JP6215069B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
13 保持手段
14 X軸移動手段
15 Y軸移動手段
16 Z軸移動手段
17 切削手段
18 撮像手段
19 測定手段
21 記憶手段
22 制御手段
23 第一の記憶部
24 第二の記憶部
31 保持面
51 スピンドル
51、55 製品用ウェーハの表面
52 切削ブレード
61 試験用ウェーハの表面
62 切削痕
65 分割予定ライン
W1、W2 製品用ウェーハW(被加工物)
W3 試験用ウェーハ
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを装着したスピンドルを有する切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的にX軸方向に移動するX軸移動手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的にX軸方向に直交するY軸方向に移動するY軸移動手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に鉛直方向に移動するZ軸移動手段と、を少なくとも備えた切削装置であって、
該切削手段に隣接して配設され該保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、
該保持面に厚さが均一な試験用ウェーハを保持し、該試験用ウェーハの表面から該切削手段を垂直に所定量下降させて切り込み切削痕を該試験用ウェーハ全面に渡って分散させて複数形成し、該X軸移動手段と該Y軸移動手段とを作動させてXY座標に対する複数の該切削痕の長さを該撮像手段で複数検出し、検出された該切削痕の長さと該切削ブレードの外径とから該切削痕の切り込み深さを算出し、算出された切り込み深さをもって加工点における該保持手段の該保持面の上面高さとして該XY座標に対応させて記憶する第一の記憶部を備える記憶手段と、
該記憶手段に記憶された該XY座標に対応した加工点における該保持手段の該保持面の上面高さのバラツキを補填するように、該Z軸移動手段を作動して該切削手段を該保持手段の保持面に保持された被加工物の所要位置に位置づける制御手段と、
から少なくとも構成される切削装置。 - 該保持手段の保持面及び被加工物の表面変位を測定する測定手段を備え、
該記憶手段は、該測定手段が該保持面の表面変位を該XY座標に対応して測定した測定値と該第一の記憶部に記憶されている該保持面の上面高さとの誤差を補正値として該XY座標に対応して記憶する第二の記憶部を備え、
被加工物の切削加工を行う際に該測定手段によって被加工物の上面高さを測定し、該制御手段は、該記憶手段の該第二の記憶部に記憶された該XY座標に対応した該補正値を加味して該加工点における被加工物の上面高さを算出し、該Z軸移動手段を作動して該切削手段を該保持手段の保持面に保持された被加工物の所要位置に位置づける請求項1記載の切削装置。
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