JP2015065209A - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第二発明に係るウェーハの分割方法は、格子状に設けられた複数のストリートによって区画された各領域にデバイスが形成されているウェーハに対して透過性を有する波長のレーザ光を該ウェーハの内部に集光することにより、該ウェーハの内部に改質層を形成し、該改質層を起点として該ウェーハを個々のデバイスごとのチップに分割する分割方法であって、該ウェーハの該デバイスが形成されている表面とは反対側の裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部に第1改質層を形成する第1改質層形成工程と、該ウェーハの該裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部の該第1改質層よりも該表面に近い位置に第2改質層を該ストリートに沿って形成する第2改質層形成工程と、研削装置に装着された研削砥石で、該第1改質層及び該第2改質層が形成された該ウェーハの該裏面を研削し、該ウェーハを所定の厚さまで薄化することにより、該第1改質層を除去するとともに、該第2改質層を起点として該ウェーハを分割する研削工程と、を備える。
また、研削時に加わる研削負荷でウェーハを分割することにより、外力付与工程が不要となるので、ウェーハの分割にかかる時間を短縮することができる。
図3に示すように、レーザ加工装置のレーザ発光部30からウェーハ10に対してレーザ光31を照射する。レーザ光31の波長は、基板11を透過する波長であり、照射されたレーザ光31は、基板11の内部に集光する。これにより、レーザ光31が集光した集光点32の周辺に、第1改質層13が形成される。
なお、ウェーハ10の表面17の側からレーザ光31を照射すると、レーザ光31がデバイス層15で反射してしまうので、レーザ光31は、ウェーハ10の裏面12側から照射する。
図5に示すように、レーザ加工装置のレーザ発光部30からウェーハ10に対してレーザ光31を照射し、第2改質層14を形成する。第1改質層形成工程21と同様に、レーザ光31は、ウェーハ10の裏面12の側から照射する。第2改質層14が形成される深さ44は、第1改質層13が形成される深さ43よりも大きい。このため、第2改質層14は、第1改質層13よりも、ウェーハ10の表面17に近い基板11の内部に形成される。
図7に示すように、デバイス層15が形成されている表面17の側を下にして、研削装置50の保持手段51の上にウェーハ10を載置し、保持面511を介して吸引するなどしてウェーハ10を保持する。ウェーハ10の反りが低減されているので、ウェーハ10を吸引保持してもウェーハ10に無理な力が加わらない。このため、ウェーハ10が不定形に割れるのを防ぐことができる。
研削により所定の厚さまで薄化されたウェーハ10に外力を加えることにより、図9に示すように、第2改質層14を起点として±z方向(厚さ方向)に延びる割れ19を生じさせ、ウェーハ10を分割する。ウェーハ10に外力を加える方法には、例えば、ウェーハ10をダイシングテープに貼着し、ダイシングテープを拡張することにより、ウェーハ10に外力を加える方法や、治具をウェーハ10に押し当てる方法などがある。
11 基板、12 裏面、13 第1改質層、14 第2改質層、15 デバイス層、
16 デバイス、17 表面、18 ストリート、19 割れ、
20 分割方法、21 第1改質層形成工程、22 第2改質層形成工程、
23 研削工程、24 外力付与工程、
30 レーザ発光部、31 レーザ光、32 集光点、
43,44 深さ、45 研削量、46 厚さ、
50 研削装置、51 保持手段、511 保持面、519,529 回転軸、
52 研削手段、53 研削送り手段、59 研削砥石
Claims (2)
- 格子状に設けられた複数のストリートによって区画された各領域にデバイスが形成されているウェーハに対して透過性を有する波長のレーザ光を該ウェーハの内部に集光することにより、該ウェーハの内部に改質層を形成し、該改質層を起点として該ウェーハをデバイスごとのチップに分割する分割方法であって、
該ウェーハの該デバイスが形成されている表面とは反対側の裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部に第1改質層を形成する第1改質層形成工程と、
該ウェーハの該裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部の該第1改質層よりも該表面に近い位置に第2改質層を該ストリートに沿って形成する第2改質層形成工程と、
研削装置に装着された研削砥石で、該第1改質層及び該第2改質層が形成された該ウェーハの該裏面を研削し、該ウェーハを所定の厚さまで薄化することにより、該第1改質層を除去する研削工程と、
該ウェーハに外力を加えることにより、該第2改質層を起点とし該ウェーハを分割する外力付与工程と、
を備える、ウェーハの分割方法。 - 格子状に設けられた複数のストリートによって区画された各領域にデバイスが形成されているウェーハに対して透過性を有する波長のレーザ光を該ウェーハの内部に集光することにより、該ウェーハの内部に改質層を形成し、該改質層を起点として該ウェーハをデバイスごとのチップに分割する分割方法であって、
該ウェーハの該デバイスが形成されている表面とは反対側の裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部に第1改質層を形成する第1改質層形成工程と、
該ウェーハの該裏面側から該レーザ光を照射し、該ウェーハの内部の該第1改質層よりも該表面に近い位置に第2改質層を該ストリートに沿って形成する第2改質層形成工程と、
研削装置に装着された研削砥石で、該第1改質層及び該第2改質層が形成された該ウェーハの該裏面を研削し、該ウェーハを所定の厚さまで薄化することにより、該第1改質層を除去するとともに、該第2改質層を起点として該ウェーハを分割する研削工程と、
を備える、ウェーハの分割方法。
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