JP2014527288A - アレイ基板、及びその製造方法、液晶パネル、ディスプレー - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、本発明の実施例は、ベース基板1、ベース基板1に形成されているゲート金属層2、ゲート絶縁層3、半導体層4、オーミック接触層5、ソース・ドレイン金属層6、パッシベーション層7及び画素電極8を備えるアレイ基板を提供する。ゲート金属層2とベース基板1との間に第1隔離バッファ層21が形成され、オーミック接触層5とソース・ドレイン金属層6との間に第2隔離バッファ層61が形成されている。
本実施例は、実施例1によって提供されたアレイ基板に対して更に改良された他のアレイ基板の構造を提供する。
本実施例は、実施例1によって提供されるアレイ基板に対して更に改良された他のアレイ基板の構造を提供する。
本実施例において、実施例2に係る技術案と、実施例3に係る技術案とを組み合わせて、新たなアレイ基板を提供する。
以下、本発明に提供される隔離バッファ層を利用して実現するトップゲート型のTFT構造について簡単に説明する。
本実施例は、実施例5に提供されるアレイ基板に対して更に改良された、他のトップゲート型のTFTアレイ基板の構造を提供する。
本実施例は、実施例5に提供されるアレイ基板に対して更に改良された、他のトップゲート型のTFTアレイ基板の構造を提供する。
本実施例は、前述した実施例6に係る技術案と、実施例7に係る技術案とを組み合わせて、新たなアレイ基板構造を提供する。
2 ゲート金属層
21 第1隔離バッファ層
22 第3隔離バッファ層
3 ゲート絶縁層
4 半導体層
5 オーミック接触層
6 ソース・ドレイン金属層
61 第2隔離バッファ層
62 第4隔離バッファ層
7 パッシベーション層
8 画素電極
9 活性層
Claims (16)
- ベース基板、前記ベース基板に形成されるゲート金属層、活性層及びソース・ドレイン金属層を備えるアレイ基板において、
前記ゲート金属層の厚さ方向における少なくとも一側に隔離バッファ層が形成され及び/または前記ソース・ドレイン金属層の厚さ方向における少なくとも一側に隔離バッファ層が形成され、
前記隔離バッファ層が、酸化モリブデンにより製造されることを特徴とする、アレイ基板。 - 前記アレイ基板として、ボトムゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層と前記活性層との間にさらにゲート絶縁層が形成され、
前記ゲート金属層の少なくとも一側に形成される隔離バッファ層には、前記ゲート金属層と前記ベース基板との間に形成される第1隔離バッファ層、または前記ゲート金属層と前記ベース基板との間に形成される第1隔離バッファ層及び前記ゲート金属層と前記ゲート絶縁層との間に形成される第3隔離バッファ層が含まれ、
前記第1隔離バッファ層が酸化モリブデンにより製造され、前記第3隔離バッファ層が金属モリブデンまたは酸化モリブデンにより製造されることを特徴とする、請求項1に記載のアレイ基板。 - 前記アレイ基板として、トップゲート型の構造を採用し、前記アレイ基板は、前記ゲート金属層と前記活性層との間に形成されるゲート絶縁層と、前記ゲート金属層上に形成されるパッシベーション層と、をさらに備え、
前記ゲート金属層の少なくとも一側に形成される隔離バッファ層には、前記ゲート金属層と前記ゲート絶縁層との間に形成される第1隔離バッファ層、または前記ゲート金属層と前記ゲート絶縁層との間に形成される第1隔離バッファ層及び前記ゲート金属層と前記パッシベーション層との間に形成される第3隔離バッファ層が含まれ、
前記第1隔離バッファ層が酸化モリブデンにより製造され、前記第3隔離バッファ層が金属モリブデンまたは酸化モリブデンにより製造されることを特徴とする、請求項1に記載のアレイ基板。 - 前記アレイ基板として、ボトムゲート型の構造を採用し、前記ソース・ドレイン金属層上にパッシベーション層が形成され、
前記ソース・ドレイン金属層の少なくとも一側に形成される隔離バッファ層には、前記活性層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される酸化モリブデンにより製造される第2隔離バッファ層、または前記活性層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される酸化モリブデンにより製造される第2隔離バッファ層及び前記パッシベーション層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される第4隔離バッファ層が含まれ、
前記第4隔離バッファ層が、金属モリブデンまたは酸化モリブデンにより製造されることを特徴とする、請求項1または2に記載のアレイ基板。 - 前記アレイ基板として、トップゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層と前記ソース・ドレイン金属層との間にゲート絶縁層が形成され、
前記ソース・ドレイン金属層の少なくとも一側に形成される隔離バッファ層には、前記活性層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される酸化モリブデンにより製造される第2隔離バッファ層、または前記活性層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される酸化モリブデンにより製造される第2隔離バッファ層及び前記ゲート絶縁層と前記ソース・ドレイン金属層との間に形成される第4隔離バッファ層が含まれ、
前記第4隔離バッファ層が、金属モリブデンまたは酸化モリブデンにより製造されることを特徴とする、請求項1または3に記載のアレイ基板。 - 前記ゲート金属層及びソース・ドレイン金属層のうち少なくとも一方が、金属CuまたはCu合金によって形成されることを特徴とする、請求項1から5の何れか1項に記載のアレイ基板。
- ベース基板にゲート金属層と、活性層と、ソース・ドレイン金属層とを形成する請求項1から6の何れか1項に記載のアレイ基板の製造方法において、
ゲート金属層の少なくとも一側に、前記ゲート金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成し及び/またはソース・ドレイン金属層の少なくとも一側に、前記ソース・ドレイン金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成し、
前記隔離バッファ層が、酸化モリブデンにより製造される、アレイ基板の製造方法。 - 前記アレイ基板として、ボトムゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層の少なくとも一側に、前記ゲート金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
ベース基板に、酸化モリブデン薄膜及びゲート金属薄膜を順次に蒸着し、パターニング工程によって、第1隔離バッファ層及び前記ゲート金属層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記アレイ基板として、ボトムゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層の少なくとも一側に、前記ゲート金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
ベース基板に、酸化モリブデン薄膜、ゲート金属薄膜及び、金属モリブデン薄膜または酸化モリブデン薄膜を順次に蒸着し、パターニング工程によって、第1隔離バッファ層、前記ゲート金属層及び第3隔離バッファ層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記アレイ基板として、トップゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層の少なくとも一側に、前記ゲート金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
ゲート絶縁層が形成されるベース基板に、酸化モリブデン薄膜及びゲート金属薄膜を順次に蒸着し、パターニング工程によって、第1隔離バッファ層及び前記ゲート金属層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記アレイ基板として、トップゲート型の構造を採用し、前記ゲート金属層の少なくとも一側に、前記ゲート金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
ゲート絶縁層が形成されるベース基板に、酸化モリブデン薄膜、ゲート金属薄膜及び、金属モリブデン薄膜または酸化モリブデン薄膜を順次に蒸着し、パターニング工程によって、第1隔離バッファ層、前記ゲート金属層及び第3隔離バッファ層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン金属層の少なくとも一側に、前記ソース・ドレイン金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
活性層が形成されるベース基板に、酸化モリブデン薄膜及びソース・ドレイン金属薄膜を形成し、パターニング工程によって、前記第2隔離バッファ層及び前記ソース・ドレイン金属層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7から11の何れか1項に記載のアレイ基板の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン金属層の少なくとも一側に、前記ソース・ドレイン金属層と同様なパターンを有する隔離バッファ層を形成するステップにおいて、
活性層が形成されるベース基板に、酸化モリブデン薄膜、ソース・ドレイン金属薄膜及び、金属モリブデン薄膜または酸化モリブデン薄膜を形成し、パターニング工程によって、前記第2隔離バッファ層及び前記ソース・ドレイン金属層のパターン並びに前記第4隔離バッファ層のパターンを形成することを特徴とする、請求項7から11の何れか1項に記載のアレイ基板の製造方法。 - a:スパッタ工程において、混合されたAr(アルゴン)とO2を利用して、金属Moターゲット材に対してスパッタを行って、単一層のMoOx薄膜を形成する方法、
b:スパッタ工程において、まず、純Arを利用してモリブデンターゲット材に対してスパッタを行い、その後に、混合されたArとO2を利用して、金属Moターゲット材に対して二回目のスパッタを行って、Mo金属層とMoOx薄膜を同時に含む二層構造を実現する方法、
c:スパッタ工程によって、ベース基板に金属Mo薄膜を形成してから、酸素リッチの雰囲気で熱処理を行うことにより、MoOx膜を形成する方法、及び
d:スパッタ工程によって、ベース基板に金属Mo薄膜を形成してから、酸素リッチの雰囲気でプラズマ処理を行うことにより、MoOx膜を形成する方法、
のうちいずれかの方法で、前記酸化モリブデン薄膜を形成することを特徴とする、請求項6から13の何れか1項に記載のアレイ基板の製造方法。 - 対向して設置されているカラーフィルター及びアレイ基板、並びに前記カラーフィルターとアレイ基板との間に挟まれている液晶層を備える液晶パネルにおいて、
前記アレイ基板として、前記請求項1から6の何れか1項に記載のアレイ基板を採用することを特徴とする、液晶パネル。 - ディスプレーに請求項15に記載の液晶パネルを採用したことを特徴とする、ディスプレー。
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