JP2015018965A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、切削ブレード43の粒径と切り込み量を変化させて、積層体除去工程を実施した実験例について説明する。ここでは、図6A−図6Dに示すように、砥粒の粒径として、#2000、#3000、#4000、#5000の4種類の切削ブレード43を用意し、それぞれについて基板に対する切り込み量を20μmとして積層体除去工程を実施した。また、図6E−図6Hに示すように、粒径#4000の切削ブレード43については、基板に対する切り込み量を20μm、10μmとして積層体除去工程を実施した。この場合、ブレード回転数30000rpm、加工送り速度30mm/sで加工した。なお、評価ウェーハとしては、シリコン基板上にLow−k膜及びパシベーション膜を積層したものを用いた。
3 チャックテーブル
43、44 切削ブレード
45 測定手段
47 先端面
81 基板
82 積層体
83 分割予定ライン
84 ウェーハの表面
85 ウェーハの裏面
86 浅溝(切削溝)
87 深溝(切削溝)
91 基板の表面
D デバイス
T 保護テープ
W ウェーハ
Claims (2)
- 基板の表面に低誘電率絶縁膜と機能膜とが積層された積層体によって形成されたデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウェーハを、該分割予定ラインに沿って加工するウェーハの加工方法であって、
ウェーハの裏面に保護テープを貼着するテープ貼着工程と、
該テープ貼着工程を実施した後に、ブレード幅が先端に向かって狭くなるような先端形状の切削ブレードの該先端形状だけを用いて、ウェーハの表面側から該積層体を除去して該基板表面を所定深さに切り込みつつ該分割予定ラインに沿ってウェーハを切削し、該積層体を除去して該基板に切削溝を形成する積層体除去工程と、
該積層体除去工程の後に、該切削溝に沿って該切削溝の幅よりも細い厚みの切削ブレードで露呈した該基板表面から該分割予定ラインに沿って該基板を切削し、該基板に切削溝を形成する切削溝形成工程と、を備えるウェーハの加工方法。 - 該積層体除去工程を実施する前に、ウェーハの該分割予定ライン上の表面変位を測定手段で測定し、ウェーハの表面変位のマッピングデータを形成する測定工程を実施し、
該積層体除去工程においては、該マッピングデータに基づき表面位置から該切削ブレードを該所定深さに切り込むように、ウェーハに対して垂直方向に切削ブレードを調整しながら切削を行うこと、を特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017143095A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 積層ウェーハの分割方法 |
KR20170108868A (ko) | 2016-03-18 | 2017-09-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 블레이드 |
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DE102018210393A1 (de) | 2017-07-03 | 2019-01-03 | Disco Corporation | Bearbeitungsverfahren für ein Substrat |
WO2019031174A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイールおよびマルチ超砥粒ホイール |
DE102018214408A1 (de) | 2017-08-30 | 2019-02-28 | Disco Corporation | Multiklinge und bearbeitungsverfahren für ein werkstück |
WO2019054177A1 (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像素子の製造方法、撮像装置、並びに電子機器 |
JP2019096693A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
US10773410B2 (en) | 2015-04-09 | 2020-09-15 | Disco Corporation | Method of forming cut groove |
US10847398B2 (en) | 2017-12-27 | 2020-11-24 | Disco Corporation | Chuck table correction method and cutting apparatus |
JP2021034499A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 株式会社ディスコ | 複数のチップの製造方法 |
JP2021041502A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード、切削ブレードの製造方法、及び、ウェーハの切削方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6600267B2 (ja) * | 2016-03-15 | 2019-10-30 | 株式会社ディスコ | 被加工物の切削方法 |
JP6779574B2 (ja) * | 2016-12-14 | 2020-11-04 | 株式会社ディスコ | インターポーザの製造方法 |
JP6812079B2 (ja) * | 2017-03-13 | 2021-01-13 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003168655A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2003197564A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 低誘電体絶縁材料を積層した基板のダイシング方法 |
JP2005191436A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003168655A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2003197564A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 低誘電体絶縁材料を積層した基板のダイシング方法 |
JP2005191436A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10773410B2 (en) | 2015-04-09 | 2020-09-15 | Disco Corporation | Method of forming cut groove |
JP2017143095A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 積層ウェーハの分割方法 |
KR20170108868A (ko) | 2016-03-18 | 2017-09-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 블레이드 |
KR20180020889A (ko) | 2016-08-18 | 2018-02-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 피가공물의 절삭 방법 |
US10515841B2 (en) | 2017-07-03 | 2019-12-24 | Disco Corporation | Method for dividing substrate along division lines using abrasive member having projection for cutting substrate |
KR20190004225A (ko) | 2017-07-03 | 2019-01-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 기판의 가공 방법 |
DE102018210393B4 (de) | 2017-07-03 | 2023-05-25 | Disco Corporation | Bearbeitungsverfahren für ein Substrat |
DE102018210393A1 (de) | 2017-07-03 | 2019-01-03 | Disco Corporation | Bearbeitungsverfahren für ein Substrat |
WO2019031174A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイールおよびマルチ超砥粒ホイール |
DE102018214408A1 (de) | 2017-08-30 | 2019-02-28 | Disco Corporation | Multiklinge und bearbeitungsverfahren für ein werkstück |
KR20190024698A (ko) | 2017-08-30 | 2019-03-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 멀티블레이드 및 피가공물의 가공 방법 |
JP2019046873A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | 株式会社ディスコ | マルチブレード、加工方法 |
US10403520B2 (en) | 2017-08-30 | 2019-09-03 | Disco Corporation | Multi-blade and processing method of workpiece |
TWI755563B (zh) * | 2017-08-30 | 2022-02-21 | 日商迪思科股份有限公司 | 多刀切割刀片及工件的加工方法 |
WO2019054177A1 (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像素子の製造方法、撮像装置、並びに電子機器 |
US11315971B2 (en) | 2017-09-12 | 2022-04-26 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device, method of producing imaging device, imaging apparatus, and electronic apparatus |
JP2019096693A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
US10692767B2 (en) | 2017-11-21 | 2020-06-23 | Disco Corporation | Wafer processing method including cutting wafer based on surface height of wafer |
US10847398B2 (en) | 2017-12-27 | 2020-11-24 | Disco Corporation | Chuck table correction method and cutting apparatus |
JP2021034499A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | 株式会社ディスコ | 複数のチップの製造方法 |
JP7325905B2 (ja) | 2019-08-22 | 2023-08-15 | 株式会社ディスコ | 複数のチップの製造方法 |
JP2021041502A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード、切削ブレードの製造方法、及び、ウェーハの切削方法 |
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