JP2017143095A - 積層ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 チャックテーブル
15 撮像手段
19 制御部
21 第1の切削手段
22 第1の切削ブレード
26 第2の切削手段
27 第2の切削ブレード
31 第1の切削溝
35 第2の切削溝
39 計測用の切削溝(計測溝)
W 積層ウェーハ
W1 第1のウェーハ
W2 第2のウェーハ
Claims (2)
- 積層ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された積層ウェーハに切削加工を施す第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、該第1の切削手段によって切削された領域に更に切削加工を施す第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段と、ストリートを検出する基準線を備えた撮像手段とを具備する切削装置を用い、
第1のウェーハの下面側に第2のウェーハが積層された積層ウェーハをストリートに沿って分割する積層ウェーハの分割方法であって、
チャックテーブルに保持された積層ウェーハのストリートを該撮像手段によって検出する検出ステップと、
該検出ステップで検出されたストリートに沿って、ストリート毎に積層ウェーハを分割する分割ステップと、から構成され、
該分割ステップは、
該第1の切削手段によって積層ウェーハの該第1のウェーハのみをストリートに沿って切削し該第2のウェーハを表出させるとともに第1の切削溝を形成する第1の切削ステップと、
該第1の切削ステップを実施した後に、該第1の切削ブレードの幅よりも細い第2の切削ブレードを径方向に超音波振動させて該第2の切削手段によって該第1の切削溝に沿って表出した該第2のウェーハを切削し第2の切削溝を形成する第2の切削ステップと、
から構成される積層ウェーハの分割方法。 - 該分割ステップ実施中の新たなストリートを切削する前の任意のタイミングで、
積層ウェーハに形成された該第1の切削溝を該撮像手段で撮像して基準線との位置関係を計測する第1の切削溝位置計測ステップと、
該第1の切削溝が形成されていない該第1のウェーハの表面に、超音波を付与しない状態で該第2の切削手段によって計測溝を形成し、該計測溝を該撮像手段により撮像して基準線との位置関係を計測する第2の切削溝位置計測ステップと、を実施することを特徴とする請求項1記載の積層ウェーハの分割方法。
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