化学的機械的に研磨する方法を提供する。
a)銅金属膜を含む表面を有する半導体基材を提供することと、
b)研磨パッドを提供することと、
c)以下の成分を含む化学的機械的研磨スラリー組成物を提供することと、
1)研削剤と、
2)キレート剤と、
3)腐食防止剤と、
4)銅除去速度加速剤および全欠陥低減剤としてのコリン塩と、
5)有機アミンと、
6)酸化剤と、
7)殺生剤と、
8)実質的に液体キャリアーである、残余と、
d)半導体基材の表面と研磨パッドおよび化学的機械的研磨スラリー組成物とを接触させることと、
e)半導体基材の表面を研磨して、第1の材料を選択的に除去することと、
の各ステップを含み、
ここで、該研磨スラリー組成物のpHは、5.0〜8.0であり、
第1の材料を含む表面の少なくとも一部分が、研磨パッドおよび化学的機械的研磨スラリー組成物の両方と接触している、
選択的な化学的機械的研磨の方法を提供する。
a)非イオン性表面湿潤剤、これらの試薬は、典型的には同じ分子内に種々の疎水性部分および親水性部分を有する酸素含有化合物または窒素含有化合物であり、その分子量は、数百〜百万超の範囲である。これらの材料の粘度はまた非常に広い分布を有する。
b)アニオン性表面湿潤剤、これらの化合物は、分子骨格の主部上に負の正味電荷を有し、これらの化合物は、アルコキシカルボキシレート、アルコキシサルフェート、アルコキシホスフェート、アルコキシビカルボキシレート、アルコキシ重硫酸塩、アルコキシ重リン酸塩等、アルキルカルボキシレート、アルキル硫酸塩、アルキルホスフェート、アルキルビカルボキシレート(bicarboxylate)、アルキル重硫酸塩(bisulfate)、アルキル重リン酸塩(biphosphate)等、置換アリールカルボキシレート、置換アリールサルフェート、置換アリールホスフェート、置換アリールビカルボキシレート、置換アリール重硫酸塩、置換アリール重リン酸塩等の、好適な疎水性のテールを有する塩を含むがこれらに限られない。このタイプの表面湿潤剤のための対イオンは、カリウム、アンモニウムおよび他の陽イオン等のイオンを含むがこれらに限られない。これらのアニオン性表面湿潤剤の分子量は、数百〜数十万の範囲である。
c)カチオン性表面湿潤剤、これらの化合物は、分子骨格の主部上に正の正味の帯電を有し、これらの化合物は、カルボキシレート、サルフェート、ホスフェート、ビカルボキシレート、重硫酸塩、重リン酸塩等の好適な疎水性のテールを有する塩を含むがこれらに限られない。このタイプの表面湿潤剤のための対イオンは、カリウム、アンモニウムおよび他の陽イオン等のイオンを含むがこれらに限られない。これらのアニオン性表面湿潤剤の分子量は、数百〜数十万の範囲である。
d)両性電解質表面湿潤剤、これらの化合物は、分子主鎖上に正および負の帯電の両方を有し、およびそれらの相対的な対イオンを有する。そうした双極性表面湿潤剤の例は、アミノカルボン酸、アミノリン酸、およびアミノスルホン酸の塩を含むがこれらに限られない。
一般的な実験的手順
本明細書中に記載された関連した方法は、銅からなる基材の化学的機械的な平坦化のための前記の銅またはTSV CMP研磨スラリー組成物の使用を伴う。この方法において、基材(例えば、銅表面を有するウェハー)は、CMP研磨機の回転可能なプラテンに固定して取り付けられる研磨パッド上に面を下にして配置される。このように、研磨されたそして平坦化される基材は、研磨パッドと直接接触して配置される。ウェハーキャリアーシステムまたは研磨ヘッドは、基材が回転する間、基材を所定の位置に保持し、そしてCMP処理の間に基材の裏側に対して下向きの圧力を適用するために使用される。研磨スラリー組成物は、基材を平坦化するために材料の除去を行うために銅CMP処理の間パッド上に(通常連続的に)適用される。
Å:オングストローム長さの単位
銅 RR2.0psi CMPツールの2.0psiの押し下げ圧力での測定された銅の除去速度
Claims (20)
- a.0.0wt%〜25wt%の研削剤と、
b.0.01wt%〜22wt%のキレート剤と、
c.0.001wt%〜0.15wt%の腐食防止剤と、
d.0.0001wt%〜0.50wt%のコリン塩と、
e.0.0001wt%〜0.20wt%の有機アミンと、
f.0.01wt%〜10wt%の酸化剤と、
g.0.0001wt%〜0.05wt%の殺生剤と、
h.実質的に液体キャリアーである、残余と、
を含む、銅を除去するための化学的機械的研磨(CMP)スラリー組成物であって、
該研磨スラリー組成物が5.0〜8.0を有する、組成物。 - 該コリン塩が、下記の一般的な分子構造:
- 該研削剤が、コロイドシリカ粒子、アルミナをドープしたシリカ粒子、コロイド酸化アルミニウム、コロイドおよび光活性二酸化チタン、酸化セリウム、コロイド酸化セリウム、ナノサイズのダイアモンド粒子、ナノサイズの窒化ケイ素粒子、モノモーダル、バイモーダル、マルチモーダルのコロイド研削剤粒子、酸化ジルコニウム、有機ポリマー系軟研削剤(soft abrasives)、表面を被覆されたまたは改質された研削剤、およびそれらの混合物からなる群から選択され;該研削剤が種々のサイズおよび球状形、繭形、凝集形(aggregate shape)およびそれらの組み合わせからなる群から選択される異なる形を有する狭いまたは広い粒径分布を有し;該キレート剤が、グリシン、アミノ酸、およびアミノ酸誘導体からなる群から選択され;該腐食防止剤が、トリアゾールおよびその誘導体、ベンゼントリアゾールおよびその誘導体からなる群から選択され;該有機アミン化合物試薬が、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同じ分子構成中に多アミノ基を含む有機アミン化合物からなる群から選択され;該酸化剤が、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、およびそれらの混合物からなる群から選択され;そして該液体キャリアーが水である、請求項1に記載のCMPスラリー組成物。
- 該トリアゾール誘導体が、アミノ置換トリアゾール化合物、二アミノ置換トリアゾール化合物、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項3に記載のCMPスラリー組成物。
- 0.01wt%〜0.5wt%の無機酸または有機酸含有pH調節剤;0.00wt%〜1.0wt%の界面活性剤;およびそれらの組み合わせからなる群から選択されたものをさらに含み;該pH調節剤が、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、およびそれらの混合物からなる群から選択され;そして該界面活性剤が、非イオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤または両性界面活性剤である、請求項1に記載のCMPスラリー組成物。
- 約200〜約5000の範囲のCu:Ta、Cu:TaN、Cu:Ti、Cu:TiNおよびCu:Siの研磨選択性を有する、請求項1に記載のCMPスラリー組成物。
- TMOSまたはTEOSから調製された高純度かつナノサイズのコロイドシリカ粒子;グリシン;エチレンジアミン、3−アミノ−1、2、4−トリアゾール、過酸化水素;およびコリン重炭酸塩を含み;そして該pHが6.5〜7.5である、請求項1に記載のCMPスラリー組成物。
- a)研磨パッドを提供すること;
b)以下の成分:
1)0.0wt%〜25wt%の研削剤と、
2)0.01wt%〜22wt%のキレート剤と、
3)0.001wt%〜0.15wt%の腐食防止剤と、
4)0.0001wt%〜0.50wt%のコリン塩と、
5)0.0001wt%〜0.20wt%の有機アミンと、
6)0.01wt%〜10wt%の酸化剤と、
7)0.0001wt%〜0.05wt%の殺生剤と、
8)実質的に液体キャリアーである、残余と、
を含む化学的機械的研磨スラリー組成物を提供することと、
c)半導体基材の表面と、該研磨パッドおよび該化学的機械的研磨スラリー組成物とを接触させることと、
d)該半導体基材の該表面を研磨することと、
の各ステップを含む、半導体基材の表面から銅または銅を含む材料の除去材料を化学的機械的に研磨する方法であって、
該研磨スラリー組成物のpHは、5.0〜8.0であり、
該除去材料を含む該表面の少なくとも一部分が、該研磨パッドおよび該化学的機械的研磨スラリー組成物の両方と接触している、方法。 - 該コリン塩が、下記に示す一般的な分子構造:
- 該研削剤が、コロイドシリカ粒子、アルミナをドープしたシリカ粒子、コロイド酸化アルミニウム、コロイドおよび光活性二酸化チタン、酸化セリウム、コロイド酸化セリウム、ナノサイズのダイアモンド粒子、ナノサイズの窒化ケイ素粒子、モノモーダル、バイモーダル、マルチモーダルのコロイド研削剤粒子、酸化ジルコニウム、有機ポリマー系軟研削剤、表面を被覆されたまたは改質された研削剤、およびそれらの混合物からなる群から選択され;該研削剤が種々のサイズおよび球状形、繭形、凝集形およびそれらの組み合わせからなる群から選択される異なる形を有する狭いまたは広い粒径分布を有し;該キレート剤が、グリシン、アミノ酸、およびアミノ酸誘導体からなる群から選択され;該腐食防止剤が、トリアゾールおよびその誘導体、ベンゼントリアゾールおよびその誘導体からなる群から選択され;該有機アミン化合物試薬が、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同じ分子構成中に多アミノ基を含む有機アミン化合物からなる群から選択され;該酸化剤が、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、およびそれらの混合物からなる群から選択され;そして該液体キャリアーが水である、請求項8に記載の方法。
- 該トリアゾール誘導体が、アミノ置換トリアゾール化合物、二アミノ置換トリアゾール化合物、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項10に記載の方法。
- 該化学的機械的研磨スラリー組成物が、0.01wt%〜0.5wt%の無機酸または有機酸含有pH調節剤;0.00wt%〜1.0wt%の界面活性剤;およびそれらの組み合わせからなる群から選択されたものをさらに含み;該pH調節剤が、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、およびそれらの混合物からなる群から選択され;そして該界面活性剤が、非イオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤または両性界面活性剤である、請求項8に記載の方法。
- 該化学的機械的研磨スラリー組成物が、TMOSまたはTEOSから調製された高純度かつナノサイズのコロイドシリカ粒子;グリシン;エチレンジアミン、3−アミノ−1、2、4−トリアゾール、過酸化水素;コリン重炭酸塩を含み;そして該pHが6.5〜7.5である、請求項8に記載の方法。
- 該半導体基材が、Ta、TaN、Ti、TiN、Siおよびそれらの組み合わせからなる群から選択されたものをさらに含み;そして該化学的機械的研磨スラリー組成物が、約200〜約5000の範囲のCu:Ta、Cu:TaN、Cu:Ti、Cu:TiNおよびCu:Siの研磨選択性を有する、請求項8に記載の方法。
- a)銅金属膜を含む表面を有する半導体基材を提供することと、
b)研磨パッドを提供することと、
c)以下の成分:
1)0.0wt%〜25wt%の研削剤と、
2)0.01wt%〜22wt%のキレート剤と、
3)0.001wt%〜0.15wt%の腐食防止剤と、
4)0.0001wt%〜0.50wt%のコリン塩と、
5)0.0001wt%〜0.20wt%の有機アミンと、
6)0.01wt%〜10wt%の酸化剤と、
7)0.0001wt%〜0.05wt%の殺生剤と、
8)実質的に液体キャリアーである、残余と、
を含む、化学的機械的研磨スラリー組成物を提供することと、
d)該半導体基材の該表面と、該研磨パッドおよび該化学的機械的研磨スラリー組成物とを接触させることと、
e)該半導体基材の該表面を研磨して、第1の材料を選択的に除去することと、
の各ステップを含む、選択的な化学的機械的研磨の方法であって、
ここで、該研磨スラリー組成物のpHは、5.0〜8.0であり、
該第1の材料を含む該表面の少なくとも一部分が、該研磨パッドと該化学的機械的研磨スラリー組成物との両方と接触している、方法。 - 該コリン塩が、下記の一般的な分子構造:
- 該研削剤が、コロイドシリカ粒子、アルミナをドープしたシリカ粒子、コロイド酸化アルミニウム、コロイドおよび光活性二酸化チタン、酸化セリウム、コロイド酸化セリウム、ナノサイズのダイアモンド粒子、ナノサイズの窒化ケイ素粒子、モノモーダル、バイモーダル、マルチモーダルのコロイド研削剤粒子、酸化ジルコニウム、有機ポリマー系軟研削剤、表面を被覆されたまたは改質された研削剤、およびそれらの混合物からなる群から選択され;該研削剤が種々のサイズおよび球状形、繭形、凝集形およびそれらの組み合わせからなる群から選択される異なる形を有する狭いまたは広い粒径分布を有し;該キレート剤が、グリシン、アミノ酸、およびアミノ酸誘導体からなる群から選択され;該腐食防止剤が、トリアゾールおよびその誘導体、ベンゼントリアゾールおよびその誘導体からなる群から選択され;該有機アミン化合物試薬が、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同じ分子構成中に多アミノ基を含む有機アミン化合物からなる群から選択され;該酸化剤が、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、およびそれらの混合物からなる群から選択され;および該液体キャリアーが水である、請求項15に記載の方法。
- 該トリアゾール誘導体が、アミノ置換トリアゾール化合物、二アミノ置換トリアゾール化合物、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項17に記載の方法。
- 該化学的機械的研磨スラリー組成物が、0.01wt%〜0.5wt%の無機酸または有機酸含有pH調節剤;0.00wt%〜1.0wt%の界面活性剤;およびそれらの組み合わせからなる群から選択されたものをさらに含み;該pH調節剤が、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、およびそれらの混合物からなる群から選択され;そして該界面活性剤が、非イオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤または両性界面活性剤である、請求項15に記載の方法。
- 該化学的機械的研磨スラリー組成物が、TMOSまたはTEOSから調製された高純度かつナノサイズのコロイドシリカ粒子;グリシン;エチレンジアミン、3−アミノ−1、2、4−トリアゾール、過酸化水素;およびコリン重炭酸塩を含み;該pHが6.5〜7.5であり;該半導体基材がTa、TaN、Ti、TiN、Siおよびそれらの組み合わせからなる群から選択されたものをさらに含み;そして該化学的機械的研磨スラリー組成物が、約200〜約5000の範囲のCu:Ta、Cu:TaN、Cu:Ti、Cu:TiNおよびCu:Siの研磨選択性を有する、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/929,346 US8974692B2 (en) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | Chemical mechanical polishing slurry compositions and method using the same for copper and through-silicon via applications |
US13/929,346 | 2013-06-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015029083A true JP2015029083A (ja) | 2015-02-12 |
JP6023125B2 JP6023125B2 (ja) | 2016-11-09 |
Family
ID=51063283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014131159A Active JP6023125B2 (ja) | 2013-06-27 | 2014-06-26 | 化学的機械的研磨スラリー組成物およびそれを使用した銅のための方法およびシリコン貫通ビア適用 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8974692B2 (ja) |
EP (1) | EP2818526B1 (ja) |
JP (1) | JP6023125B2 (ja) |
KR (1) | KR101651935B1 (ja) |
CN (1) | CN104250816B (ja) |
TW (1) | TWI507492B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019039004A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 金属化学機械平坦化(cmp)組成物およびその方法 |
JP2019052295A (ja) * | 2017-08-17 | 2019-04-04 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びシリカ貫通電極(tsv)用途のための化学機械平坦化(cmp)組成物並びにその方法 |
JP2019512876A (ja) * | 2016-03-04 | 2019-05-16 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド | 半導体基材をケミカルメカニカル研磨する方法 |
JP2020141137A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びスルーシリコンビア用途のための化学機械研磨 |
JP2022107537A (ja) * | 2021-01-08 | 2022-07-21 | エスケーシー ソルミックス カンパニー,リミテッド | 半導体工程用組成物及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8974692B2 (en) * | 2013-06-27 | 2015-03-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Chemical mechanical polishing slurry compositions and method using the same for copper and through-silicon via applications |
US9340706B2 (en) * | 2013-10-10 | 2016-05-17 | Cabot Microelectronics Corporation | Mixed abrasive polishing compositions |
KR102307254B1 (ko) * | 2014-02-05 | 2021-09-30 | 씨엠씨 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 질화티타늄 및 티타늄/질화티타늄 제거를 억제하기 위한 cmp 방법 |
US10217645B2 (en) | 2014-07-25 | 2019-02-26 | Versum Materials Us, Llc | Chemical mechanical polishing (CMP) of cobalt-containing substrate |
US9567492B2 (en) * | 2014-08-28 | 2017-02-14 | Sinmat, Inc. | Polishing of hard substrates with soft-core composite particles |
KR102380774B1 (ko) | 2014-11-14 | 2022-04-04 | 삼성전자주식회사 | 슬러리 화합물 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 |
CN111710601A (zh) * | 2015-02-06 | 2020-09-25 | 嘉柏微电子材料股份公司 | 用于抑制氮化钛及钛/氮化钛移除的化学机械抛光方法 |
CN107438647A (zh) * | 2015-04-13 | 2017-12-05 | 嘉柏微电子材料股份公司 | 具有改善的蓝宝石移除速率和表面粗糙度的基于金刚石的浆料 |
US10032644B2 (en) * | 2015-06-05 | 2018-07-24 | Versum Materials Us, Llc | Barrier chemical mechanical planarization slurries using ceria-coated silica abrasives |
KR20170030143A (ko) * | 2015-09-08 | 2017-03-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 구리 연마용 cmp 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 |
US9597768B1 (en) * | 2015-09-09 | 2017-03-21 | Cabot Microelectronics Corporation | Selective nitride slurries with improved stability and improved polishing characteristics |
CN105400491B (zh) * | 2015-11-04 | 2018-01-02 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 研磨液用磨料及其制备方法 |
US10421890B2 (en) | 2016-03-31 | 2019-09-24 | Versum Materials Us, Llc | Composite particles, method of refining and use thereof |
US10745589B2 (en) * | 2016-06-16 | 2020-08-18 | Versum Materials Us, Llc | Chemical mechanical polishing (CMP) of cobalt-containing substrate |
EP3475375B1 (en) | 2016-06-22 | 2023-11-15 | CMC Materials, Inc. | Polishing composition comprising an amine-containing surfactant |
KR101943704B1 (ko) * | 2016-06-27 | 2019-01-29 | 삼성에스디아이 주식회사 | 금속막용 cmp 슬러리 조성물 및 연마 방법 |
US10329455B2 (en) * | 2016-09-23 | 2019-06-25 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Chemical mechanical planarization slurry and method for forming same |
US10106705B1 (en) * | 2017-03-29 | 2018-10-23 | Fujifilm Planar Solutions, LLC | Polishing compositions and methods of use thereof |
CN109728158B (zh) * | 2017-10-27 | 2023-07-07 | 华邦电子股份有限公司 | 电阻式存储器及其制造方法与化学机械研磨制程 |
US11643599B2 (en) * | 2018-07-20 | 2023-05-09 | Versum Materials Us, Llc | Tungsten chemical mechanical polishing for reduced oxide erosion |
KR102252906B1 (ko) | 2019-08-19 | 2021-05-18 | 안정빈 | 눈썹안경 |
US20220332978A1 (en) * | 2019-09-30 | 2022-10-20 | Versum Materials Us, Llc | Low Dishing Copper Chemical Mechanical Planarization |
CN116249754A (zh) * | 2020-07-29 | 2023-06-09 | 弗萨姆材料美国有限责任公司 | 用于铜和硅通孔(tsv)的化学机械平面化(cmp)的瓶中垫(pib)技术 |
CN112160002B (zh) * | 2020-09-15 | 2021-05-28 | 深圳市崇辉表面技术开发有限公司 | 一种在铜合金表面进行表面活化处理的方法 |
CN117916332A (zh) * | 2021-07-23 | 2024-04-19 | 弗萨姆材料美国有限责任公司 | 用于铜阻隔浆料的瓶中垫(pib)技术 |
WO2023086783A1 (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-19 | Versum Materials Us, Llc | Pad-ln-a-bottle chemical mechanical planarization polishing with cost-effective non-porous solid polishing pads |
CN114213978B (zh) * | 2021-12-23 | 2022-08-02 | 广东欣科兴五金制品有限公司 | 一种铜合金表面抛光液及其制备方法 |
CN116000782B (zh) * | 2022-12-27 | 2023-09-19 | 昂士特科技(深圳)有限公司 | 用于金属合金cmp的化学机械抛光组合物 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002184728A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-06-28 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハ研磨用スラリー及びこれを用いた化学的機械的研磨方法 |
JP2004031905A (ja) * | 2002-02-28 | 2004-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学機械的ポリシングスラリー及びこれを用いた化学機械的研磨方法 |
JP2005167231A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Showa Denko Kk | 研磨組成物および研磨方法 |
JP2009510224A (ja) * | 2005-09-26 | 2009-03-12 | プラナー ソリューションズ エルエルシー | 化学機械研磨応用で使用するための超純度コロイド状シリカ |
US20090261291A1 (en) * | 2003-10-23 | 2009-10-22 | Gautam Banerjee | Chemical-Mechanical Planarization Composition Having Benzenesulfonic Acid and Per-Compound Oxidizing Agents, and Associated Method for Use |
JP2011515023A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-05-12 | エルジー・ケム・リミテッド | 化学的機械的研磨用水系スラリー組成物及び化学的機械的研磨方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6546939B1 (en) | 1990-11-05 | 2003-04-15 | Ekc Technology, Inc. | Post clean treatment |
JP3397501B2 (ja) | 1994-07-12 | 2003-04-14 | 株式会社東芝 | 研磨剤および研磨方法 |
KR100463315B1 (ko) | 1998-12-28 | 2005-01-07 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 금속용 연마액 재료, 금속용 연마액, 그 제조방법 및그것을 사용한 연마방법 |
JP3490038B2 (ja) | 1999-12-28 | 2004-01-26 | Necエレクトロニクス株式会社 | 金属配線形成方法 |
JP2002075927A (ja) | 2000-08-24 | 2002-03-15 | Fujimi Inc | 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法 |
US6551935B1 (en) * | 2000-08-31 | 2003-04-22 | Micron Technology, Inc. | Slurry for use in polishing semiconductor device conductive structures that include copper and tungsten and polishing methods |
JP2002164307A (ja) | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Fujimi Inc | 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法 |
JP3768402B2 (ja) | 2000-11-24 | 2006-04-19 | Necエレクトロニクス株式会社 | 化学的機械的研磨用スラリー |
KR100416587B1 (ko) | 2000-12-22 | 2004-02-05 | 삼성전자주식회사 | 씨엠피 연마액 |
JP2002231666A (ja) | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Fujimi Inc | 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法 |
WO2003091376A1 (en) | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Ekc Technology, Inc. | Oxalic acid as a cleaning product for aluminium, copper and dielectric surfaces |
US8003587B2 (en) | 2002-06-06 | 2011-08-23 | Ekc Technology, Inc. | Semiconductor process residue removal composition and process |
US7300601B2 (en) | 2002-12-10 | 2007-11-27 | Advanced Technology Materials, Inc. | Passivative chemical mechanical polishing composition for copper film planarization |
TWI250202B (en) * | 2003-05-13 | 2006-03-01 | Eternal Chemical Co Ltd | Process and slurry for chemical mechanical polishing |
KR100630678B1 (ko) | 2003-10-09 | 2006-10-02 | 삼성전자주식회사 | 알루미늄막의 화학적 기계적 연마용 슬러리, 그 슬러리를사용하는 화학적 기계적 연마 방법 및 그 방법을 사용하는알루미늄 배선 형성방법 |
US8772214B2 (en) | 2005-10-14 | 2014-07-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Aqueous cleaning composition for removing residues and method using same |
WO2007130350A1 (en) | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Cabot Microelectronics Corporation | Compositions and methods for cmp of semiconductor materials |
CN100586851C (zh) * | 2007-01-15 | 2010-02-03 | 苏州纳迪微电子有限公司 | 金属杂质含量小于1ppm的耐碱性超高纯硅溶胶的制备方法 |
US20100081279A1 (en) | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | Method for Forming Through-base Wafer Vias in Fabrication of Stacked Devices |
CN102414293B (zh) | 2009-04-22 | 2014-02-19 | 株式会社Lg化学 | 化学机械抛光用浆料 |
US8192644B2 (en) | 2009-10-16 | 2012-06-05 | Fujifilm Planar Solutions, LLC | Highly dilutable polishing concentrates and slurries |
US8101561B2 (en) * | 2009-11-17 | 2012-01-24 | Wai Mun Lee | Composition and method for treating semiconductor substrate surface |
US8974692B2 (en) * | 2013-06-27 | 2015-03-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Chemical mechanical polishing slurry compositions and method using the same for copper and through-silicon via applications |
-
2013
- 2013-06-27 US US13/929,346 patent/US8974692B2/en active Active
-
2014
- 2014-06-24 TW TW103121779A patent/TWI507492B/zh active
- 2014-06-26 CN CN201410295621.7A patent/CN104250816B/zh active Active
- 2014-06-26 KR KR1020140079069A patent/KR101651935B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-26 JP JP2014131159A patent/JP6023125B2/ja active Active
- 2014-06-27 EP EP14174709.7A patent/EP2818526B1/en active Active
-
2015
- 2015-01-16 US US14/598,472 patent/US9305806B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002184728A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-06-28 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハ研磨用スラリー及びこれを用いた化学的機械的研磨方法 |
JP2004031905A (ja) * | 2002-02-28 | 2004-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学機械的ポリシングスラリー及びこれを用いた化学機械的研磨方法 |
US20090261291A1 (en) * | 2003-10-23 | 2009-10-22 | Gautam Banerjee | Chemical-Mechanical Planarization Composition Having Benzenesulfonic Acid and Per-Compound Oxidizing Agents, and Associated Method for Use |
JP2005167231A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-23 | Showa Denko Kk | 研磨組成物および研磨方法 |
JP2009510224A (ja) * | 2005-09-26 | 2009-03-12 | プラナー ソリューションズ エルエルシー | 化学機械研磨応用で使用するための超純度コロイド状シリカ |
JP2011515023A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-05-12 | エルジー・ケム・リミテッド | 化学的機械的研磨用水系スラリー組成物及び化学的機械的研磨方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019512876A (ja) * | 2016-03-04 | 2019-05-16 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド | 半導体基材をケミカルメカニカル研磨する方法 |
JP2019052295A (ja) * | 2017-08-17 | 2019-04-04 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びシリカ貫通電極(tsv)用途のための化学機械平坦化(cmp)組成物並びにその方法 |
JP6995716B2 (ja) | 2017-08-17 | 2022-01-17 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びシリカ貫通電極(tsv)用途のための化学機械平坦化(cmp)組成物並びにその方法 |
JP2019039004A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 金属化学機械平坦化(cmp)組成物およびその方法 |
JP2020141137A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びスルーシリコンビア用途のための化学機械研磨 |
JP7240346B2 (ja) | 2019-02-28 | 2023-03-15 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | 銅及びスルーシリコンビア用途のための化学機械研磨 |
JP2022107537A (ja) * | 2021-01-08 | 2022-07-21 | エスケーシー ソルミックス カンパニー,リミテッド | 半導体工程用組成物及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
JP7346615B2 (ja) | 2021-01-08 | 2023-09-19 | エスケー エンパルス カンパニー リミテッド | 半導体工程用組成物及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104250816B (zh) | 2017-06-23 |
TWI507492B (zh) | 2015-11-11 |
US8974692B2 (en) | 2015-03-10 |
US20150004788A1 (en) | 2015-01-01 |
TW201500493A (zh) | 2015-01-01 |
EP2818526B1 (en) | 2016-06-22 |
KR20150001678A (ko) | 2015-01-06 |
EP2818526A1 (en) | 2014-12-31 |
KR101651935B1 (ko) | 2016-08-29 |
US9305806B2 (en) | 2016-04-05 |
JP6023125B2 (ja) | 2016-11-09 |
CN104250816A (zh) | 2014-12-31 |
US20150132956A1 (en) | 2015-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6023125B2 (ja) | 化学的機械的研磨スラリー組成物およびそれを使用した銅のための方法およびシリコン貫通ビア適用 | |
JP5032214B2 (ja) | 銅/タンタル基体に有用な化学的機械研磨スラリー | |
CN1158373C (zh) | 用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料 | |
JP4494538B2 (ja) | 銅系基板に有用な化学的・機械的研磨用スラリー | |
JP4510374B2 (ja) | 金属cmpのための研磨組成物 | |
CN109456704B (zh) | 金属化学机械平面化(cmp)组合物及其方法 | |
JP2002519471A5 (ja) | ||
JP2005167204A (ja) | アスパラギン酸/トリルトリアゾールを用いる化学的機械的平坦化のための調整可能な組成物および方法 | |
JP2009503910A (ja) | 金属フィルム平坦化用高スループット化学機械研磨組成物 | |
JP2002231666A (ja) | 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法 | |
TW200417600A (en) | Passivative chemical mechanical polishing composition for copper film planarization | |
JP6995716B2 (ja) | 銅及びシリカ貫通電極(tsv)用途のための化学機械平坦化(cmp)組成物並びにその方法 | |
TWI787329B (zh) | 用於鈷的化學機械拋光方法 | |
TWI664280B (zh) | 高溫cmp組成物及用於使用其之方法 | |
WO2017114309A1 (zh) | 一种化学机械抛光液及其应用 | |
KR102459546B1 (ko) | 코발트용 화학 기계적 연마 방법 | |
JP7240346B2 (ja) | 銅及びスルーシリコンビア用途のための化学機械研磨 | |
TWI512809B (zh) | 於堆疊裝置製造中用於形成穿底晶圓貫孔的方法 | |
JP4657408B2 (ja) | 金属膜用研磨剤 | |
JP2008244316A (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
WO2012071780A1 (zh) | 一种化学机械抛光浆料 | |
JP2001031950A (ja) | 金属膜用研磨剤 | |
JP2002184734A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151006 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160906 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161006 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6023125 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |