JP2005197492A - 切削溝の計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の切削手段によってウエーハの切削すべき領域に所定深さの第1の切削溝G1を形成する工程と、第2の切削手段によって第1の切削溝G1に沿って第2の切削溝G2を形成する工程とを実施している際にウエーハに形成された第1の切削溝G1と第2の切削溝G2の位置を計測する計測方法であって、第1の切削溝のG1位置を計測する際にはウエーハに形成された第1の切削溝G1を撮像手段で撮像して基準線との位置関係を計測し、第2の切削溝G2の位置を計測する際には第1の切削溝G1を形成する前にウエーハの外周部に第2の切削手段によって計測溝G3を形成し、該計測溝G3を撮像手段により撮像して基準線との位置関係を計測する。
【選択図】図10
Description
また、上述したTeg等が配設されていない半導体ウエーハにおいても、2つの切削ユニットを具備した切削装置を用い、第1の切削ユニットに装着された第1の切削ブレードにより半導体ウエーハのストリートに沿ってV字状の第1の切削溝を形成し、その後第2の切削ユニットに装着された第2の切削ブレードによりV字状の第1の切削溝に沿って切断する第2の切削溝を形成することにより、半導体チップの外周に面取りを形成する方法が採用されている。
即ち、第1の切削ブレードによって形成された第1の切削溝については撮像手段によって撮像することができるので第1の切削溝と撮像手段の基準線とのズレを計測することができるが、第2の切削ブレードによって形成された第2の切削溝は第1の切削溝に沿って形成されるため撮像手段によって第2の切削溝の位置を検出することができず、第2の切削溝と撮像手段の基準線とのズレを計測することができない。
該撮像手段によってチャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出する工程と、該第1の切削手段によってウエーハの切削すべき領域に所定深さの第1の切削溝を形成する工程と、該第2の切削手段によって該第1の切削溝に沿って第2の切削溝を形成する工程とを実施している際に、ウエーハに形成された該第1の切削溝と該第2の切削溝の位置を計測する計測方法であって、
該第1の切削溝の位置を計測する際には、ウエーハに形成された該第1の切削溝を該撮像手段で撮像して基準線との位置関係を計測し、
該第2の切削溝の位置を計測する際には、該第1の切削溝を形成する前にウエーハの外周部に該第2の切削手段によって計測溝を形成し、該計測溝を該撮像手段により撮像して基準線との位置関係を計測する、
ことを特徴とする切削溝の計測方法が提供される。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2の側面にはカセット載置機構3が配設されている。カセット載置機構3は、静止基台2の側面に上下方向に設けられた2本のガイドレール31、31に摺動可能に配設されたカセット載置台32と、カセット載置台32をガイドレール31、31に沿って上下方向(矢印Zで示す方向)に移動させるための昇降手段33を具備している。そして、カセット載置台32の上面には、被加工物である半導体ウエーハを収納するカセット4が載置される。このカセット4に収容される半導体ウエーハ10は、図2に示すように表面10aに複数のストリート101が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート101によって区画された複数の領域にIC、LSI等の回路102が形成されている。この半導体ウエーハ10は、図3に示すように環状のダイシングフレーム11に装着されたダイシングテープ12の表面に貼着される。このようにダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10は、上記カセット4に収容される。
切削機構7は、上記静止基台2上に固定された門型の支持台71を具備している。この門型の支持台71は、上記切削領域6bを跨ぐように配設されている。支持台71の側壁には矢印Yで示す方向に沿って平行に配設された2本のガイドレール711、711が設けられているとともに、該2本のガイドレール711、711の間に平行に2本の雄ネジロッド721a、721bが配設されている。このガイドレール711、711に沿って第1の基部73aおよび第2の基部73bがそれぞれ矢印Yで示す方向に摺動可能に配設されている。第1の基部73aおよび第2の基部73bにはそれぞれ上記雄ネジロッド721aおよび721bに螺合する図示しない駆動雌ネジブロックが装着されており、この駆動雌ネジブロックをパルスモータ722a、722bによって回動することにより、第1の基部73aおよび第2の基部73bをガイドレール711、711に沿って矢印Yで示す方向に移動するとができる。
切削加工を開始するに先立って、加工前の半導体ウエーハ10(ダイシングテープ12を介してダイシングフレーム11に支持された半導体ウエーハ10)を所定枚数収納したカセット4をカセット載置台32上に載置する。そして、切削加工開始スイッチ(図示せず)が投入されると、カセット載置機構3の昇降手段33を作動してカセット載置台32に載置されたカセット4を搬出入位置に位置付ける。カセット4が搬出入位置に位置付けられたら、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y1で示す方向に移動し、カセット10内に進入せしめて所定の棚上に載置された半導体ウエーハ10を保持する。作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、被加工物載置領域6aの上方である搬出位置に位置付ける。この間に、被加工物搬送機構9のパッド移動手段93を作動して吸着パッド91を被加工物載置領域6aの上方に位置付けている。この結果、搬出位置に位置付られたハンド51上に支持されている半導体ウエーハ10は、被加工物載置領域6aに位置付けられた吸着パッド91の下側に位置付けられることになる。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、吸着パッド91を半導体ウエーハ10に接する位置まで下降させる。そして、図示しない吸引手段を作動して半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持する。吸着パッド91によって半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持したならば、被加工物搬出入機構5を作動してハンド51を矢印Y2で示す方向に移動し、ハンド51を洗浄機構8が配設されている退避位置に位置付ける。次に、被加工物搬送機構9のエアシリンダ921を作動して、半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11を吸引保持した吸着パッド91を下降し、半導体ウエーハ10を被加工物載置領域6aに位置付けられているチャックテーブル機構6のチャックテーブル63上に載置する。そして、吸着パッド91による半導体ウエーハ10を支持したダイシングフレーム11の吸引保持を解除するとともに、図示しない吸引制御手段を作動してチャックテーブル63上に半導体ウエーハ10を吸引保持する。なお、半導体ウエーハ10をダイシングテープ12を介して支持するダイシングフレーム11は、チャックテーブル63に装着された図示しないフレーム支持手段によって支持される。
第1の切削ブレード763aの変位を計測するには、切削開始または前回の計測時から例えば10本のストリート101に沿って第1の切削溝G1を形成したら、10本目に形成された第1の切削溝G1を第1の撮像手段77aの直下に位置付ける。そして、第1の撮像手段77aによって第1の切削溝G1を撮像すると、図5に示すように第1の撮像手段77aによる撮像信号に基づいて制御手段78は画像処理等の所定の処理を実行し表示手段79に図9に示す画像を表示する。図9に示す画像は、第1の撮像手段77aの顕微鏡772aに形成された基準線Laと第1の切削溝G1がズレていることが判る。これは第1の回転スピンドル762aが熱膨張し該第1の回転スピンドル762aに装着された第1の切削ブレード763aが軸方向に距離S1だけ変位したことを示している。このようにして、第1の切削ブレード763aの変位を計測することができる。
第2の切削ブレード763bの変位、即ち第2の切削溝G2の位置を検出するために半導体ウエーハ10のストリート101に沿って形成された上記第2の切削溝G2を第2の撮像手段77bによって撮像しても、第2の切削溝G2は上述したように第1の切削溝G1に沿って形成されているため、第2の切削溝G2を検出することできない。そこで、本発明においては、次のようにして第2の切削ブレード763bの変位、即ち第2の切削溝G2の位置を計測する。
なお、上述した第2の切削ブレード763bの変位の計測は、被加工物を切削している途中で切削ブレードを交換した場合にも実施される。
3:カセット載置機構
31:ガイドレール
32:カセット載置台
33:駆動手段
4:カセット
5:被加工物搬出入機構
51:ハンド
52:ハンド支持部材
53:ハンド移動手段
6:チャックテーブル機構
61:支持台
62:ガイドレール
63:チャックテーブル
64:チャックテーブル移動手段
7:切削機構
71:支持台
711:ガイドレール
73a:第1の基部
73b:第2の基部
74a:第1の懸垂ブラケット
74b:第2の懸垂ブラケット
75a:パルスモータ
75b:パルスモータ
76a:第1のスピンドルユニット
763a:第1の切削ブレード
76b:第2のスピンドルユニット
763b:第2の切削ブレード
77a:第1の撮像手段
77b:第2の撮像手段
78:制御手段
79:表示手段
8:洗浄機構
81:スピンナーテーブル
9:被加工物搬送機構
91:吸着パッド
92:パッド支持部材
93:パッド移動手段
10:半導体ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、該第1の切削手段によって切削された領域に更に切削加工を施す第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段と、切削すべき領域を検出する基準線を備えた撮像手段とを具備する切削装置を用い、
該撮像手段によってチャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出する工程と、該第1の切削手段によってウエーハの切削すべき領域に所定深さの第1の切削溝を形成する工程と、該第2の切削手段によって該第1の切削溝に沿って第2の切削溝を形成する工程とを実施している際に、ウエーハに形成された該第1の切削溝と該第2の切削溝の位置を計測する計測方法であって、
該第1の切削溝の位置を計測する際には、ウエーハに形成された該第1の切削溝を該撮像手段で撮像して基準線との位置関係を計測し、
該第2の切削溝の位置を計測する際には、該第1の切削溝を形成する前にウエーハの外周部に該第2の切削手段によって計測溝を形成し、該計測溝を該撮像手段により撮像して基準線との位置関係を計測する、
ことを特徴とする切削溝の計測方法。
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