JP2014522545A5 - - Google Patents

Description

エッチングする保護層によって、エッチング媒体はさらに例えば塩酸、硫酸または硝酸のような無機の鉱酸を含む場合がある。有機酸で例えばアルキル残基が１から１０の炭素原子を持ち、アルキルカルボン酸類、ヒドロキシカルボン酸類およびジカルボン酸類の群から選択されたものがエッチング媒体に含まれる場合がある。これらの例にはギ酸、酢酸、乳酸およびシュウ酸がある。あるいはエッチング媒体はエッチングアルカリ性化合物で構成される場合もあり、例えば水酸化カリウム（ＫＯＨ）または苛性ソーダ（ＮａＯＨ）を含みとりわけ薄いアモルファスシリコン層をエッチングできる。

Claims (9)

1. 少なくとも１つの誘電体およびアモルファスシリコン、の少なくとも一方である保護層（９）をエッチングで開口するため、および前記保護層に隣接するシリコン基材（１）と導電接触を作り出すための印刷可能な媒体であって、
   前記保護層を化学的にエッチングするためのエッチング媒体と、
   ニッケル粒子およびチタン粒子のうちの少なくとも一方である５重量％および９０重量％の間の金属粒子（１５）と、を含み、
   前記印刷可能な媒体は、ガラスフリットを含まず、
   前記エッチング媒体は、リン酸、リン酸塩および／またはリン酸化合物の１つ以上の形態を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、塩酸、リン酸、硫酸、フッ化水素酸、硝酸を含む無機鉱酸を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、ギ酸、酢酸、乳酸およびシュウ酸を含む、アルキルカルボン酸、ヒドロキシカルボン酸およびジカルボン酸の群から選択され、１から１０のＣ原子を伴うアルキル残基を持つ有機酸を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、ＫＯＨまたはＮａＯＨを含むエッチング用アルカリ化合物を含む印刷可能な媒体。
2. 前記印刷可能な媒体が前記保護層を化学的にエッチングするためのエッチング媒体を５重量％および９０重量％の間で含む、請求項１に記載の印刷可能な媒体。
3. 前記金属粒子の寸法が２０ｎｍおよび５０μｍの間である、請求項１または２に記載の印刷可能な媒体。
4. 前記エッチング媒体が前記印刷可能な媒体で覆われた領域内の保護層を化学的に完全に溶解するように適合している、請求項１または２に記載の印刷可能な媒体。
5. 前記保護層が窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、炭化ケイ素およびアモルファスシリコンから成る群から選択された少なくとも１つの誘電体を含む、請求項１または２に記載の印刷可能な媒体。
6. 太陽電池を生産する方法であって、
   シリコン基材（１）を供給し（Ｓ０）、
   前記シリコン基材の表面（７）の上に誘電体およびアモルファスシリコンの少なくとも一方を伴う保護層（９）を堆積し（Ｓ１）、
   前記保護層上に印刷可能な媒体を塗布する（Ｓ２）ものであり、
   前記印刷可能な媒体は、前記保護層を化学的にエッチングするためのエッチング媒体と、ニッケル粒子およびチタン粒子のうちの少なくとも一方である５重量％および９０重量％の間の金属粒子（１５）と、を含み、
   前記印刷可能な媒体は、ガラスフリットを含まず、
   前記エッチング媒体は、リン酸、リン酸塩および／またはリン酸化合物の１つ以上の形態を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、塩酸、リン酸、硫酸、フッ化水素酸、硝酸を含む無機鉱酸を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、ギ酸、酢酸、乳酸およびシュウ酸を含む、アルキルカルボン酸、ヒドロキシカルボン酸およびジカルボン酸の群から選択され、１から１０のＣ原子を伴うアルキル残基を持つ有機酸を含む、かつ／または、
   前記エッチング媒体は、ＫＯＨまたはＮａＯＨを含むエッチング用アルカリ化合物を含む方法。
7. さらに、前記印刷可能な媒体を２００℃および６００℃の間の温度まで加熱する（Ｓ３）ことを含む、請求項６に記載の方法。
8. さらに、前記印刷可能な媒体を２００℃超で１秒および１０分の間継続して加熱することを含む、請求項６または７に記載の方法。
9. さらに、塗布された前記印刷可能な媒体により形成された金属接点構造体（１１）の厚みを、付加的な導電性の層をつけることにより厚くする（Ｓ４）ことを含む、請求項６または７に記載の方法。